WO2014069193A1 - 熱式流量計 - Google Patents

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中野　洋
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哲 浅野
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    • G01R31/58—Testing of lines, cables or conductors

Definitions

  • the present invention relates to a thermal flow meter, and more particularly to a thermal flow meter that can detect disconnection between a sensor element section and an integrated circuit.
  • a thermal type flow sensor described in JP 2011-237456 A As a conventional example of a thermal type flow meter, a thermal type flow sensor described in JP 2011-237456 A is known.
  • a resistance for balance adjustment is provided in a bridge circuit for detecting the heater temperature, the potential at both ends of the resistance for balance adjustment is taken out, and the potential at both ends is received by resistors connected in series in multiple stages. .
  • the intermediate potential generated between the resistors connected in multiple stages can be adjusted by switching with a switch, and the intermediate potential can be adjusted. Even if the resistance value of the resistors constituting the bridge circuit varies, the balance of the bridge circuit Can be adjusted.
  • a first series circuit composed of two resistors and a second series resistor composed of two resistors are connected in parallel.
  • a circuit is configured to connect a first output terminal for extracting the intermediate potential of the first series circuit and the amplifier, and a second output terminal for extracting the intermediate potential of the second series circuit and the amplifier.
  • Each wiring is connected to the ground potential via a resistor.
  • FIG. 4 shows a configuration of a thermal flow meter as a comparative example for explaining the problem.
  • This thermal flow meter is composed of a sensor element unit 1 and an integrated circuit 14.
  • the sensor element unit 1 includes a heating element 2 and a heater temperature detection resistor 4 whose resistance value changes according to the temperature of the heating element 2.
  • Heater temperature detection bridge circuit 3 composed of fixed resistors 5, 6, 8 and balance adjustment resistor 7, temperature detection resistors 10, 13 disposed on the windward side of the heating element 2, and temperature detection disposed on the leeward side
  • a temperature difference detection bridge circuit 9 configured by resistors 11 and 12 for detecting the temperature difference between the windward and leeward of the heating element 2 is arranged.
  • the integrated circuit 14 includes an adjustment resistor 15 with a tap for extracting an intermediate potential between both ends of the balance adjustment resistor 7, a tap voltage Vt of the adjustment resistor 15 with a tap, a heater temperature detection resistor 4, and a fixed resistor 5.
  • An amplifier 16 that detects a voltage difference from the voltage V 45 of the heater and generates a drive voltage Vh to the heating element 2, a reference voltage source 18 that supplies a reference voltage Vref to the temperature difference detection bridge circuit 9, and a temperature difference detection bridge An amplifier 19 is provided that amplifies the output of the circuit 9 to generate a sensor output.
  • the potential on the integrated circuit 14 side of the wiring L4 becomes the ground potential.
  • the disconnection of the wiring L4 can be detected.
  • the potential on the integrated circuit 14 side of the wiring L2 is set to the potential of the wiring L3 via the wiring L3 and the adjustment resistor 15 with a tap. Fixed to. In this case, the tap position of the adjustment resistor 15 with tap does not matter.
  • the disconnection of the wiring L2 cannot be detected by the conventional disconnection detection method.
  • the balance of the heater temperature detection bridge circuit 3 does not change, and inaccurate flow rate detection continues.
  • the disconnection of the wiring L3 cannot be detected in the same manner as the wiring L2.
  • the reason for making it impossible to detect the disconnection of the wiring connecting the bridge circuit and the amplifier is that the circuit element is connected in parallel to the resistor constituting the bridge circuit, and the input voltage to the amplifier is taken out through this circuit element. In the configuration.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a circuit element connected between wirings for extracting a voltage across a resistor constituting the bridge circuit, and the resistance of the resistor constituting the bridge circuit.
  • An object of the present invention is to make it possible to detect disconnection of the wiring for extracting the voltage at both ends.
  • a thermal flow meter of the present invention includes a heating element and a temperature control bridge circuit that controls a temperature of the heating element by configuring a bridge circuit with a plurality of resistors.
  • the thermal type flow meter for detecting the flow rate of the fluid by controlling the temperature of the fluid, the two wires drawn from both ends of at least one resistor constituting the temperature control bridge circuit are connected in parallel to the resistor.
  • a voltage detection circuit for detecting that a magnitude of a voltage generated between the connected circuit elements and the two wires is smaller than a first predetermined value; and a magnitude of the voltage by the voltage detection circuit.
  • a failure signal output circuit that outputs a signal indicating a failure when it is detected that the value is smaller than a first predetermined value.
  • thermo flow meter since it is possible to detect disconnection of the wiring that is difficult to detect in the heater temperature detection bridge circuit of the thermal flow meter, a highly reliable thermal flow meter can be provided.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating input / output characteristics of a comparator 17.
  • FIG. It is a truth table which shows a disconnection detection function. It is a figure which shows the structure of the thermal type flow meter as a comparative example for demonstrating the subject of this invention. It is a figure which shows the structure of the thermal type flow meter of a 2nd Example. It is a figure which shows the input-output characteristic of the comparators 17 and 24.
  • FIG. It is a truth table which shows a disconnection detection function. It is a figure which shows the structure of the thermal type flow meter of a 3rd Example.
  • FIGS. 1 is a diagram showing the configuration of the thermal flow meter of the first embodiment
  • FIG. 2 is a diagram showing the input / output characteristics of the comparator 17
  • FIG. 3 is a truth table showing the disconnection detection function. It is.
  • the thermal flow meter of the present embodiment has basically the same configuration as that of the comparative example shown in FIG. 4, but the configuration in which the comparator 17 and the switch 20 are added is different. Details will be described below.
  • the thermal flow meter is composed of a sensor element unit 1 and an integrated circuit 14, and the sensor element unit 1 includes a heating element 2 and a heater temperature whose resistance value changes according to the temperature of the heating element 2.
