WO2019201378A1 - Integriert-optisches funktionselement - Google Patents

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    • G02B2006/12133—Functions
    • G02B2006/12159—Interferometer

Definitions

  • the invention relates to an integrated-optical functional element according to claims 1 to 7 and an optical integrated circuit with such an integrated-optical functional element according to claim 8.
  • Integrated optical functional elements for example in the form of
  • planar optical waveguides can be realized with the help of polymer materials.
  • the corresponding polymer waveguides comprise a so-called undercladding layer, which is arranged on a silicon substrate, and a so-called core layer, which is arranged on or above the undercladding layer.
  • the waveguide structure within the core layer is typically formed by photolithography, wherein in the case of using a
  • phase-sensitive waveguides In the case of phase-sensitive waveguides, the high coefficients of thermal expansion and large thermo-optical coefficients which are common in polymer materials lead to intolerable phase shifts, which are caused, for example, by complex active
  • Temperature control devices must be met, so that corresponding integrated-optical functional elements are complex and expensive.
  • a coupler circuit for optical waveguides which should be substantially unaffected by a change in ambient temperature. This is achieved by combining the following materials, material parameters and geometries: a substrate from the group quartz, silicon or polyamide resin; optical waveguides made of a polymer having a specific refractive index, the waveguides having a rectangular cross section with a side length of 6 to 8 ⁇ m; upper and lower cladding layers of another polymeric material having a specific refractive index; specific Lengths for the parallel sections of the two couplers, specific gaps of the parallel waveguides in the two couplers; and specific optical path difference of the two optical waveguides.
  • US 2002/0150368 A1 describes a polymer waveguide with only an insignificant change in its optical properties due to temperature changes.
  • an undercladding layer of a silicone compound is disposed on a silicon substrate, followed by a polymeric core layer of a silane compound and a silicone compound.
  • Side-adjacent to the core layer, side cladding layers are each made of the same material as the core layer but with a different refractive index, and an overcladding or uppercladding layer is arranged above the core layer and the sidecladding layers which consists of the same polymer material as the undercladding layer.
  • Uppercladding layer is the topmost layer which absorbs ultraviolet radiation.
  • a polymer layer having a first refractive index n1 is arranged on a substrate, wherein in the polymer layer at least one polymeric optical waveguide or an optical waveguide of a polymeric material having a second refractive index n2 is embedded such that the polymeric optical waveguide is in direct or indirect contact with the substrate.
  • direct contact no further layer is arranged between the substrate and the polymer layer, while in the case of indirect contact between the substrate and the polymer layer at least one further layer is arranged.
  • the second refractive index n2 is greater than the first refractive index n1
  • the material of the substrate has a thermal in a temperature range of -10 ° C to 40 ° C.
  • an integrated-optical functional element can be realized with a polymeric material as an optical function carrier, in which only an extremely low or negligible influence of temperature changes whose optical properties result.
  • the material for the substrate are particularly inorganic
  • Glass ceramics ZERODUR from Schott AG or ULE 7972 or ULE 7973 from Corning Inc. are suitable for this purpose.
  • the material of the substrate has a third refractive index n3, which is less than or equal to the first (n) refractive index n1 of the polymer layer (ie n3 ⁇ n1) and smaller than the second refractive index n2 of the polymeric Fiber optic cable is (ie n3 ⁇ n2).
  • n3 the third refractive index
  • the material of the substrate has a third refractive index n3, which is less than or equal to the first (n) refractive index n1 of the polymer layer (ie n3 ⁇ n1) and smaller than the second refractive index n2 of the polymeric Fiber optic cable is (ie n3 ⁇ n2).
  • an intermediate layer of a polymeric material is disposed between the substrate and the polymer layer. This allows - with otherwise the same materials for the polymer layer and the polymeric optical waveguide - the use of different substrate materials with different thermal or optical properties.
  • Material of the intermediate layer has a fourth refractive index n4 which is less than the first refractive index n1 (i.e., n4 ⁇ n1) and less than or equal to the second refractive index n2 (i.e., n4 ⁇ n2).
  • the intermediate layer consists of the same material as the polymer layer, since then only two different polymers are used for the layers arranged on the substrate, resulting in a particularly simple construction or a particularly simple production.
