WO2016042593A1 - センサ装置 - Google Patents

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    • H03K17/0822Modifications for protecting switching circuit against overcurrent or overvoltage by feedback from the output to the control circuit in field-effect transistor switches

Definitions

  • the present invention relates to a sensor device including a regulator that stabilizes a voltage, and more particularly to a sensor device that is resistant to malfunction against a negative surge applied to a power supply line.
  • a regulator is used to stabilize the power supply voltage supplied to the sensor element and the signal processing circuit and to cope with a decrease in circuit operating voltage due to process miniaturization.
  • the regulator absorbs voltage fluctuations in the power supply line and supplies a stabilized voltage to the sensor element and signal processing circuit.
  • current flows back through the load drive transistor of the regulator.
  • the output voltage of the regulator may decrease.
  • load circuits such as sensor elements and signal processing circuits are reset, and malfunctions such as abnormal value output and restart operation may occur. In order to suppress such a malfunction, it is necessary to prevent a current from flowing backward when a negative surge is applied.
  • Patent Document 1 includes a diode between a power supply line and a collector terminal of an NPN bipolar transistor for driving a load (hereinafter referred to as an NPN transistor). Since this diode prevents a backflow current from the load side to the power supply line when a negative surge is applied, the malfunction as described above can be suppressed.
  • the diode exists on the power supply path to the load circuit, there is a problem that a voltage drop corresponding to the forward voltage drop of the diode occurs and the output voltage range of the regulator becomes narrow. For example, if the input voltage is Vin, the regulator can output only about Vin-1.2V at maximum. This is because the forward voltage drop of the diode is about 0.6V and the voltage drop between the base and emitter of the transistor is about 0.6V.
  • Some diodes, such as Schottky barrier diodes have a small forward voltage drop, but they are not suitable for the purpose of blocking reverse current when a negative surge is applied because the reverse leakage current is large.
  • the diode on the power supply path needs to be of a sufficient size according to the current consumption of the load circuit.
  • the size of the diode must be increased to ensure a sufficient current capacity, and the size of the diode in the chip area cannot be ignored. From the above viewpoint, it is preferable not to insert a diode on the power feeding path.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a sensor device that suppresses voltage drop in a load circuit and has high malfunction tolerance even when a negative surge occurs in a power supply line.
  • control circuit includes a limiting unit that limits the current flowing from the ground terminal toward the base terminal of the first transistor element.
  • a voltage drop in the load circuit can be suppressed, and a sensor device with high malfunction tolerance can be provided.
  • FIG. 1 shows the configuration of a sensor device according to the first embodiment.
  • FIG. 8 shows a configuration of a conventional sensor device.
  • FIG. 9 shows a schematic structure of the NPN transistor 106.
  • the sensor device 101 in this embodiment includes a power supply terminal 103 that supplies an input voltage Vi, a ground terminal 104, a sensor element 115 that generates an electrical signal corresponding to a physical quantity, and a signal processing circuit 114 that processes an output signal from the sensor element 115. And a regulator 102 that generates a supply voltage Vo from the power supply voltage Vi to the sensor element 115 and the signal processing circuit 114 (hereinafter, the sensor element 115 and the signal processing circuit 114 are collectively referred to as a load circuit).
  • the regulator 102 includes an NPN transistor 106 that drives a load circuit, an error detection circuit 116 that controls a base current, and a decoupling capacitor 113.
  • the error detection circuit 116 includes resistors 111 and 112 that divide the output voltage Vo of the regulator 102, a reference voltage source 110, an error amplifier 109, an N-type field effect transistor (hereinafter referred to as NMOS) 108 that controls a base current, and a base.
  • NMOS N-type field effect transistor
  • a resistor 105 for supplying current and a backflow prevention diode 107 are provided. Note that the anode of the backflow prevention diode 107 is connected to the base of the NPN transistor 106 so as to prevent backflow current flowing from the ground into the base of the NPN transistor 106 via the parasitic diode of the NMOS 108.
  • the operation of the sensor device in this embodiment will be described with reference to FIGS.
  • a stable output voltage Vo is supplied to the load circuit by feedback control of the error detection circuit 116. Since the DC current amplification factor hFE of a bipolar transistor is generally several tens to several hundreds, the current flowing through the base of the NPN transistor 106 is one-hundredth to one-hundredth of the current consumed by the load circuit. Good. When the consumption current of the load circuit decreases, the base current is released to the ground terminal 104 via the NMOS 108.
