WO2014190970A1 - Schwingungsaufnehmer, schwingungsmessarray, chemiesensor sowie vorrichtung, welche diese aufweist - Google Patents

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WO2014190970A1
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vibration
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vibration sensor
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Inventor
Rainer Busch
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Atlas Elektronik GmbH
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Atlas Elektronik GmbH
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    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R23/00—Transducers other than those covered by groups H04R9/00 - H04R21/00
    • H04R23/008—Transducers other than those covered by groups H04R9/00 - H04R21/00 using optical signals for detecting or generating sound

Definitions

  • Vibration sensor Vibration sensor, vibration measuring array, chemical sensor and device having them
  • the invention relates to a vibration sensor, in particular microphone or hydrophone, having a first resonant element and a first optical interferometer, which has a first measuring path and a first reference path, wherein the first measuring path formed by a first measuring optical waveguide and the reference path by a first reference optical waveguide are,
  • Vibration measuring array chemical sensor and device.
  • a microphone or microphone is a sound transducer that converts airborne sound as sound pressure oscillations into corresponding electrical voltage changes as a microphone signal. Underwater microphones are referred to as hydrophones.
  • a thin, elastically mounted membrane follows the pressure fluctuations of the sound. By its movement, it simulates the time distribution of the alternating pressure.
  • a transducer which is mechanically or electrically coupled to the membrane, generates therefrom an audio frequency AC voltage corresponding to the membrane movement or a corresponding pulsating DC voltage.
  • the voice coil microphone is a type of dynamic microphone.
  • the term refers to the structure of the Converter.
  • the membrane is firmly connected to a coil (plunger coil) as in an electrodynamic loudspeaker, which is moved by the membrane movement in a permanent magnetic field (air gap of a pot magnet). The relative movement of coil and magnetic field generates the signal voltage by induction.
  • a piezo microphone is a microphone design whose transducer principle is based on the properties of piezoelectric elements.
  • a membrane follows the pressure fluctuations of the sound. It is mechanically coupled to a piezoelectric element. It is minimally deformed by the pressure fluctuations and outputs these as electrical voltage fluctuations.
  • piezoelectric material is usually the piezoceramic lead zirconate titanate
  • the object of the invention is to improve the state of the art. [08] The task is solved by a
  • Vibration sensor in particular microphone or hydrophone, having a first resonant element and a first optical interferometer, which has a first measuring path and a first reference path, wherein the first measuring path is formed by a first measuring optical waveguide and the reference path by a first reference optical waveguide, characterized in that Resonance element comprises the measuring optical waveguide, so that a first mechanical oscillation of the first resonant element results in that the first measuring optical waveguide substantially follows the first mechanical oscillation, wherein the first mechanical oscillation substantially from a first oscillation direction can be impressed on the first resonant element, and the reference optical waveguide mechanically Measuring optical fiber is decoupled.
  • Vibration sensors are provided. Furthermore, such vibration sensors are highly miniaturized. This is in particular because such
  • Vibration sensors can be produced by means of lithography process. In this case, in particular by one or multiple vapor deposition of layers / materials and one or multiple etching / exposure of the vibration sensor can be made in large numbers.
  • a (mechanical or acoustic) oscillation can essentially be determined by means of opto-electrical measuring methods, with the advantages of these opto-electrical methods in particular taking advantage to let. Also, the sensitivity to known vibration transducers can be improved.
  • the present vibrator can be used in both gaseous (e.g., air) and liquid (e.g., water) media.
  • a "microphone” is generally a transducer that converts (air) sound into an evaluable and / or amplified signal, whereby the sound may spread out of the air in other media, in particular the term “microphone” includes the term “hydrophone”.
  • Hydrophones are used to determine (sub) waterborne sound.
  • the typical interrogatable frequencies for such microphones / hydrophones are between a few Hz and several thousand kHz.
  • such hydrophones can be used for sonar techniques. The frequency adjustment essentially takes place through the design and selection of the resonance element.
  • the "resonance element” is the element that is excited to "swing" by the sound.
  • This can be, for example, a membrane.
  • Such membranes can form a wide variety of forms.
  • surface as well as hollow as well as three-dimensional structures can be realized.
  • a wide variety of materials can be used. However, particularly preferred materials are those used in chip production and in lithographic processes.
  • the resonance element essentially comprises silicon.
  • An "interferometer” is generally a technical device that is used for interferometry and is used to detect interference (superposition of waves, in this case light waves) .
  • the fields of application are length measurement, refractive index measurement, angle measurement and spectroscopy
  • at least two light bundles are guided by means of mirrors or semipermeable plates (so-called beam splitters) through separate optical paths (measuring path and reference path) and finally brought together again, resulting in an interference pattern (interference fringes or rings) which are in particular interrogated or measured.
  • This pattern is determined by the difference in the optical paths that the individual rays have traveled to the point of union, and changes in this pattern may indicate a change in the path.
  • the "measuring path” designates in particular an optical path which is guided on, on or in the resonance element, whereby a change / oscillation of the resonance element results in a path change of the measuring path, which can be determined by evaluating the interference pattern.
  • the measuring path is implemented in particular by a "measuring optical fiber" which can be realized in different ways: an optical fiber can be glued to the membrane, and the optical measuring fiber can be directly produced by vapor deposition of a lithographic process Glass material and etching away unneeded glass material, the measuring fiber optic cables are manufactured.
  • the "reference path” refers in particular to the other optical path of the interferometer
  • vibration decoupled arranged by the resonant element, so that vibrations substantially less affect the reference path and there is a difference in oscillation between the reference path and the measuring path.
  • vibrations to be measured cause less linear expansion of the reference path.
  • the reference path is realized in particular by a "reference optical waveguide", which can be provided differently, eg an optical glass fiber, which is arranged on a carrier for the membrane, or by the lithographic manufacturing process the reference optical waveguide can be directly vapor deposited a glass material and etching away unneeded glass material, the reference optical waveguide are produced.
  • a reference optical waveguide can be provided differently, eg an optical glass fiber, which is arranged on a carrier for the membrane, or by the lithographic manufacturing process the reference optical waveguide can be directly vapor deposited a glass material and etching away unneeded glass material, the reference optical waveguide are produced.
  • the measuring path and the reference path have the same length.
  • different lengths can be realized, wherein the difference in length is not greater than a coherence length of the light signal used.
  • the "mechanical vibration” is, in particular, a vibration that is imparted to the resonance element by sound Oscillation all time-dependent deformations, which can be impressed on the resonance element.
  • Imprintable means, in particular, that the resonance element - and thus the measurement fiber optic cable - couple to the sound or the vibration: phase shifts or nonlinear
  • the vibration sensor comprises a second resonance element and a second optical interferometer having a second measuring path and a second reference path, wherein the second measuring path through a second measuring optical waveguide and the second reference path through the first reference optical waveguide or a second
  • Reference optical waveguide are formed, wherein the second resonant element comprises the second measuring optical waveguide, so that a second mechanical oscillation of the second resonant element results in that the second measuring optical waveguide substantially follows the second mechanical oscillation, the second mechanical oscillation substantially from a second oscillation direction of the second resonant element can be imprinted, and the first reference optical waveguide or the second reference optical waveguide is mechanically decoupled from the second measuring optical waveguide.
  • Vibration direction at an angle to each other is configured such that, in an underlying coordinate system, the first and second directions of oscillation are mutually orthogonal.
  • first and second resonance element can be combined in one component.
  • the Resonance elements two mutually perpendicular interconnected membranes.
  • the first measuring path and the second measuring path can be interrogated by a single measuring optical waveguide.
  • the changes in length of the first resonant element and the second resonant element can add up, so that an increase in sensitivity can be realized.