  • the second refractive index n2 deviates by a value of at least 0.001, and preferably by a value of at least 0.05 from the first refractive index n1.
  • the distances between adjacent polymer optical waveguides of the integrated-optical functional element, in which an optical coupling is provided in particular have a greater tolerance.
  • the invention also relates to an optical integrated circuit with an integrated-optical functional element according to one of the preceding claims, in particular in the form of an interferometer, preferably in the form of a double Michelson interferometer.
  • Figure 1 embodiment of an integrated-optical functional element in a perspective view
  • FIG. 2 Integrated optical functional element according to FIG. 1 in a sectional view
  • Figure 3 Another embodiment of an integrated-optical
  • Figure 4 Embodiment of an integrated-optical functional element with two polymeric optical waveguides in a perspective view
  • Figure 5 embodiment of an integrated-optical functional element with two polymeric optical waveguides and an intermediate layer in
  • FIG. 1 shows a first possible embodiment of a
  • the sheet-like substrate 2 with a length of 8 mm, a width of 3 mm and a thickness of 1 mm in this case consists of the material ULE 7973 from Corning Inc. This substrate has a refractive index of approximately 1.479 with respect to a wavelength of 850 nm.
  • Optical waveguide 4 which consists of the material EpoCore 5 of the company micro resist technology GmbH and has a refractive index n2 of about 1, 583 at the wavelength of 850 nm.
  • the polymeric optical waveguide 4 in this case has a thickness of 6 pm, a width of 6 pm and extends over a length of 8 mm.
  • the polymeric optical waveguide 4 is embedded in a polymer layer 3, which consists of the material EpoClad 10 from. Micro resist technology GmbH and has a refractive index n1 of 1, 570 at the wavelength of 850nm.
  • the thickness of the polymer layer 3 is 16miti at its thickest point.
  • Figure 2 shows the integrated-optical functional element according to Figure 1 in a sectional view, wherein the corresponding section perpendicular to the substrate 2, the polymer layer 3 and the polymeric
  • Optical waveguides 4 is arranged.
  • FIG. 3 shows a further possible embodiment of a
  • an intermediate layer 5 with a thickness of 16 ⁇ m is arranged between the polymer optical waveguide 4 consisting of EpoCore 5 or between the polymer layer 3 consisting of EpoClad 10 and the substrate 2.
  • the substrate here consists of ZERODUR from Schott AG with a refractive index of about 1.54 at a wavelength of 850 nm.
  • Optical waveguide 4 which are spaced further apart in one area than in another area.
  • the region in which the polymeric optical fibers are spaced closer together represents a coupling region where light waves from a polymer
  • Fiber optic 4 can enter into the respective adjacent optical waveguide 4.
  • an intermediate layer 5 made of a polymeric material is arranged here between the polymer optical waveguides 4 or the polymer layer 3 and the substrate 2 for the purpose of selective matching between the refractive index of

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein integriert-optisches Funktionselement (1) umfassend ein Substrat (2), an welchem eine Polymerschicht (3) aufweisend einen ersten Brechungsindex (n1) angeordnet ist, und in der Polymerschicht (3) wenigstens ein polymerer Lichtwellenleiter (4) aufweisend einen zweiten Brechungsindex (n2) derart eingebettet ist, dass der polymere Lichtwellenleiter (4) in direktem oder indirektem Kontakt mit dem Substrat (2) steht, wobei der zweite Brechungsindex (n2) größer ist als der erste Brechungsindex (n1), und das Material des Substrats in einem Temperaturbereich von -10°C bis 40°C einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist, der geringer als 0,05x10E-6/K ist.

Description

Beschreibung
Integriert-optisches Funktionselement
[0001] Die Erfindung betrifft ein integriert-optisches Funktionselement gemäß den Ansprüchen 1 bis 7 und eine optische integrierte Schaltung mit einem solchen integriert-optischen Funktionselement gemäß Anspruch 8.
