WO2017196638A3 - Système d'alignement et son procédé d'utilisation - Google Patents

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    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract

Système d'alignement comprenant une monture de substrat conçu pour recevoir un substrat, une structure de guidage fixée en position par rapport à une monture de substrat et au moins une pince actionnée. La monture de substrat peut être conçue de façon à recevoir un substrat. Une pince actionnée peut comprendre une pince, un actionneur accouplé à la pince et fixé en position par rapport à une monture de substrat qui est conçue pour recevoir un substrat, et un codeur servant à produire et à sortir des données de codeur indiquant la position de la pince. L'actionneur peut servir à déplacer la pince par rapport à la monture de substrat. La structure de guidage et la pince actionnée peuvent être agencées de telle sorte qu'un substrat reçu par la monture de substrat peut être pressé entre la pince et la structure de guidage lorsque la pince est déplacée par rapport à la monture de substrat par le premier actionneur.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112027644A (zh) * 2020-08-17 2020-12-04 西门子工业自动化产品(成都)有限公司 用于对多种类型的电路板进行抓取的方法和装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0511704A1 (fr) * 1991-04-29 1992-11-04 Koninklijke Philips Electronics N.V. Dispositif de déplacement
US20080202421A1 (en) * 2003-06-27 2008-08-28 Allen Duane E Mask and substrate alignment for solder bump process
WO2015085248A1 (fr) * 2013-12-06 2015-06-11 Kla-Tencor Corporation Appareil de support pour des systèmes d'inspection et de lithographie de semi-conducteurs
WO2015158390A1 (fr) * 2014-04-17 2015-10-22 Applied Materials, Inc. Support pour substrats
US20160053361A1 (en) * 2013-03-15 2016-02-25 Applied Materials, Inc. Carrier for a substrate and method for carrying a substrate

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0511704A1 (fr) * 1991-04-29 1992-11-04 Koninklijke Philips Electronics N.V. Dispositif de déplacement
US20080202421A1 (en) * 2003-06-27 2008-08-28 Allen Duane E Mask and substrate alignment for solder bump process
US20160053361A1 (en) * 2013-03-15 2016-02-25 Applied Materials, Inc. Carrier for a substrate and method for carrying a substrate
WO2015085248A1 (fr) * 2013-12-06 2015-06-11 Kla-Tencor Corporation Appareil de support pour des systèmes d'inspection et de lithographie de semi-conducteurs
WO2015158390A1 (fr) * 2014-04-17 2015-10-22 Applied Materials, Inc. Support pour substrats

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