WO2019116545A1

WO2019116545A1 - スクリーン印刷機

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Publication number: WO2019116545A1
Application number: PCT/JP2017/045136
Authority: WO
Inventors: 鳥居敦志; 林幸輝
Original assignee: Fuji Corp
Current assignee: Fuji Corp
Priority date: 2017-12-15
Filing date: 2017-12-15
Publication date: 2019-06-20
Anticipated expiration: 2020-06-15
Also published as: US11511535B2; US20200369022A1; EP3725521A1; CN111448073A; EP3725521B1; EP3725521A4; CN111448073B; JPWO2019116545A1; JP6934955B2

Abstract

機内においてマスクのテンション測定を可能にするクリーン印刷機であり、マスクを保持するマスク保持装置と、前記マスク保持装置に保持されたマスクに対して下方から基板を位置決めする基板装置と、前記マスクの上面にクリームはんだを塗り延ばしするスキージ装置と、前記マスクに対する上側走行装置又は下側走行装置に搭載されたプッシャにより前記マスクを設定圧力で押圧するマスク押圧装置と、前記プッシャとは反対の前記上側走行装置又は下側走行装置に搭載され、前記マスクの高さを測定するマスク測定装置と、前記マスク測定装置の測定値に基づき前記マスクのテンションについて算出するテンション測定装置とを有する。

Description

スクリーン印刷機

　本発明は、機内においてマスクのテンション測定が可能なスクリーン印刷機に関する。

　スクリーン印刷機では、印刷パターン孔が形成されたマスクの下に基板が配置され、そのマスク上面にクリームはんだが塗り延ばしされる。そして、クリームはんだが印刷パターン孔を通って基板に塗布されることにより、基板に対して印刷パターンに従った印刷が行われる。その際、印刷後の版離れが適切でなければ、印刷パターンが滲んでしまうなどの印刷不良が生じる。その原因としては、繰り返し使用されるマスクのテンションが緩んでしまい、マスクと基板との密着度に狂いが生じてしまうことがある。この点について、下記特許文献１にはマスクのテンション測定に関する記載がある。具体的には、印刷ヘッドに備えたテンション計測用ロッドが使用され、マスクの測定箇所を所定の推力で加圧することにより、このとき発生する反力がロードセルによって測定されるというものである。また、同文献には、認識カメラによる監視手段によってテンション実反力を計測する記載もある。

特開２００７－９６１５３号公報特開２００１－６２９９６号公報

　前記特許文献１の従来例は、マスクテンションについて判定を行うための手段として、マスクをロッドで押したときの反力測定が行われている。しかし、基板の版離れはマスクの撓み量に起因するため、反力測定の値に基づいて印刷後の版離れが適切に制御できない。この点、上記特許文献２には、スクリーン印刷機の外部装置としてマスクの変位量を測定するマスクのテンション測定装置が開示されている。そのテンション測定装置は、左右両端で支持されたマスクに対して一定荷重を加えるための分銅が載せられ、そのときの変位量がマスクのテンションとしてギャップセンサによって測定されるというものである。しかし、同従来例のように、スクリーン印刷機の外部装置として構成されたものは、コストがかかってしまうだけではなく、基板製造ラインを大型化させてしまうなどの欠点がある。また、分銅を使用したマスクに対する荷重のかけ方は、その取扱いや荷重調整が不便である。

　そこで、本発明は、かかる課題を解決すべく、機内においてマスクのテンション測定が可能なスクリーン印刷機を提供することを目的とする。

　本発明の一態様におけるスクリーン印刷機は、マスクを保持するマスク保持装置と、前記マスク保持装置に保持されたマスクに対して下方から基板を位置決めする基板装置と、前記マスクの上面にクリームはんだを塗り延ばしするスキージ装置と、前記マスクに対する上側走行装置又は下側走行装置に搭載されたプッシャにより前記マスクを設定圧力で押圧するマスク押圧装置と、前記プッシャとは反対の前記上側走行装置又は下側走行装置に搭載され、前記マスクの高さを測定するマスク測定装置と、前記マスク測定装置の測定値に基づき前記マスクのテンションについて算出するテンション測定装置とを有する。