  • the vibration sensor comprises a third resonance element and a third optical interferometer, which has a third measurement path and a third reference path, wherein the third measurement path through a third measurement optical waveguide and the third reference path through the first reference optical waveguide or the second
  • Reference optical waveguide are formed, wherein the third resonant element comprises the third measuring optical waveguide, so that a third mechanical vibration of the third resonant element causes the third measuring optical waveguide of the third mechanical vibration substantially follows, the third mechanical vibration substantially from a third direction of vibration of the third resonant element can be imprinted, and the first reference optical waveguide or the second reference optical waveguide or the third reference optical waveguide mechanically from the third
  • Measuring optical fiber is decoupled. [32] Again, the above advantages can be implemented, with an extension to a three-dimensional measuring system is given. Thus, the sound or the vibration can be spatially evaluated. The directions and arrangements of the two-dimensional case can here be extended to the third dimension.
  • the three reference paths or only two reference paths can be formed by the same reference optical waveguide.
  • the signal for generating the reference pattern can be formed for example by beam splitters.
  • a respective profile of the respective measuring optical waveguides on the respective resonant elements and / or in the respective resonant elements and / or around the respective resonant elements can be adapted to a respective target frequency mode of the respective resonant elements.
  • a "target frequency mode” is in particular the surface shape of the resonant element, which forms at a fixed frequency Depending on how the measuring waveguide is guided along the "wave crests" and “wave troughs", amplification or filtering can take place Target frequency modes determined by means of FEM (finite element method) or metrologically.
  • FEM finite element method
  • At least one of the resonance elements, in particular all the resonance elements, is designed as a membrane.
  • a “membrane”, also called vibration membrane or oscillation membrane, comprises a thin skin or film that is to create, modify or follow vibrations.
  • the vibration sensor comprises a (single) resonance body, which has the respective resonance elements.
  • the resonance body may be, for example, a hollow body.
  • the resonant body may be a hollow cube or partial cube or generally (hollow) polyhedron or partial polyhedron.
  • three surfaces of the aforementioned algebraic body form the membranes.
  • the respective directions of vibration form a two-dimensional or three-dimensional space.
  • a spatial vibration measuring method can be provided.
  • the vibration sensor has a carrier structure which transmits the reference optical waveguide or the reference light waveguide. ladder.
  • the support structure may additionally serve as a support for the resonant element or for the resonant elements, whereby a vibration decoupling occurs due to the structure and structure of the carrier and the attachment of the resonant element.
  • the support structure is designed to be particularly rigid, so that an impact of vibrations to be measured is minimized.
  • the optical interferometers have one or more beam splitters, which divide an input beam or a plurality of input beams onto the respective measuring optical waveguides and reference optical waveguides.
  • one light source can be used for several or all measurement paths.
  • the light source emits the input beam.
  • the light source used are in particular lasers or light-emitting diodes.
  • a narrow-band optical filter is or are arranged in front of the beam splitter or in front of the beam splitters, or a plurality of narrow-band filters are arranged which are or are designed in particular as a fiber Bragg grating.
  • light emitting diodes or laser diodes can be used, which are used in the optical communication of fiber optic networks.
  • different fiber Bragg gratings or narrowband filters which are each designed for a different wavelength.
  • the filter / fiber Bragg gratings may be arranged after the beam splitter.
  • the vibration sensor comprises a beam superposer which forms an interference beam each from a reference beam or a plurality of reference beams and a respective measurement beam.
  • the "reference beam” is the light signal that leaves the reference path, and in particular, this is the signal that is extracted from the reference fiber optic cable.
  • the "measuring beam” is the light signal that leaves the measuring path, in particular, this is the signal that is decoupled from the measuring fiber.
  • the "beam superposer” merges the measuring beam and the reference beam in such a way that an interference pattern is formed, for example, the beam superposer can be realized by a beam splitter.
  • the interference beam is by means of a
  • the vibration sensor comprises an optical coupling element, which converts the interference beams into a result beam.
  • the coupling element may be an optoelectronic component or a lens.
  • the result beam is guided in a result-light waveguide and, in particular, the result-light waveguide is configured as a multimode optical waveguide.
  • the result beam can be guided without complex optics.
  • the vibration sensor comprises an optical comb filter which separates the result beam so that the interference beams are present.
  • interference beams are directed to a detector, a change in the interference pattern at the detector can be read off.
  • the detector is in particular a spatially resolving detector.
  • the detector may be a CCD detector (charge couple device detector) or a position diode or photodiode array.
  • the vibration sensor may comprise a light source, which is in particular a coherent light source and / or a broadband light emitting diode, wherein a central wavelength range of the light emitting diode is hidden.
  • the object is achieved by a vibration measuring array which has two, three, four, five, six or more previously mentioned vibration sensors.
  • vibration frequencies can be determined by the individual vibration sensor.
  • a spatial resolution can be realized. Such a spatial resolution is extremely advantageous, for example, in the case of sonars.
  • a redundancy can be provided, can be used by the failure of a vibration sensor on other vibration sensor.
  • the vibration sensors are fed a common light source.
  • Different narrowband filters e.g., fiber Bragg filters
  • Different narrowband filters can provide different wavelengths to the vibrometer array.
  • the individual vibration sensors can use a common detector and / or a common comb filter and / or a common result waveguide of the vibration measuring array.
  • the object is achieved by a chemical sensor which has a previously named vibration sensor or a previously named vibration measuring array, wherein one of the resonance elements is arranged such that a substance to be detected is adsorbable to the resonance element, and the Chemistry sensor has a sounder, which imposes a defined mechanical vibration of the resonance element.
  • the present chemical sensor makes use of the fact that by adsorbing or attaching a substance to the resonance element, the resonance properties of the resonance element change and thus the resonance element performs a changed oscillation.
  • the adsorption (of lat. Adsorptio, of adsorbed "sucking") is the enrichment of substances from gases or liquids on the surface of a solid, more generally at the interface between two phases.
  • Vibration sensor or the vibration measuring arrays are transferable to the chemical sensor.
  • the introduced definitions for the chemical sensor also apply.
  • the resonant element may have docking sites for specific molecules or atoms on its surface.
  • the chemical sensor comprises a heating element which is arranged such that a temperature can be imposed on the resonance element by means of the heating element, so that a desorption can be carried out.
  • a conductor is arranged below the resonance element, wherein this conductor is energized for heating.
  • Desorption is the removal of previously adsorbed or absorbed substances.
  • the object is achieved by an acceleration sensor which has a previously described vibration sensor or a previously described vibration measurement array, one of the resonance elements additionally having an acceleration mass.
  • an alternative and novel acceleration sensor may be provided which additionally or alternatively has previous advantages.
  • the acceleration mass may beneficially affect a signal for evaluating positive or negative acceleration.
  • the object is achieved by a device which has a previously named vibration transducer or a previously named vibration transducer
  • Vibration measuring array or a previously named chemical sensor has.
  • Figure 1 is a schematic representation of a
  • Figure 2 is a schematic representation of the
  • Vibration sensor of Figure 1 along a cut edge AA m one
  • Figure 3 is a schematic representation of the structure of a hydrophone.
  • a vibration sensor 101 comprises a membrane carrier 103 and a membrane 105.
  • the membrane 105 can be divided into two Alternatives are stored. On the one hand, the storage takes place by means of connecting webs 107, which connects the membrane 105 with the membrane carrier 103. Alternatively, the membrane 105 is mounted on the membrane support 103 by means of a central bearing 207.
  • a cavity 104 is formed between the circular membrane 105 and the membrane support 103.
  • the membrane 105 has a diameter of 300 microns and the connecting webs 107 or alternatively the bearing 207 has a width of about 15 microns.
  • the membrane support 103 is made of crystalline silicon and has a much larger mass than the membrane 105, is a mechanical
  • the light signal to be superimposed is provided by means of a supply optical waveguide 113 and divided by means of the beam splitter 115 onto the measuring optical waveguide 109 and the reference optical waveguide 111.
  • Reference optical waveguide 111 and measuring optical waveguide 109 are adhered to the vibration sensor 101.
  • the optical fibers by means of lithographic processes by vapor deposition and
  • Measuring optical waveguide 109 and reference optical waveguide 111 have approximately the same length.
