WO2012157733A1 - 金属粉末の製造方法および金属粉末の製造装置 - Google Patents

金属粉末の製造方法および金属粉末の製造装置 Download PDF

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琢一 山形
虎雄 山形
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HARD INDUSTRY YK
Tohoku Techno Arch Co Ltd
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    • C22C—ALLOYS
    • C22C33/00—Making ferrous alloys
    • C22C33/02—Making ferrous alloys by powder metallurgy

Definitions

  • the present invention relates to a metal powder manufacturing method and a metal powder manufacturing apparatus.
  • the atomizing method has been widely used as a method for producing metal powder (see, for example, Non-Patent Document 1).
  • a typical atomizing method there are a water atomizing method and a gas atomizing method in which powder is produced by injecting water or gas into a molten metal (molten metal) to pulverize the molten metal and solidify it as droplets (for example, (See Patent Documents 1 to 3).
  • the molten metal is dropped on a rotating disk and crushed by applying a shearing force in the tangential direction, and plasma that makes fine wires such as Ti particles by the heat and kinetic energy of the plasma.
  • a shearing force in the tangential direction
  • the water atomization method has a problem in that the equipment cost increases because a high-pressure pump for injecting water at high speed is expensive. There is also a problem that the powder to be produced has an irregular shape.
  • the gas atomization method since a high-pressure gas is used, a high-pressure gas production facility is necessary, and the gas to be used is also expensive, so that there is a problem that costs such as material costs and facility costs increase.
  • the disk atomization method in order to produce fine metal powder, it is necessary to increase the number of revolutions of the disk. There was a problem that the limit was reached.
  • the plasma atomization method has a problem that the plasma torch is expensive. Moreover, since the plasma torch is used, there is a problem that the apparatus becomes large.
  • the present invention has been made paying attention to such a problem, and can reduce the size of the apparatus, reduce the cost, and provide a metal powder manufacturing method and metal capable of obtaining a spherical metal powder. It aims at providing the manufacturing apparatus of powder.
  • the method for producing a metal powder according to the present invention is characterized in that the metal powder is obtained by spraying a frame jet onto a molten metal or a metal wire.
  • An apparatus for producing a metal powder according to the present invention has a supply means for supplying molten metal or a metal wire, and a jet burner for injecting a frame jet to the molten metal or the metal wire supplied by the supply means. This is a feature.
  • the metal powder production apparatus can suitably carry out the metal powder production method according to the present invention.
  • the metal powder manufacturing method and metal powder manufacturing apparatus according to the present invention can obtain metal powder by utilizing the principle of the atomizing method.
  • the molten metal can be pulverized by injecting a high-temperature flame jet against the molten metal.
  • the molten metal can be pulverized while melting the metal wire by injecting a high-temperature frame jet onto the metal wire.
  • the flame jet is at a higher temperature than the high pressure water of the water atomization method or the high pressure gas of the gas atomization method, the flow velocity of the sprayed fluid can be increased as compared with the water atomization method or the gas atomization method.
  • the molten metal can be finely pulverized.
  • the molten metal thus pulverized can be vitrified by being statically cooled while falling or scattering in the atmosphere, and a fine metal powder can be easily obtained.
  • a finer metal powder can be obtained as compared with the water atomization method and the gas atomization method.
  • a spherical metal powder can be obtained.
  • the metal powder production method and metal powder production apparatus according to the present invention are compared with the high pressure pump used in the water atomization method, the high pressure gas production equipment used in the gas atomization method, the plasma torch used in the plasma atomization method, etc. Since a relatively inexpensive and small jet burner can be used, the apparatus can be miniaturized and costs such as equipment costs and material costs can be reduced.
  • the metal powder manufacturing method and the metal powder manufacturing apparatus according to the present invention are preferably configured to inject a frame jet onto molten metal or a metal wire at a speed higher than the speed of sound.
  • the molten metal can be finely pulverized by the shock wave generated by the frame jet, and a fine metal powder can be obtained.
  • the atomizing method for the molten metal or the metal wire may be a free fall type or a confined type.
  • the method for producing a metal powder according to the present invention is such that the flame jet collides with the molten metal or the metal wire with a substantially uniform jet pressure without a gap along the outer periphery of the molten metal or the metal wire. It is preferable that the frame jet is jetted from around the metal or the metal wire.
  • the jet burner is configured such that the frame jet collides with the molten metal or the metal wire with a substantially uniform jet pressure without a gap along the outer periphery of the molten metal or the metal wire. It is preferable to inject the flame jet from the periphery of the molten metal or the metal wire.
  • the method for producing metal powder according to the present invention includes an annular injection port for injecting the frame jet, and the molten metal or the metal wire is disposed inside the frame jet injected from the injection port. Then, the flame jet may be ejected.
  • the jet burner has an annular injection port for injecting the frame jet, and the molten metal is disposed inside the frame jet injected from the injection port. Or you may provide so that the said metal wire may be arrange
  • the frame jet can be made to collide with the molten metal or the metal wire with a substantially uniform jet pressure without a gap along the outer periphery of the molten metal or the metal wire, relatively easily. Since only one jet burner and one combustion chamber are sufficient, the apparatus can be further reduced in size, and the manufacturing cost can be reduced.
  • a plurality of frame jets may be sprayed onto the molten metal or the metal wire from a rotationally symmetric position with respect to the molten metal or the metal wire.
  • the jet burner includes a plurality of jet burners that are provided to inject the molten metal or the metal wire from the rotationally symmetrical positions with respect to the molten metal or the metal wire. May be.
  • the molten metal can be finely pulverized by the collision of a plurality of frame jets, and a fine metal powder can be obtained.
  • each jet burner has an elongated injection port for injecting the frame jet, and the major axis direction of the injection port is the outer periphery of the molten metal or the metal wire It may be arranged along.
  • the flame jet ejected from the ejection port of the jet burner can be spread in a planar shape along the major axis direction of the ejection port or can be dispersed in a plurality. For this reason, uniform atomization is possible with respect to a molten metal or a metal wire by injecting a frame jet from a plurality of jet burners so as to surround the molten metal or the metal wire.
  • the number of jet burners is preferably three or more so as to surround the molten metal or the metal wire.
  • the jet burner has a heat-resistant nozzle at a tip, the heat-resistant nozzle has a through-hole through which the molten metal or the metal wire is passed, and passes through the through-hole.
  • the flame jet may be provided so as to be able to be ejected to the molten metal or the metal wire.
  • metal powder can be obtained with one jet burner.