　前記構成によれば、スクリーン印刷機の機内で、マスクの上側又は下側からマスク押圧装置のプッシャによって当該マスクが設定圧力で押圧され、そのプッシャとは反対側から、撓んだマスクの高さがマスク測定装置によって測定され、その測定値に基づきテンション測定装置によってマスクのテンションに関する値が算出される。

スクリーン印刷機の内部構造を簡易的に示した図である。スクリーン印刷機の制御システムを簡易的に示したブロック図である。マスクテンション測定装置の主要な構成を示した図である。マスクのテンション予測ラインを示した図である。テンション予測ラインに反してマスクの撓みが急激に上昇した場合のテンションラインを示した図である。

　次に、本発明に係るスクリーン印刷機の一実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。図１は、スクリーン印刷機の内部構造を簡易的に示した図であり、基板の搬送方向である機体幅方向から示したものである。また、図２は、スクリーン印刷機の制御システムを簡易的に示したブロック図である。スクリーン印刷機１は、基板に対してクリームはんだを印刷するものであり、例えば印刷状態を検査するはんだ検査機や基板に電子部品の装着を行う部品装着機などと共に回路基板生産ラインを構成するものである。回路基板生産ラインでは、各機械に対して基板が順番に搬送され、このスクリーン印刷機１では、図面を貫く機体幅方向に基板１０が搬入および搬出される。なお、本実施形態では、スクリーン印刷機１の機体前後方向をＹ軸方向、機体幅方向をＸ軸方向、そして機体高さ方向をＺ軸方向として説明する。

　スクリーン印刷機１は、機内に設置されたマスク２０の下に基板１０が搬送され、マスク２０の上面側から印刷パターン孔をクリームはんだが通り、下側の基板１０に塗布されて印刷パターンが形成される。そこで、スクリーン印刷機１の機内上部側には、機体幅方向に配置された一対のマスクホルダ３に、枠体４４を介してマスク２０が保持される。マスクホルダ３の上方側にはスキージ装置４が設置され、機体前後方向に移動可能な状態で取り付けられている。一方、マスクホルダ３の下方側には、基板１０を機体幅方向に搬入及び搬出させる基板搬送装置５、基板１０を機体前後方向にクランプするためのクランプ装置６、そして基板１０をクランプ位置へと上下させるバックアップ装置７などが昇降装置８に組み付けられている。

　昇降装置８は、垂直なガイドレール１１に沿って摺動する昇降台１２を備え、その昇降台１２がボールネジ機構１３を介して昇降用モータ１４に連結されている。昇降台１２の上には、支持台１５を介して基板搬送装置５やクランプ装置６などが搭載されている。支持台１５には機体前後方向（Ｙ軸方向）に一対のマスクサポート２１が設けられ、それぞれ上面にマスク２０に接触するマスク支持プレート２１１が固定されている。図面右側のマスクサポート２１にはボールネジ機構２２が構成され、マスクサポート用モータ２４によって図面左側のマスクサポート２１との距離の調整が可能となっている。

　クランプ装置６は、基板１０の搬送方向と直行する機体前後方向に一対のサイドフレーム２５があり、支持台２３上に組み付けられている。図面右側のサイドフレーム２５にボールネジ機構２６が構成され、基板クランプ用モータ２９によって図面左側のサイドフレーム２５との距離の調整が可能となっている。一対のサイドフレーム２５には、その上端部にクランプ部２７が形成され、クランプ部２７同士の距離が縮まることによって基板１０が把持できるようになっている。そして、サイドフレーム２５の内側には、コンベアベルト２８からなる基板搬送装置５が組み付けられている。