  • the measuring optical waveguide 109 is guided via the connecting web 107 on the membrane 105 and arranged meandering there and then guided back to the membrane carrier 103 via the second connecting web 107.
  • the measuring optical waveguide has a loop between membrane carrier 103 and membrane 105, so that no additional voltages are impressed on the measuring optical waveguide 109.
  • the reference optical waveguide 111 is completely guided on the membrane carrier 103.
  • the present vibration sensor 101 is manufactured by the lithographic method.
  • the cavity 104 is impressed on the vibration sensor 103 by means of e-beaming / sputtering and corresponding etching treatments.
  • the diaphragm 105 is subjected to a mechanical or acoustic voltage, this will cause the measuring optical waveguide 109 to vary slightly in its length. This in turn means that superimposing a signal of the measuring optical waveguide 109 and the reference optical waveguide 111 results in a changing interference pattern. These changes are determined and thus the oscillation frequency detected.
  • the present vibration sensor 101 may be formed into a cube having at least three mutually orthogonal surfaces. At each of these surfaces is then a measuring optical waveguide 109th arranged. Thus, an acoustic vector sensor can be provided.
  • a hydrophone 301 can be realized.
  • a modification to a microphone or a (mechanical) vibration sensor is not explained separately, since only a modification of the membrane or an input signal must be made.
  • the hydrophone 301 has a light source 331, a beam splitter 341, fiber optic Bragg gratings 343, a plurality of vibration sensors 101, which include
  • the light source 331 generates a wideband signal. This is achieved by optically pumping a doped special fiber 335 with a powerful diode laser 333.
  • the wavelength of the optical signal which emits the doped glass fiber 335 is in the range of 1.5 micrometers.
  • the waveform is shown schematically in the spectrum 337.
  • the signal of the doped glass fiber 335 is split by means of the beam splitter 341 onto the individual supply optical waveguides 113 for the individual vibration sensors 101.
  • the individual supply optical waveguides 113 in turn, have fiber Bragg gratings which generate narrow-band signals (see schematic spectrum 345) from the broadband signal (see schematic spectrum 337). These signals are the
  • Vibration array with its individual Vibration sensors 101 supplied.
  • Each individual vibration sensor 101 of the vibration sensor array 321 uses a signal of different wavelengths, since the individual fiber Bragg gratings 344 are configured differently.
  • the spectrum of the signal in the multimode fiber 359 is also shown (see 357).
  • the signal of the multimode fiber 359 becomes an arrayed waveguide grating
  • AMG AMG 353 which in turn separates the result signals and directs them to a photodiode array 355.

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Schwingungsaufnehmer, insbesondere Mikrofon oder Hydrofon, mit einem ersten Resonanzelement und einem ersten optischen Interferometer, welches einen ersten Messweg und einen ersten Referenzweg aufweist, wobei der erste Messweg durch einen ersten Messlichtwellenleiter und der Referenzweg durch einen ersten Referenzlichtwellenleiter gebildet sind, dadurch gekennzeichnet, dass das Resonanzelement den Messlichtwellenleiter aufweist, sodass eine erste mechanische Schwingung des ersten Resonanzelements dazu führt, dass der erste Messlichtwellenleiter der ersten mechanischen Schwingung im Wesentlichen folgt, wobei die erste mechanische Schwingung im Wesentlichen aus einer ersten Schwingungsrichtung dem ersten Resonanzelement aufprägbar ist, und der Referenzlichtwellenleiter mechanisch vom Messlichtwellenleiter entkoppelt ist. Somit kann ein vollkommen neuartiger Schwingungsaufnehmer bereitgestellt werden.

Description

Schwingungsaufnehmer, Schwingungsmessarray, Chemiesensor sowie Vorrichtung, welche diese aufweist
[01] Die Erfindung betrifft einen Schwingungsaufnehmer, insbesondere Mikrophon oder Hydrophon, mit einem ersten Resonanzelement und einem ersten optischen Interferometer, welches einen ersten Messweg und einen ersten Referenzweg aufweist, wobei der erste Messweg durch einen ersten Messlichtwellenleiter und der Referenzweg durch einen ersten Referenzlichtwellenleiter gebildet sind,
Schwingungsmessarray, Chemiesensor und Vorrichtung.
[02] Ein Mikrofon oder Mikrophon ist ein Schallwandler, der Luftschall als Schallwechseldruckschwingungen in entsprechende elektrische Spannungsänderungen als Mikrofonsignal umwandelt. Unterwasser-Mikrofone werden als Hydrofone bezeichnet. In der gängigen Bauform folgt eine dünne, elastisch gelagerte Membran den Druckschwankungen des Schalls. Sie bildet durch ihre Bewegung die zeitliche Verteilung des Wechseldrucks nach. Ein Wandler, der mechanisch oder elektrisch mit der Membran gekoppelt ist, generiert daraus eine der Membranbewegung entsprechende Tonfrequenz-Wechselspannung oder eine entsprechende pulsierende Gleichspannung.
[03] Zwei bekannte Umsetzungen von Mikrofonen sind das Tauchspulenmikrofon und das Piezomikrofon . Das Tauchspulenmikrofon ist eine Bauform eines dynamischen Mikrofons. Der Begriff bezieht sich auf den Aufbau des Wandlers. Bei diesen Tauchspulmikrofonen ist die Membran wie bei einem elektrodynamischen Lautsprecher fest mit einer Spule (Tauchspule) verbunden, die durch die Membranbewegung in einem dauermagnetischen Feld (Luftspalt eines Topfmagneten) bewegt wird. Die relative Bewegung von Spule und Magnetfeld erzeugt durch Induktion die Signalspannung .
[04] Ein Piezomikrofon ist eine Mikrofonbauform, deren Wandlerprinzip auf den Eigenschaften piezoelektrischer Elemente beruht. Eine Membran folgt den Druckschwankungen des Schalls. Sie ist mechanisch mit einem piezoelektrischen Element gekoppelt. Es wird durch die Druckschwankungen minimal verformt und gibt diese als elektrische Spannungsschwankungen aus. Als piezoelektrisches Material wird üblicherweise die Piezokeramik Blei-Zirkonat-Titanat
(PZT) verwendet.
[05] Die Mikrofone des Standes der Technik sind in ihrer Miniaturisierung beschränkt, insbesondere, wenn Schall aus unterschiedlichen Richtungen ausgewertet werden soll.
[06] Weiterhin ist gemäß dem Stand der Technik bekannt, dass mechanische Schwingungen mittels Dehnungsmessstreifen oder optischer Faser-Bragg-Gitter ermittelbar sind. Auch hier ist teilweise die Miniaturisierung begrenzt oder kann nur in geringen Schritten vorangetrieben werden. Weiterhin ist die Empfindlichkeit teilweise nicht ausreichend.
[07] Aufgabe der Erfindung ist es, den Stand der Technik zu verbessern . [08] Gelöst wird die Aufgabe durch einen
Schwingungsaufnehmer, insbesondere Mikrofon oder Hydrofon, mit einem ersten Resonanzelement und einem ersten optischen Interferometer, welches einen ersten Messweg und einen ersten Referenzweg aufweist, wobei der erste Messweg durch einen ersten Messlichtwellenleiter und der Referenzweg durch einen ersten Referenzlichtwellenleiter gebildet sind, dadurch gekennzeichnet, dass das Resonanzelement den Messlichtwellenleiter aufweist, sodass eine erste mechanische Schwingung des ersten Resonanzelements dazu führt, dass der erste Messlichtwellenleiter der ersten mechanischen Schwingung im Wesentlichen folgt, wobei die erste mechanische Schwingung im Wesentlichen aus einer ersten Schwingungsrichtung dem ersten Resonanzelement aufprägbar ist, und der Referenzlichtwellenleiter mechanisch vom Messlichtwellenleiter entkoppelt ist.