  • the current flowing through the backflow prevention diode 107 is only a few tenths to a few hundredths of the consumption current of the load circuit. Therefore, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-156641, the current capacity of the diode 107 is about 1 to 2 digits less than that in the case where a diode is inserted between the power supply terminal 103 and the collector of the NPN transistor 106. Good. As a result, the area of the diode 107 can be reduced.
  • 2007-156641 is obtained by subtracting a forward voltage drop of about 0.6 V from the diode and a base-emitter voltage drop of about 0.6 V from the NPN transistor from the input voltage Vi. Vi-1.2V.
  • the maximum output voltage of the regulator of this embodiment is Vi-0.6V obtained by subtracting about 0.6V between the base and emitter of the NPN transistor 106 from Vi, and a wider range of voltages can be output.
  • the effect of the sensor device in this embodiment will be described.
  • the first effect is that when a negative surge is input, the charge accumulated in the decoupling capacitor 113 is prevented from flowing out from the emitter terminal 901 of the NPN transistor 106 toward the collector terminal 903, and the load is extended for a longer time. A stable voltage can be supplied to the circuit.
  • the second effect is that a wide output voltage range of the normal regulator can be secured by adding the backflow prevention diode 107 to the base terminal 902 instead of the collector terminal 903 of the NPN transistor 106. In other words, a regulator that can operate a load circuit with a lower input voltage is provided.
  • the third effect is that the backflow prevention diode 107 is added to the base terminal 902 instead of the collector terminal 903 of the NPN transistor 106, thereby reducing the current capacity required for the backflow prevention diode 107 and reducing the element area. This is a possible point.
  • FIG. 2 shows the configuration of the sensor device according to the second embodiment.
  • the sensor device 101 in this embodiment includes a P-type field effect transistor (hereinafter referred to as PMOS) 201 having a well and a gate connected to the drain side, instead of the backflow prevention diode 107 in the sensor device 101 according to the first embodiment. It is characterized by that.
  • the base terminal 202 can be connected to the base terminal 202 at a lower resistance by connecting the parasitic diode 202 of the PMOS 201 and the PMOS 201 in the ON state in parallel during normal operation.
  • the NMOS 108 can be connected, and the response of the regulator 102 can be further improved.
  • the PMOS 201 When a negative surge is applied to the power supply terminal 103, the PMOS 201 is turned off.
  • the parasitic diode 202 of the PMOS 201 functions as a backflow prevention diode, so that the backflow current is completely blocked.
  • FIG. 3 shows the configuration of the sensor device according to the third embodiment.
  • the sensor device 101 according to the present embodiment is characterized in that an NMOS 301 having a well and a gate connected to the drain side is provided instead of the backflow prevention diode 107 in the sensor device 101 according to the first embodiment.
  • the parasitic diode 302 of the NMOS 301 and the NMOS 301 in the ON state are normally connected in parallel, so that the base and the NMOS 108 have a lower resistance. And the response of the regulator 102 can be further improved.
  • the NMOS 301 When a negative surge is applied to the power supply terminal 103, the NMOS 301 is turned off. On the other hand, the parasitic diode 302 of the NMOS 301 functions as a backflow prevention diode, so that the backflow current is completely blocked.
  • FIG. 4 shows the configuration of the sensor device according to the fourth embodiment.
  • the sensor device 101 according to the present embodiment is characterized in that an NPN transistor 401 having a base connected to the collector side is provided instead of the backflow prevention diode 107 in the sensor device 101 according to the first embodiment.
  • the NPN transistor 401 is normally in an ON state and the base and the NMOS 108 can be connected to a low resistance, and the responsiveness of the regulator 102 is further improved. It can be improved.
  • the NPN transistor 401 is turned off.
  • the diode between the base and the emitter of the NPN transistor 401 functions as a backflow prevention diode, so that the backflow current is completely blocked. .
  • FIG. 5 shows the configuration of the sensor device according to the fifth embodiment.
  • the sensor device 101 in this embodiment includes a PNP bipolar transistor (hereinafter referred to as a PNP transistor) 501 having a base connected to the collector side, instead of the backflow prevention diode 107 in the sensor device 101 according to the first embodiment. It is characterized by.
  • the PNP transistor 501 is normally in an ON state, and the base and the NMOS 108 can be connected with low resistance, and the responsiveness of the regulator 102 is further improved. It can be improved.
  • the PNP transistor 501 When a negative surge is applied to the power supply terminal 103, the PNP transistor 501 is turned off. On the other hand, the base-emitter diode of the PNP transistor 501 functions as a backflow prevention diode, so that backflow current is completely blocked. .