　一対のサイドフレーム２５の間には、基板１０を支持するバックアップ装置７が設けられている。バックアップ装置７は、複数のバックアップピン３２を備えたバックアップテーブル３１がボールネジ機構を介して支持され、バックアップ用モータ３４によって昇降するよう構成されている。支持台２３がボールネジ機構によって支持され、昇降用モータ３３によって昇降するよう構成されている。クランプ装置６やバックアップ装置７の支持台１５は、昇降台１２に対してＸ－Ｙ平面上のＸ方向及びＹ方向とθ方向に位置調整が可能な構成となっている。

　スキージ装置４は、走行台３５に対して一対のスキージがシリンダなどの昇降装置を介して搭載されている。その走行台３５は、機体前後方向に延びるガイドロッド３６に対して摺動可能に組み付けられ、ガイドロッド３６と平行なネジ軸３７からなるボールネジ機構を介して取り付けられている。従って、スキージ装置４は、ネジ軸に連結されたスキージ用モータ３８の駆動により、機体前後方向の直線移動が可能となっている。

　一方、マスク２０の下方には、そのマスク２０とクランプ装置６との間に基板マークやマスクマークなどを撮像するためのカメラ４１が設けられている。カメラ４１は、Ｙ軸レール４２を摺動するＹ軸スライド４３に固定され、機体前後方向に移動が可能である。また、Ｙ軸レール４２は、両端部にＸ軸スライド４５が固定され、そのＸ軸スライド４５を介して機体幅方向に配置された２本のＸ軸レール４６に架設されている。Ｙ軸スライド４３は、不図示のボールネジ機構をＹ軸モータ４７で駆動させることにより移動し、Ｘ軸スライド４５は、リニアモータ４８によって移動する。よって、カメラ４１がＸＹ平面上の移動が可能になっている。

　スクリーン印刷機１には、このようにマスク２０の上下にスキージ装置４やカメラ４１を移動させるための移動機構が設けられている。そこで、本実施形態のスクリーン印刷機１は、マスク２０のテンションを算出するためのマスクテンション測定装置が、こうしたマスク上下の移動機構を利用して構成されている。図３は、スクリーン印刷機１の内部構造のうち、マスクテンション測定装置の主要な構成を示した図である。具体的には、マスク２０を下方に向けて押圧するプッシャとしてのエアシリンダ５１と、マスク２０の下面高さを測定するマスク測定装置としてのレーザ変位計５２である。そして、エアシリンダ５１はマスク上の走行台３５に搭載され、レーザ変位計５２はマスク下のＹ軸スライド４３に搭載されている。

　エアシリンダ５１は、ピストンロッド５１１の先端に樹脂からなる押圧部材を有し、そのピストンロッド５１１が下向きになって鉛直方向に伸縮作動するよう取り付けられている。エアシリンダ５１は、収縮作動する方向にスプリングによってピストンが付勢され、そのピストンにヘッド側から加わるエア圧によって伸長作動する単動シリンダである。そのため、エアシリンダ５１にはヘッド側に図示しないコンプレッサからのエアが供給されるようにエアパイプ５３が接続され、そのエアパイプ５３にはレギュレータ５５や３方電磁弁５６が設けられている。

　レギュレータ５５や３方電磁弁５６には制御装置９が接続され、各々の駆動制御が行われるよう構成されている。よって、マスクテンション測定装置では、レギュレータ５５の制御によってエアシリンダ５１に対して設定圧のエアが供給され、３方電磁弁５６の制御により、エアシリンダ５１に対するエアの送り込みと、エアシリンダ５１内のエアの大気放出とが切り換えられるようになっている。一方、レーザ変位計５２も制御装置９に接続され、マスク２０の高さの測定データが制御装置９へと送信されるようになっている。

　スクリーン印刷機１は、全体の駆動を制御する制御装置９が搭載されている。制御装置９は、マイクロプロセッサ（ＣＰＵ）６１、ＲＯＭ６２、ＲＡＭ６３、不揮発性メモリ６４がバスラインを介して接続されている。ＣＰＵ６１は、制御装置全体を統括制御するものであり、ＲＯＭ６２には、ＣＰＵ６１が実行するシステムプログラムや制御パラメータ等が格納され、ＲＡＭ６３には、一時的な計算データや表示データ等が格納される。