  • a heater temperature detection bridge circuit 3 including a detection resistor 4, fixed resistors 5, 6, and 8 and a balance adjustment resistor 7, and temperature detection resistors 10 and 13 disposed on the windward side of the heating element 2 and on the leeward side.
  • a temperature difference detection bridge circuit 9 for detecting a temperature difference between the windward and leeward of the heating element 2 is arranged.
  • the integrated circuit 14 includes an adjustment resistor 15 with a tap for extracting an intermediate potential Vt between both ends of the balance adjustment resistor 7, a tap voltage Vt of the adjustment resistor 15 with a tap, a heater temperature detection resistor 4, and a fixed resistor 5.
  • An amplifier (differential amplifier) 16 that detects a voltage difference from the voltage V 45 between them and generates a drive voltage Vh to the heating element 2, and a wiring L 2 and a wiring L 3 connected to both ends of the balance adjusting resistor 7
  • a comparator 17 that detects whether or not the voltage between them is equal to or lower than a first predetermined value, a reference voltage source 18 that supplies a reference voltage Vref to the temperature difference detection bridge circuit 9, and a temperature difference detection bridge circuit 9
  • An amplifier (differential amplifier) 19 that amplifies the output to generate a sensor output, and a switch 20 that fixes the output voltage of the amplifier 19 to the ground potential are arranged.
  • intermediate voltage does not mean the median value of two potentials.
  • a voltage or potential within the range of two potentials is meant. Therefore, it may be a voltage or potential that deviates from the median value.
  • the input voltage of the comparator 17 is determined by the drive voltage Vh of the heating element 2, the fixed resistors 6 and 8, the balance adjusting resistor 7, and the tapping adjusting resistor 15. That is, the input voltage of the comparator 17 is in a predetermined range.
  • the voltage within the predetermined range includes a voltage V 67 that is lower than the driving voltage Vh by a voltage generated at the connection between the fixed resistor 6 and the balance adjusting resistor 7 and a voltage generated at the fixed resistor 8 from the ground potential. It is a voltage value between the voltage V 78 that is higher by the amount. This voltage value is determined by the tap position of the adjustment resistor 15 with a tap.
  • the input voltage of the comparator 17 is short-circuited by the tapping adjustment resistor 15, so that the input voltage of the comparator 17 becomes zero. That is, when the two inputs of the comparator 17 are connected by the adjustment resistor 15 with a tap and the wiring L2 or the wiring L3 is disconnected, the two inputs of the comparator 17 become the same potential. Therefore, as shown in FIG. 2, when the input voltage of the comparator 17 becomes equal to or lower than the first predetermined value Vth, it is determined that the wiring L2 or the wiring L3 is disconnected, and the comparator 17 sets the output to 1. To do.
  • the comparator 17 constitutes a voltage detection circuit that detects that the voltage between the wiring L2 and the wiring L3 is smaller than the first predetermined value.
  • the circuit element (tap adjustment resistor 15) is compared to the resistor (balance adjustment resistor 7) constituting the bridge circuit 3. ) Are connected in parallel, and the input voltage to the amplifier 16 is taken out through this circuit element.
  • the circuit element it is possible to use an adjustment resistor 15 with a tap, an element composed of a plurality of resistors and switches connected in series in multiple stages, and the like. Such a circuit element is used to adjust the balance of the bridge circuit.
  • a terminal for taking out the voltage V 67 is formed in the sensor element portion 1 as a pad PD1.
  • a pad PD14 as a terminal is also formed in the integrated circuit portion 14, and the pad PD1 and the pad PD14 are electrically connected by a wiring L2.
  • As the wiring L2, a gold wire or an aluminum wire is generally used, and the pad PD1 and the pad PD14 are generally connected by wire bonding.
  • the other wirings L1, L3 to L9 and the wirings L10 to L12 in other embodiments also have a pad PD1 formed on the sensor element portion 1 side, a pad PD14 formed on the integrated circuit portion 14 side, and the pad PD1 and the pad PD1.
  • the PD 14 is connected by wire bonding.
  • the disconnection of the wiring often occurs in the wiring portion (wiring portion by wire bonding) connecting the pad PD1 and the pad PD14.
  • the disconnection at the wiring portion connecting the pad PD1 and the pad PD14 can be reliably detected.
  • the sensor output Vso is fixed to the ground potential by the switch 20, so that the controller can be notified of the failure by receiving the sensor output of the thermal flow meter. .
  • the sensor output Vso may be fixed to the power supply potential and the failure may be notified to the control device side.
  • a signal indicating a failure due to disconnection is output from the output terminal 30 to the host controller through the output signal line 29 that outputs a flow rate signal (sensor output Vso).
  • the switch 20 constitutes a failure signal output circuit that outputs a signal indicating a failure.
  • the disconnection detection of the wirings L2 and L3 has been described.
  • the disconnection of the wirings L1 and L5 can also be detected as shown in FIG. In FIG. 3, “OK” indicates that disconnection can be detected, and “NG” indicates that disconnection cannot be detected.
  • the driving voltage Vh is not supplied to the heater temperature detection bridge circuit 3, so that the voltage between the wiring L2 and the wiring L3 becomes 0, and the input voltage of the comparator 17 becomes the predetermined value Vth or less.
  • the voltage between the wiring L2 and the wiring L3 becomes 0, so that the input voltage of the comparator 17 is equal to or lower than the predetermined value Vth.
  • FIGS. 5 is a diagram showing the configuration of the thermal flow meter of the second embodiment
  • FIG. 6 is a diagram showing the input / output characteristics of the comparators 17 and 24
  • FIG. 7 is a truth showing the disconnection detection function. It is a value table.
  • the thermal flow meter of the second embodiment has basically the same configuration as the thermal flow meter of the first embodiment, but the operation change of the comparator 17 and the fixed resistor 21, the switch 22, the fixed resistor 23, the comparator. 24, an OR circuit 25 is added.