  • the heat-resistant nozzle may divide the frame jet into a plurality of nozzles, and inject the flame jet into the molten metal or metal wire from positions that are rotationally symmetric with respect to the molten metal or metal wire passing through the through hole.
  • the heat-resistant nozzle may be made of any material as long as it is heat-resistant, such as carbon or water-cooled copper.
  • the present invention it is possible to provide a metal powder manufacturing method and a metal powder manufacturing apparatus capable of reducing the size of the apparatus, reducing the cost, and obtaining a spherical metal powder.
  • FIG. 6A is a front view showing an injection port of the metal powder manufacturing apparatus shown in FIG. 5, and FIG. 6B is a side view showing the shape of an injected frame jet.
  • A The expanded side view which shows the injection state of the flame jet of the manufacturing apparatus of the metal powder shown to Fig.1 (a),
  • B The molten metal of the manufacturing apparatus of the metal powder shown to Fig.1 (a) was used.
  • C obtained from an Fe—Si—B-based molten metal by the metal powder manufacturing apparatus shown in FIG. 1 (a), showing the state at the time of atomization.
  • FIG. 3 is an electron micrograph of (a) 200 times magnification and (b) 1200 times magnification of a metal powder obtained from a metal wire made of SUS420 alloy by the metal powder manufacturing apparatus shown in FIG. 2.
  • a metal powder production apparatus shown in FIG. 1 (a) a metal powder production apparatus shown in FIG. 1
  • a metal powder production apparatus shown in FIG. 4 (c) FIG. It is a graph which shows the particle size distribution of the metal powder manufactured by injecting a frame jet by the metal powder manufacturing apparatus shown in FIG.
  • the metal powder manufacturing apparatus 10 includes a supply unit 11 and a plurality of jet burners 12.
  • the free fall type shown in FIG. 1A will be mainly described.
  • the supply means 11 is composed of a container for storing molten metal.
  • the supply means 11 has a pouring nozzle 11a communicating with the inside at the center of the bottom surface.
  • the supply means 11 is configured to allow the molten metal stored therein to flow downward from the pouring nozzle 11a.
  • the plurality of jet burners 12 can inject the frame jet 12a at a speed faster than the speed of sound.
  • Each jet burner 12 is arranged below the supply means 11 so that the frame jet 12a can be jetted obliquely downward.
  • Each jet burner 12 is provided so as to be injected obliquely at the same angle to the downstream 1 from a rotationally symmetric position with respect to the downstream 1 of the molten metal from the pouring nozzle 11a. Thereby, each jet burner 12 concentrates and jets the flame jet 12a at one point of the downstream 1.
  • the jet burner 12 is a small-sized jet burner manufactured by HARD INDUSTRY CO., LTD. Capable of injecting the frame jet 12a at a speed higher than the speed of sound.
  • the jet burner 12 is composed of three units, and is disposed at the same distance from the downstream 1 with a central angle of 120 degrees with respect to the downstream 1 of the molten metal as a central axis. Injection is performed at an angle of 45 degrees.
  • each jet burner 12 injects the flame jet 12a with the same pressure and speed.
  • the metal powder production apparatus 10 can suitably carry out the metal powder production method of the first embodiment of the present invention.
  • the metal powder manufacturing apparatus 10 can obtain metal powder using the principle of the atomizing method.
  • the molten metal can be pulverized by injecting a high-temperature flame jet 12a onto the downstream 1 of the molten metal.
  • the flame jet 12a is hotter than the high pressure water of the water atomization method or the high pressure gas of the gas atomization method, the flow velocity of the sprayed fluid can be increased as compared with the water atomization method or the gas atomization method.
  • it since it is high temperature, it can atomize, without cooling a molten metal, and it is not necessary to make the temperature of a molten metal higher than necessary.
  • the temperature of the molten metal can be set lower by about 50 to 100 ° C. than the conventional water atomization method or gas atomization method. For this reason, the molten metal can be finely pulverized under conditions that make it more amorphous.
  • the molten metal thus pulverized can be vitrified by being statically cooled while falling or scattering in the atmosphere, and a fine metal powder can be easily obtained.
  • a finer metal powder can be obtained as compared with the water atomization method and the gas atomization method.
  • each jet burner 12 injects the flame jet 12a at a speed higher than the sound speed
  • the metal powder manufacturing apparatus 10 can finely pulverize the molten metal by the shock wave generated by the flame jet 12a.
  • each jet burner 12 concentrates on one point of the downstream 1 at the same angle from a rotationally symmetrical position with respect to the downstream 1 of the molten metal, a plurality of frame jets are injected.
  • the molten metal can be pulverized more finely, and a finer metal powder can be obtained.
  • the obtained metal powder can be easily recovered by providing a container or a chamber below the supply means 11 so as to cover the periphery and the lower part of each frame jet 12a.
  • the metal powder manufacturing apparatus 10 is a relatively inexpensive and small jet compared to a high pressure pump used in the water atomizing method, a high pressure gas manufacturing facility used in the gas atomizing method, a plasma torch used in the plasma atomizing method, and the like.
  • the burner 12 can be used, the apparatus can be miniaturized, and costs such as equipment costs and material costs can be reduced.
  • the metal powder production apparatus 10 may be a confined type as shown in FIG.
  • the confined type not only the same effect as the free fall type can be obtained, but also the molten metal can be supplied directly to the atomizing zone, so that the kinetic energy of the flame jet 12a of each jet burner 12 can be efficiently reduced. Atomization can be performed.
  • the conventional gas atomization or the like has a problem that the pouring nozzle 11a is cooled by the injection gas or the like, the molten metal is solidified, and the pouring nozzle 11a is easily blocked.
  • the metal powder manufacturing apparatus 10 shown in FIG. 1 (b) since the high-temperature flame jet 12a is injected from each jet burner 12, the pouring nozzle 11a is not cooled, and solidification of molten metal or pouring is performed. It is possible to prevent the nozzle 11a from being blocked.
  • the metal powder manufacturing apparatus 10 is provided such that the supply means 11 can continuously supply the metal wire 2 downward, and each jet burner 12 is connected to the metal wire 2. You may provide so that the flame jet 12a may be injected. In this case, the molten metal can be pulverized while the metal wire 2 is melted by injecting the high-temperature frame jet 12 a onto the metal wire 2.
  • the material of the metal wire 2 is, for example, stainless steel or SUS420 alloy.
  • the metal powder manufacturing apparatus 10 includes a single jet burner 12 having a heat-resistant nozzle at the tip, the heat-resistant nozzle having a through-hole through which molten metal or metal wire is passed, and a flame jet inside. 12a may be divided into a plurality of portions, and the molten metal or metal wire may be sprayed at the same angle from a rotationally symmetric position with respect to the molten metal or metal wire passing through the through hole. In this case, metal powder can be obtained with one jet burner 12.