　スクリーン印刷機１の機体前面部にはタッチパネル型の操作表示装置６７が取り付けられ、作業者によるデータ入力や作業内容および数値の表示などが可能になっている。制御装置９にはＩ／Ｏポート６５を介してその操作表示装置６７が接続されている。Ｉ／Ｏポート６５にはその他にも各種モータがドライバを介して接続されている。図示した各種モータにはサーボモータが使用され、内部に組み込まれたエンコーダから自身の回転量に関する情報（信号）が制御装置９に対して送信可能となっている。

　更に、Ｉ／Ｏポート６５にはレーザ変位計５２、レギュレータ５５および３方電磁弁５６が接続され、スクリーン印刷機１内のマスクテンション測定装置が構成されている。制御装置９の不揮発性メモリ６４には、ＣＰＵ６１が行う処理に必要な情報が記憶され、次に説明するスクリーン印刷機１の印刷制御プログラムが格納され、その実行により基板１０に対する印刷処理が行われるようになっている。そして、本実施形態では、マスクテンション測定装置を制御するためのテンション測定プログラムや、マスク２０の適切な使用予測回数を算出する使用予測算出プログラムなども格納されている。

　続いて、スクリーン印刷機１の作用について説明する。スクリーン印刷機１では、基板１０がサイドフレーム２５の間に搬送され、バックアップピン３２によって持ち上げられた後、一対のクランプ部２７に挟み込まれて保持される。クランプ装置６の上昇により基板１０とマスク支持プレート２１１の上面とが揃えられ、カメラ４１によって基板１０に付されたマークが撮像される。基板１０とマスク２０はＸ，Ｙ，θ方向の相対的位置の位置ズレ量が算出され、支持台１５に対する位置ズレ補正が行われる。そして、昇降台１２が上昇して基板１０がマスク２０に対して位置決めされた後、マスク２０にはスキージ装置４によるクリームはんだの塗り延ばしが行われる。そのときマスク２０は、撓むようにして基板１０に押し付けられ、ローリングされたクリームはんだがマスク２０の印刷パターン孔へと押し込まれる。

　その後、基板１０を所定速度で下降させる版離れが行われ、印刷パターンに応じてクリームはんだが基板１０に塗布されて印刷が完了する。しかし、このような印刷において品質が低下することがあり、要因の一つとしてマスクテンションの緩みがある。マスク２０のテンションが緩むことにより、マスク２０と基板１０との密着度が版離れ制御に適合しなくなるからである。そこで、本実施形態のスクリーン印刷機１では、段取り替えによってマスク２０が取り付けられると、機体カバーを閉じるなど印刷準備が完了した時点で、テンション測定プログラムに基づくテンション判定が自動で行なわれる。

　先ず、製造する回路基板に応じて異なる印刷パターンのマスク２０が複数用意されているため、その中から該当するマスク２０がスクリーン印刷機１へ取り付けられる。そして、マスク２０に付された識別子がカメラ４１によって撮像され、その撮像データからマスク２０が特定される。一方、制御装置９のＲＡＭ６３には、ストッカに保管されている複数のマスク２０について、各々の情報を管理するための情報管理部が構成されている。例えば、その管理情報部にはマスク２０の印刷パターンのほか、使用情報（基板１０への印刷回数）および使用日時、マスク２０のテンション測定情報および測定日時などが格納されるため、マスク２０の特定によってそうした情報が引き出される。

