WO2017140451A1 - Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der konzentration von gaskomponenten in einem gasgemisch - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der konzentration von gaskomponenten in einem gasgemisch Download PDF

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    • G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/18—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating thermal conductivity

Definitions

  • the invention relates to a method and a device for determining the concentration of gas components in a gas mixture.
  • the invention relates to a method and a device for determining the concentrations of process-relevant gas components in nitriding or nitrocarburizing atmospheres.
  • the invention further relates to a heat treatment furnace.
  • DE 37 1 1 51 1 C1 describes a method for determining the gas concentrations in a gas mixture using the different thermal conductivity of different gases, wherein for determining the concentration of N gas components measurements at N-1 gas temperatures are performed.
  • the analyzers used include a heat source which can be swept by the gas mixture to be analyzed and a heat sink. Serving as a heat source resistance heating element is brought by means of current flow to an elevated temperature relative to its surroundings. Heat is transferred from the heat source to the heat sink maintained at a constant temperature via a heat conduction path determined by the geometry. By the heat transfer from the heat source to the heat sink of the heat source energy is withdrawn, which is a measure of the thermal conductivity of the gas mixture and can be measured with established and / or trained method.
  • the measuring cell is thermostated, d. H. kept at a constant temperature by an electronic control. Apart from the temperature of the measuring cell, the average gas temperature in the heat transfer path is determined by the temperature of the heat source. Therefore, this is also kept constant or reproducible.
  • a method is known from EP 1 222 454 B1, wherein the thermal conductivities are determined at a temperature-time function that runs periodically between a minimum and a maximum temperature value and the thermal conductivities obtained in the temperature-time profile are determined continuously as a function of time, and wherein Time function of the thermal conductivity of a Fourier analysis subjected and determined from the coefficients of this Fourier analysis, the concentrations of the gas components.
  • a method for determining the concentration of N gas components in a gas mixture having at least N gas components with N greater than 2 wherein one sensor element or a plurality of sensor elements is brought to at least N-1 predetermined temperature values for determining temperature-dependent heat conductivities. and wherein the at least one sensor element at least to a minimum temperature value in a range of about 60 ° to about 350 °, in particular up to about 120 °, and to a maximum temperature value in a range of about 350 °, in particular in a range of about 350 ° to about 550 °.
  • an apparatus for determining the concentration of N gas components in a gas mixture having at least N gas components with N greater than 2 comprising one or more sensor elements configured and / or configured to be at least N-1 predetermined temperature values for determining temperature-dependent langeleitzuen be brought, wherein the at least one sensor element is set up and / or trained to at least a minimum temperature value in a range of about 60 ° to about 350 °, in particular up to about 120 ° and to be brought to a maximum temperature value in a range of about 350 °, in particular from about 350 ° to about 550 °.
  • the thermal conductivity of the N-fold gas mixture is recorded with at least N different Temperartur massage.
  • the temperature-dependent jacketleitzuen eliminated, so that the sensor signal for each gas is determined as a function of the gas content.
  • the thermal conductivities at 0% and 100% of the individual gas components are used for the standardization.
  • the minimum and the maximum temperature can be suitably selected according to a gas mixture. It should be noted that measurements of combustible gas components in the presence of oxygen up to the lower ignition limit of the gases can be performed. In inert gas atmospheres without the presence of oxygen, measurement is possible without these limitations and regardless of the actual composition.
  • the at least one sensor element is brought to a maximum temperature value which is above the gap temperature of at least one gas component of the gas mixture.
  • the minimum temperature value is selected such that it lies below the gap temperature of this gas component. It uses the effect that molecules of this gas component require a measurable additional energy contribution during the fission process. This therefore leads to an increase in accuracy, wherein the decay of the molecules has no or only a very small effect on the concentration.
  • the at least one sensor element comprises a nickel wire or a platinum wire, the wire being embedded in a ceramic material in one embodiment. These materials enable operation in the temperature range of the invention.
  • the thermal conductivity is usually both temperature-dependent and pressure-dependent.
  • a pressure is detected by means of a pressure sensor, in particular a pressure prevailing in a measuring chamber in order to compensate for a pressure dependence of the heat conductivities of the gas components.
  • the sensor element or the sensor elements can be designed suitably by the person skilled in the art and can be assembled with other components in a suitable circuit.