  • the heat-resistant nozzle may be composed of a nozzle used in a water atomizing method or a gas atomizing method formed of a heat-resistant material such as carbon or water-cooled copper.
  • the metal powder manufacturing apparatus 10 is configured so that the jet direction of the frame jet 12 a forms a predetermined angle with respect to the length direction of the main body 12 b of the jet burner 12.
  • the injection nozzle 12c may be bent.
  • the injection nozzle 12c and the pouring nozzle 11a of the supply means 11 can be easily brought close to each other. This is particularly effective when the metal powder manufacturing apparatus 10 is a confined type.
  • FIG. 4 shows a metal powder production apparatus and a metal powder production method according to the second embodiment of the present invention.
  • the metal powder manufacturing apparatus 20 is a confined type, and has a supply means 11 and a jet burner 12.
  • the same components as those in the metal powder manufacturing apparatus 10 according to the first embodiment of the present invention are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
  • the supply means 11 has a container 21 for storing molten metal, and has a supply port 21 a communicating with the outside at the center of the bottom of the container 21. Moreover, the supply means 11 has the hot_water
  • the pouring nozzle 11a has a tapered shape in which the outer shape of the tip gradually narrows downward.
  • the supply means 11 can supply the molten metal stored in the container 21 from the pouring nozzle 11a.
  • the jet burner 12 has one combustion chamber (not shown) and an annular injection port 24 for injecting a flame jet.
  • the jet burner 12 is attached to the lower part of the container 21 of the supply means 11 so that the pouring nozzle 11 a is disposed inside the injection port 24.
  • the jet burner 12 is formed so that the injection port 24 follows the tapered shape of the tip of the pouring nozzle 11a.
  • the jet burner 12 is configured to be able to inject a frame jet without any gap along the circumference of the injection port 24 from the injection port 24 toward the front inner side.
  • the jet burner 12 is capable of injecting a flame jet from a periphery of the molten metal supplied from the pouring nozzle 11a so as to be concentrated at one location of the molten metal so as to be oblique to the flow direction of the molten metal. It has become.
  • the jet burner 12 is configured such that the flame jet can collide with the molten metal with almost uniform jet pressure without any gap along the outer periphery of the molten metal supplied from the pouring nozzle 11a.
  • the jet burner 12 has a water cooling part 25 for circulating the water around the injection port 24 to cool the injection port 24.
  • the jet burner 12 can eject the frame jet at a speed higher than the speed of sound.
  • the jet burner 12 injects the molten metal supplied downward from the pouring nozzle 11a at an angle of about 40 degrees obliquely from above.
  • the metal powder manufacturing method according to the second embodiment of the present invention is preferably implemented by the metal powder manufacturing apparatus 20.
  • the flame jet injected from the periphery of the molten metal is substantially uniform with no gap along the outer periphery of the molten metal. Since it collides with the molten metal with pressure, it is possible to prevent the molten metal from scattering so as to escape from the frame jet at the collision position. For this reason, uniform atomization with respect to a molten metal is possible, and a fine and uniform spherical metal powder can be obtained. In addition, the production efficiency of the metal powder can be increased. In a specific example, the diameter of the manufactured metal powder was about 5 ⁇ m.
  • the metal powder manufacturing apparatus 20 and the metal powder manufacturing method of the second embodiment of the present invention only one jet burner 12 and one combustion chamber are required, so that the apparatus can be further downsized. The manufacturing cost can be further reduced.
  • the metal powder manufacturing apparatus 20 and the metal powder manufacturing method according to the second embodiment of the present invention may inject a high-temperature frame jet onto the metal wire instead of the molten metal.
  • the metal powder manufacturing apparatus 30 includes a supply unit 11 and a jet burner 12.
  • the same components as those of the metal powder manufacturing apparatus 10 according to the first embodiment of the present invention and the metal powder manufacturing apparatus 20 according to the second embodiment of the present invention are denoted by the same reference numerals. In addition, overlapping explanation is omitted.
  • the metal powder manufacturing apparatus 30 includes three jet burners 12 each having an elongated injection port 24 for injecting the frame jet 12a.
  • Each jet burner 12 is arranged so that the major axis direction of the injection port 24 is along the outer periphery of the drooping downstream 1 of the molten metal.
  • Each jet burner 12 is provided so as to be able to inject the frame jet 12a at the same pressure and speed so as to collide with the downstream 1 from the rotationally symmetrical position with respect to the downstream 1 at the same angle.
  • the injection port 24 has a gourd shape in which two circles are connected. Further, each jet burner 12 is disposed at the same distance from the downstream 1 with a central angle of 120 degrees with respect to the downstream 1 of the molten metal as a central axis. It is designed to spray at an angle of degrees.
  • the metal powder production method according to the third embodiment of the present invention is preferably implemented by the metal powder production apparatus 30.
  • the metal powder manufacturing apparatus 30 and the metal powder manufacturing method according to the third embodiment of the present invention as shown in FIG. 6 (b), uses a flame jet 12a injected from the injection port 24 of the jet burner 12, It can be spread in a planar shape along the major axis direction of the injection port 24 or can be dispersed in a plurality. For this reason, by injecting flame jets 12a from the jet burners 12 so as to surround the downstream 1 of the molten metal, there is no gap along the outer periphery of the downstream 1 of the molten metal, and the molten metal with a substantially uniform jet pressure. It can be made to collide with the downstream 1 of this.
  • the metal powder manufacturing apparatus 30 and the metal powder manufacturing method according to the third embodiment of the present invention may inject the high-temperature frame jet 12a onto the metal wire instead of the molten metal.
  • FIG. 7A shows a state when the frame jet 12a is injected by the metal powder manufacturing apparatus 10 shown in FIG. As shown in FIG. 7A, it can be confirmed that a plurality of frame jets converges to one.
  • a fine spherical Fe 75 Si 10 B 15 amorphous powder is obtained by injecting a flame jet 12a onto an Fe—Si—B based molten metal. It was.
  • FIGS. 7B to 7D show the state in the vicinity of the injection position of the frame jet 12a and the electron micrographs of the obtained powder.
  • a fine spherical metal powder was obtained by spraying the frame jet 12a onto the metal wire 2 made of stainless steel SUS420 using the metal powder manufacturing apparatus 10 shown in FIG. An electron micrograph of the obtained metal powder is shown in FIG.
  • a fine spherical metal powder is obtained by injecting the frame jet 12a onto the metal wire 2 of the TIG welding rod TGS50 (manufactured by Kobe Steel). It was. An electron micrograph of the obtained metal powder is shown in FIG.