　次に、プッシャであるエアシリンダ５１によってマスク２０を押圧するテンション測定が行われる。その際、前述したマスク２０の特定に従ってマスク２０に対する測定位置が決定される。マスク２０毎に印刷パターンが異なるため、そのパターン孔から外れた位置にするなど、各々適切な位置が設定されている。そこで、スキージ用モータ３８の駆動制御により走行台３５が移動し、該当するマスク２０の測定位置へとエアシリンダ５１が配置される。一方、マスク２０の下方でもＹ軸スライド４３の移動に対する駆動制御が行われ、エアシリンダ５１の真下に位置するようにレーザ変位計５２が移動して配置される。

　測定位置に配置されたエアシリンダ５１は、供給されたエアによってピストンロッド５１１が伸長作動し、図３に示すように先端の押圧部材によってマスク２０の測定箇所が押し下げられる。このときエアシリンダ５１に供給されるエアはレギュレータ５５によって圧力が調整されているため、エアシリンダ５１は常に一定の押圧力でマスク２０を押すことができる。ただし、エアシリンダ５１の押圧力は、操作表示装置６７の入力操作によってレギュレータ５５を調整することで任意に変更が可能である。

　ところでマスク２０は、アルミニウム合金製の四角い枠体４４に対し、枠内に張り出すようにしてポリエステル製のメッシュ４９が張られ、そのメッシュ４９に対して下面外周部が接着剤を用いて貼り付けられている。従って、マスク２０は、メッシュ４９によって外側に引っ張られるようにして枠体４４の内側に保持されているが、そのメッシュ４９や接着剤は極めて薄く、マスク２０の洗浄や経年変化などによって引っ張る力が落ちてしまう。すると、前述したように、マスク２０と基板１０との密着度が版離れ制御に適合しなくなり、印刷不良を引き起こすこととなる。そこで、図３に示すようにメッシュ４９の近傍であるマスク２０の端部付近で測定が行われる。なお、本実施形態においてマスク２０のテンションとは、メッシュ４９を含む枠体４４に支持された部分全体のテンションのことをいう。

　一方、レーザ変位計５２によるマスク２０の下面高さの測定が、エアシリンダ５１に押さえ付けられて撓む前と後について行われる。テンションの測定には撓んだ状態のマスク２０の下面高さの値が使用され、本実施形態ではマスク２０の撓み量Ｄによってテンション判定が行なわれる。その撓み量Ｄは、マスク２０のテンションが十分な場合は値が小さいが、緩んでしまった場合は値が大きくなる。そこで、マスクホルダ３に保持された枠体４４の下面を基準高さＺ０とし、エアシリンダ５１によって押え付けられた位置で測定されたマスク２０の下面高さＺ１との差が撓み量Ｄとして算出され、その値が機体前面部の操作表示装置６７に表示される。

　テンション測定の結果、マスク２０の撓み量Ｄが閾値に達している場合には、作業者に対する報知が行われる。本実施形態では、操作表示装置６７から撓み量Ｄに対する閾値の設定入力が可能である。閾値に関しては、新しいマスク２０への交換準備を促すための交換前閾値や、印刷不良を引き起こすマスク２０であって交換が必要となる交換要閾値など、目的に応じて複数の閾値が設定入力できる。交換前閾値は、マスク２０が緩んでいたとしても、そのテンションが適切な印刷を可能にする許容範囲内の値であり、交換要閾値はその許容値を超えた値である。

　作業者への報知は、操作表示装置６７が警報手段となって警告表示や音声案内が行われ、あるいはシグナルタワーなど警報手段がある場合には、そうした警報手段の作動によって行われる。また、テンション測定プログラムでは、撓み量Ｄが交換要閾値を超えてマスク２０の交換を必要とする場合には、当該事実の報知とともに作業者が印刷開始ボタンを押したとしてもその信号がキャンセルされる。つまりスクリーン印刷機１の駆動が規制され、テンションの緩い不適切なマスク２０を使用した印刷が回避される。一方、撓み量Ｄが交換前閾値を超えているような場合には、操作表示装置６７に「マスク交換準備」などの表示が行われる。