  • a fixed resistor 21 is provided on the left side of the heater temperature detection bridge circuit 3
  • a fixed resistor 23 is disposed in the integrated circuit 14 in parallel with the fixed resistor 21, and a voltage across the fixed resistor 21 is compared with a comparator 24.
  • the characteristics of the comparators 17 and 24 are also band-type comparison characteristics as shown in FIG. 6, and the input voltage of the comparators 17 and 24 is less than the first predetermined value Vth1 and more than the second predetermined value Vth2.
  • the circuit configuration of the right side and the left side of the heater temperature detection bridge circuit 3 can be made the same, so that the symmetry of the heater temperature detection bridge circuit 3 can be improved.
  • the power source of the heater temperature detection bridge circuit 3 to the reference voltage source 18, it is possible to reduce changes in the voltage between the wiring L2 and the wiring L3 and the voltage between the wiring L4 and the wiring L6 in a normal state.
  • the detection accuracy of the comparators 17 and 24 can be improved.
  • a voltage abnormality of the reference voltage source 18 and a short circuit failure to the power supply or ground of the wirings L2, L3, L4 and L6 can be detected as shown in FIG. I made it.
  • the heater 22 is fixed to the ground potential by the switch 22 so that the heating control of the heating element 2 is stopped.
  • the heating control of the heating element 2 is stopped at the time of failure detection. Also good. Further, the configuration relating to the fixed resistor 21, the fixed resistor 23, the comparator 24, and the OR circuit 25, and the characteristics of the comparators 17 and 24 are set as band-type comparison characteristics, and the input voltage of the comparators 17 and 24 is set to the first predetermined value. A configuration in which a signal indicating a failure is output when the value is less than or equal to the value Vth1 and when the value is greater than or equal to the second predetermined value Vth2 may be appropriately applied to each of the embodiments described above and later.
  • FIGS. 8 is a diagram showing the configuration of the thermal flow meter of the third embodiment
  • FIG. 9 is a diagram showing the output characteristics of the thermal flow meter of the third embodiment
  • FIG. 10 is a disconnection. It is a figure which shows the output value at the time of a detection.
  • the thermal flow meter of the third embodiment has basically the same configuration as the thermal flow meter of the second embodiment, but is provided with a digital output circuit 26.
  • the output of the comparator 17 and the output of the comparator 24 are input to the digital output circuit 26.
  • the digital output circuit 26 receives the output of the amplifier 19 that generates the sensor output Vso, the output of the comparator 17, and the output of the comparator 24, and outputs the sensor output Vso and a signal notifying the failure as digital values.
  • a signal notifying the failure is output from the output terminal 30 to the upper control device through the output signal line 29 that outputs a flow rate signal (sensor output Vso) as an output of the thermal flow meter.
  • the digital output circuit 26 constitutes a fault signal output circuit that outputs a signal indicating a fault.
  • output value related to the flow rate when the thermal type flow meter is operating normally is set so as to change between ⁇ 30000 and 30000.
  • output digital values 32768 and ⁇ 32768 are values corresponding to 2 15 and ⁇ 2 15 , respectively.
  • the output digital value of this empty area is used as a signal for notifying a failure.
  • a signal (output value) indicating failure is set as shown in FIG. 10, for example.
  • the output value is fixed at 32000.
  • the output value is fixed at 32001.
  • the digital output circuit 26 in the present embodiment may be applied to the other embodiments described above and below to notify the host controller of the output digital value that a disconnection has occurred.
  • FIG. 11 is a figure which shows the structure of the thermal type flow meter of the 4th Example.
  • the thermal flow meter of the fourth embodiment has basically the same configuration as the thermal flow meter of the first embodiment, but the heater temperature detection bridge circuit 3 is balanced with the heating element 2 and the fixed resistors 5, 6 and 8. It was comprised with the resistance 7 for adjustment.
  • the heater temperature detection resistor 4 is replaced with the heating element 2, but in this embodiment as well, disconnection of the wiring L2 and the wiring L3 can be detected as in the first embodiment.
  • FIG. 12 is a figure which shows the structure of the thermal type flow meter of 5th Example.
  • the thermal flow meter of the fifth embodiment has basically the same configuration as the thermal flow meter of the fourth embodiment, but detects the current flowing through the heating element 2 from the voltage across the fixed resistor 5, and this voltage across the both ends. Is output by an amplifier 19 to obtain a sensor output.
  • disconnection of the wiring L2 wiring L3 can be detected as in the first embodiment. Further, it is possible to detect a case where the disconnection of L1 and L5 or the failure of the amplifier 16 causes the drive voltage Vh to become zero.
  • FIG. 13 is a figure which shows the structure of the thermal type flow meter of the 6th Example.
  • the thermal flow meter of the sixth embodiment has basically the same configuration as the thermal flow meter of the first embodiment, but the fixed resistor 27 is connected to the heating element 2 and the current flowing through the heating element 2 is fixed.
  • the sensor output is obtained by detecting the voltage across the terminal 27 and taking out this voltage across the amplifier 19.
  • disconnection of the wiring L2 wiring L3 can be detected as in the first embodiment. Further, it is possible to detect a case where the disconnection of L1 and L5 or the failure of the amplifier 16 causes the drive voltage Vh to become zero.
  • FIG. 14 is a figure which shows the structure of the thermal type flow meter of 7th Example.
  • the thermal flow meter of the seventh embodiment has basically the same configuration as the thermal flow meter of the first embodiment, but a thermocouple 28 is arranged in place of the heater temperature detection resistor 4 and the temperature of the heating element 2 is changed. , And a thermocouple 29 is arranged instead of the fixed resistor 6.
  • disconnection of the wiring L2 wiring L3 can be detected as in the first embodiment. Further, it is possible to detect a case where the disconnection of L1 and L5 or the failure of the amplifier 16 causes the drive voltage Vh to become zero.