  • the at least one sensor element is exposed to the gas mixture and a reference element assigned to the sensor element is exposed to a reference gas, for example air. If a plurality of sensor elements are used, they are preferably each assigned a reference element exposed to the reference gas.
  • N sensor elements are provided which are each operated at a defined, constant temperature. This makes it possible to carry out the determination of the gas concentrations even in a rough vacuum (1-1013 mbar), wherein it is prevented that the sensor element is heated inadmissibly due to a greatly reduced in the rough vacuum heat conductivity.
  • the at least one sensor element and - if present - the reference element are arranged in one embodiment in a measuring chamber, wherein the measuring chamber is heated to a constant temperature.
  • the temperature in the measuring chamber is preferably below the minimum temperature value to which the at least one sensor element is brought.
  • it is intended to heat the measuring chamber to temperatures in the range of approximately 40 ° to approximately 50 °.
  • a heat treatment furnace is provided with means for carrying out the described method and / or with a device described for determining the concentration of process-relevant gas components in a nitriding or nitrocarburizing atmosphere.
  • the heat treatment furnace serves, for example, heat treatments, such as gas nitriding, gas nitrocarburizing or gas carbonitriding, of steel components.
  • FIG. 1 shows schematically a sensor element for determining a thermal conductivity for a device for determining the concentration of N gas component in a gas mixture
  • Fig. 2 shows schematically a profile of a temperature of the sensor element 1
  • Fig. 3 shows schematically a device for determining the concentration of N.
  • FIG. 1 schematically shows a sensor element 1 for determining a thermal conductivity for a device for determining the concentration of N gas component in a gas mixture surrounding the sensor element 1.
  • the illustrated sensor element 1 comprises a nickel wire or a platinum wire 10 with terminals 12, 14, which is surrounded by a ceramic embedding 16.
  • a sensor element 1 allows an operation in which the sensor element 1 is brought to a maximum temperature value in a range of over 350 °.
  • a flame arrester 2 e.g. made of stainless steel sintered material.
  • the sensor element 1 is brought to at least a minimum temperature value in a range of about 60 ° to about 350 ° or a maximum temperature value in a range of about 350 °.
  • the minimum and maximum temperature values are selected such that the minimum temperature value is below and the maximum temperature value is above the gap temperature of a gas component.
  • the sensor element 1 is alternately brought to the minimum temperature value and the maximum temperature value, wherein preferably the temperature profile is a rectangular signal.
  • FIG. 2 schematically shows a profile of the setpoint temperature T of the sensor element 1, the sensor element 1 being alternately brought to the minimum temperature value T min and the maximum temperature value T max alternately.
  • a detection of the thermal conductivity occurs, for example, at measurement times or points represented by dots.
  • two sensor elements 1 are provided, wherein a sensor element 1 is permanently operated to set the minimum temperature value T min and a sensor element 1 permanently for setting the maximum temperature value T max .
  • the constant temperature profiles of these sensor elements 1 are shown in FIG. 2 by dashed lines.
  • the sensor element 1 is repeatedly brought in stages to the minimum temperature value, at least one intermediate value and the maximum temperature value.
  • the sensor element 1 is operated in one embodiment under atmospheric pressure in a Wheatstone bridge. However, other circuits are conceivable.
  • the concentrations of N gas component in a gas mixture surrounding the sensor element 1 are detected on the basis of the detected N-1 measured values.
  • Fig. 3 shows schematically a device 3 for determining the concentration of N gas component in a gas mixture at a heat treatment furnace, not shown.
  • the device 3 comprises a measuring chamber 3 with a housing 30.
  • the measuring chamber 3 is heated to a constant temperature.
  • the temperature is preferably 100 ° C to prevent condensation of the water.
  • the temperature can also be set to about 70-80 ° C.
  • a heating of the measuring chamber 3 is preferably carried out by means of a heated housing 30th
  • the sensor element 1 and a reference element 5 are arranged in the measuring chamber 4, the sensor element being exposed to the gas mixture to be analyzed and the reference element to a reference gas, for example air.
  • a flow of the gas mixture to be analyzed is shown schematically by arrows.