　更に、本実施形態では、段取り替えしたマスク２０の寿命予測が操作表示装置６７に表示される。前述したように、制御装置９の情報管理部には基板１０に対する印刷回数、すなわちスキージがマスク２０を撓ませた回数がカウントされ記憶されている。ここで、図４は、あるマスク２０に関する使用回数と撓み量Ｄとの関係をグラフ（テンション予測ラインＬ）にした図である。制御装置９では使用予測算出プログラムによってテンション予測ラインが作成される。

　図示するテンション予測ラインＬのマスク２０がスクリーン印刷機１に取り付けられると、前述したようにテンション測定が行われて撓み量Ｄｘが求められ、その値が交換前閾値Ｄ１または交換要閾値Ｄ２に達しているか否かの判定が行なわれる。いずれの閾値にも達していない場合には、テンション予測ラインＬから交換が必要な交換要閾値Ｄ２に達するまでの印刷回数が算出され、操作表示装置６７に表示される。ただし、このとき撓み量Ｄｘに対する使用回数Ｔｘとマスク２０の実際の使用回数Ｔｎとが一致せず、誤差が生じている場合がある。

　そのような場合には、テンション予測ラインＬが二点鎖線で示すように修正予測ラインＬｓへとスライドさせた補正処理が行われ、交換要閾値Ｄ２に達するまでの使用回数が算出される。そして、交換が必要な使用回数Ｔ２と実際の使用回数Ｔｎとの差が求められ、その値が当該マスク２０における交換が必要なるまでの残りの使用回数として表示される。作業者は、使用計画とその表示された残りの使用回数から新しいマスク２０を発注するタイミングなどを決定することができる。なお、比較対象を交換準備が必要となる交換前閾値Ｄ１に対応した使用回数Ｔ１とし、その交換前閾値Ｄ１と実際の使用回数Ｔｎとの差を求めて表示するようにしてもよい。

　従って、本実施形態によれば、スクリーン印刷機１にエアシリンダ５１やレーザ変位計５２などからなるマスクテンション測定装置が組み込まれているため、機内でマスク２０のテンション測定が可能である。マスクテンションを測定するための専用装置を必要としないため、基板製造ラインをコンパクトにすることができる。また、エアシリンダ５１やレーザ変位計５２が走行台３５やＹ軸スライド４３に組み付けられるため、従来のスクリーン印刷機をそのまま使用することができる。プッシャにはエアシリンダ５１が使用され、レギュレータ５５の圧力調整によってマスク２０への押圧力を設定することができる。特に、操作表示装置６７の入力操作によってレギュレータ５５の圧力調整や、マスク２０に対する測定位置の設定を容易に行うことができる。

　更にスクリーン印刷機１は、機内でテンションの測定が行われるため、作業者が間違って不良のマスク２０を取り付けてしまったとしても、スクリーン印刷機１が駆動せず基板１０に対する印刷を回避することができる。ところで、機内で行うテンションの測定は、マスク２０を取り付けた段取り替えの時だけではなく、所定の印刷回数ごとに行うようにしてもよい。例えば、メッシュ４９にキズがあるような場合には、図５に示すように急激な撓み量Ｄの上昇つまり急にテンションが下がることがある。そのような場合に、所定の印刷回数ごとに測定が行われるようにすれば、使用回数Ｔ３，Ｔ４での撓み量の値の差ΔＤが所定値を超えた場合に、マスク２０に異常が生じていると判断して作業者に報知させることができる。

　また、所定の印刷回数ごとに測定を行い、測定した撓み量Ｄと、その状態のマスク２０によって印刷された基板１０とを関連付けることにより、生産基板毎のトレーサビリティ管理が可能になる。スクリーン印刷機１では、基板１０に付された識別子をカメラ４１で撮像することにより、その撮像データから基板１０が特定でき、その基板１０に対する印刷時のマスク２０の撓み量Ｄと関連付けすることができる。そして、このような情報が、印刷良品の原因追求や交換前閾値Ｄ１や交換要閾値Ｄ２を適切な値にすることにも役立てられる。そのほか、印刷回数と撓み量Ｄのデータが図４に示すテンション予測ラインＬの作成にも利用でき、測定回数を増やすことにより更に正確な情報を得ることができる。