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Abstract

　ブリッジ回路を構成する抵抗の両端から電圧を取り出す２本の配線間に前記抵抗に対して並列に回路素子が接続される構成にあっては、前記２本の配線の断線を検出することが困難であった。発熱体２と、複数の抵抗４～８でブリッジ回路を構成し発熱体２の温度を制御する温度制御用ブリッジ回路３とを備えた熱式流量計において、温度制御用ブリッジ回路３を構成する少なくとも一つの抵抗７の両端部から引き出された２本の配線Ｌ２，Ｌ３によって抵抗７に対して並列に接続された回路素子１５と、２本の配線Ｌ２，Ｌ３の間に生じる電圧の大きさが第１の所定値よりも小さくなったことを検出する電圧検出回路１７と、電圧検出回路１７で前記電圧の大きさが第１の所定値よりも小さくなったことが検出された場合に故障を示す信号を出力する故障信号出力回路２０とを備える。

Description

熱式流量計
　本発明は熱式流量計に係り、特にセンサ素子部と集積回路間の断線を検出できる熱式流量計に関する。
　熱式流量計の従来例として特開２０１１－２３７４５６号公報に記載された熱式流量センサが知られている。この従来例では、ヒータ温度を検出するブリッジ回路にバランス調整用抵抗を設け、前記バランス調整用抵抗の両端電位を取り出し、この両端電位を多段に直列接続された抵抗で受けるように構成されている。多段に接続された抵抗と抵抗との間に生じる中間電位をスイッチで切り換えて取り出すことで中間電位を調整することができ、ブリッジ回路を構成する抵抗体の抵抗値がばらついてもブリッジ回路のバランスを調整することができる。
　また、特開２０１２－００８０１４号公報に記載されたブリッジ回路の断線検出回路では、２つの抵抗からなる第１の直列回路と２つの抵抗からなる第２の直列抵抗とを並列に接続してブリッジ回路を構成し、第１の直列回路の中間電位を取り出す第１の出力端子と増幅器とを接続する配線と、第２の直列回路の中間電位を取り出す第２の出力端子と増幅器とを接続する配線とを、それぞれ抵抗を介してグランド電位に接続している。第１の出力端子に断線が生じた場合、第１の出力端子がグランド電位になる。また、第２の出力端子に断線が生じた場合、第２の出力端子がグランド電位になる。これにより、第１の出力端子及び第２の出力端子の断線を検出できる。
特開２０１１－２３７４５６号公報 特開２０１２－００８０１４号公報
　特開２０１１－２３７４５６号公報の従来例では、センサ素子に設けられるブリッジ回路とその駆動回路との間の配線における断線検出に関して配慮がない。また、特開２０１２－００８０１４号公報の従来例ではバランス調整用抵抗の両端電位を取り出す配線の断線検出に関して配慮されていなかった。
図４を用いて従来例の課題について説明する。図４は、課題を説明するための比較例としての熱式流量計の構成を示している。この熱式流量計はセンサ素子部１と集積回路１４とで構成され、センサ素子部１には、発熱体２と、発熱体２の温度に応じて抵抗値の変化するヒータ温度検出抵抗４と固定抵抗５，６，８とバランス調整用抵抗７とで構成されるヒータ温度検出ブリッジ回路３と、発熱体２の風上に配置される温度検出抵抗１０，１３と風下に配置される温度検出抵抗１１，１２とで構成され、発熱体２の風上と風下の温度差を検出する温度差検出ブリッジ回路９とを配置している。また、集積回路１４には、バランス調整用抵抗７の両端電圧の中間電位を取り出すタップ付調整抵抗１５と、タップ付調整抵抗１５のタップ電圧Ｖｔとヒータ温度検出抵抗４と固定抵抗５との間の電圧Ｖ45との電圧差を検出して発熱体２への駆動電圧Ｖｈを発生する増幅器１６と、温度差検出ブリッジ回路９に基準電圧Ｖｒｅｆを供給する基準電圧源１８と、温度差検出ブリッジ回路９の出力を増幅してセンサ出力を生成する増幅器１９とを配置している。
　特開２０１２－００８０１４号公報における断線検出回路では、バランス調整用抵抗７の両端の電圧を取り出して集積回路１４へ接続する配線Ｌ２、Ｌ３の断線を検出することは困難であった。
　例えば、図４の配線Ｌ４とグランドとの間に高抵抗を接続しておくと、配線Ｌ４が断線した場合に配線Ｌ４の集積回路１４側の電位がグランド電位になる。これを利用して、配線Ｌ４の断線を検出できる。しかし、配線Ｌ２とグランドとの間に高抵抗を接続した場合には、配線Ｌ２が断線すると、配線Ｌ２の集積回路１４側の電位は配線Ｌ３とタップ付調整抵抗１５を介して配線Ｌ３の電位に固定される。この場合、タップ付調整抵抗１５のタップ位置は関係ない。このため、配線Ｌ２の集積回路１４側の電位はグランド電位にならず、増幅器１６の入力電圧は配線Ｌ３の電位になってしまう。従って、従来の断線検出方法では配線Ｌ２の断線を検出できない。これにより、ヒータ温度検出ブリッジ回路３のバランスが変化していまい、不正確な流量検出を行い続けることになる。また、配線Ｌ３の断線についても配線Ｌ２と同様に断線検出できない。
　ブリッジ回路と増幅器とを接続する配線の断線検出を不可能にする原因は、ブリッジ回路を構成する抵抗に対して回路素子を並列接続し、この回路素子を介して増幅器への入力電圧を取り出すようにした構成にある。
　本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ブリッジ回路を構成する抵抗の両端電圧を取り出す配線間に回路素子が接続される構成にあって、ブリッジ回路を構成する抵抗の両端電圧を取り出す配線の断線検出を可能にすることにある。
　上記課題を解決するために、本発明の熱式流量計は、発熱体と、複数の抵抗でブリッジ回路を構成し前記発熱体の温度を制御する温度制御用ブリッジ回路とを備え、前記発熱体の温度を制御して流体の流量を検出する熱式流量計において、前記温度制御用ブリッジ回路を構成する少なくとも一つの抵抗の両端部から引き出された２本の配線によって前記抵抗に対して並列に接続された回路素子と、前記２本の配線の間に生じる電圧の大きさが第１の所定値よりも小さくなったことを検出する電圧検出回路と、前記電圧検出回路で前記電圧の大きさが第１の所定値よりも小さくなったことが検出された場合に故障を示す信号を出力する故障信号出力回路とを備える。
　本発明によれば熱式流量計のヒータ温度検出ブリッジ回路の検出困難な配線の断線を検出できるので高信頼な熱式流量計を提供できる。