  • FIG. 6 shows the configuration of the sensor device according to the sixth embodiment.
  • the sensor device 101 according to the present embodiment is characterized in that a series resistance element 601 is added to the well of the NMOS 108 instead of the backflow prevention diode 107 in the sensor device 101 according to the first embodiment.
  • the backflow current flowing into the base when a negative surge is applied is limited by the resistance element 601, so that the amount of charge flowing from the emitter to the collector can be suppressed without adding an active element, thereby preventing a decrease in output voltage. it can.
  • FIG. 7 shows a configuration of a sensor device according to the seventh embodiment.
  • an NMOS 701 is added to the ground terminal side of the voltage dividing resistor 112 of the sensor device 101 according to the first embodiment.
  • the gate terminal of the NMOS is connected to the power supply terminal 103.
  • the NMOS 701 is in an ON state.
  • the gate potential of the NMOS 701 becomes negative, so that the NMOS 701 is turned off and the current flowing through the voltage dividing resistors 111 and 112 can be stopped.
  • the current flowing through the voltage dividing resistors 111 and 112 is also reduced, so that the output voltage Vo can be stably maintained for a longer time. .
  • FIG. 12 is a diagram for explaining the parasitic bipolar transistor 1201, and FIG. 13 shows a cross section of the sensor device according to the eighth embodiment.
  • the sensor device 101 according to the present embodiment is obtained by adding a separation region 1303 to the sensor device 101 according to the first embodiment.
  • the parasitic bipolar transistor 1201 is a parasitic N-type well 1302 included in the signal processing circuit 114, an N-type well 1301 of the NPN transistor 106 in the regulator 102, and a P substrate or a P-well existing therebetween. It is an NPN transistor.
  • an isolation region 1303 is provided between the N-type well 1301 of the NPN transistor 106 and the PMOS N-type well 1302 in the signal processing circuit 114. At this time, the relationship between the length W of the isolation region 1303 and the current amplification factor ⁇ of the parasitic NPN transistor 1201 is expressed by the following equation.
  • is the minority carrier injection efficiency at the emitter junction
  • ⁇ * is the DC current amplification factor of the grounded emitter
  • ⁇ B and ⁇ E are the base
  • L N and L P are the emitter and base, respectively. Is the diffusion length of minority carriers.
  • the current amplification factor ⁇ be at least 0.5 or less.
  • FIG. 14 shows an example of the relationship between the length W of the separation region 1303 calculated from the above equation and the current amplification factor ⁇ .
  • the relationship between the length W of the isolation region 1303 and the current amplification factor ⁇ varies depending on the impurity concentration and the mobility of carriers, but in order to reduce the current amplification factor ⁇ to 0.5 or less, the length W of the isolation region 1303 is It is desirable to ensure approximately 100 ⁇ m or more. According to such a configuration, in addition to the same effect as the sensor device 101 shown in the first embodiment, the current flowing out to the power supply terminal via the parasitic bipolar transistor can be reduced, so that the output voltage Vo can be reduced for a longer time. It can be maintained stably.
  • the technology described so far is not limited to the configuration of the regulator in the first to eighth embodiments.
  • the base current of the NPN transistor may be driven by the PMOS 1001 and the NMOS 108.
  • the backflow prevention diode 107 when a negative surge is applied, the current flowing from the ground terminal to the base can be blocked by the backflow prevention diode 107, so that the same effect as in the first embodiment can be obtained.
  • the backflow prevention diode 107 causes the backflow from the ground terminal 104 via the parasitic diode 1102 of the NPN transistor 1101. Current can be blocked.