  • the measuring chamber 4 is flanged, for example, to a housing of the heat treatment furnace, not shown, wherein a flow through the measuring chamber with the sensor element 1 with a generated by physical causes gas flow such that the measuring chamber 40 flows with a lower compared to the heat treatment furnace temperature without active elements is and the gas passes through an advantageous centric gas return back to the heat treatment furnace.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der Konzentration von N Gaskomponente in einem Gasgemisch, das mindestens N Gaskomponenten mit N größer 2 aufweist, wobei ein Sensorelement (1) oder mehrere Sensorelemente (1) auf N-1vorgegebene Temperaturwerte zur Bestimmung temperaturabhängiger Wärmeleitfähigkeiten gebracht wird/werden, und wobei das mindestens eine Sensorelement (1) mindestens auf einen minimalen Temperaturwert(Tmin )in einem Bereich von ca. 60° bis ca. 350° und auf einen maximalen Temperaturwert (Tmax) in einem Bereich von über ca. 350° gebracht wird.

Description

Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Konzentration von Gaskomponenten in einem
Gasgemisch
ANWENDUNGSGEBIET UND STAND DER TECHNIK
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der Konzentration von Gaskomponenten in einem Gasgemisch. Die Erfindung betrifft insbesondere ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der Konzentrationen prozessrelevanter Gaskomponenten in Nitrier- oder Nitrocarburieratmosphären. Die Erfindung betrifft weiter einen Wärmebehandlungsofen.
Aus dem Stand der Technik sind verschiedene Verfahren und Vorrichtungen zur Bestimmung der Gaskonzentrationen bekannt.
Beispielsweise beschreibt DE 37 1 1 51 1 C1 ein Verfahren zur Bestimmung der Gaskonzentrationen in einem Gasgemisch unter Nutzung der unterschiedlichen Wärmeleitfähigkeit verschiedener Gase, wobei zur Bestimmung der Konzentration von N Gaskomponenten Messungen bei N-1 Gastemperaturen durchgeführt werden. Die dabei verwendeten Analysatoren umfassen eine von dem zu analysierenden Gasgemisch durchstörmbare Wärmequelle und eine Wärmesenke. Ein als Wärmequelle dienendes Widerstandsheizelement wird mittels Stromdurchfluss auf eine gegenüber seiner Umgebung erhöhte Temperatur gebracht. Über eine durch die Geometrie festgelegte Wärmeleitstrecke wird von dem Gasgemisch Wärme von der Wärmequelle zu der auf konstante Temperatur gehaltenen Wärmesenke geleitet. Durch den Wärmetransport von der Wärmequelle zur Wärmesenke wird der Wärmequelle Energie entzogen, die ein Maß für die Wärmeleitfähigkeit des Gasgemisches ist und die sich mit eingerichtet und/oder ausgebildeten Verfahren messen lässt. Um Einflüsse des Temperaturkoeffizienten der Wärmeleitung auszuschalten, wird die Messzelle thermostatisiert, d. h. durch eine elektronische Regelung auf konstanter Temperatur gehalten. Außer von der Temperatur der Messzelle wird die mittlere Gastemperatur in der Wärmeleitstrecke von der Temperatur der Wärmequelle bestimmt. Deshalb wird auch diese konstant gehalten bzw. reproduzierbar eingestellt.
Aus EP 1 222 454 B1 ist ein Verfahren bekannt, wobei die Wärmleitfähigkeiten bei einer periodisch zwischen einem minimalen und einem maximalen Temperaturwert verlaufenden Temperatur-Zeitfunktion bestimmt und die bei dem Temperatur-Zeitverlauf erhaltenen Wärmeleitfähigkeiten als Funktion der Zeit kontinuierlich ermittelt werden und wobei die Zeitfunktion der Wärmeleitfähigkeit einer Fourieranalyse unterzogen und aus den Koeffizienten dieser Fourieranalyse die Konzentrationen der Gaskomponenten bestimmt werden.
AUFGABE UND LÖSUNG
Es ist die Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung der Konzentration mindestens einer Gaskomponente in einem Gasgemisch mit einer hohen Genauigkeit zu schaffen.
Gemäß einem ersten Aspekt wird ein Verfahren zur Bestimmung der Konzentration von N Gaskomponenten in einem Gasgemisch, das mindestens N Gaskomponenten mit N größer 2 aufweist, geschaffen, wobei ein Sensorelement oder mehrere Sensorelemente auf mindestens N-1 vorgegebene Temperaturwerte zur Bestimmung temperaturabhängiger Wärmeleitfähigkeiten gebracht wird/werden, und wobei das mindestens eine Sensorelement mindestens auf einen minimalen Temperaturwert in einem Bereich von ca. 60° bis ca. 350°, insbesondere bis ca. 120°, und auf einen maximalen Temperaturwert in einem Bereich von über ca. 350°, insbesondere in einem Bereich von ca. 350° bis ca. 550°, gebracht wird.