[09] Somit kann ein vollkommen neuartiger
Schwingungsaufnehmer bereitgestellt werden. Weiterhin sind derartige Schwingungsaufnehmer stark miniaturisierbar. Dies liegt insbesondere daran, dass derartige
Schwingungsaufnehmer mittels Lithographie-Verfahren herstellbar sind. Dabei kann insbesondere durch ein oder mehrfaches Aufdampfen von Schichten/Materialien und ein oder mehrfaches Ätzen/Belichten der Schwingungsaufnehmer in großer Zahl gefertigt werden.
[10] Zudem kann eine (mechanische oder akustische) Schwingung im Wesentlichen mittels opto-elektrischer Messverfahren bestimmt werden, wobei sich insbesondere die Vorteile dieser opto-elektrischen Verfahren ausnutzen lassen. Auch kann die Empfindlichkeit gegenüber bekannten Schwingungsaufnehmern verbessert werden.
[11] Zudem kann vorliegender Schwingungsaufnehmer sowohl in gasförmigen (z.B. Luft) oder flüssige (z.B. Wasser) Medien verwendet werden.
[12] Folgendes Begriffliche sei erläutert:
[13] Ein „Mikrofon" ist allgemein ein Schallaufnehmer, welcher (Luft) Schall in ein auswertbares und/oder verstärktes Signal umwandelt. Dabei kann sich der Schall auch in anderen Medien außer Luft ausbreiten. Insbesondere umfasst der Begriff Mikrofon den Begriff „Hydrofon". Hydrofone werden zum Bestimmen von (Unter ) Wasserschall eingesetzt. Die typisch abfragbaren Frequenzen für derartige Mikrofone/Hydrofone liegen zwischen wenigen Hz und mehrere tausend kHz. Insbesondere können derartige Hydrofone für Sonartechniken eingesetzt werden. Die Frequenzanpassung erfolgt im Wesentlichen durch die Gestaltung und Auswahl des Resonanzelements.
[14] Das „Resonanzelement" ist das Element, welches zum „Schwingen" durch den Schall angeregt wird. Dies kann beispielsweise eine Membran sein. Derartige Membranen können unterschiedlichste Formen ausbilden. So sind flächige als auch hohle als auch dreidimensionale Strukturen realisierbar. Auch können unterschiedlichste Materialien eingesetzt werden. Besonders bevorzugt sind jedoch Materialien, wie sie in der Chipfertigung und bei Lithographischen-Verfahren eingesetzt werden. Insbesondere weist das Resonanzelement im Wesentlichen Silizium auf. [15] Ein „Interferometer" ist allgemein ein technisches Gerät, welches der Interferometrie dient. Es wird für die Feststellung von Interferenzen (Überlagerungen von Wellen, hier Lichtwellen) genutzt. Einsatzfelder sind die Längenmessung, die Brechzahlmessung, die Winkelmessung und die Spektroskopie. Beim vorliegenden Interferometer werden mindestens zwei Lichtbündel mithilfe von Spiegeln oder halbdurchlässigen Platten (sogenannten Strahlteilern) durch getrennte optische Bahnen (Messweg und Referenzweg) geführt und am Ende wieder zusammengeführt. Ergebnis ist ein Interferenzmuster (Interferenzstreifen oder -ringe), welche insbesondere abgefragt oder gemessen werden. Dieses Muster wird durch die Differenz der optischen Wege bestimmt, welche die einzelnen Strahlen bis zur Vereinigung zurückgelegt haben. Durch Änderungen dieses Musters kann auf eine Wegänderung geschlossen werden.
[16] Der „Messweg" bezeichnet insbesondere eine optische Bahn, welche auf, an oder im Resonanzelement geführt wird. Dabei wirkt sich eine Änderung/Schwingung des Resonanzelements in eine Wegänderung des Messwegs aus, welche durch Auswerten des Interferenzmusters bestimmbar ist .
[17] Der Messweg wird insbesondere durch einen „Messlichtwellenleiter" umgesetzt. Dieser kann unterschiedlich realisiert werden. So kann eine optische Glasfaser auf die Membran geklebt werden. Auch kann durch den lithographischen Herstellungsprozess der optische Messlichtwellenleiter direkt durch Aufdampfen eines Glasmaterials und Wegätzen nicht benötigtem Glasmaterials, der Messlichtwellenleiter hergestellt werden.
[18] Der „Referenzweg" bezeichnet insbesondere die andere optische Bahn des Interferometers . Dieser Referenzweg ist
( schwingungs ) entkoppelt von dem Resonanzelement angeordnet, sodass sich Schwingungen im Wesentlichen weniger stark auf den Referenzweg auswirken und ein Schwingungsunterschied zwischen Referenzweg und Messweg gegeben ist. Somit bewirken zu messende Schwingungen eine geringere Längenausdehnung des Referenzwegs.
[19] Der Referenzweg wird insbesondere durch einen „Referenzlichtwellenleiter" realisiert. Dieser kann unterschiedlich bereitgestellt werden. So kann eine optische Glasfaser verwendet werden, welche an einem Träger für die Membran angeordnet ist. Auch kann durch den lithographischen Herstellungsprozess der optische Referenzlichtwellenleiter direkt durch Aufdampfen eines Glasmaterials und Wegätzen nicht benötigtem Glasmaterials, der Referenzlichtwellenleiter hergestellt werden.
[20] Insbesondere weisen Messweg und Referenzweg die gleiche Länge auf. Jedoch können auch unterschiedliche Längen realisiert werden, wobei der Längenunterschied nicht größer als eine Kohärenzlänge des verwendeten Lichtsignals sein .
[21] Die „mechanische Schwingung" ist insbesondere eine Schwingung, welche dem Resonanzelement durch einen Schall aufgeprägt wird. Allgemein umfasst die mechanische Schwingung sämtliche zeitabhängigen Verformungen, welche dem Resonanzelement aufgeprägt werden können .
[22] Dadurch, dass Messlichtwellenleiter und das Resonanzelement fest miteinander verbunden sind, „folgt der Messlichtwellenleiter der ersten mechanischen Schwingung im Wesentlichen". Somit wirken sich Längenänderungen des Resonanzelements direkt auf den Messlichtwellenleiter aus. Im Wesentlichen in diesem Zusammenhang soll bedeuten, dass für die Realisierung lediglich ein gewisses Koppeln der Bewegung von Resonanzelement und Messlichtwellenleiter gegeben sein muss.
[23] Schall oder auch allgemeine Schwingungen sind meist räumliche Erscheinungen. „Im Wesentlichen aus einer ersten Schwingungsrichtung" soll im vorliegenden Zusammenhang als die Hauptwirkrichtung des Schalls oder der Schwingung verstanden werden.
[24] Unter „aufprägbar" ist insbesondere zu verstehen, dass das Resonanzelement - und somit der Messlichtwellenleiter - an dem Schall oder der Schwingung koppeln. Phasenverschiebungen oder nichtlineare
Intensitätsänderungen sind unschädlich.
[25] Beim „Entkoppeln" sind Referenzweg und Messweg schwingungstechnisch entkoppelt. Die Entkopplung muss nicht vollständig sein. Vorliegend reicht ein messbarer
( Schwingngs- ) Unterschied aus.
[26] In einer weiteren Aus führungs form umfasst der Schwingungsaufnehmer ein zweites Resonanzelement und ein zweites optisches Interferometer, welches einen zweiten Messweg und einen zweiten Referenzweg aufweist, wobei der zweite Messweg durch einen zweiten Messlichtwellenleiter und der zweite Referenzweg durch den ersten Referenzlichtwellenleiter oder einen zweiten
Referenzlichtwellenleiter gebildet sind, wobei das zweite Resonanzelement den zweiten Messlichtwellenleiter aufweist, sodass eine zweite mechanische Schwingung des zweiten Resonanzelements dazu führt, dass der zweite Messlichtwellenleiter der zweiten mechanischen Schwingung im Wesentlichen folgt, wobei die zweite mechanische Schwingung im Wesentlichen aus einer zweiten Schwingungsrichtung dem zweiten Resonanzelement aufprägbar ist, und der erste Referenzlichtwellenleiter oder der zweite Referenzlichtwellenleiter mechanisch vom zweiten Messlichtwellenleiter entkoppelt ist.