[0002] Integriert-optische Funktionselemente, beispielsweise in Form von
planaren optischen Wellenleitern, können mit Hilfe von Polymer- Materialien realisiert werden. Üblicherweise umfassen die entsprechenden Polymer-Wellenleiter eine sogenannte Undercladding-Schicht, welche an einem Siliziumsubstrat angeordnet ist, und eine sogenannte Core-Schicht, die an bzw. oberhalb der Undercladding-Schicht angeordnet ist. Die Wellenleiter-Struktur innerhalb der Core-Schicht wird in der Regel durch Fotolithografie ausgebildet, wobei im Falle der Verwendung eines
Negativlacks ein direktes Laserschreiben möglich ist. Abschließend wird der bzw. werden die so ausgebildete(n) Wellenleiter mit einer
sogenannten Overcladding-Schicht abgedeckt.
[0003] Bei phasensensiblen Wellenleitern führen die bei Polymer-Materialien üblichen hohen Wärmeausdehnungskoeffizienten und großen thermo- optischen Koeffizienten zu intolerablen Phasenverschiebungen, denen beispielsweise durch aufwändige aktive
Temperaturregelungseinrichtungen begegnet werden muss, so dass entsprechende integriert-optische Funktionselemente komplex und teuer sind.
[0004] Die DE 603 07 148 T2 beschreibt einen Kopplerschaltkreis für optische Wellenleiter, der im Wesentlichen unbeeinflusst von einer Änderung der Umgebungstemperatur sein soll. Dies wird erzielt mit der Kombination folgender Materialien, Werkstoffparametern und Geometrien: ein Substrat aus der Gruppe Quarz, Silizium oder Polyamidharz; optische Wellenleiter aus einem Polymer mit einem spezifischen Brechungsindex, wobei die Wellenleiter einen rechteckigen Querschnitt mit einer Seitenlänge von 6 bis 8 pm aufweisen; obere und untere Mantelschicht aus einem anderen polymeren Material mit einem spezifischen Brechungsindex; spezifische Längen für die parallelen Abschnitte der beiden Koppler, spezifische Zwischenräume der parallelen Wellenleiter in den beiden Kopplern; und spezifische optische Wegdifferenz der beiden optischen Wellenleiter.
[0005] Um die gewünschte Temperaturunabhängigkeit der optischen
Eigenschaften des Kopplerschaltkreises gemäß der DE 603 07 148 T2 zu erreichen, ist also ein dezidierter Aufbau mit einer Vielzahl in engen Grenzen einzuhaltender Parameter notwendig.
[0006] Die US 2002/0150368 A1 beschreibt einen Polymerwellenleiter mit einer nur unwesentlichen Änderung seiner optischen Eigenschaften aufgrund von Temperaturänderungen. Gemäß einem Ausführungsbeispiel der US 2002/0150368 A1 ist an einem Substrat aus Silizium eine Undercladding- Schicht aus einem Silikon-Compound angeordnet, woran sich eine polymere Kern-Schicht aus einem Silan-Compound und einem Silikon- Compound anschließt. Seitlich angrenzend an die Kern-Schicht sind jeweils Sidecladding-Schichten aus dem gleichen Material wie die Kern- Schicht, jedoch mit einem abweichenden Brechungsindex, angeordnet, und oberhalb der Kern-Schicht und der Sidecladding-Schichten ist eine Over- oder Uppercladding-Schicht angeordnet, welche aus dem gleichen Polymer-Material wie die Undercladding-Schicht besteht. Auf der
Uppercladding-Schicht befindet sich die oberste Schicht, welche absorbierend für UV-Strahlung wirkt.
[0007] Um die gewünschte geringe Temperaturabhängigkeit der optischen
Eigenschaften des Polymerwellenleiters gemäß der US 2002/0150368 A1 zu erzielen, sind also ein komplexer Aufbau und ein entsprechend aufwendiges Herstellungsverfahren notwendig.
[0008] Es ist daher Aufgabe der Erfindung, einen optischen Polymerwellenleiter bereitzustellen, welcher einen möglichst einfachen Aufbau hat und sich leicht und unkompliziert hersteilen lässt.