  • SYMBOLS 101 Sensor apparatus, 102: Regulator, 103: Power supply terminal, 104: Ground terminal, 105: Resistor, 106: NPN bipolar transistor, 107: Backflow prevention diode, 108: N-type field effect transistor, 109: Error amplifier, 110: Reference voltage source, 111: resistor, 112: resistor, 113: decoupling capacitance, 114: signal processing circuit, 115: sensor element, 116: error detection circuit, 201: P-type field effect transistor, 202: parasitic diode, 301: N-type field effect transistor, 302: parasitic diode, 401: NPN bipolar transistor, 501: PNP bipolar transistor, 601: resistor, 701: N-type field effect transistor, 801: parasitic diode, 901: emitter terminal, 902: base terminal, 90 3: collector terminal, 1001: P-type field effect transistor, 1101: NPN bipolar transistor, 1102: parasitic diode,

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Abstract

 負サージによる誤動作を抑制したセンサ装置を提供する。 物理量に応じて電気的特性の変化するセンサ素子と、センサ素子の出力信号を処理する信号処理回路と、センサ素子と信号処理回路に電流を供給する第一のトランジスタ素子と、第一のトランジスタ素子のベース電流を制御する制御回路と、電源端子と、グラウンド端子とを備えるセンサ装置において、グラウンド端子から第一のトランジスタ素子のベース端子に向かって流れる電流を制限する制限部を制御回路に備えることを特徴とする。

Description

センサ装置
 本発明は電圧を安定化するレギュレータを備えるセンサ装置に係り,特に電源ラインに印加される負サージに対して誤動作耐性のあるセンサ装置に関する。
 センサ素子や信号処理回路に供給される電源電圧の安定化や、プロセスの微細化に伴う回路動作電圧の低下に対応するためにレギュレータが用いられる。レギュレータは電源ラインの電圧変動を吸収し、安定化された所定の電圧をセンサ素子や信号処理回路に供給するが、電源ラインに負サージが印加された場合、レギュレータの負荷駆動トランジスタを電流が逆流し、レギュレータの出力電圧が低下することがある。これにより、センサ素子や信号処理回路などの負荷回路がリセットされ、異常値出力や再起動動作などの誤動作が発生する場合がある。このような誤動作を抑制するには、負サージ印加時に電流が逆流しないようにする必要がある。特許文献1に記載の技術は、電源ラインと負荷駆動用のNPNバイポーラトランジスタ(以下NPNトランジスタと称する)のコレクタ端子との間にダイオード備える。このダイオードが負サージ印加時の負荷側から電源ラインへと向かう逆流電流を阻止するため、前記のような誤動作を抑制できる。
特開2007-156641号公報
 しかしながら従来技術では、ダイオードが負荷回路への給電経路上に存在するため、ダイオードの順方向電圧降下分の電圧ドロップが発生し、レギュレータの出力電圧範囲が狭くなるという課題がある。たとえば、入力電圧をVinとすると、レギュレータは最大でもVin-1.2V程度しか出力できない。これは、ダイオードの順方向電圧降下が約0.6V,トランジスタのベース・エミッタ間の電圧降下が約0.6Vだからである。ショットキバリアダイオードのように順方向電圧降下が小さいダイオードも存在するが、逆方向の漏れ電流が大きいため、負サージ印加時の逆流電流を阻止する目的には不向きである。
 また、給電経路上のダイオードは、負荷回路の消費電流に応じて十分なサイズである必要がある。負荷回路が大きな電流を消費する場合は、ダイオードのサイズを大きくして十分な電流容量を確保せねばならず、チップ面積に占めるダイオードのサイズも無視できなくなる。以上の観点から、給電経路上にはダイオードを挿入しないことが好ましい。
 本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり,その目的は、負サージが電源ラインに発生した場合でも負荷回路における電圧低下を抑制し誤動作耐性の高いセンサ装置を提供することにある。