第１の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。 比較器１７の入出力特性を示す図である。 断線検出機能を示す真理値表である。 本発明の課題を説明するための比較例としての熱式流量計の構成を示す図である。 第２の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。 比較器１７、２４の入出力特性を示す図である。 断線検出機能を示す真理値表である。 第３の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。 第３の実施例である熱式流量計の出力特性を示す図である。 断線検出時の出力値を示す図である。 第４の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。 第５の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。 第６の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。 第７の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。
　以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
　まず、本発明の第１の実施例である熱式流量計を図１、２、３により説明する。なお、図１は第１の実施例の熱式流量計の構成を示す図であり、図２は比較器１７の入出力特性を示す図であり、図３は断線検出機能を示す真理値表である。
　本実施例の熱式流量計は図４に示した比較例と基本的に同じ構成であるが、比較器１７とスイッチ２０を追加した構成が異なる。以下、詳細に説明する。
　本実施例では、熱式流量計はセンサ素子部１と集積回路１４とにより構成され、センサ素子部１には、発熱体２と、発熱体２の温度に応じて抵抗値の変化するヒータ温度検出抵抗４と固定抵抗５，６，８とバランス調整用抵抗７とで構成されるヒータ温度検出ブリッジ回路３と、発熱体２の風上に配置される温度検出抵抗１０，１３と風下に配置される温度検出抵抗１１，１２とで構成され、発熱体２の風上と風下の温度差を検出する温度差検出ブリッジ回路９とを配置している。また、集積回路１４には、バランス調整用抵抗７の両端電圧の中間電位Ｖｔを取り出すタップ付調整抵抗１５と、タップ付調整抵抗１５のタップ電圧Ｖｔとヒータ温度検出抵抗４と固定抵抗５との間の電圧Ｖ45との電圧差を検出して発熱体２への駆動電圧Ｖｈを発生する増幅器（差動増幅器）１６と、バランス調整用抵抗７の両端部に接続された配線Ｌ２と配線Ｌ３との間の電圧が第１の所定値以下であるかどうかを検出する比較器１７と、温度差検出ブリッジ回路９に基準電圧Ｖｒｅｆを供給する基準電圧源１８と、温度差検出ブリッジ回路９の出力を増幅してセンサ出力を生成する増幅器（差動増幅器）１９、増幅器１９の出力電圧をグランド電位に固定するスイッチ２０とを配置している。
　本明細書において、「中間電圧」（「中間電位」という場合もある）とは２つの電位の中央値を意味するものではない。２つの電位の範囲内にある電圧或いは電位を意味するものである。従って、中央値からずれた電圧或いは電位であってもよい。
　正常時には、比較器１７の入力電圧は発熱体２の駆動電圧Ｖｈと固定抵抗６，８とバランス調整用抵抗７とタップ付調整抵抗１５とによって決まる。つまり、比較器１７の入力電圧は所定の範囲の電圧になる。この所定の範囲の電圧は、駆動電圧Ｖｈよりも固定抵抗６とバランス調整用抵抗７との接続部に生じている電圧分だけ低い電圧Ｖ67と、グランド電位から固定抵抗８に生じている電圧分だけ高い電圧Ｖ78との間の電圧値である。この電圧値はタップ付調整抵抗１５のタップ位置によって決まる。
　配線Ｌ２あるいは配線Ｌ３が断線した場合、比較器１７の入力電圧はタップ付調整抵抗１５によって短絡されるので比較器１７の入力電圧は０になる。すなわち、比較器１７の２つの入力がタップ付調整抵抗１５によって接続されて配線Ｌ２あるいは配線Ｌ３が断線した場合、比較器１７の２つの入力は同電位になってしまう。従って、図２に示す様に比較器１７の入力電圧が第１の所定値Ｖｔｈ以下となった場合に、配線Ｌ２あるいは配線Ｌ３が断線したものと判定して、比較器１７は出力を１にする。比較機１７は配線Ｌ２と配線Ｌ３との間の電圧の大きさが第１の所定値よりも小さくなったことを検出する電圧検出回路を構成する。
　ブリッジ回路３と増幅器１６とを接続する配線Ｌ２，Ｌ３の断線検出を不可能にする原因は、ブリッジ回路３を構成する抵抗（バランス調整用抵抗７）に対して回路素子（タップ付調整抵抗１５）を並列接続し、この回路素子を介して増幅器１６への入力電圧を取り出すようにした構成にある。本実施例では、回路素子として、タップ付調整抵抗１５や、多段に直列接続した複数の抵抗とスイッチとで構成された素子などを用いることができる。このような回路素子をブリッジ回路のバランス調整を行うために使用している。
　センサ素子部１には電圧Ｖ67を取り出すための端子がパッドＰＤ１として形成されている。集積回路部１４にも端子としてのパッドＰＤ１４が形成されており、パッドＰＤ１とパッドＰＤ１４との間を配線Ｌ２によって電気的に接続している。配線Ｌ２としては、金線或いはアルミ線を用い、パッドＰＤ１とパッドＰＤ１４とをワイヤボンディングによって接続するのが一般的である。その他の配線Ｌ１，Ｌ３～Ｌ９と、他の実施例における配線Ｌ１０～Ｌ１２にも、センサ素子部１側にパッドＰＤ１が形成され、集積回路部１４側にパッドＰＤ１４が形成され、パッドＰＤ１とパッドＰＤ１４とがワイヤボンディングによって接続されている。
　配線の断線はパッドＰＤ１とパッドＰＤ１４とを接続する配線部分（ワイヤボンディングによる配線分）で起こる場合が多い。本実施例及び他の実施例では、パッドＰＤ１とパッドＰＤ１４とを接続する配線部分での断線を確実に検出できるようにしている。
　また、比較器１７の出力が１になった場合には、スイッチ２０によりセンサ出力Ｖｓｏをグランド電位に固定することで、熱式流量計のセンサ出力を受ける制御装置側へ故障を知らせることができる。なお、スイッチ２０を電源側に接続することにより、センサ出力Ｖｓｏを電源電位に固定して制御装置側へ故障を知らせてもよい。断線による故障を示す信号は、流量信号（センサ出力Ｖｓｏ）を出力する出力信号線２９を通じて出力端子３０から上位の制御装置に対して出力される。スイッチ２０は故障を示す信号を出力する故障信号出力回路を構成する。