[27] Dadurch kann Schall aus zwei unterschiedlichen Richtungen bestimmt werden. Auch können somit die zuvor beschriebenen Vorteile realisiert und die Nachteile des Standes der Technik behoben werden.
[28] Insbesondere weisen erste und zweite
Schwingungsrichtung einen Winkel zueinander auf. Bevorzugt ist der Winkel derart ausgestaltet, dass, in einem zu Grunde liegenden Koordinatensystem, die erste und zweite Schwingungsrichtung zueinander orthogonal sind.
[29] Zudem können erstes und zweites Resonanzelement in einem Bauteil zusammengefasst sein. Beispielsweise sind die Resonanzelemente zwei rechtwinklig zueinander stehende miteinander verbundene Membranen.
[30] Auch können der erste Messweg und der zweite Messweg durch einen einzelnen Messlichtwellenleiter abgefragt werden. In dieser Ausprägungsform können sich die Längenänderungen des ersten Resonanzelements und des zweiten Resonanzelements addieren, sodass sich eine Empfindlichkeitserhöhung realisieren lässt.
[31] In einer weiteren Ausprägungsform umfasst der Schwingungsaufnehmer ein drittes Resonanzelement und ein drittes optisches Interferometer, welches einen dritten Messweg und einen dritten Referenzweg aufweist, wobei der dritte Messweg durch einen dritten Messlichtwellenleiter und der dritte Referenzweg durch den ersten Referenzlichtwellenleiter oder den zweiten
Referenzlichtwellenleiter oder einen dritten
Referenzlichtwellenleiter gebildet sind, wobei das dritte Resonanzelement den dritten Messlichtwellenleiter aufweist, sodass eine dritte mechanische Schwingung des dritten Resonanzelements dazu führt, dass der dritte Messlichtwellenleiter der dritten mechanischen Schwingung im Wesentlichen folgt, wobei die dritte mechanische Schwingung im Wesentlichen aus einer dritten Schwingungsrichtung dem dritten Resonanzelement aufprägbar ist, und der erste Referenzlichtwellenleiter oder der zweite Referenzlichtwellenleiter oder der dritte Referenzlichtwellenleiter mechanisch vom dritten
Messlichtwellenleiter entkoppelt ist. [32] Auch hier können sich vorgenannte Vorteile umsetzen lassen, wobei eine Erweiterung zu einem dreidimensionalen Messsystem gegeben ist. Somit kann der Schall oder die Schwingung räumlich ausgewertet werden. Die Richtungen und Anordnungen des zweidimensionalen Falls können hier auf die dritte Dimension erweitert werden.
[33] An dieser Stelle sei erwähnt, dass die drei Referenzwege oder auch nur zwei Referenzwege durch denselben Referenzlichtwellenleiter gebildet werden können. Dabei kann das Signal zum Erzeugen der Referenzmuster beispielsweise durch Strahlteiler gebildet werden.
[34] Um die Messempfindlichkeit zu erhöhen oder zu erniedrigen, kann ein jeweiliger Verlauf der jeweiligen Messlichtwellenleiter auf den jeweiligen Resonanzelementen und/oder in den jeweiligen Resonanzelementen und/oder um die jeweiligen Resonanzelemente auf eine jeweilige Zielfrequenzmode der jeweiligen Resonanzelemente angepasst sein .
[35] Eine „Zielfrequenzmode" ist insbesondere die Oberflächenform des Resonanzelements, welche sich bei einer festen Frequenz ausbildet. Je nach dem wie der Messlichtwellenleiter entlang der „Wellenberge" und „Wellentäler" geführt wird kann ein Verstärken oder ein Filtern erfolgen. Insbesondere werden die Zielfrequenzmoden mittels FEM ( Finite-Elemente-Methode ) oder messtechnisch bestimmt . [36] In einer weiteren Aus führungs form ist wenigstens eines der Resonanzelemente, insbesondere sind sämtliche Resonanzelemente, als Membran ausgestaltet.
[37] Dadurch können insbesondere effektive Mikrofone und Hydrofone bereitgestellt werden.
[38] Eine „Membran", auch Schwingungsmembran oder Oszillationsmembrane genannt, umfasst eine dünne Haut oder Folie, die Schwingungen erzeugen, modifizieren oder nachfolgen soll.
[39] Um den Schall oder die Schwingung räumlich besonders effektiv zu bestimmen, umfasst der Schwingungsaufnehmer einen (einzelnen) Resonanzkörper, welcher die jeweiligen Resonanzelemente aufweist.
[40] Dabei kann der Resonanzkörper beispielsweise ein Hohlkörper sein. Insbesondere kann der Resonanzkörper ein hohler Würfel oder Teilwürfel oder allgemein (hohler) Polyeder oder Teilpolyeder sein. Dabei bilden insbesondere drei Flächen der vorgenannten algebraischen Körper die Membranen .
[41] In einer weiteren Ausprägungsform bilden die jeweiligen Schwingungsrichtungen einen zweidimensionalen oder dreidimensionalen Raum. Somit kann ein räumliches Schwingungsmessverfahren bereitgestellt werden.
[42] Um die Messempfindlichkeit zu verbessern, weist der Schwingungsaufnehmer eine Trägerstruktur auf, welche den Referenzlichtwellenleiter oder die Referenzlichtwellen- leiter aufweist. Die Trägerstruktur kann dabei zusätzlich als Träger für das Resonanzelement oder für die Resonanzelemente dienen, wobei durch Aufbau und Struktur des Trägers und der Befestigung des Resonanzelements ein Schwingungsentkoppeln erfolgt. Die Trägerstruktur ist besonders steif ausgelegt, sodass ein Aufprägen von zu messenden Schwingungen minimiert ist.
[43] In einer weiteren Aus führungs form weisen die optischen Interferometer einen oder mehrere Strahlteiler auf, welcher oder welche einen Eingangsstrahl oder mehrere Eingangsstrahlen auf die jeweiligen Messlichtwellenleiter und Referenzlichtwellenleiter aufteilt. Somit kann eine Lichtquelle für mehrere oder sämtliche Messwege verwendet werden. Dabei sendet die Lichtquelle den Eingangsstrahl aus. Als Lichtquelle dienen insbesondere Laser oder auch Leuchtdioden .
[44] Um eine Vielzahl von Lichtquellen verwenden zu können, ist oder sind vor dem Strahlteiler oder vor den Strahlteilern ein schmalbandiges optisches Filter angeordnet oder mehrere schmalbandige Filter angeordnet, welches oder welche insbesondere als Faser-Bragg-Gitter ausgestaltet ist oder sind. Somit können auch Leuchtdioden oder Laserdioden eingesetzt werden, welche in der optischen Kommunikation von Glasfasernetzwerken eingesetzt werden. Auch können unterschiedliche Faser-Bragg-Gitter oder schmalbandige Filter verwendet werden, welche jeweils auf eine andere Wellenlänge ausgelegt sind. In diesem Fall können die Filter/Faser-Bragg-Gitter nach dem Strahlteiler angeordnet sein. [45] In einer weiteren Aus führungs form umfasst der Schwingungsaufnehmer einen Strahlüberlagerer, welcher je einen Interferenzstrahl aus einem Referenzstrahl oder mehreren Referenzstrahlen und je einem Messstrahl bildet.
[46] Der „Referenzstrahl" ist das Lichtsignal, welches den Referenzweg verlässt. Insbesondere ist dies das Signal, welches aus dem Referenzlichtwellenleiter ausgekoppelt wird .
[47] Der „Messstrahl" ist das Lichtsignal, welches den Messweg verlässt. Insbesondere ist dies das Signal, welches aus dem Messlichtwellenleiter ausgekoppelt wird.