 上記目的を達成する本発明のセンサ装置は、グラウンド端子から第一のトランジスタ素子のベース端子に向かって流れる電流を制限する制限部を制御回路に備えたことを特徴としている。
 本発明により、負サージが電源ラインに発生した場合でも負荷回路における電圧低下を抑制でき、誤動作耐性の高いセンサ装置を提供できる。
第1実施例をなすセンサ装置の構成 第2実施例をなすセンサ装置の構成 第3実施例をなすセンサ装置の構成 第4実施例をなすセンサ装置の構成 第5実施例をなすセンサ装置の構成 第6実施例をなすセンサ装置の構成 第7実施例をなすセンサ装置の構成 従来のセンサ装置の構成 NPNトランジスタの模式図 第1の実施例の変形例 第1の実施例の変形例 寄生トランジスタの説明図 第8実施例をなすセンサ装置の構成 分離領域長と電流増幅率の関係の説明図
 以下、本発明の実施の形態について,図面を参照して説明する。本発明の第1実施例をなすセンサ装置を図1、8、9により説明する。図1は第1実施例をなすセンサ装置の構成を示す。図8は従来のセンサ装置の構成を示す。図9はNPNトランジスタ106の模式的な構造を示す。
 本実施例におけるセンサ装置の構成を図1により説明する。本実施例におけるセンサ装置101は、入力電圧Viを供給する電源端子103、グラウンド端子104、物理量に応じた電気信号を発生させるセンサ素子115、センサ素子115からの出力信号を処理する信号処理回路114、電源電圧Viからセンサ素子115と信号処理回路114(以下、センサ素子115と信号処理回路114をあわせて負荷回路と称する)への供給電圧Voを生成するレギュレータ102とを備える。レギュレータ102は負荷回路を駆動するNPNトランジスタ106と、ベース電流を制御する誤差検出回路116と、デカップリング容量113とを備える。誤差検出回路116は、レギュレータ102の出力電圧Voを分圧する抵抗111、112と、基準電圧源110、誤差アンプ109、ベース電流を制御するN型電界効果トランジスタ(以下NMOSと称する)108と、ベース電流を供給する抵抗105と、逆流防止ダイオード107とを備える。なお、逆流防止ダイオード107のアノードはNPNトランジスタ106のベースに接続し、NMOS108の寄生ダイオードを介してグラウンドからNPNトランジスタ106のベースに流れ込む逆流電流を阻止するように構成する。
 本実施例におけるセンサ装置の動作を図1および図9により説明する。本実施例におけるセンサ装置101は、電源電圧Viが正常である場合、誤差検出回路116のフィードバック制御によって安定した出力電圧Voが負荷回路に供給される。一般的にバイポーラトランジスタの直流電流増幅率hFEは数十~数百程度であるため、NPNトランジスタ106のベースに流す電流は、負荷回路の消費電流の数十分の1から数百分の1でよい。負荷回路の消費電流が減った場合は、NMOS108を介してグラウンド端子104にベース電流を逃がす。このとき、逆流防止ダイオード107に流れる電流は、負荷回路の消費電流のたかだか数十分の1から数百分の1に過ぎない。したがって、特開2007-156641号公報に記載のように、電源端子103とNPNトランジスタ106のコレクタの間にダイオードを挿入する場合に比べて、ダイオード107の電流容量は1桁~2桁程度少なくてよい。その結果、ダイオード107の面積を小さくできる。また、特開2007-156641号公報に記載のレギュレータの最大出力電圧は、入力電圧Viからダイオードの順方向電圧降下約0.6VとNPNトランジスタのベース-エミッタ間電圧降下約0.6Vを差し引いた、Vi-1.2Vに制限される。一方、本実施例のレギュレータの最大出力電圧はViからNPNトランジスタ106のベース-エミッタ間電圧約0.6Vを差し引いたVi-0.6Vであり、より広範囲な電圧を出力できる。
 次に負サージにより入力電圧Viが異常低下し、負電位-Vsとなった場合の動作について説明する。入力端子103が負電位-Vsとなると、後述するとおりNMOS108の寄生ダイオードを通じてグラウンド端子104からベースに向かって逆流電流が流れようとする。しかし、逆流防止ダイオード107により逆流電流は流れないため、NPNトランジスタ106のコレクタ端子903とベース端子902の電位はともに-Vsとなる。このとき、エミッタ端子901はもともとの出力電圧+Voであるため、図9に示すとおり、ベース-エミッタ間のPN接合が逆バイアス状態となる。したがって、エミッタから電荷は流出せず、エミッタの電圧+Voが維持される。
 これに対し、逆流防止ダイオード107が無い場合の負サージに対する動作について図8を用いて説明する。負サージにより入力端子103が負電位-Vsとなると、NMOS108の寄生ダイオード801を介してグラウンド端子からベースに逆電流Ibcが流入する。すると、エミッタ端子901からコレクタ端子903に向かって電流Iecが流れるため、デカップリング容量113が放電して出力電圧+Voが低下する。