Gemäß einem zweiten Aspekt wird eine Vorrichtung zur Bestimmung der Konzentration von N Gaskomponenten in einem Gasgemisch, das mindestens N Gaskomponenten mit N größer 2 aufweist, geschaffen, umfassend ein Sensorelement oder mehrere Sensorelemente, das/die eingerichtet und/oder ausgebildet ist, um auf mindestens N-1 vorgegebene Temperaturwerte zur Bestimmung temperaturabhängiger Wärmeleitfähigkeiten gebracht zu werden, wobei das mindestens eine Sensorelement eingerichtet und/oder ausgebildet ist, um mindestens auf einen minimalen Temperaturwert in einem Bereich von ca. 60° bis ca. 350°, insbesondere bis ca. 120° und auf einen maximalen Temperaturwert in einem Bereich von über ca. 350°, insbesondere von ca. 350° bis ca. 550° gebracht zu werden.
Die Wärmeleitfähigkeit von Gasgemischen mit N-Komponenten und mit den Stoffmengen X ergibt sich in erster Näherung aus der Mischungsregel ΛΜ = Χ-ιΛ-ι + X2A2 + . . . + XN-An. Die Wärmeleitfähigkeit des N-fachen Gasgemisches wird mit mindestens N unterschiedlichen Temperarturwerten erfasst. Vorzugsweise werden durch eine normierte Kalibrierung der einzelnen Gaskomponenten bei den entsprechenden Temperaturen, die temperaturabhängigen Wärmeleitfähigkeiten eliminiert, so dass das Sensorsignal für jedes Gas als Funktion des Gasanteils ermittelt wird. Für die Normierung werden insbesondere die Wärmeleitfähigkeiten bei 0% und 100% der einzelnen Gaskomponenten herangezogen. Bei Kalibrierung und Messung unter Atmosphärendruck eines N-fachen Gasgemischs mit mindestens N-1 Messungen ist damit das die Gaszusammensetzung beschreibende Gleichungssystem vollständig bestimmt und daher eindeutig mit bekannten Methoden nach den jeweiligen Volumenanteilen lösbar.
Dies ist unter anderem unter den Einschränkungen der Fall, dass die temperaturabhängigen Wärmeleitfähigkeiten voneinander unabhängig und die stoffspezifischen Übertragungsfunktionen auf das Messsignal streng monoton sind. Diese Einschränkungen sind bei ausgewählten Gasen erfüllt.
Herkömmliche Verfahren und Vorrichtungen arbeiten in einem Bereich von ca. 60 bis ca. 1 15° für die Erfassung unterschiedlicher Wärmeleitfähigkeiten. Der im Vergleich zu herkömmlichen Verfahren und Vorrichtungen deutlich größere Bereich ermöglicht eine genauere Messung der einzelnen Gaskomponenten.
Die minimale und die maximale Temperatur können entsprechend einem Gasgemisch geeignet gewählt werden. Dabei ist zu berücksichtigen, dass Messungen von brennbaren Gaskomponenten unter Anwesenheit von Sauerstoff bis zur unteren Zündgrenze der Gase durchgeführt werden können. In Schutzgasatmosphären ohne Anwesenheit von Sauerstoff ist die Messung ohne diese Beschränkungen und unabhängig von der tatsächlichen Zusammensetzung möglich.
Vorzugsweise wird das mindestens eine Sensorelement auf einen maximalen Temperaturwert gebracht, der oberhalb der Spalttemperatur mindestens einer Gaskomponente des Gasgemischs liegt. Der minimale Temperaturwert ist dagegen derart gewählt, dass dieser unterhalb der Spalttemperatur dieser Gaskomponente liegt. Dabei wird der Effekt genutzt, dass Moleküle dieser Gaskomponente bei der Spaltung einen messbaren zusätzlichen Energiebeitrag benötigen. Dies führt daher zu einer Erhöhung der Genauigkeit, wobei der Zerfall der Moleküle keinen oder nur einen sehr geringen Einfluss auf die Konzentration hat.