[48] Der „Strahlüberlagerer" führt Messstrahl und Referenzstrahl derart zusammen, sodass sich ein Interferenzmuster ausbildet. Der Strahlüberlagerer kann beispielsweise durch einen Strahlteiler realisiert sein.
[49] In einer weiteren Aus führungs form ist der Interferenzstrahl mittels eines
Interferenzlichtwellenleiters oder sind die
Interferenzstrahlen mittels mehrerer
Interferenzlichtwellenleiter geführt .
[50] Um einen oder mehrere Interferenzstrahlen zu führen, umfasst der Schwingungsaufnehmer ein optisches Einkoppelelement, welches die Interferenzstrahlen in einen Ergebnisstrahl überführt.
[51] Dabei kann das Einkoppelelement ein optoelektronisches Bauteil oder eine Linse sein. [52] In einer weiteren Aus führungs form ist der Ergebnisstrahl in einem Ergebnislichtwellenleiter geführt und ist insbesondere der Ergebnislichtwellenleiter als ein Multimodenlichtwellenleiter ausgestaltet. Somit kann ohne aufwändige Optiken der Ergebnisstrahl geführt werden.
[53] Um mehrere Ergebnisstrahlen, insbesondere mit unterschiedlichen Längenwellen, zu separieren, umfasst der Schwingungsaufnehmer ein optisches Kammfilter, welches den Ergebnisstrahl separiert, sodass die Interferenzstrahlen vorliegen .
[54] Werden die Interferenzstrahlen auf einen Detektor gelenkt, kann eine Änderung des Interferenzmusters am Detektor abgelesen werden.
[55] In einer Ausprägungsform ist der Detektor insbesondere ein ortsauflösender Detektor. Der Detektor kann ein CCD- Detektor (Charge Couple Device-Detektor) oder eine Positionsdiode oder Photodiodenarray sein.
[56] Der Schwingungsaufnehmer kann eine Lichtquelle aufweisen, welche insbesondere eine kohärente Lichtquelle und/oder eine breitbandige Leuchtdiode ist, wobei ein zentraler Wellenlängenbereich der Leuchtdiode ausgeblendet ist .
[57] Dies bietet den Vorteil, dass aus der Kommunikationstechnik bekannte (breitbandige) Dioden verwendet werden können, welche beispielsweise beim Lithographieherstellungsprozess dem Schwingungsaufnehmer hinzugefügt werden können. Gerade durch das Verwenden der Nebenbereiche des Spektrums , können breite Wellenlängenbereiche abgedeckt und als Ausgangssignal verwendet werden.
[58] In einem weiteren Aspekt der Erfindung wird die Aufgabe gelöst durch ein Schwingungsmessarray, welches zwei, drei, vier, fünf, sechs oder mehr zuvor genannte Schwingungsaufnehmer aufweist.
[59] Somit können durch die einzelnen Schwingungsaufnehmer unterschiedliche Schwingungsfrequenzen ermittelt werden. Auch kann eine Ortsauflösung realisiert werden. Eine solche Ortsauflösung ist beispielsweise bei Sonaren äußerst vorteilhaft. Auch kann eine Redundanz bereitgestellt werden, durch die bei einem Ausfall eines Schwingungsaufnehmers auf andere Schwingungsaufnehmer zurückgegriffen werden kann.
[60] In einer diesbezüglichen Aus führungs form werden die Schwingungsaufnehmer eine gemeinsame Lichtquelle gespeist. Durch unterschiedliche schmalbandige Filter (z.B. Faser- Bragg-Filter ) können unterschiedliche Wellenlängen dem Schwingungsmessarray zur Verfügung gestellt werden.
[61] Um die Bauteilanzahl zu verringern und ein kompaktes Schwingungsmessarray zur Verfügung zu stellen, können die einzelnen Schwingungsaufnehmer einen gemeinsamen Detektor und/oder ein gemeinsames Kammfilter und/oder einen gemeinsamen Ergebniswellenleiter des Schwingungsmessarray verwenden . [62] In einem weiteren Aspekt der Erfindung wird die Aufgabe gelöst durch einen Chemiesensor, welcher einen zuvor benannten Schwingungsaufnehmer oder ein zuvor benanntes Schwingungsmessarray aufweist, wobei eines der Resonanzelemente derart angeordnet ist, dass ein zu detektierender Stoff an dem Resonanzelement adsorbierbar ist, und der Chemiesensor einen Schallgeber aufweist, welche dem Resonanzelement eine definierte mechanische Schwingung aufprägt.
[63] Der vorliegende Chemiesensor macht sich zu Nutze, dass durch das Adsorbieren oder das Anlagern eines Stoffes an das Resonanzelement, sich die Resonanzeigenschaften des Resonanzelements ändern und somit das Resonanzelement eine geänderte Schwingung durchführt.
[64] Als Adsorption (von lat. adsorptio, von adsorbere „( an) saugen" ) sei vorliegend die Anreicherung von Stoffen aus Gasen oder Flüssigkeiten an der Oberfläche eines Festkörpers, allgemeiner an der Grenzfläche zwischen zwei Phasen, verstanden.
[65] Mit umfasst ist die Absorption, bei der die Stoffe in das Innere eines Festkörpers (hier Resonanzelement) oder einer Flüssigkeit (hier im Resonanzelement angeordnete Flüssigkeit) eindringen.
[66] Adsorbieren zwei oder mehr Spezies an eine Oberfläche, so nennt man dies Koadsorption, welche ebenfalls vom Begriff Adsorption mit umfasst sei. [67] Im Weiteren sei darauf hingewiesen, dass sämtliche Modifikationen und Ausgestaltungsformen des
Schwingungsaufnehmers oder des Schwingungsmessarrays auf den Chemiesensor übertragbar sind. Zudem gelten auch die eingeführten Definitionen für den Chemiesensor.
[68] Um selektiv Stoffe auf der Oberfläche des Resonanzelements adsorbieren zu lassen, kann das Resonanzelement an seiner Oberfläche Andockstellen für spezielle Moleküle oder Atome aufweisen.
[69] Um den Chemiesensor mehrfach, insbesondere reversibel zu verwenden, umfasst der Chemiesensor ein Heizelement, welches derart angeordnet ist, dass mittels des Heizelements dem Resonanzelement eine Temperatur aufprägbar ist, sodass eine Desorption durchführbar ist. Beispielsweise ist ein Leiter unterhalb des Resonanzelements angeordnet, wobei dieser Leiter zum Heizen mit Strom beaufschlagt wird.
[70] Desorption sei vorliegend das Entfernen zuvor adsorbierter oder absorbierter Stoffe.
[71] In einem zusätzlichen Aspekt wird die Aufgabe gelöst durch einen Beschleunigungssensor, welcher einen zuvor beschriebenen Schwingungsaufnehmer oder ein zuvor beschriebenes Schwingungsmessarray aufweist, wobei eines der Resonanzelemente zusätzlich eine Beschleunigungsmasse aufweist . [72] Somit kann ein alternativer und neuartiger Beschleunigungssensor bereitgestellt werden, welche vorherige Vorteile zusätzlich oder alternativ aufweist.
[73] Durch die Auswahl (z.B. Gewicht) und Anordnung auf der Membran - beispielsweise als Würfel aus dem Membranmaterial - kann die Beschleunigungsmasse ein Signal zum Auswerten einer positiven oder negativen Beschleunigung vorteilhaft beeinflussen .
[74] In einem weiteren Aspekt wird die Aufgabe gelöst durch eine Vorrichtung, welche einen zuvor benannten Schwingungsaufnehmer oder ein zuvor benanntes
Schwingungsmessarray oder einen zuvor benannten Chemiesensor aufweist.
[75] Im Weiteren wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen erläutert. Es zeigen
Figur 1 eine schematische Darstellung eines
Schwingungssensors in einer Aufsicht von oben,
Figur 2 eine schematische Darstellung des
Schwingungssensors aus Figur 1 entlang einer Schnittkante AA m einer
Seitenansicht und
Figur 3 eine schematische Darstellung des Aufbaus eines Hydrophons .