[0009] Diese Aufgabe wird gelöst mit einem integriert-optischen
Funktionselement gemäß Anspruch 1 , wobei die sich daran
anschließenden Unteransprüche wenigstens zweckmäßige
Weiterbildungen beschreiben. [0010] Bei dem erfindungsgemäßen integriert-optischen Funktionselement ist an einem Substrat eine Polymerschicht mit einem ersten Brechungsindex n1 angeordnet, wobei in der Polymerschicht wenigstens ein polymerer Lichtwellenleiter bzw. ein Lichtwellenleiter aus einem polymeren Material aufweisend einen zweiten Brechungsindex n2 derart eingebettet ist, dass der polymere Lichtwellenleiter in direktem oder indirektem Kontakt mit dem Substrat steht. Bei direktem Kontakt ist zwischen dem Substrat und der Polymerschicht keine weitere Schicht angeordnet, während bei einem indirekten Kontakt zwischen dem Substrat und der Polymerschicht wenigstens eine weitere Schicht angeordnet ist.
[0011] Bezüglich der zu verwendenden Wellenlänge des durch den polymeren Wellenleiter zu leitenden Lichts ist der zweite Brechungsindex n2 größer als der erste Brechungsindex n1 , und das Material des Substrats besitzt in einem Temperaturbereich von -10°C bis 40°C einen thermischen
Ausdehnungskoeffizienten, der kleiner als 0,05x10E-6/K ist.
[0012] Durch solch einen vergleichsweise einfach gestalteten bzw. einfach zu realisierenden Aufbau bei gleichzeitiger Verwendung eines spezifischen Substratmaterials kann ein integriert-optisches Funktionselement mit einem polymeren Material als optischem Funktionsträger realisiert werden, bei welchem nur ein äußerst geringer bzw. vernachlässigbarer Einfluss von Temperaturänderungen auf dessen optische Eigenschaften resultiert.
[0013] Klarstellend sei angemerkt, dass sich bei Angaben von Brechungsindex- Werten bzw. von Vergleichsangaben oder Größenverhältnissen von Brechungsindizes diese stets auf die jeweilige Wellenlänge des durch den polymeren Wellenleiter zu leitenden Lichts beziehen.
[0014] Als Material für das Substrat eignen sich besonders anorganische
Materialien mit isotropen Eigenschaften, und insbesondere kommen hierfür die Glaskeramiken ZERODUR der Fa. Schott AG oder ULE 7972 bzw. ULE 7973 der Fa. Corning Inc. in Betracht.
[0015] Es kann von Vorteil sein, dass das Material des Substrats einen dritten Brechungsindex n3 aufweist, der kleiner als der oder gleich dem erste(n) Brechungsindex n1 der Polymerschicht (d.h. n3<n1) und kleiner als der zweite Brechungsindex n2 des polymeren Lichtwellenleiters ist (d.h. n3<n2). Auf diese Weise kann auf eine zusätzliche Schicht zwischen dem Substrat der Polymerschicht bzw. dem polymeren Lichtwellenleiter, die der gezielten Aufeinanderabstimmung der Brechungsindizes dient, verzichtet werden.
[0016] Zudem kann es von Vorteil sein, dass zwischen dem Substrat und der Polymerschicht eine Zwischenschicht aus einem polymeren Material angeordnet ist. Dies erlaubt - bei ansonsten gleichen Materialien für die Polymerschicht und den polymeren Lichtwellenleiter - die Verwendung unterschiedlicher Substrat-Materialien mit voneinander abweichenden thermischen bzw. optischen Eigenschaften.
[0017] Hierbei kann es insbesondere von Vorteil sein, dass das polymere
Material der Zwischenschicht einen vierten Brechungsindex n4 aufweist, der kleiner als der erste Brechungsindex n1 (d.h. n4<n1) und kleiner als der oder gleich dem zweite(n) Brechungsindex n2 ist (d.h. n4<n2).
Besonders vorteilhaft ist hierbei, wenn die Zwischenschicht aus dem gleichen Material besteht wie die Polymerschicht, da dann für die an dem Substrat angeordneten Schichten insgesamt nur zwei verschiedene Polymere zum Einsatz kommen, wodurch ein besonders einfacher Aufbau bzw. eine besonders einfache Herstellung resultiert.
[0018] Ferner kann es von Vorteil sein, dass das Verhältnis der Dicke der
Polymerschicht zur Dicke des Substrats zwischen 1 :40 und 1 :1000 liegt. Bei diesen Dickenverhältnissen sind die Auswirkungen von
Temperaturänderungen auf Längenänderungen eines einzelnen
polymeren Wellenleiters bzw. relative Längenänderungen zwischen benachbarten polymeren Wellenleitern des integriert-optischen
Funktionselements sehr gering bzw. vernachlässigbar.