  本実施例におけるセンサ装置の効果を説明する。第1の効果は、負サージが入力された場合に、デカップリング容量113に蓄積された電荷がNPNトランジスタ106のエミッタ端子901からコレクタ端子903に向かって流出することを防ぎ、より長時間にわたって負荷回路に安定した電圧を供給できる点である。第2の効果は、NPNトランジスタ106のコレクタ端子903ではなくベース端子902に逆流防止ダイオード107を追加したことにより、通常時のレギュレータの出力電圧範囲を広く確保できる点である。言い方を変えれば、より低い入力電圧でも負荷回路の動作可能なレギュレータを提供した。第3の効果は、NPNトランジスタ106のコレクタ端子903ではなくベース端子902に逆流防止ダイオード107を追加したことにより、逆流防止ダイオード107に必要とされる電流容量を小さくし、素子面積の縮小化を可能とした点である。
 本発明の第2実施例をなすセンサ装置を図2により説明する。図2は、第2実施例をなすセンサ装置の構成を示す。本実施例におけるセンサ装置101は、第1実施例をなすセンサ装置101における逆流防止ダイオード107に代えて、ウェルとゲートをドレイン側に接続したP型電界効果トランジスタ(以下PMOSと称する)201を備えたことを特徴とする。かかる構成によれば、第1実施例に示すセンサ装置101と同等の効果に加え、通常時はPMOS201の寄生ダイオード202と、ON状態のPMOS201の並列接続となることでより低抵抗にベース端子202とNMOS108を接続でき、レギュレータ102の応答性をより向上できる。電源端子103に負サージが印加された場合は、PMOS201がOFF状態となる一方、PMOS201の寄生ダイオード202が逆流防止ダイオードとして機能するため、逆流電流は完全に阻止される。
  本発明の第3実施例をなすセンサ装置を図3により説明する。図3は、第3実施例をなすセンサ装置の構成を示す。本実施例におけるセンサ装置101は、第1実施例をなすセンサ装置101における逆流防止ダイオード107に代えて、ウェルとゲートをドレイン側に接続したNMOS301を備えたことを特徴とする。かかる構成によれば、第1実施例に示すセンサ装置101と同等の効果に加え、通常時はNMOS301の寄生ダイオード302と、ON状態のNMOS301の並列接続となることでより低抵抗にベースとNMOS108を接続でき、レギュレータ102の応答性をより向上できる。電源端子103に負サージが印加された場合は、NMOS301がOFF状態となる一方、NMOS301の寄生ダイオード302が逆流防止ダイオードとして機能するため、逆流電流は完全に阻止される。
  本発明の第4実施例をなすセンサ装置を図4により説明する。図4は、第4実施例をなすセンサ装置の構成を示す。本実施例におけるセンサ装置101は、第1実施例をなすセンサ装置101における逆流防止ダイオード107に代えて、ベースをコレクタ側に接続したNPNトランジスタ401を備えたことを特徴とする。かかる構成によれば、第1実施例に示すセンサ装置101と同等の効果に加え、通常時はNPNトランジスタ401がON状態となり、低抵抗にベースとNMOS108を接続でき、レギュレータ102の応答性をより向上できる。電源端子103に負サージが印加された場合は、NPNトランジスタ401がOFF状態となる一方、NPNトランジスタ401のベース-エミッタ間のダイオードが逆流防止ダイオードとして機能するため、逆流電流は完全に阻止される。
  本発明の第5実施例をなすセンサ装置を図5により説明する。図5は、第5実施例をなすセンサ装置の構成を示す。本実施例におけるセンサ装置101は、第1実施例をなすセンサ装置101における逆流防止ダイオード107に代えて、ベースをコレクタ側に接続したPNPバイポーラトランジスタ(以下、PNPトランジスタと称する)501を備えたことを特徴とする。かかる構成によれば、第1実施例に示すセンサ装置101と同等の効果に加え、通常時はPNPトランジスタ501がON状態となり、低抵抗にベースとNMOS108を接続でき、レギュレータ102の応答性をより向上できる。電源端子103に負サージが印加された場合は、PNPトランジスタ501がOFF状態となる一方、PNPトランジスタ501のベース-エミッタ間のダイオードが逆流防止ダイオードとして機能するため、逆流電流は完全に阻止される。
  本発明の第6実施例をなすセンサ装置を図6により説明する。図6は、第6実施例をなすセンサ装置の構成を示す。本実施例におけるセンサ装置101は、第1実施例をなすセンサ装置101における逆流防止ダイオード107に代えて、NMOS108のウェルに直列抵抗素子601を追加したことを特徴とする。かかる構成によれば、抵抗素子601により負サージ印加時にベースに流れ込む逆流電流が制限されるため、能動素子の追加なしにエミッタからコレクタに流れ出る電荷量を抑制し、出力電圧の低下を防ぐことができる。