Dies ist insbesondere vorteilhaft zur Bestimmung der Konzentrationen prozessrelevanter Gaskomponenten in Nitrier- und/oder Nitrocarburieratmosphären, wobei in dem Gasgemisch vorhandener Ammoniak (NH3) in Stickstoff und Wasserstoff gespalten wird und dadurch die genauere Messung der Bestandteile Ammoniak und Wasserstoff möglich wird. So ist z.B. die Wärmeleitfähigkeit vom Ammoniak nur bis etwa 400°C tabelliert, weil oberhalb dieser Temperatur das Gas wegen der einsetzenden Spaltung instabil ist. Für andere Gase wie z.B. CH4 gelten entsprechend andere Temperaturgrenzen. Das mindestens eine Sensorelement umfasst in vorteilhaften Ausgestaltungen einen Nickeldraht oder einen Platindraht, wobei der Draht in einer Ausgestaltung in einem Keramikmaterial eingebettet ist. Diese Materialien ermöglichen einen Betrieb in dem Temperaturbereich der Erfindung.
Die Wärmeleitfähigkeit ist üblicherweise sowohl temperaturabhängig als auch druckabhängig. In einer vorteilhaften Ausgestaltung wird daher mittels eines Drucksensors ein Druck erfasst, insbesondere ein in einer Messkammer herrschender Druck, um eine Druckabhängigkeit der Wärmeleitfähigkeiten der Gaskomponenten zu kompensieren.
Das Sensorelement oder die Sensorelemente sind durch den Fachmann geeignet gestaltbar und mit weiteren Komponenten in einer geeigneten Schaltung verbaubar. In vorteilhaften Ausgestaltungen wird das mindestens eine Sensorelement dem Gasgemisch und ein dem Sensorelement zugeordnetes Referenzelement einem Referenzgas, beispielsweise Luft, ausgesetzt. Sofern mehrere Sensorelemente eingesetzt werden, sind diesen vorzugsweise jeweils ein dem Referenzgas ausgesetztes Referenzelement zugeordnet.
In einer Ausgestaltung sind N Sensorelemente vorgesehen, die jeweils mit einer definierten, konstanten Temperatur betrieben werden. Dadurch ist es möglich, die Bestimmung der Gaskonzentrationen auch in einem Grobvakuum (1 - 1013 mbar) durchzuführen, wobei verhindert wird, dass sich das Sensorelement aufgrund einer im Grobvakuum stark verringerten Wärmeleitfähigkeit unzulässig erwärmt.
Das mindestens eine Sensorelement und - sofern vorhanden - das Referenzelement sind in einer Ausgestaltung in einer Messkammer angeordnet, wobei die Messkammer auf eine konstante Temperatur temperiert ist. Die Temperatur in der Messkammer liegt vorzugsweise unterhalb des minimalen Temperaturwertes, auf welchen das mindestens eine Sensorelement gebracht wird. So ist in einer Ausgestaltung vorgesehen, die Messkammer auf Temperaturen im Bereich von ca. 40° bis ca. 50° zu beheizen.
Gemäß einem dritten Aspekt wird ein Wärmebehandlungsofen mit Mitteln zur Durchführung des beschriebenen Verfahrens und/oder mit einer beschriebenen Vorrichtung zur Bestimmung der Konzentration prozessrelevanter Gaskomponenten in einer Nitrier- oder Nitrocarburieratmosphäre geschaffen. Der Wärmebehandlungsofen dient beispielsweise Wärmebehandlungen, wie Gasnitrieren, Gasnitrocarburieren oder Gascarbonitrieren, von Stahlbauteilen. KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Weitere Vorteile und Aspekte der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen und aus der nachfolgenden Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen der Erfindung, die nachfolgend anhand der Figuren erläutert sind.
Dabei zeigen:
Fig. 1 schematisch ein Sensorelement zur Bestimmung einer Wärmeleitfähigkeit für eine Vorrichtung zur Bestimmung der Konzentration von N Gaskomponente in einem Gasgemisch,
Fig. 2 schematisch einen Verlauf einer Temperatur des Sensorelements 1 und
Fig. 3 schematisch eine Vorrichtung zur Bestimmung der Konzentration von N
Gaskomponente in einem Gasgemisch an einem Wärmebehandlungsofen.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
Fig. 1 zeigt schematisch ein Sensorelement 1 zur Bestimmung einer Wärmeleitfähigkeit für eine Vorrichtung zur Bestimmung der Konzentration von N Gaskomponente in einem das Sensorelement 1 umgebenden Gasgemisch.