　本実施例では配線Ｌ２と配線Ｌ３の断線検出に関して述べたが、図３に示す様に配線Ｌ１、配線Ｌ５の断線に関しても検出可能である。尚、図３では「ＯＫ」は断線検出が可能であり、「ＮＧ」は断線検出が不可能であることを表す。配線Ｌ１が断線した場合、ヒータ温度検出ブリッジ回路３に駆動電圧Ｖｈが供給されなくなるため、配線Ｌ２と配線Ｌ３の間の電圧は０になり、比較器１７の入力電圧は所定値Ｖｔｈ以下となる。また、配線Ｌ５が断線した場合も配線Ｌ２と配線Ｌ３の間の電圧は０になるので比較器１７の入力電圧は所定値Ｖｔｈ以下となる。他にも増幅器１６が故障して駆動電圧Ｖｈの電圧が０になった場合も検出可能である。
　本実施例では配線Ｌ２と配線Ｌ３との間の電圧を比較器１７で検出するだけなので、ブリッジ回路への影響が全く無い。特開２０１２－８０１４号公報に記載されている様な断線検出方法ではブリッジ回路に断線検出のための電流を流す必要があるため、この電流のバラツキによってブリッジ回路のバランスに影響を与える可能性がある。これに対して、本実施例では、ブリッジ回路に断線検出のための電流を流す必要がないので、ブリッジ回路のバランスに影響を与えることがない。
　次に、本発明の第２の実施例である熱式流量計を図５、６、７により説明する。なお、図５は第２の実施例の熱式流量計の構成を示す図であり、図６は比較器１７、２４の入出力特性を示す図であり、図７は断線検出機能を示す真理値表である。
　第２の実施例の熱式流量計は第１の実施例の熱式流量計と基本的に同じ構成であるが比較器１７の動作変更と固定抵抗２１、スイッチ２２、固定抵抗２３、比較器２４、論理和回路２５を追加した構成である。本実施例ではヒータ温度検出ブリッジ回路３の左辺側に固定抵抗２１を設け、固定抵抗２１と並列に集積回路１４の内部に固定抵抗２３を配置し、固定抵抗２１の両端電圧を比較器２４で検出できるようにした。また、比較器１７、２４の特性も図６に示す様にバンド型の比較特性として、比較器１７，２４の入力電圧が第１の所定値Ｖｔｈ１以下の場合と第２の所定値Ｖｔｈ２以上の場合に１（故障を示す信号）を出力する様にした。また、比較器１７、２４の出力の論理和を論理和回路２５で求めることで、比較器１７あるいは比較器２４で故障判定信号が出力された場合にはセンサ出力をスイッチ２０でグランド電位に固定すると共にスイッチ２２によりヒータ駆動電圧Ｖｈをグランド電位に固定した。また、ヒータ温度検出ブリッジ回路３の電源を一定の電圧を発生する基準電圧源１８から供給するように変更している。
　本実施例では配線Ｌ４が断線した場合、比較器２４の入力電圧は固定抵抗２３が接続されているので比較器２４の入力電圧は０となり、所定の電圧よりも小さくなる。このため、比較器２４によりこの電圧変化を検出することで配線Ｌ４の断線を検出することができる。同様に配線Ｌ６も検出できる。このことで、第１の実施例では検出不能であった配線Ｌ４の断線検出を可能にした。また、本実施例ではヒータ温度検出ブリッジ回路３の右辺と左辺の回路構成を同一に出来るのでヒータ温度検出ブリッジ回路３の対称性を向上させることができる。また、ヒータ温度検出ブリッジ回路３の電源を基準電圧源１８にすることで、正常時の配線Ｌ２と配線Ｌ３との間の電圧及び配線Ｌ４と配線Ｌ６との間の電圧の変化を小さくでき、比較器１７、２４の検出精度を向上できる。また、比較器１７，２４の特性をバンド型にすることで、基準電圧源１８の電圧異常、配線Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ６の電源あるいはグランドへの短絡故障も図７に示す様に検出可能にした。また、故障検出時にはスイッチ２２によりヒータ駆動電圧Ｖｈをグランド電位に固定することで、発熱体２の加熱制御を停止するようにしている。これは、故障が発生した場合に、発熱体２に過大な電圧が印加されることがないようにするための処置であり、ヒータ駆動電圧Ｖｈを必ずしもグランド電位に固定する必要はなく、ヒータ駆動電圧Ｖｈを低電圧に維持できればよい。しかし、ヒータ駆動電圧Ｖｈをグランド電位に固定する方が、発熱体２で消費される電力を抑制することができる。
　故障検出時にヒータ駆動電圧Ｖｈをグランド電位に固定するスイッチ２２を、第１の実施例の他、後述する実施例に適用することにより、故障検出時に発熱体２の加熱制御を停止するようにしてもよい。また、固定抵抗２１、固定抵抗２３、比較器２４、論理和回路２５に係る構成や、比較器１７，２４の特性をバンド型の比較特性として比較器１７，２４の入力電圧が第１の所定値Ｖｔｈ１以下の場合と第２の所定値Ｖｔｈ２以上の場合に故障を示す信号を出力する様にする構成を、前述及び後述の各実施例に適宜適用しても良い。
　次に、本発明の第３の実施例である熱式流量計を図８、９、１０により説明する。なお、図８は第３の実施例の熱式流量計の構成を示す図であり、図９は第３の実施例である熱式流量計の出力特性を示す図であり、図１０は断線検出時の出力値を示す図である。
　第３の実施例の熱式流量計は第２の実施例の熱式流量計と基本的に同じ構成であるがデジタル出力回路２６を設けている。
　本実施例では、比較器１７の出力と比較器２４の出力とをデジタル出力回路２６に入力している。デジタル出力回路２６はセンサ出力Ｖｓｏを生成する増幅器１９の出力と比較器１７の出力と比較器２４の出力とを受けて、センサ出力Ｖｓｏ及び故障を通知する信号をデジタル値で出力する。故障を通知する信号は、熱式流量計の出力として、流量信号（センサ出力Ｖｓｏ）を出力する出力信号線２９を通じて出力端子３０から上位の制御装置に対して出力される。
　本実施例では、デジタル出力回路２６が故障を示す信号を出力する故障信号出力回路を構成する。
　本実施例では、図９に示すように、熱式流量計が正常に動作している場合の流量に係わる出力値は－３００００～３００００の間で変化するように設定されている。図９において、出力デジタル値３２７６８及び－３２７６８はそれぞれ２15及び－２15に対応する値である。図９に示すように、出力デジタル値３０００１～３２７６８の間及び－３０００１～－３２７６８の間に、流量を表す出力値に関係しない空き領域が存在する。この空き領域の出力デジタル値を、故障を通知する信号として使用する。