  本発明の第7実施例をなすセンサ装置を図7により説明する。図7は、第7実施例をなすセンサ装置の構成を示す。本実施例におけるセンサ装置101は、第1実施例をなすセンサ装置101の分圧抵抗112のグラウンド端子側にNMOS701を追加した。NMOSのゲート端子は電源端子103に接続する。通常時ではNMOS701はON状態である。一方、負サージ印加時はNMOS701のゲート電位が負となるため、NMOS701がOFF状態となり、分圧抵抗111、112に流れる電流をとめることができる。かかる構成によれば、第1実施例に示すセンサ装置101と同等の効果に加え、分圧抵抗111、112に流れる電流も削減されるため、より長時間、出力電圧Voを安定して維持できる。
  本発明の第8実施例をなすセンサ装置を図12、図13、図14により説明する。図12は寄生バイポーラトランジスタ1201を説明する図であり、図13は、第8実施例をなすセンサ装置の断面を示す。本実施例におけるセンサ装置101は、第1実施例をなすセンサ装置101に分離領域1303を追加した。まず、図12と図13を用いて負サージ印加時の寄生バイポーラトランジスタの動作について説明する。寄生バイポーラトランジスタ1201は、信号処理回路114に含まれるPMOSのN型ウェル1302と、レギュレータ102中のNPNトランジスタ106のN型ウェル1301と、その間に存在するP基板またはPウェルとで形成される寄生NPNトランジスタである。負サージが電源端子103に印加されると、グラウンド電位のP基板から寄生NPNトランジスタ1201のエミッタに向かってベース電流が流れる。その結果、寄生NPNトランジスタ1201がONし、N型ウェル1302からN型ウェル1301に向かってコレクタ電流Inwが流れ、デカップリング容量113が放電して出力電圧+Voが低下する。そこで、本実施例では、NPNトランジスタ106のN型ウェル1301と、信号処理回路114中のPMOSのN型ウェル1302との間に分離領域1303を設ける。このとき、分離領域1303の長さWと寄生NPNトランジスタ1201の電流増幅率αの関係は以下の式で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
 ここで、γはエミッタ接合での少数キャリアの注入効率、β*はエミッタ接地の直流電流増幅率、σB、σEはそれぞれベース、エミッタの伝導率、LN、Pはそれぞれエミッタ、ベースにおける少数キャリアの拡散長である。寄生NPNトランジスタがトランジスタとして増幅動作しないためには、電流増幅率αを少なくとも0.5以下にすることが望ましい。図14に上式から算出した分離領域1303の長さWと電流増幅率αの関係の一例を示す。分離領域1303の長さWと電流増幅率αの関係は不純物濃度やキャリアの移動度に応じて変化するが、電流増幅率αを0.5以下にするには分離領域1303の長さWは概ね100μm以上確保することが望ましい。かかる構成によれば、第1実施例に示すセンサ装置101と同等の効果に加え、寄生バイポーラトランジスタを介して電源端子に流出する電流も低減することができるため、より長時間、出力電圧Voを安定して維持できる。
 また、これまでに述べてきた技術は実施例1から8におけるレギュレータの構成に限定されるものではない。たとえば、図10に示すように、NPNトランジスタのベース電流をPMOS1001とNMOS108で駆動する構成にしても良い。この場合も、負サージ印加時は逆流防止ダイオード107によりグラウンド端子からベースに流れ込む電流を阻止できるため、実施例1と同等の効果が得られる。また、図11に示すように、NPNトランジスタ106のベース電流を別のNPNトランジスタ1101で制御する場合も、逆流防止ダイオード107によって、NPNトランジスタ1101の寄生ダイオード1102を経由してグラウンド端子104から逆流する電流を阻止できる。
101:センサ装置、102:レギュレータ、103:電源端子、104:グラウンド端子、105:抵抗、106:NPNバイポーラトランジスタ、107:逆流防止ダイオード、108:N型電界効果トランジスタ、109:誤差アンプ、110:基準電圧源、111:抵抗、112:抵抗、113:デカップリング容量、114:信号処理回路、115:センサ素子、116:誤差検出回路、201:P型電界効果トランジスタ、202:寄生ダイオード、301:N型電界効果トランジスタ、302:寄生ダイオード、401:NPNバイポーラトランジスタ、501:PNPバイポーラトランジスタ、601:抵抗、701:N型電界効果トランジスタ、801:寄生ダイオード、901:エミッタ端子、902:ベース端子、903:コレクタ端子、1001:P型電界効果トランジスタ、1101:NPNバイポーラトランジスタ、1102:寄生ダイオード、1201:寄生バイポーラトランジスタ、1301:N型ウェル、1302:N型ウェル、1303:分離領域、1304:コレクタ端子、1305:ベース端子、1306:エミッタ端子、1307:P型ウェル、1308:ドレイン端子、1309:ゲート端子、1310:ソース端子、1311:ウェルコンタクト、Ibc:ベース-コレクタ電流、Iec:エミッタ-コレクタ電流、Inw:寄生トランジスタのコレクタ電流、LN、LP:拡散長、Vb:バイアス電圧、-Vs:負サージ電圧、+Vo:出力電圧、W:分離領域長、α:電流増幅率、β*:エミッタ接地の直流電流増幅率、γ:少数キャリア注入効率、σB,σE:伝導率