Das dargestellte Sensorelement 1 umfasst einen Nickeldraht oder einen Platindraht 10 mit Anschlüssen 12, 14, welcher von einer Keramikeinbettung 16 umgeben ist. Ein derartiges Sensorelement 1 erlaubt einen Betrieb, bei welchem das Sensorelement 1 auf einen maximalen Temperaturwert in einem Bereich von über 350° gebracht wird. Für einen sicheren Betrieb bei diesen Temperaturwerten ist eine Flammensperre 2, z.B. aus Edelstahl-Sintermaterial vorgesehen.
Mittels der Anschlüsse 10, 12 wird das Sensorelement 1 auf mindestens einen minimalen Temperaturwert in einem Bereich von ca. 60° bis ca. 350° oder einen maximalen Temperaturwert in einem Bereich von über 350° gebracht. Der minimale und der maximale Temperaturwert sind dabei derart gewählt, dass der minimale Temperaturwert unterhalb und der maximale Temperaturwert oberhalb der Spalttemperatur einer Gaskomponente liegt. In einer Ausgestaltung wird das Sensorelement 1 abwechselnd auf den minimalen Temperaturwert und den maximalen Temperaturwert gebracht, wobei vorzugsweise der Temperaturverlauf ein Rechtecksignal ist.
Fig. 2 zeigt schematisch einen Verlauf der Soll-Temperatur T des Sensorelements 1 , wobei das Sensorelement 1 abwechselnd auf die abwechselnd auf den minimalen Temperaturwert Tmin und den maximalen Temperaturwert Tmax gebracht wird. Eine Erfassung der Wärmleitfähigkeit erfolgt beispielsweise an durch Punkte dargestellten Messzeiten oder -punkten.
In einer anderen Ausgestaltung sind zwei Sensorelemente 1 vorgesehen, wobei ein Sensorelement 1 dauerhaft zur Einstellung des minimalen Temperaturwerts Tmin und ein Sensorelement 1 dauerhaft zur Einstellung des maximalen Temperaturwerts Tmax betrieben wird. Die konstanten Temperaturverläufe dieser Sensorelemente 1 sind in Fig. 2 durch gestrichelte Linien dargestellt.
In wieder anderen Ausgestaltungen wird das Sensorelement 1 wiederholt in Stufen auf den minimalen Temperaturwert, mindestens einen Zwischenwert und den maximalen Temperaturwert gebracht.
Das Sensorelement 1 wird in einer Ausgestaltung unter Atmosphärendruck in einer Wheatstone- Brücke betrieben. Es sind jedoch auch andere Schaltungen denkbar.
In einer nicht dargestellten Auswerteeinheit werden anhand der erfassten N-1 Messwerte die Konzentrationen von N Gaskomponente in einem das Sensorelement 1 umgebenden Gasgemisch erfasst.
Fig. 3 zeigt schematisch eine Vorrichtung 3 zur Bestimmung der Konzentration von N Gaskomponente in einem Gasgemisch an einem nicht dargestellten Wärmebehandlungsofen. Die Vorrichtung 3 umfasst eine Messkammer 3 mit einem Gehäuse 30. Die Messkammer 3 wird auf eine konstante Temperatur temperiert. Die Temperatur liegt vorzugsweise bei 100°C, um eine Kondensation vom Wasser zu verhindern. Je nach Gasgemisch kann beispielsweise unter Ausnutzung des Einflusses von NH3 bei 100°C die Temperatur auch auf etwa 70-80°C festgelegt werden. Ein Heizen der Messkammer 3 erfolgt vorzugweise mittels eines beheizten Gehäuses 30. In der Messkammer 4 sind in dem dargestellten Ausführungsbeispiel das Sensorelement 1 sowie ein Referenzelement 5 angeordnet, wobei das Sensorelement dem zu analysierenden Gasgemisch und das Referenzelement einem Referenzgas, beispielsweise Luft ausgesetzt ist.
Eine Strömung des zu analysierenden Gasgemischs ist schematisch durch Pfeile dargestellt.