　断線を検出した場合には、例えば図１０に示す様に、故障を示す信号（出力値）が設定される。比較器１７で断線を検出した場合は出力値を３２０００に固定し、比較器２４で断線検出した場合には出力値を３２００１に固定する。こうすることで、比較器１７で検出した断線と比較器２４で検出した断線とを区別して上位の制御装置に知らせることができる。すなわち、断線が発生した配線を詳細に特定して上位の制御装置に知らせることができる。
　本実施例におけるデジタル出力回路２６を前述及び後述の他の実施例に適用して、断線が発生したことを出力デジタル値で上位の制御装置に知らせるようにしてもよい。
　次に、本発明の第４の実施例である熱式流量計を図１１により説明する。なお、図１１は第４の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。
　第４の実施例の熱式流量計は第１の実施例の熱式流量計と基本的に同じ構成であるがヒータ温度検出ブリッジ回路３を発熱体２と固定抵抗５，６，８とバランス調整用抵抗７とで構成した。本実施例ではヒータ温度検出抵抗４を発熱体２で置き換えたが、本実施例でも第１の実施例同様に配線Ｌ２および配線Ｌ３の断線を検出できる。
　次に、本発明の第５の実施例である熱式流量計を図１２により説明する。なお、図１２は第５の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。
　第５の実施例の熱式流量計は第４の実施例の熱式流量計と基本的に同じ構成であるが発熱体２を流れる電流を固定抵抗５の両端電圧から検出し、この両端電圧を増幅器１９により取り出すことでセンサ出力を得る。本実施例でも第１の実施例同様に配線Ｌ２配線Ｌ３の断線を検出できる。また、Ｌ１，Ｌ５の断線や増幅器１６が故障して駆動電圧Ｖｈが０になった場合も検出できる。
　次に、本発明の第６の実施例である熱式流量計を図１３により説明する。なお、図１３は第６の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。
　第６の実施例の熱式流量計は第１の実施例の熱式流量計と基本的に同じ構成であるが発熱体２に固定抵抗２７を接続して発熱体２を流れる電流を固定抵抗２７の両端電圧から検出し、この両端電圧を増幅器１９により取り出すことでセンサ出力を得る。本実施例でも第１の実施例同様に配線Ｌ２配線Ｌ３の断線を検出できる。また、Ｌ１，Ｌ５の断線や増幅器１６が故障して駆動電圧Ｖｈが０になった場合も検出できる。
　次に、本発明の第７の実施例である熱式流量計を図１４により説明する。なお、図１４は第７の実施例の熱式流量計の構成を示す図である。
　第７の実施例の熱式流量計は第１の実施例の熱式流量計と基本的に同じ構成であるがヒータ温度検出抵抗４の代わりに熱電対２８を配置して発熱体２の温度を検出し、固定抵抗６の代わりに熱電対２９を配置した構成である。本実施例でも第１の実施例同様に配線Ｌ２配線Ｌ３の断線を検出できる。また、Ｌ１，Ｌ５の断線や増幅器１６が故障して駆動電圧Ｖｈが０になった場合も検出できる。
　１…ンサ素子部、２…発熱体、３…ヒータ温度検出ブリッジ回路、４…ヒータ温度検出抵抗、５…固定抵抗、６…固定抵抗、７…バランス調整用抵抗、８…固定抵抗、９…温度差検出ブリッジ回路、１０…温度検出抵抗、１１…温度検出抵抗、１２…温度検出抵抗、１３…温度検出抵抗、１４…集積回路、１５…タップ付調整抵抗、１６…増幅器、１７…比較器、１８…基準電圧源、１９…増幅器、２０…スイッチ、２１…固定抵抗、２２…スイッチ、２３…固定抵抗、２４…比較器、２５…論理和回路、２６…デジタル出力回路、２７…固定抵抗、２８…熱電対、２９…熱電対。

Claims (7)

  1. 　発熱体と、複数の抵抗でブリッジ回路を構成し前記発熱体の温度を制御する温度制御用ブリッジ回路とを備え、前記発熱体の温度を制御して流体の流量を検出する熱式流量計において、
    　前記温度制御用ブリッジ回路を構成する少なくとも一つの抵抗の両端部から引き出された２本の配線によって前記抵抗に対して並列に接続された回路素子と、
    　前記２本の配線の間に生じる電圧の大きさが第１の所定値よりも小さくなったことを検出する電圧検出回路と、
    　前記電圧検出回路で前記電圧の大きさが第１の所定値よりも小さくなったことが検出された場合に故障を示す信号を出力する故障信号出力回路とを備えたことを特徴とする熱式流量計。
  2. 　請求項１に記載の熱式流量計において、
    　前記故障信号出力回路は、流量信号を出力する出力信号線を通じて故障を示す信号を出力することを特徴とする熱式流量計。
  3. 　請求項２に記載の熱式流量計において、
    　前記故障信号出力回路は、流量信号の出力信号線をグランド電位或いは電源電圧にして故障を示す信号を出力することを特徴とする熱式流量計。
  4. 　請求項２に記載の熱式流量計において、
    　前記故障信号出力回路は、流量を表す数値の範囲外のデジタル値を用いて故障を示す信号を出力することを特徴とする熱式流量計
  5. 　請求項２に記載の熱式流量計において、
    　前記ヒータ温度制御用ブリッジ回路に電圧値が一定の駆動電圧を印加する電源を備えたことを特徴とする熱式流量計
  6. 　請求項２に記載の熱式流量計において、
    　前記電圧検出回路は、前記２本配線の間に生じる電圧の値として、前記第１の所定値よりも大きな第２の所定値を有し、
    　前記故障信号出力回路は、前記電圧検出回路で検出される電圧が第２の所定値よりも大きな電圧値になった場合に故障を示す信号を出力することを特徴とする熱式流量計。
  7. 　請求項２に記載の熱式流量計において、
    　前記２本配線の間に生じる電圧の大きさが前記第１の所定値よりも小さくなったことが前記電圧検出回路で検出された場合に、前記発熱体の駆動電圧を低電圧にする回路を設けたことを特徴とする熱式流量計。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5851973B2 (ja) * 2012-11-02 2016-02-03 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量計