  • a fine spherical metal powder was obtained by spraying the frame jet 12a onto the metal wire 2 made of SUS420 alloy using the metal powder manufacturing apparatus 10 shown in FIG. An electron micrograph of the obtained metal powder is shown in FIG.
  • the particle size distribution of the metal powder produced by each apparatus is shown in FIG.
  • the combustion parameters per jet burner 12 are 700 L / min for the air amount and 130 mL / min for the fuel (kerosene).
  • the combustion parameters in the metal powder production apparatus 20 shown in FIG. 4 are an air amount of 3000 L / min and a fuel (kerosene) of 550 mL / min.
  • the combustion parameters of the Laval nozzle type are 3000 L / min for the air amount and 550 mL / min for the fuel (kerosene).
  • the metal powder produced by the metal powder production apparatus 10 shown in FIG. 1A and the metal powder production apparatus 20 shown in FIG. The largest number was 40 to 70 ⁇ m, and most was 100 ⁇ m or less. Moreover, most of the metal powders manufactured with the Laval nozzle type were those having a diameter of 50 ⁇ m or less. From these results, it was confirmed that fine powder could be obtained by injection of flame jet. Moreover, since the diameter of the metal powder to be manufactured is smaller in the Laval nozzle type, it can be said that the diameter of the metal powder to be manufactured decreases as the speed of the frame jet increases.

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Abstract

本発明は、装置の小型化が可能で、コストの低減を図ることができ、球状の金属粉末を得ることができる金属粉末の製造方法および金属粉末の製造装置を提供する。 本発明においては、供給手段１１が溶融金属の垂下流１を供給し、複数のジェットバーナー１２が、供給手段１１により供給される溶融金属の垂下流１に対して、フレームジェット１２ａを噴射する。各ジェットバーナー１２は、溶融金属の垂下流１に対して互いに回転対称の位置から、垂下流１に同じ角度でフレームジェット１２ａを噴射するよう設けられている。

Description

金属粉末の製造方法および金属粉末の製造装置
　本発明は、金属粉末の製造方法および金属粉末の製造装置に関する。
　従来、金属粉末を製造する方法として、アトマイズ法が広く用いられている（例えば、非特許文献１参照）。代表的なアトマイズ法としては、溶融金属（金属溶湯）に水やガスを噴射して溶融金属を粉砕し、液滴として凝固させることにより粉末を製造する水アトマイズ法やガスアトマイズ法がある（例えば、特許文献１乃至３参照）。また、溶融金属を回転するディスク上に落下させ、接線方向にせん断力を加えて破砕し、粉末を製造するディスクアトマイズ法や、プラズマの熱および運動エネルギーにより、Ｔｉ等の細線を粒子にするプラズマアトマイズ法もある。
村上　陽太郎、"高品質金属粉末の製造法"、[online]、2003年9月、（財）大阪科学技術センター付属ニューマテリアルセンター、［平成23年1月17日検索］、インターネット<URL:http://www.ostec.or.jp/nmc/TOP/nmc_news.htm>
特開２００６－６３３５７号公報 特開２００５－１３９４７１号公報 特開２００４－１８３０４９号公報
　しかしながら、水アトマイズ法では、高速で水を噴射するための高圧ポンプが高価であるため、設備費が嵩むという課題があった。また、製造される粉末が不規則な形状を成しているという課題もあった。ガスアトマイズ法では、高圧ガスを使用するため高圧ガス製造設備が必要であり、使用するガスも高価であるため、材料費や設備費などのコストが嵩むという課題があった。ディスクアトマイズ法では、微細な金属粉末を製造するためにはディスクの回転数を上げる必要があり、そのための設備費が嵩むという課題とともに、そもそもディスクの回転数を上げるにしても、既に技術的に限界に達しているという課題があった。プラズマアトマイズ法では、プラズマトーチが高価であるという課題があった。また、プラズマトーチを使用するため、装置が大型化してしまうという課題もあった。
　本発明は、このような課題に着目してなされたもので、装置の小型化が可能で、コストの低減を図ることができ、球状の金属粉末を得ることができる金属粉末の製造方法および金属粉末の製造装置を提供することを目的としている。
　上記目的を達成するために、本発明に係る金属粉末の製造方法は、溶融金属または金属線材に対してフレームジェットを噴射することにより金属粉末を得ることを、特徴とする。
　本発明に係る金属粉末の製造装置は、溶融金属または金属線材を供給する供給手段と、前記供給手段により供給される前記溶融金属または前記金属線材に対してフレームジェットを噴射するジェットバーナーとを有することを、特徴とする。