Die Messkammer 4 ist beispielsweise an ein Gehäuse des nicht dargestellten Wärmebehandlungsofens angeflanscht, wobei ein Durchströmen der Messkammer mit dem Sensorelement 1 mit einer durch physikalische Ursachen erzeugten Gasströmung derart erfolgt, dass die Messkammer 40 mit einer im Vergleich zu dem Wärmebehandlungsofen niedrigeren Temperatur ohne aktive Elemente angeströmt wird und das Gas über eine vorteilhaft zentrisch angeordnete Gasrückführung zurück zu dem Wärmebehandlungsofen gelangt.

Claims

PATENTANSPRÜCHE
1 . Verfahren zur Bestimmung der Konzentration von N Gaskomponenten in einem Gasgemisch, das mindestens N Gaskomponenten mit N größer 2 aufweist, wobei ein Sensorelement (1 ) oder mehrere Sensorelemente (1 ) auf mindestens N-1 vorgegebene Temperaturwerte zur Bestimmung temperaturabhängiger Wärmeleitfähigkeiten gebracht wird/werden, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Sensorelement (1 ) mindestens auf einen minimalen Temperaturwert (Tmin) in einem Bereich von ca. 60° bis ca. 350° und auf einen maximalen Temperaturwert (Tmax) in einem Bereich von über ca. 350° gebracht wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der maximale Temperaturwert (Tmax) oberhalb der Spalttemperatur mindestens einer Gaskomponente des Gasgemischs liegt und der minimale Temperaturwert (Tmin) unterhalb der Spalttemperatur dieser Gaskomponente des Gasgemischs liegt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mittels eines Drucksensors ein Druck erfasst wird, um eine Druckabhängigkeit der Wärmeleitfähigkeiten der Gaskomponenten zu kompensieren.
4. Verfahren nach Anspruch 1 , 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Sensorelement (1 ) dem Gasgemisch und ein dem Sensorelement (1 ) zugeordnetes Referenzelement (5) einem Referenzgas, insbesondere Luft, ausgesetzt sind.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass N-1
Sensorelemente (1 ) vorgesehen sind, die jeweils mit einer definierten, konstanten Temperatur betrieben werden.
6. Vorrichtung zur Bestimmung der Konzentration von N Gaskomponente in einem Gasgemisch, das mindestens N Gaskomponenten mit N größer 2 aufweist, umfassend ein Sensorelement (1 ) oder mehrere Sensorelemente (1 ), das/die eingerichtet und/oder ausgebildet ist/sind, um auf mindestens N-1 vorgegebene Temperaturwerte zur Bestimmung temperaturabhängiger Wärmeleitfähigkeiten gebracht zu werden, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Sensorelement (1 ) eingerichtet und/oder ausgebildet ist, um mindestens auf einen minimalen Temperaturwert (Tmin) in einem Bereich von ca. 60° bis ca. 350° und auf einen maximalen Temperaturwert (Tmax) in einem Bereich von über ca. 350° gebracht zu werden.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Sensorelement (1 ) eingerichtet und/oder ausgebildet ist, um auf einen maximalen Temperaturwert (Tmax) gebracht zu werden, der oberhalb der Spalttemperatur des Gasgemischs liegt.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Sensorelement (1 ) einen Nickeldraht (10) und/oder einen Platindraht (10) umfasst, wobei der Nickeldraht (10) und/oder der Platindraht (10) insbesondere in einem Keramikmaterial eingebettet ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 6, 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass ein Drucksensor zur Erfassung eines Drucks vorgesehen ist.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein dem Gasgemisch ausgesetztes Sensorelement (1 ) und ein Referenzelement (5) vorgesehen sind, wobei das Referenzelement (5) einem Referenzgas, insbesondere Luft, ausgesetzt ist.
1 1 . Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass N-1
Sensorelemente (1 ) vorgesehen sind, die jeweils eingerichtet und/oder ausgebildet sind, um mit einer definierten, konstanten Temperatur betrieben zu werden.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Sensorelement (1 ) in einer Messkammer (4) angeordnet ist, wobei die Messkammer (4) auf eine konstante Temperatur temperiert ist.
13. Wärmebehandlungsofen mit Mitteln zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 5 und/oder mit einer Vorrichtung (3) nach einem der Ansprüche 6 bis 12 zur Bestimmung der Konzentration prozessrelevanter Gaskomponenten in einer Nitrieroder Nitrocarburieratmosphäre.
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