CN106716077B (zh) * 2014-09-30 2019-06-21 日立汽车系统株式会社 热式空气流量传感器
JP6149953B1 (ja) * 2016-02-01 2017-06-21 オンキヨー株式会社 保護回路、及び、スイッチング電源
US10242955B2 (en) * 2016-08-29 2019-03-26 Nxp Usa, Inc. Active tamper detection circuit with bypass detection and method therefor
JP6838227B2 (ja) * 2018-03-09 2021-03-03 日立Astemo株式会社 物理量測定装置
JP6914880B2 (ja) * 2018-03-29 2021-08-04 株式会社豊田自動織機 遠心圧縮機及びメカニカルシール
JP6909764B2 (ja) * 2018-08-24 2021-07-28 日立Astemo株式会社 流量センサ
CN113156335B (zh) * 2021-05-09 2024-11-29 武汉捷成电力科技有限公司 一种涡街流量计断线检测电路、方法、控制器及存储介质
CN117824771B (zh) * 2024-03-06 2024-06-04 成都睿宝电子科技有限公司 一种用于热式流量计的自动温度补偿电路及补偿方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0581720U (ja) * 1992-03-31 1993-11-05 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 半導体センサの故障検出装置
JPH1068647A (ja) * 1996-08-28 1998-03-10 Denso Corp 熱式空気流量計
JP2002310754A (ja) * 2001-04-09 2002-10-23 Yazaki Corp フローセンサの異常判定装置
JP2005156193A (ja) * 2003-11-20 2005-06-16 Nec San-Ei Instruments Ltd 変換器の異常検出装置及び変換器の異常検出方法
JP2011237456A (ja) 2011-08-29 2011-11-24 Hitachi Automotive Systems Ltd 熱式流量センサ
JP2012008014A (ja) 2010-06-25 2012-01-12 Hitachi Automotive Systems Ltd ブリッジ回路の断線検出回路および断線検出手段を有するシステム

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4550261A (en) * 1983-09-19 1985-10-29 Chrysler Corporation Fluid level sensor circuitry
US4939348A (en) * 1988-01-15 1990-07-03 Ppg Industries, Inc. Discontinuity detector in a heated transparency
GB0404419D0 (en) * 2004-02-27 2004-03-31 Intelligent Textiles Ltd Electrical components and circuits constructed as textiles
JP4161078B2 (ja) * 2005-11-22 2008-10-08 三菱電機株式会社 熱式流量センサ
JP5210491B2 (ja) * 2006-02-03 2013-06-12 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量センサ
JP5080020B2 (ja) * 2006-04-13 2012-11-21 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量センサ
JP5216495B2 (ja) * 2008-09-16 2013-06-19 株式会社ジャパンディスプレイウェスト 接触検出装置および表示装置
JP5851973B2 (ja) * 2012-11-02 2016-02-03 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式流量計

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0581720U (ja) * 1992-03-31 1993-11-05 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 半導体センサの故障検出装置
JPH1068647A (ja) * 1996-08-28 1998-03-10 Denso Corp 熱式空気流量計
JP2002310754A (ja) * 2001-04-09 2002-10-23 Yazaki Corp フローセンサの異常判定装置
JP2005156193A (ja) * 2003-11-20 2005-06-16 Nec San-Ei Instruments Ltd 変換器の異常検出装置及び変換器の異常検出方法
JP2012008014A (ja) 2010-06-25 2012-01-12 Hitachi Automotive Systems Ltd ブリッジ回路の断線検出回路および断線検出手段を有するシステム
JP2011237456A (ja) 2011-08-29 2011-11-24 Hitachi Automotive Systems Ltd 熱式流量センサ

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
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JP2014092414A (ja) 2014-05-19
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