　本発明に係る金属粉末の製造装置は、本発明に係る金属粉末の製造方法を好適に実施することができる。本発明に係る金属粉末の製造方法および金属粉末の製造装置は、アトマイズ法の原理を利用して、金属粉末を得ることができる。溶融金属に対して高温のフレームジェットを噴射することにより、溶融金属を粉砕することができる。また、金属線材に対して高温のフレームジェットを噴射することにより、金属線材を溶かしつつ、その溶融金属を粉砕することができる。このとき、フレームジェットが水アトマイズ法の高圧水やガスアトマイズ法の高圧ガスより高温であるため、水アトマイズ法やガスアトマイズ法に比べて、吹き付ける流体の流速を上げることが可能になる。また、高温であるため、溶融金属を冷却することなくアトマイズすることができ、必要以上に溶融金属の温度を高くしておく必要もない。このため、溶融金属を細かく粉砕することができる。こうして粉砕された溶融金属を、雰囲気中を落下または飛散するうちに静的に過冷却させてガラス化させることが可能になるとともに、微細な金属粉末を容易に得ることができる。また、水アトマイズ法やガスアトマイズ法に比べて、より微細な金属粉末を得ることができる。
　また、本発明に係る金属粉末の製造方法および金属粉末の製造装置によれば、球状の金属粉末を得ることができる。本発明に係る金属粉末の製造方法および金属粉末の製造装置は、水アトマイズ法で使用される高圧ポンプやガスアトマイズ法で使用される高圧ガス製造設備、プラズマアトマイズ法で使用されるプラズマトーチ等と比べて、比較的安価で小型のジェットバーナーを使用可能であるため、装置の小型化が可能で、設備費や材料費などのコストの低減を図ることができる。
　本発明に係る金属粉末の製造方法および金属粉末の製造装置は、フレームジェットを音速よりも速い速度で溶融金属または金属線材に噴射するよう構成されていることが好ましい。この場合、フレームジェットの発する衝撃波により、溶融金属を細かく粉砕することができ、微細な金属粉末を得ることができる。また、本発明に係る金属粉末の製造方法および金属粉末の製造装置で、溶融金属または金属線材に対するアトマイズ方式は、フリーフォール型であってもコンファインド型であってもよい。本発明に係る金属粉末の製造方法および金属粉末の製造装置は、溶融金属の流れ方向または金属線材の伸長方向に対して斜交するよう、フレームジェットを噴射することが好ましい。この場合、効率良く微細な金属粉末を製造することができる。
　本発明に係る金属粉末の製造方法は、前記フレームジェットが前記溶融金属または前記金属線材の外周に沿って隙間なく、ほぼ均等なジェット圧で前記溶融金属または前記金属線材に衝突するよう、前記溶融金属または前記金属線材の周囲から前記フレームジェットを噴射することが好ましい。本発明に係る金属粉末の製造装置で、前記ジェットバーナーは、前記フレームジェットが前記溶融金属または前記金属線材の外周に沿って隙間なく、ほぼ均等なジェット圧で前記溶融金属または前記金属線材に衝突するよう、前記溶融金属または前記金属線材の周囲から前記フレームジェットを噴射することが好ましい。この場合、フレームジェットが溶融金属または金属線材に衝突する位置で、溶融金属または金属線材がフレームジェットから逃れるように飛散するのを防ぐことができる。このため、溶融金属または金属線材に対して均一なアトマイズが可能であり、微細で均一な球状の金属粉末を得ることができる。また、金属粉末の製造効率を高めることもできる。
　本発明に係る金属粉末の製造方法は、前記フレームジェットを噴射するための円環状の噴射口を有し、前記噴射口から噴射される前記フレームジェットの内側に前記溶融金属または前記金属線材を配置して、前記フレームジェットを噴射してもよい。本発明に係る金属粉末の製造装置で、前記ジェットバーナーは、前記フレームジェットを噴射するための円環状の噴射口を有し、前記噴射口から噴射される前記フレームジェットの内側に、前記溶融金属または前記金属線材が配置されるよう設けられていてもよい。この場合、比較的容易に、フレームジェットを溶融金属または金属線材の外周に沿って隙間なく、ほぼ均等なジェット圧で溶融金属または金属線材に衝突させることができる。ジェットバーナーが１台で、燃焼室も１つで足りるため、さらなる装置の小型化が可能で、製造コストを低減することができる。
　本発明に係る金属粉末の製造方法は、複数のフレームジェットを、前記溶融金属または前記金属線材に対して互いに回転対称の位置から、前記溶融金属または前記金属線材に噴射してもよい。本発明に係る金属粉末の製造装置で、前記ジェットバーナーは複数から成り、前記溶融金属または前記金属線材に対して互いに回転対称の位置から、前記溶融金属または前記金属線材に噴射するよう設けられていてもよい。この場合、複数のフレームジェットの衝突により、溶融金属を細かく粉砕することができ、微細な金属粉末を得ることができる。
　また、この複数のジェットバーナーを有する場合、各ジェットバーナーは、それぞれ前記フレームジェットを噴射するための細長い形状の噴射口を有し、前記噴射口の長径方向が前記溶融金属または前記金属線材の外周に沿うよう配置されていてもよい。この場合、ジェットバーナーの噴射口から噴射されるフレームジェットを、噴射口の長径方向に沿って面状に拡げたり、複数に分散させたりすることができる。このため、溶融金属または金属線材を囲うように、複数のジェットバーナーからフレームジェットを噴射することにより、溶融金属または金属線材に対して均一なアトマイズが可能である。ジェットバーナーは、溶融金属または金属線材を囲えるよう、３台以上であることが好ましい。
　本発明に係る金属粉末の製造装置で、前記ジェットバーナーは先端に耐熱ノズルを有し、前記耐熱ノズルは内部に前記溶融金属または前記金属線材を通す通孔を有し、前記通孔を通る前記溶融金属または前記金属線材に対して前記フレームジェットを噴射可能に設けられていてもよい。この場合、１台のジェットバーナーで金属粉末を得ることができる。耐熱ノズルは、その内部でフレームジェットを複数に分けて、通孔を通る溶融金属または金属線材に対して互いに回転対称の位置から、溶融金属または金属線材に噴射するようになっていてもよい。耐熱ノズルは、カーボン製や水冷銅製など、耐熱性であればいかなる材質から成っていてもよい。
　本発明によれば、装置の小型化が可能で、コストの低減を図ることができ、球状の金属粉末を得ることができる金属粉末の製造方法および金属粉末の製造装置を提供することができる。