Claims (11)

  1.  物理量に応じて電気的特性の変化するセンサ素子と、
     前記センサ素子の出力信号を処理する信号処理回路と、
     前記センサ素子と前記信号処理回路に電流を供給する第一のトランジスタ素子と、
     前記第一のトランジスタ素子のベース電流を制御する制御回路と、
     電源端子と、
     グラウンド端子と、
     を備えるセンサ装置において、
     前記制御回路は、前記グラウンド端子から前記第一のトランジスタ素子のベース端子に向かって流れる電流を制限する制限部を備えることを特徴とするセンサ装置。
  2.  請求項1に記載のセンサ装置において、
     前記制御回路は、前記グラウンド端子に向かって電流を流す第二のトランジスタ素子を備え、
     前記制限部は、ダイオード素子を備え、前記ダイオード素子は、前記第一のトランジスタ素子のベースとアノードを接続し、前記第二のトランジスタ素子とカソードを接続したことを特徴とするセンサ装置。
  3.  請求項1に記載のセンサ装置において、
     前記制御回路は、前記グラウンド端子に向かって電流を流す第二のトランジスタ素子を備え、
     前記制限部は、P型電界効果トランジスタを備え、
     前記P型電界効果トランジスタのウェルおよびゲートおよびドレインを前記第二のトランジスタ素子に接続し、前記P型電界効果トランジスタのソースを前記第一のトランジスタ素子のベースに接続したことを特徴とするセンサ装置。
  4.  請求項1に記載のセンサ装置において、
      前記制御回路は、前記グラウンド端子に向かって電流を流す第二のトランジスタ素子を備え、
      前記制限部は、N型電界効果トランジスタを備え、
      前記N型電界効果トランジスタのソースを前記第二のトランジスタ素子に接続し、
      前記N型電界効果トランジスタのウェルおよびゲートおよびドレインを前記第一のトランジスタ素子のベースに接続したことを特徴とするセンサ装置。
  5.  請求項1に記載のセンサ装置において、
      前記制御回路は、前記グラウンド端子に向かって電流を流す第二のトランジスタ素子を備え、
      前記制限部は、NPNトランジスタを備え、
      前記NPNトランジスタのエミッタを前記第二のトランジスタ素子に接続し、
      前記NPNトランジスタのベースおよびコレクタを前記第一のトランジスタ素子のベースに接続したことを特徴とするセンサ装置。
  6.  請求項1に記載のセンサ装置において、
      前記制御回路は、前記グラウンド端子に向かって電流を流す第二のトランジスタ素子を備え、
      前記制限部は、PNPトランジスタを備え、
      前記PNPトランジスタのベースおよびコレクタを前記第二のトランジスタ素子に接続し、
      前記PNPトランジスタのエミッタを前記第一のトランジスタ素子のベースに接続したことを特徴とするセンサ装置
     
  7.  請求項1に記載のセンサ装置において、
      前記制御回路は、前記グラウンド端子に向かって電流を流す第二のトランジスタ素子を備え、
      前記制限部は、前記第二のトランジスタ素子のウェルとグラウンド端子を接続する抵抗素子を備えることを特徴とするセンサ装置。
     
  8.  請求項1に記載のセンサ装置において、
      前記制御回路は、前記グラウンド端子に向かって電流を流す第二のトランジスタ素子と、分圧用の抵抗素子と、スイッチ部と、を備え、
      前記分圧用の抵抗素子の一端と前記グラウンド端子との間に前記スイッチ部が接続され、
      前記電源端子に負電圧が印加されたことを検知して前記スイッチ部を切断することを特徴とするセンサ装置。
  9.  請求項8に記載のセンサ装置において、
     前記スイッチ部はN型電界効果トランジスタであることを特徴とするセンサ装置。
  10.  請求項1乃至9の何れかに記載のセンサ装置において、
     前記第一のトランジスタ素子は第一のN型ウェルを備え、
     前記信号処理回路は第二のN型ウェルを備え、
     前記センサ装置はP型基板またはP型ウェルを備え、
     前記第一のN型ウェルと、前記第二のN型ウェルと、前記P型基板または前記P型ウェルと、
    で構成される寄生バイポーラトランジスタの電流増幅率αが0.5以下となるように前記第一のN型ウェルと前記第二のN型ウェルとの間に分離領域を設けることを特徴とするセンサ装置。
  11.  請求項10に記載のセンサ装置において、
     前記分離領域の長さが100マイクロメートル以上であることを特徴とするセンサ装置。
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