[76] Ein Schwingungssensor 101 umfasst einen Membranträger 103 und eine Membran 105. Die Membran 105 kann in zwei Alternativen gelagert werden. Zum einen erfolgt die Lagerung mittels Verbindungsstege 107, welche die Membran 105 mit den Membranträger 103 verbindet. Alternativ ist die Membran 105 mittels einer mittigen Lagerung 207 auf dem Membranträger 103 gelagert.
[77] Zwischen der kreisrunden Membran 105 und den Membranträger 103 ist ein Hohlraum 104 ausgebildet. Die Membran 105 weist einen Durchmesser von 300 Mikrometer und die Verbindungsstege 107 oder alternativ die Lagerung 207 weist eine Breite von ca. 15 Mikrometer auf.
[78] Da der Membranträger 103 aus kristallinem Silizium gefertigt ist und eine wesentlich größere Masse als die Membran 105 aufweist, ist eine mechanische
Schwingungsentkopplung der Membran 105 vom Membranträger 103 gewährleistet.
[79] Die Interferometerwege werden durch den
Messlichtwellenleiter 109 und den Referenzlichtwellenreiter 111 gebildet. Das zu überlagernde Lichtsignal wird mittels eines Versorgungslichtwellenleiters 113 zur Verfügung gestellt und mittels des Strahlteilers 115 auf den Messlichtwellenleiter 109 und den Referenzlichtwellenleiter 111 aufgeteilt.
[80] Referenzlichtwellenleiter 111 und Messlichtwellenleiter 109 sind auf den Schwingungssensor 101 aufgeklebt. Alternativ werden die Lichtwellenleiter mittels lithographischer Verfahren durch Aufdampfen und
(mehrfachen) Wegätzen und Sputtern (E-Beaming) dem Schwingungssensor 101 aufgeprägt. [81] Messlichtwellenleiter 109 und der Referenzlichtwellenleiter 111 weisen ungefähr die gleiche Länge auf. Der Messlichtwellenleiter 109 wird über den Verbindungssteg 107 auf die Membran 105 geführt und dort meanderförmig angeordnet und anschließend über den zweiten Verbindungssteg 107 wieder zum Membranträger 103 geführt.
[82] In der Ausführung mit der mittigen Lagerung 207 weist der Messlichtwellenleiter zwischen Membranträger 103 und Membran 105 eine Schlaufe auf, sodass dem Messlichtwellenleiter 109 keine zusätzlichen Spannungen aufgeprägt werden. Der Referenzlichtwellenleiter 111 wird vollständig auf den Membranträger 103 geführt.
[83] Vorliegender Schwingungssensor 101 wird im lithographischen Verfahren hergestellt. Der Hohlraum 104 wird mittels E-Beaming/Sputtern und entsprechender Ätzbehandlungen dem Schwingungssensor 103 aufgeprägt.
[84] Wird die Membran 105 mit einer mechanischen oder akustischen Spannung beaufschlagt führt dies dazu, dass der Messlichtwellenleiter 109 sich geringfügig in seiner Länge verändert. Dies führt wiederrum dazu, dass beim Überlagern eines Signals des Messlichtwellenleiters 109 und des Referenzlichtwellenleiters 111 sich ein veränderndes Interferenzmuster ergibt. Diese Änderungen werden bestimmt und somit die Schwingungsfrequenz detektiert.
[85] Vorliegender Schwingungssensor 101 kann statt der kreisrunden Membran 105 einen Würfel mit wenigstens 3 zueinander orthogonalen Flächen ausgebildet werden. An jeder dieser Flächen ist dann ein Messlichtwellenleiter 109 angeordnet. Somit kann ein akustischer Vektorsensor bereitgestellt werden.
[86] Mit vorliegendem Schwingungssensor kann ein Hydrophon 301 realisiert werden. Eine Modifikation zu einem Mikrofon oder einem (mechanischen) Schwingungsaufnehmer wird nicht gesondert erläutert, da lediglich eine Modifikation der Membran oder eines Eingangssignals erfolgen muss.
[87] Das Hydrophon 301 weist eine Lichtquelle 331, einen Strahlteiler 341, faseroptische Bragg-Gitter 343, mehrere Schwingungssensoren 101, welche ein
Schwingungsaufnehmerarray 321 bilden, einen
Strahlüberlagerer 350 und eine Auswerteeinheit 351 auf.
[88] Die Lichtquelle 331 erzeugt ein Breitbandsignal. Dies wird dadurch erzeugt, dass eine dotierte Spezialfaser 335 mit einem leistungsstarken Diodenlaser 333 optisch gepumpt wird. Die Wellenlänge des optischen Signals, welches die dotierte Glasfaser 335 aussendet, liegt im Bereich von 1,5 Mikrometer. Die Signalform ist schematisch in dem Spektrum 337 dargestellt.
[89] Das Signal der dotierten Glasfaser 335 wird mittels Strahlteiler 341 auf die einzelnen Versorgungslichtwellenleiter 113 für die einzelnen Schwingungssensoren 101 aufgeteilt. Die einzelnen Versorgungslichtwellenleiter 113 weisen wiederrum Faser-Bragg-Gitter auf, welche aus dem breitbandigen Signal (siehe schematisches Spektrum 337) schmalbandige Signale (siehe schematisches Spektrum 345) erzeugen. Diese Signale werden dem
Schwingungsaufnehmerarray mit seinen einzelnen Schwingungssensoren 101 zugeführt. Jeder einzelne Schwingungssensor 101 des Schwingungsaufnehmerarrays 321 verwendet ein Signal unterschiedlicher Wellenlänge, da die einzelnen Faser-Bragg-Gitter 344 unterschiedlich ausgestaltet sind.
[90] Die einzelnen Messsignale und Referenzsignale werden überlagert zu Ergebnissignalen (Überlagerung nicht dargestellt) und die jeweiligen Ergebnissignale werden dem Überlagerer 350 zugeführt und in eine multimodale Faser 359 eingespeist .
[91] Das Spektrum des Signals in der multimodalen Faser 359 ist ebenfalls dargestellt (siehe 357) . Das Signal der multimodalen Faser 359 wird einen Arrayed-Waveguide-Grating
(AWG) 353 zugeführt, welches die Ergebnissignale wiederrum separiert und auf ein Fotodiodenarray 355 lenkt.
[92] Mittels des Fotodiodenarrays 355 werden die einzelnen Interferenzmuster und insbesondere deren Änderungen in elektronische Signale überführt und für die Berechnung der an den Schwingungsaufnehmerarray 321 anliegenden Schwingungen ausgewertet.
Bezugs zeichenliste
101 Schwingungssensor
103 Membranträger
105 Membran
107 Verbindungssteg
109 Messlichtwellenleiter
111 Referenzlichtwellenleiter
113 Versorgungslichtwellenleiter
115 Strahlteiler
207 Membranlagerung
301 Hydrofon
321 Schwingungsaufnehmerarray
331 Lichtquelle
333 Pumplaser
335 Dotierte Glasfaser
337 Spektrum des Signals der dotierten Glasfaser 335
341 Strahlteiler
343 Faser-Bragg-Gitter
345 Spektrum des Signals nach Faser-Bragg-Gitter 343
350 Strahlüberlagerer
351 Auswerteeinheit
353 Arrayed Waveguide Gräting (AWG)
355 Photodiodenarray
357 Spektrum des Signals nach Strahlüberlagerer 350
359 Multimodenfaser

Claims

Patentansprüche :
1. Schwingungsaufnehmer (101), insbesondere Mikrophon oder Hydrophon, mit einem ersten Resonanzelement (105) und einem ersten optischen Interferometer, welches einen ersten Messweg und einen ersten Referenzweg aufweist, wobei der erste Messweg durch einen ersten Messlichtwellenleiter (109) und der Referenzweg durch einen ersten Referenzlichtwellenleiter (111) gebildet sind, dadurch gekennzeichnet, dass das Resonanzelement den Messlichtwellenleiter aufweist, sodass eine erste mechanische Schwingung des ersten Resonanzelements dazu führt, dass der erste Messlichtwellenleiter der ersten mechanischen Schwingung im Wesentlichen folgt, wobei die erste mechanische Schwingung im Wesentlichen aus einer ersten Schwingungsrichtung dem ersten Resonanzelement aufprägbar ist, und der Referenzlichtwellenleiter mechanisch vom Messlichtwellenleiter entkoppelt ist.