本発明の第１の実施の形態の金属粉末の製造装置の（ａ）フリーフォール型、（ｂ）コンファインド型での使用状態を示す側面図である。 本発明の第１の実施の形態の金属粉末の製造装置の、金属線材を使用する変形例を示す側面図である。 本発明の第１の実施の形態の金属粉末の製造装置の、ジェットバーナーの変形例を示す側面図である。 本発明の第２の実施の形態の金属粉末の製造装置を示す縦断面図である。 本発明の第３の実施の形態の金属粉末の製造装置を示す（ａ）斜視図、（ｂ）使用状態の斜視図である。 図５に示す金属粉末の製造装置の（ａ）噴射口を示す正面図、（ｂ）噴射したフレームジェットの形状を示す側面図である。 （ａ）図１（ａ）に示す金属粉末の製造装置の、フレームジェットの噴射状態を示す拡大側面図、（ｂ）図１（ａ）に示す金属粉末の製造装置の、溶融金属を用いたときのアトマイズ時の状態を示す、フレームジェットの噴射位置付近の拡大側面図、（ｃ）図１（ａ）に示す金属粉末の製造装置により、Ｆｅ－Ｓｉ－Ｂ系の溶融金属から得られたＦｅ７５Ｓｉ１０Ｂ１５非晶質粉末の電子顕微鏡写真、（ｄ）その粉末粒子をさらに拡大した電子顕微鏡写真である。 図２に示す金属粉末の製造装置により、ステンレス鋼ＳＵＳ４２０の金属線材から得られた金属粉末の（ａ）倍率１５０倍、（ｂ）倍率１０００倍の電子顕微鏡写真である。 図２に示す金属粉末の製造装置により、ＴＩＧ溶接棒の金属線材（株式会社神戸製鋼所製ＴＧＳ５０）から得られた金属粉末の（ａ）倍率１５００倍、（ｂ）倍率２５００倍の電子顕微鏡写真である。 図２に示す金属粉末の製造装置により、ＳＵＳ４２０合金から成る金属線材から得られた金属粉末の（ａ）倍率２００倍、（ｂ）倍率１２００倍電子顕微鏡写真である。 Ｆｅ－Ｓｉ１０－Ｂ１５合金の溶融金属に対して、（ａ）図１（ａ）に示す金属粉末の製造装置、（ｂ）図４に示す金属粉末の製造装置、（ｃ）図４に示す金属粉末の製造装置で噴射口がラバールノズル型のものにより、フレームジェットを噴射して製造した金属粉末の粒度分布を示すグラフである。
　以下、図面に基づき、本発明の実施の形態について説明する。
　図１および図３は、本発明の第１の実施の形態の金属粉末の製造装置を示している。
　図１に示すように、金属粉末の製造装置１０は、供給手段１１と複数のジェットバーナー１２とを有している。なお、以下の説明では、主に、図１（ａ）に示すフリーフォール型について説明を行う。
　図１（ａ）に示すように、供給手段１１は、溶融金属を収納する容器から成っている。供給手段１１は、底面の中央に、内部に連通する注湯ノズル１１ａを有している。供給手段１１は、内部に収納した溶融金属を、注湯ノズル１１ａから下方に流出可能に構成されている。
　複数のジェットバーナー１２は、音速よりも速い速度でフレームジェット１２ａを噴射可能になっている。各ジェットバーナー１２は、供給手段１１の下方で、フレームジェット１２ａを斜め下方に向かって噴射可能に配置されている。各ジェットバーナー１２は、注湯ノズル１１ａからの溶融金属の垂下流１に対して互いに回転対称の位置から、垂下流１に同じ角度で斜交して噴射するよう設けられている。これにより、各ジェットバーナー１２は、垂下流１の１点にフレームジェット１２ａを集中して噴射するようになっている。
　なお、具体的な一例では、ジェットバーナー１２は、小型で、音速よりも速い速度でフレームジェット１２ａを噴射可能なハード工業有限会社製のジェットバーナーから成っている。ジェットバーナー１２は３台から成り、溶融金属の垂下流１を中心軸として中心角度が１２０度の間隔で、垂下流１から同じ距離の位置に配置され、垂下流１に対して斜め上方から約４５度の角度で噴射するようになっている。また、各ジェットバーナー１２は、同じ圧力および速度でフレームジェット１２ａを噴射するようになっている。
　金属粉末の製造装置１０は、本発明の第１の実施の形態の金属粉末の製造方法を好適に実施することができる。金属粉末の製造装置１０は、アトマイズ法の原理を利用して、金属粉末を得ることができる。溶融金属の垂下流１に対して高温のフレームジェット１２ａを噴射することにより、溶融金属を粉砕することができる。このとき、フレームジェット１２ａが水アトマイズ法の高圧水やガスアトマイズ法の高圧ガスより高温であるため、水アトマイズ法やガスアトマイズ法に比べて、吹き付ける流体の流速を上げることが可能になる。また、高温であるため、溶融金属を冷却することなくアトマイズすることができ、必要以上に溶融金属の温度を高くしておく必要もない。例えば、従来の水アトマイズ法やガスアトマイズ法と比べて、溶融金属の温度を５０～１００℃程度低めに設定しておくことができる。このため、よりアモルファス化しやすい条件で溶融金属を細かく粉砕することができる。こうして粉砕された溶融金属を、雰囲気中を落下または飛散するうちに静的に過冷却させてガラス化させることが可能になるとともに、微細な金属粉末を容易に得ることができる。また、水アトマイズ法やガスアトマイズ法に比べて、より微細な金属粉末を得ることができる。
　また、金属粉末の製造装置１０は、各ジェットバーナー１２が音速よりも速い速度でフレームジェット１２ａを噴射した場合には、フレームジェット１２ａの発する衝撃波により、溶融金属を細かく粉砕することができる。さらに、各ジェットバーナー１２が、溶融金属の垂下流１に対して互いに回転対称の位置から、同じ角度で、垂下流１の１点に集中してフレームジェット１２ａを噴射するため、複数のフレームジェット１２ａの衝突により、溶融金属をより細かく粉砕することができ、より微細な金属粉末を得ることができる。なお、各フレームジェット１２ａの周囲および下方を覆うよう、供給手段１１の下方に容器やチャンバーを設けることにより、得られた金属粉末を容易に回収することができる。
　金属粉末の製造装置１０は、水アトマイズ法で使用される高圧ポンプやガスアトマイズ法で使用される高圧ガス製造設備、プラズマアトマイズ法で使用されるプラズマトーチ等と比べて、比較的安価で小型のジェットバーナー１２を使用することができ、装置の小型化が可能で、設備費や材料費などのコストの低減を図ることができる。
　なお、金属粉末の製造装置１０は、図１（ｂ）に示すコンファインド型であってもよい。コンファインド型の場合、フリーフォール型と同様の効果が得られるだけでなく、アトマイズゾーンへ直接溶融金属を供給できるため、各ジェットバーナー１２のフレームジェット１２ａの運動エネルギーが減衰しない状態で効率的にアトマイズを行うことができる。また、コンファインド型の場合、従来のガスアトマイズ等では、噴射ガス等により注湯ノズル１１ａが冷却されて溶融金属が凝固し、注湯ノズル１１ａを閉塞しやすいという問題があった。これに対し、図１（ｂ）に示す金属粉末の製造装置１０では、各ジェットバーナー１２から高温のフレームジェット１２ａを噴射するため、注湯ノズル１１ａが冷却されず、溶融金属の凝固や注湯ノズル１１ａの閉塞が発生するのを防止することができる。