[0019] Darüber hinaus kann es von Vorteil sein, dass der zweite Brechungsindex n2 um einen Wert von wenigstens 0,001 , und bevorzugt um einen Wert von wenigstens 0,05 von dem ersten Brechungsindex n1 abweicht. Bei solchen Differenzen im Brechungsindex können die Abstände zwischen benachbarten polymeren Lichtwellenleitern des integriert-optischen Funktionselements, bei denen insbesondere eine optische Kopplung vorgesehen ist, eine größere Toleranz aufweisen. [0020] Die Erfindung betrifft zudem eine optische integrierte Schaltung mit einem integriert-optischen Funktionselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, insbesondere in Form eines Interferometers, bevorzugt in Form eines Doppel-Michelson-Interferometers.
[0021] Es folgt die Beschreibung unterschiedlicher Ausführungsformen des
erfindungsgemäßen integriert-optischen Funktionselements mit Hinblick auf die entsprechenden Figuren, wobei sich gleiche Bezugszeichen auf gleiche Teile der unterschiedlichen Figuren beziehen.
[0022] Es zeigen:
[0023] Figur 1 : Ausführungsform eines integriert-optischen Funktionselements in perspektivischer Ansicht
[0024] Figur 2: Integriert-optisches Funktionselement gemäß Figur 1 in einer Schnittdarstellung
[0025] Figur 3: Weitere Ausführungsform eines integriert-optischen
Funktionselements in einer Schnittdarstellung
[0026] Figur 4: Ausführungsform eines integriert-optischen Funktionselements mit zwei polymeren Lichtwellenleitern in perspektivischer Ansicht
[0027] Figur 5: Ausführungsform eines integriert-optischen Funktionselements mit zwei polymeren Lichtwellenleitern und einer Zwischenschicht in
perspektivischer Ansicht
[0028] Figur 1 zeigt eine erste mögliche Ausführungsform eines
erfindungsgemäßen integriert-optischen Funktionselements 1 in
perspektivischer Ansicht. Das flächige Substrat 2 mit einer Länge von 8mm, einer Breite von 3mm und einer Dicke von 1 mm besteht hierbei aus dem Material ULE 7973 der Fa. Corning Inc. Dieses Substrat hat einen Brechungsindex von ca. 1 ,479 bezüglich einer Wellenlänge von 850nm.
[0029] In direktem Kontakt mit dem Substrat 2 steht der polymere
Lichtwellenleiter 4, der aus dem Material EpoCore 5 der Fa. micro resist technology GmbH besteht und einen Brechungsindex n2 von ca. 1 ,583 bei der Wellenlänge von 850nm aufweist. Der polymere Lichtwellenleiter 4 hat hierbei eine Dicke von 6pm, eine Breite von 6pm und erstreckt sich über eine Länge von 8mm. Der polymere Lichtwellenleiter 4 ist eingebettet in eine Polymerschicht 3, die aus dem Material EpoClad 10 der Fa. micro resist technology GmbH besteht und einen Brechungsindex n1 von 1 ,570 bei der Wellenlänge von 850nm aufweist. Die Dicke der Polymerschicht 3 beträgt an ihrer dicksten Stelle 16miti.
[0030] Figur 2 zeigt das integriert-optische Funktionselement gemäß Figur 1 in einer Schnittdarstellung, wobei der entsprechende Schnitt senkrecht zu dem Substrat 2, der Polymerschicht 3 und den polymeren
Lichtwellenleitern 4 angeordnet ist.
[0031] Figur 3 zeigt eine weitere mögliche Ausführungsform eines
erfindungsgemäßen integriert-optischen Funktionselements in einer Schnittdarstellung. Hierbei ist im Gegensatz zum Aufbau gemäß Figur 2 zwischen dem polymeren Lichtwellenleiter 4 bestehend aus EpoCore 5 bzw. zwischen der Polymerschicht 3 bestehend aus EpoClad 10 und dem Substrat 2 eine Zwischenschicht 5 mit einer Dicke von 16 pm angeordnet. Das Substrat besteht hierbei aus ZERODUR der Fa. Schott AG mit einem Brechungsindex von etwa 1 ,54 bei einer Wellenlänge von 850nm.