2. Schwingungsaufnehmer nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein zweites Resonanzelement und ein zweites optisches Interferometer, welches einen zweiten Messweg und einen zweiten Referenzweg aufweist, wobei der zweite Messweg durch einen zweiten Messlichtwellenleiter und der zweite Referenzweg durch den ersten Referenzlichtwellenleiter oder einen zweiten Referenzlichtwellenleiter gebildet sind, wobei das zweite Resonanzelement den zweiten Messlichtwellenleiter aufweist, sodass eine zweite mechanische Schwingung des zweiten Resonanzelements dazu führt, dass der zweite Messlichtwellenleiter der zweiten mechanischen Schwingung im Wesentlichen folgt, wobei die zweite mechanische Schwingung im Wesentlichen aus einer zweiten Schwingungsrichtung dem zweiten Resonanzelement aufprägbar ist, und der erste Referenzlichtwellenleiter oder der zweite Referenzlichtwellenleiter mechanisch vom zweiten Messlichtwellenleiter entkoppelt ist.
Schwingungsaufnehmer nach einem der vorherigen Ansprüche, gekennzeichnet durch ein drittes Resonanzelement und ein drittes optisches Interferometer, welches einen dritten Messweg und einen dritten Referenzweg aufweist, wobei der dritte Messweg durch einen dritten Messlichtwellenleiter und der dritte Referenzweg durch den ersten Referenzlichtwellenleiter oder den zweiten
Referenzlichtwellenleiter oder einen dritten
Referenzlichtwellenleiter gebildet sind, wobei das dritte Resonanzelement den dritten Messlichtwellenleiter aufweist, sodass eine dritte mechanische Schwingung des dritten Resonanzelements dazu führt, dass der dritte Messlichtwellenleiter der dritten mechanischen Schwingung im Wesentlichen folgt, wobei die dritte mechanische Schwingung im Wesentlichen aus einer dritten Schwingungsrichtung dem dritten Resonanzelement aufprägbar ist, und der erste Referenzlichtwellenleiter oder der zweite Referenzlichtwellenleiter oder der dritte Referenzlichtwellenleiter mechanisch vom dritten Messlichtwellenleiter entkoppelt ist.
Schwingungsaufnehmer nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein jeweiliger Verlauf der jeweiligen Messlichtwellenleiter auf den jeweiligen Resonanzelementen und/oder in den jeweiligen Resonanzelementen und/oder um die jeweiligen Resonanzelemente auf eine jeweilige Zielfrequenzmode der jeweiligen Resonanzelemente angepasst ist.
Schwingungsaufnehmer nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eines der Resonanzelemente, insbesondere sämtliche
Resonanzelemente, als Membran ausgestaltet ist. Schwingungsaufnehmer nach einem der vorherigen Ansprüche, gekennzeichnet durch einen Resonanzkörper, welcher die jeweiligen Resonanzelemente umfasst.
Schwingungsaufnehmer nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die jeweiligen
Schwingungsrichtungen einen zweidimensionalen oder dreidimensionalen Raum bilden.
Schwingungsaufnehmer nach einem der vorherigen Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Trägerstruktur (103), welche den Referenzlichtwellenleiter oder die
Referenzlichtwellenleiter aufweist .
Schwingungsaufnehmer nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die optischen Interferometer einen oder mehrere Strahlteiler (115) aufweisen, welcher oder welche einen Eingangsstrahl oder mehrere Eingangsstrahlen auf die jeweiligen Messlichtwellenleiter und Referenzlichtwellenleiter aufteilt.
Schwingungsaufnehmer nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Strahlteiler oder vor den Strahlteilern ein schmalbandiges optisches Filter angeordnet ist oder mehrere schmalbandige Filter (343) angeordnet sind, welches oder welche insbesondere als Faser-Bragg-Gitter ausgestaltet ist oder sind.
Schwingungsaufnehmer nach einem der vorherigen Ansprüche, gekennzeichnet durch einen Strahlüberlagerer (350), welcher je einen Interferenzstrahl aus einem Referenzstrahl oder mehreren Referenzstrahlen und je einem Messstrahl bildet.
Schwingungsaufnehmer nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Interferenzstrahl mittels eines Interferenzlichtwellenleiters oder die Interferenzstrahlen mittels mehrerer
Interferenzlichtwellenleiter geführt ist oder sind.
13. Schwingungsaufnehmer nach einem der Ansprüche 11 bis 12, gekennzeichnet durch ein optisches Einkoppelelement, welches die Interferenzstrahlen in einen Ergebnisstrahl überführt .
14. Schwingungsaufnehmer nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Ergebnisstrahl in einem Ergebnislichtwellenleiter (359) geführt ist und insbesondere der Ergebnislichtwellenleiter als ein Multimodenlichtwellenleiter ausgestaltet ist.
15. Schwingungsaufnehmer nach einem der Ansprüche 13 bis 14, gekennzeichnet durch ein optisches Kammfilter (353), welches den Ergebnisstrahl separiert, sodass die Interferenzstrahlen vorliegen.
16. Schwingungsaufnehmer nach einem der Ansprüche 11 bis 15, gekennzeichnet durch einen Detektor (355), insbesondere ortsauflösenden Detektor, den die Interferenzstrahlen beaufschlagen .
17. Schwingungsaufnehmer nach einem der vorherigen Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Lichtquelle (331) .
18. Schwingungsaufnehmer nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle eine kohärente Lichtquelle und/oder eine breitbandige Leuchtdiode ist, wobei ein zentraler Wellenlängenbereich der Leuchtdiode ausgeblendet ist.
19. Schwingungsmessarray (321), welches zwei, drei, vier, fünf, sechs oder mehr Schwingungsaufnehmer nach einem der vorherigen Ansprüche aufweist. Schwingungsmessarray nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Schwingungsaufnehmer durch eine gemeinsame Lichtquelle gespeist werden.
Schwingungsmessarray nach einem der Ansprüche 19 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen
Schwingungsaufnehmer einen gemeinsamen Detektor und/oder ein gemeinsames Kammfilter und/oder einen gemeinsamen Ergebniswellenleiter verwenden.
Chemiesensor, welcher einen Schwingungsaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 18 oder ein Schwingungsmessarray nach einem der Ansprüche 19 bis 21 aufweist, wobei eines der Resonanzelemente derart angeordnet ist, dass ein zu detektierender Stoff an dem Resonanzelement adsorbierbar ist, und der Chemiesensor einen Schallgeber aufweist, welche dem Resonanzelement eine definierte mechanische Schwingung aufprägt.
Chemiesensor nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass das Resonanzelement an seiner Oberfläche Andockstellen für spezielle Moleküle oder Atome aufweist.
Chemiesensor nach einem der Ansprüche 22 bis 23, gekennzeichnet durch ein Heizelement, welches derart angeordnet ist, dass mittels des Heizelements dem Resonanzelement eine Temperatur aufprägbar ist, sodass eine Desorption durchführbar ist.
Beschleunigungssensor, welcher einen Schwingungsaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 18 oder ein Schwingungsmessarray nach einem der Ansprüche 19 bis 21 aufweist, wobei eines der Resonanzelemente zusätzlich eine Beschleunigungsmasse aufweist.
Vorrichtung, welche einen Schwingungsaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 18 oder ein Schwingungsmessarray nach einem der Ansprüche 19 bis 21 oder einen Chemiesensor nach einem der Ansprüche 22 bis 24 oder einen Beschleunigungssensor nach Anspruch 25 aufweist.
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