　また、図２に示すように、金属粉末の製造装置１０は、供給手段１１が下方に向かって金属線材２を連続的に供給可能に設けられ、各ジェットバーナー１２が、金属線材２に対してフレームジェット１２ａを噴射するよう設けられていてもよい。この場合、金属線材２に対して高温のフレームジェット１２ａを噴射することにより、金属線材２を溶かしつつ、その溶融した金属を粉砕することができる。金属線材２の材質は、例えば、ステンレス鋼、ＳＵＳ４２０合金である。
　また、金属粉末の製造装置１０で、ジェットバーナー１２が１台から成り、先端に耐熱ノズルを有し、耐熱ノズルは、内部に溶融金属または金属線材を通す通孔を有し、内部でフレームジェット１２ａを複数に分けて、通孔を通る溶融金属または金属線材に対して互いに回転対称の位置から、溶融金属または金属線材に同じ角度で噴射可能に設けられていてもよい。この場合、１台のジェットバーナー１２で金属粉末を得ることができる。耐熱ノズルは、水アトマイズ法やガスアトマイズ法で使用されるノズルを、カーボンまたは水冷銅などの耐熱性の素材で形成したものから成っていてもよい。
　また、図３に示すように、金属粉末の製造装置１０は、フレームジェット１２ａの噴射方向が、ジェットバーナー１２の本体１２ｂの長さ方向に対して所定の角度を成すよう、各ジェットバーナー１２の噴射ノズル１２ｃが折り曲げられていてもよい。この場合、噴射ノズル１２ｃと供給手段１１の注湯ノズル１１ａとを容易に近接させることができる。特に、金属粉末の製造装置１０がコンファインド型の場合に効果的である。
　図４は、本発明の第２の実施の形態の金属粉末の製造装置および金属粉末の製造方法を示している。
　図４に示すように、金属粉末の製造装置２０は、コンファインド型であり、供給手段１１とジェットバーナー１２とを有している。
　なお、以下の説明では、本発明の第１の実施の形態の金属粉末の製造装置１０と同一の構成には同一の符号を付して、重複する説明を省略する。
　供給手段１１は、溶融金属を収納する容器２１を有し、容器２１の底部中央に外部に連通した供給口２１ａを有している。また、供給手段１１は、供給口２１ａに連通し、容器２１の底面の中央に断熱板２２（例、アルミナ板）を介して取り付けられた注湯ノズル１１ａを有している。注湯ノズル１１ａは、先端の外形が下方に向かって徐々に細くなるテーパー状を成している。供給手段１１は、容器２１の内部に収納した溶融金属を、注湯ノズル１１ａから供給可能になっている。
　ジェットバーナー１２は、１つの燃焼室（図示せず）と、フレームジェットを噴射するための円環状の噴射口２４とを有している。ジェットバーナー１２は、噴射口２４の内側に注湯ノズル１１ａが配置されるよう、供給手段１１の容器２１の下部に取り付けられている。ジェットバーナー１２は、噴射口２４が注湯ノズル１１ａの先端のテーパー形状に沿うよう形成されている。
　ジェットバーナー１２は、噴射口２４から前方内側に向かって、噴射口２４の円周に沿って隙間なく、フレームジェットを噴射可能に構成されている。これにより、ジェットバーナー１２は、注湯ノズル１１ａから供給される溶融金属の周囲から、溶融金属の流れ方向に対して斜交するよう、溶融金属の一箇所に集中してフレームジェットを噴射可能になっている。また、ジェットバーナー１２は、注湯ノズル１１ａから供給される溶融金属の外周に沿って隙間なく、ほぼ均等なジェット圧で、フレームジェットが溶融金属に衝突可能になっている。
　また、ジェットバーナー１２は、噴射口２４の周囲に、水を循環させて噴射口２４を冷却するための水冷部２５を有している。なお、ジェットバーナー１２は、音速よりも速い速度でもフレームジェットを噴射可能になっている。また、具体的な一例では、ジェットバーナー１２は、注湯ノズル１１ａから下方に供給される溶融金属に対して、斜め上方から約４０度の角度で噴射するようになっている。
　本発明の第２の実施の形態の金属粉末の製造方法は、金属粉末の製造装置２０により好適に実施される。本発明の第２の実施の形態の金属粉末の製造装置２０および金属粉末の製造方法は、溶融金属の周囲から噴射されたフレームジェットが、溶融金属の外周に沿って隙間なく、ほぼ均等なジェット圧で溶融金属に衝突するため、その衝突位置で、溶融金属がフレームジェットから逃れるように飛散するのを防ぐことができる。このため、溶融金属に対して均一なアトマイズが可能であり、微細で均一な球状の金属粉末を得ることができる。また、金属粉末の製造効率を高めることもできる。なお、具体的な一例では、製造された金属粉末の直径は、約５μｍであった。
　本発明の第２の実施の形態の金属粉末の製造装置２０および金属粉末の製造方法は、ジェットバーナー１２が１台で、燃焼室も１つで足りるため、さらなる装置の小型化が可能で、製造コストもさらに低減することができる。なお、本発明の第２の実施の形態の金属粉末の製造装置２０および金属粉末の製造方法は、溶融金属でなく、金属線材に対して高温のフレームジェットを噴射してもよい。
　図５および図６は、本発明の第３の実施の形態の金属粉末の製造装置および金属粉末の製造方法を示している。
　図５および図６に示すように、金属粉末の製造装置３０は、供給手段１１とジェットバーナー１２とを有している。
　なお、以下の説明では、本発明の第１の実施の形態の金属粉末の製造装置１０および本発明の第２の実施の形態の金属粉末の製造装置２０と同一の構成には同一の符号を付して、重複する説明を省略する。
　金属粉末の製造装置３０は、ジェットバーナー１２が３台から成り、それぞれフレームジェット１２ａを噴射するための細長い形状の噴射口２４を有している。各ジェットバーナー１２は、噴射口２４の長径方向が溶融金属の垂下流１の外周に沿うよう配置されている。各ジェットバーナー１２は、垂下流１に対して互いに回転対称の位置から、垂下流１に同じ角度で衝突するよう、同じ圧力および速度でフレームジェット１２ａを噴射可能に設けられている。
　図５および図６に示す具体的な一例では、噴射口２４は、２つの円を接続したひょうたん型の形状を成している。また、各ジェットバーナー１２は、溶融金属の垂下流１を中心軸として中心角度が１２０度の間隔で、垂下流１から同じ距離の位置に配置され、垂下流１に対して斜め上方から約４０度の角度で噴射するようになっている。
　本発明の第３の実施の形態の金属粉末の製造方法は、金属粉末の製造装置３０により好適に実施される。本発明の第３の実施の形態の金属粉末の製造装置３０および金属粉末の製造方法は、図６（ｂ）に示すように、ジェットバーナー１２の噴射口２４から噴射されるフレームジェット１２ａを、噴射口２４の長径方向に沿って面状に拡げたり、複数に分散させたりすることができる。このため、溶融金属の垂下流１を囲うように、各ジェットバーナー１２からフレームジェット１２ａを噴射することにより、溶融金属の垂下流１の外周に沿って隙間なく、ほぼ均等なジェット圧で溶融金属の垂下流１に衝突させることができる。また、その衝突位置で、溶融金属がフレームジェット１２ａから逃れるように飛散するのを防ぐことができる。このため、溶融金属に対して均一なアトマイズが可能であり、微細で均一な球状の金属粉末を得ることができる。また、金属粉末の製造効率を高めることもできる。