　以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
　例えば、前記実施形態ではプッシャにエアシリンダ５１を使用したが、電動シリンダを使用などし、サーボモータのトルク制御によりマスク２０に対する押圧力を調整するようにしてもよい。
　また、前記実施形態では、マスク２０を上から押圧するようにしたが、エアシリンダ５１とレーザ変位計５２を走行台３５とＹ軸スライド４３に対する組み付けを逆にして下から押圧するようにしてもよい。
　また、マスク測定装置は、前記実施形態で挙げたレーザ変位計５２ではなくカメラ４１とし、その撮像データの画像解析によってマスク２０の高さを求めるようにしてもよい。

　また、前記実施形態では、制御装置９において、使用予測算出プログラムによってテンション予測ラインが作成されたが、制御装置９と通信可能であって、スクリーン印刷機１の外部に設けられたコンピュータがテンション予測ラインを作成してもよい。この場合、外部に設けられたコンピュータは、制御装置９と通信して使用回数と撓み量Ｄに関するデータを受領し、自らに格納された使用予測算出プログラムを用いて、テンション予測ラインを作成すればよい。

１…スクリーン印刷機　４…スキージ装置　５…基板搬送装置　６…クランプ装置　８…昇降装置　９…制御装置　１０…基板　２０…マスク　３５…走行台　４３…Ｙ軸スライド　５１…エアシリンダ　５２…レーザ変位計　５５…レギュレータ　５６…３方電磁弁　６７…操作表示装置

Claims

　マスクを保持するマスク保持装置と、
　前記マスク保持装置に保持されたマスクに対して下方から基板を位置決めする基板装置と、
　前記マスクの上面にクリームはんだを塗り延ばしするスキージ装置と、
　前記マスクに対する上側走行装置又は下側走行装置に搭載されたプッシャにより前記マスクを設定圧力で押圧するマスク押圧装置と、
　前記プッシャとは反対の前記上側走行装置又は下側走行装置に搭載され、前記マスクの高さを測定するマスク測定装置と、
　前記マスク測定装置の測定値に基づき前記マスクのテンションについて算出するテンション測定装置とを有するスクリーン印刷機。
　前記上側走行装置は、前記スキージ装置を移動させるスキージ用移動台であり、
　前記下側走行装置は、前記マスクに付されたマスクマークを撮像するマスク用撮像装置が搭載された撮像用移動台である請求項１に記載のスクリーン印刷機。
　前記マスク押圧装置は、前記プッシャが単動型のエアシリンダであり、エア供給源から前記エアシリンダへ圧縮エアを供給する流路上に圧力調整弁が接続されたものである請求項１又は請求項２に記載のスクリーン印刷機。
　前記マスク測定装置が変位センサまたは前記マスク用撮像装置である請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
　前記テンション測定装置は、印刷プログラムにより前記各装置を駆動制御する制御装置であり、当該制御装置によって、前記プッシャにおける前記マスクの所定位置への位置決と、前記マスク測定装置における前記プッシャに対応した位置決めとが行われる請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
　前記テンション測定装置は、前記マスク測定装置による測定値が予め設定された閾値を超えた値である場合に前記マスクのテンションが不適切と判定するとともに、テンションＮＧ情報を発信する警報装置を作動させる請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
　基板に付された識別子を撮像する基板用撮像装置を備え、前記テンション測定装置は、前記識別子により特定された基板と前記マスク測定装置による測定値を関連付けて記憶する情報管理部を有する請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
　前記テンション測定装置は、前記マスクに対する印刷回数および前記マスク測定装置による測定値の情報に基づき、前記マスクのテンションについて設定された閾値に達する予測印刷回数を算出する請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のスクリーン印刷機。