Aufgrund des von dem Material ULE 7973 der Fa. Corning Inc.
abweichenden Brechungsindex von ZERODUR ist es notwendig, die Zwischenschicht 5 vorzusehen, um eine Führung der Lichtwellen in dem polymeren Lichtwellenleiter 4 zu gewährleisten. Dabei besteht die
Zwischenschicht 5 aus dem gleichen Material wie die Polymerschicht 3, nämlich aus EpoClad 10 mit einem Brechungsindex von 1 ,570 bei der Wellenlänge von 850nm.
[0032] Das erfindungsgemäße integriert-optische Funktionselement gemäß Figur
4 unterscheidet sich von dem integriert-optischen Funktionselement gemäß Figur 1 lediglich dadurch, dass dieses zwei polymere
Lichtwellenleiter 4 aufweist, die in einem Bereich weiter voneinander beabstandet sind als in einem anderen Bereich. Der Bereich, in welchem die polymeren Lichtwellenleiter näher zueinander beabstandet sind, stellt einen Kopplungsbereich dar, wo Lichtwellen von einem polymeren
Lichtwellenleiter 4 in den jeweils benachbarten Lichtwellenleiter 4 eintreten können.
[0033] Das erfindungsgemäße integriert-optische Funktionselement gemäß Figur
5 unterscheidet sich von dem integriert-optischen Funktionselement gemäß Figur 4 einzig dadurch, dass hier zwischen den polymeren Lichtwellenleitern 4 bzw. der Polymerschicht 3 und dem Substrat 2 eine Zwischenschicht 5 aus einem polymeren Material angeordnet ist zur gezielten Abstimmung zwischen dem Brechungsindex des
Substratmaterials und dem Brechungsindex des Materials der polymeren Lichtwellenleiter 4.

Claims

Ansprüche
Anspruch 1. Integriert-optisches Funktionselement (1) umfassend ein Substrat (2), an welchem eine Polymerschicht (3) aufweisend einen ersten Brechungsindex n1 angeordnet ist, und in der Polymerschicht (3) wenigstens ein polymerer Lichtwellenleiter (4) aufweisend einen zweiten Brechungsindex n2 derart eingebettet ist, dass der polymere Lichtwellenleiter (4) in direktem oder indirektem Kontakt mit dem Substrat (2) steht, wobei der zweite Brechungsindex n2 größer ist als der erste Brechungsindex n1 , und das Material des Substrats (2) in einem Temperaturbereich von -10°C bis 40°C einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist, der geringer als 0,05x10E-6/K ist.
Anspruch 2. Integriert-optisches Funktionselement nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (2) ein anorganisches Material mit isotropen Eigenschaften umfasst.
Anspruch 3. Integriert-optisches Funktionselement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Material des Substrats (2) einen dritten Brechungsindex n3 aufweist, der kleiner als der oder gleich dem erste(n) Brechungsindex n1 und kleiner als der zweite Brechungsindex n2 ist.
Anspruch 4. Integriert-optisches Funktionselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Substrat (2) und der Polymerschicht (3) eine Zwischenschicht (5) aus einem polymeren Material angeordnet ist.
Anspruch 5. Integriert-optisches Funktionselement nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das polymere Material der Zwischenschicht (5) einen vierten Brechungsindex n4 aufweist, der kleiner als der erste Brechungsindex n1 und kleiner als der oder gleich dem zweite(n) Brechungsindex n2 ist.
Anspruch 6. Integriert-optisches Funktionselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis der Dicke der Polymerschicht (3) zu der Dicke des Substrats (2) zwischen 1 :40 und 1 :1000 liegt.
Anspruch 7. Integriert-optisches Funktionselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Brechungsindex n2 um einen Wert von wenigstens 0,001 , und bevorzugt um einen Wert von wenigstens 0,05 von dem ersten Brechungsindex n1 abweicht.
Anspruch 8. Optische integrierte Schaltung mit einem integriert-optischen
Funktionselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, insbesondere in Form eines Interferometers, bevorzugt in Form eines Doppel-Michelson- Interferometers.
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