　なお、本発明の第３の実施の形態の金属粉末の製造装置３０および金属粉末の製造方法は、溶融金属でなく、金属線材に対して高温のフレームジェット１２ａを噴射してもよい。
　図１（ａ）に示す金属粉末の製造装置１０によりフレームジェット１２ａを噴射したときの状態を、図７（ａ）に示す。図７（ａ）に示すように、複数のフレームジェットが１つに収束していることが確認できる。この金属粉末の製造装置１０を用いて、Ｆｅ－Ｓｉ－Ｂ系の溶融金属に対して、フレームジェット１２ａを噴射することにより、微細な球状のＦｅ７５Ｓｉ１０Ｂ１５非晶質粉末が得られた。このときのフレームジェット１２ａの噴射位置付近の様子、および、得られた粉末の電子顕微鏡写真を図７（ｂ）乃至（ｄ）に示す。
　図２に示す金属粉末の製造装置１０を用いて、ステンレス鋼ＳＵＳ４２０の金属線材２に対してフレームジェット１２ａを噴射することにより、微細な球状の金属粉末が得られた。得られた金属粉末の電子顕微鏡写真を図８に示す。
　図２に示す金属粉末の製造装置１０を用いて、ＴＩＧ溶接棒ＴＧＳ５０（株式会社神戸製鋼所製）の金属線材２に対してフレームジェット１２ａを噴射することにより、微細な球状の金属粉末が得られた。得られた金属粉末の電子顕微鏡写真を図９に示す。
　図２に示す金属粉末の製造装置１０を用いて、ＳＵＳ４２０合金から成る金属線材２に対してフレームジェット１２ａを噴射することにより、微細な球状の金属粉末が得られた。得られた金属粉末の電子顕微鏡写真を図１０に示す。
　Ｆｅ－Ｓｉ１０－Ｂ１５合金の溶融金属に対して、図１（ａ）に示す金属粉末の製造装置１０、図４に示す金属粉末の製造装置２０、および図４に示す金属粉末の製造装置２０で噴射口２４がラバールノズル型のものにより、それぞれフレームジェットを噴射して金属粉末を製造した。各装置で製造された金属粉末の粒度分布を、図１１に示す。
　なお、図１（ａ）に示す金属粉末の製造装置１０では、４台のジェットバーナー１２を、溶融金属の垂下流１を中心軸として中心角度が９０度の間隔で配置し、垂下流１に対してそれぞれ斜め上方から約１５度の角度（頂角３０度）でフレームジェットを噴射した。また、ジェットバーナー１２の１台あたりの燃焼パラメーターは、空気量が７００Ｌ／ｍｉｎ、燃料（灯油）が１３０ｍＬ／ｍｉｎである。図４に示す金属粉末の製造装置２０での燃焼パラメーターは、空気量が３０００Ｌ／ｍｉｎ、燃料（灯油）が５５０ｍＬ／ｍｉｎである。ラバールノズル型のものの燃焼パラメーターは、空気量が３０００Ｌ／ｍｉｎ、燃料（灯油）が５５０ｍＬ／ｍｉｎである。
　図１１（ａ）および（ｂ）に示すように、図１（ａ）に示す金属粉末の製造装置１０、および、図４に示す金属粉末の製造装置２０で製造された金属粉末は、直径が４０～７０μｍのものが最も多く、ほとんどが１００μｍ以下であった。また、ラバールノズル型のもので製造された金属粉末は、直径が５０μｍ以下のものがほとんどであった。これらの結果から、フレームジェットの噴射により、微細な粉末が得られることが確認された。また、ラバールノズル型のものの方が、製造される金属粉末の径が小さくなっていることから、フレームジェットの速度が大きいほど、製造される金属粉末の径が小さくなるといえる。
　　１　垂下流
　　２　金属線材
　１０　金属粉末の製造装置
　１１　供給手段
　　１１ａ　注湯ノズル
　１２　ジェットバーナー
　　１２ａ　フレームジェット
 

Claims (10)

  1. 　溶融金属または金属線材に対してフレームジェットを噴射することにより金属粉末を得ることを特徴とする金属粉末の製造方法。
  2. 　前記フレームジェットが前記溶融金属または前記金属線材の外周に沿って隙間なく、ほぼ均等なジェット圧で前記溶融金属または前記金属線材に衝突するよう、前記溶融金属または前記金属線材の周囲から前記フレームジェットを噴射することを特徴とする請求項１記載の金属粉末の製造方法。
  3. 　前記フレームジェットを噴射するための円環状の噴射口を有し、前記噴射口から噴射される前記フレームジェットの内側に前記溶融金属または前記金属線材を配置して、前記フレームジェットを噴射することを特徴とする請求項１または２記載の金属粉末の製造方法。
  4. 　複数のフレームジェットを、前記溶融金属または前記金属線材に対して互いに回転対称の位置から、前記溶融金属または前記金属線材に噴射することを特徴とする請求項１または２記載の金属粉末の製造方法。
  5. 　溶融金属または金属線材を供給する供給手段と、
    　前記供給手段により供給される前記溶融金属または前記金属線材に対してフレームジェットを噴射するジェットバーナーとを、
    　有することを特徴とする金属粉末の製造装置。
  6. 　前記ジェットバーナーは、前記フレームジェットが前記溶融金属または前記金属線材の外周に沿って隙間なく、ほぼ均等なジェット圧で前記溶融金属または前記金属線材に衝突するよう、前記溶融金属または前記金属線材の周囲から前記フレームジェットを噴射することを特徴とする請求項５記載の金属粉末の製造装置。
  7. 　前記ジェットバーナーは、前記フレームジェットを噴射するための円環状の噴射口を有し、前記噴射口から噴射される前記フレームジェットの内側に、前記溶融金属または前記金属線材が配置されるよう設けられていることを特徴とする請求項５または６記載の金属粉末の製造装置。
  8. 　前記ジェットバーナーは複数から成り、前記溶融金属または前記金属線材に対して互いに回転対称の位置から、前記溶融金属または前記金属線材に噴射するよう設けられていることを特徴とする請求項５または６記載の金属粉末の製造装置。
  9. 　各ジェットバーナーは、それぞれ前記フレームジェットを噴射するための細長い形状の噴射口を有し、前記噴射口の長径方向が前記溶融金属または前記金属線材の外周に沿うよう配置されていることを特徴とする請求項８記載の金属粉末の製造装置。
  10. 　前記ジェットバーナーは先端に耐熱ノズルを有し、前記耐熱ノズルは内部に前記溶融金属または前記金属線材を通す通孔を有し、前記通孔を通る前記溶融金属または前記金属線材に対して前記フレームジェットを噴射可能に設けられていることを特徴とする請求項５または６記載の金属粉末の製造装置。
     
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