WO2020121765A1 - 搬送車 - Google Patents

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WO2020121765A1
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elevating
sensor
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栄治 和田
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Murata Machinery Ltd
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    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • the present invention relates to a carrier vehicle.
  • a carrier vehicle running along a ceiling or a rail laid near the ceiling is used. It is used.
  • the transport vehicle includes a traveling unit that travels on a track, a main body unit that is moved by traveling of the traveling unit, an elevating table that can be elevated with respect to the main body unit, and an elevating drive unit that elevates the elevating platform, Further, the horizontal drive mechanism is provided which causes the lifting drive unit to project laterally in the traveling direction with respect to the main body unit.
  • This transport vehicle stops at the article transfer position provided in the factory, and depending on the transfer destination, the elevating drive unit is raised and lowered by the elevating drive unit while the elevating drive unit is raised by the horizontal ejection mechanism.
  • An article is delivered by gripping or opening the article by a holding unit provided.
  • the sideways-out mechanism is used for sideways-out, the sideways-out mechanism is deflected due to the weight of the lifting/lowering drive unit and the articles, and the deflection causes the articles to move to the specified transfer position. It may be impossible to transfer.
  • a carrier vehicle that includes a sensor that emits a detection wave downward to the lifting drive unit.
  • a sensor that emits a detection wave downward to the lifting drive unit.
  • Patent No. 56364949 International Publication No. 2017/199593
  • the amount of deflection that occurs in the sideways mechanism changes depending on the sideways amount of the elevating and lowering drive section by the sideways mechanism.
  • the data obtained in the transport vehicle described in Patent Document 1 is a fixed value set when, for example, the elevating drive unit is most laterally extended by the horizontal ejection mechanism. Therefore, in the transport vehicle described in Patent Document 1, when the amount of sideways movement of the elevating and lowering drive unit by the sideways-out mechanism changes, the deflection amount of the sideways-out mechanism changes even if the sideways-out amount is adjusted. Even if the article (elevation platform) is lowered, it may be displaced from the transfer position, and the article may not be delivered to the transfer destination accurately.
  • the orientation of the sensor provided in the lifting drive unit also changes depending on the amount of lateral movement of the lifting drive unit by the sideways mechanism. Furthermore, if the descending amount of the lifting table increases with the orientation of the sensor changing, for example, the detection wave from the sensor deviates from the index plate provided on the lifting table, and the detection wave is emitted from the target irradiation destination. There is a problem that it will come off and it will not be possible to perform appropriate detection.
  • the article when a sideways-out mechanism is used to sideways-out, by adjusting the sideways-out amount or the orientation of the sensor, the article can be delivered to the transfer destination accurately, or the sensor can be appropriately operated.
  • the purpose is to provide a simple transport vehicle.
  • a transport vehicle includes a traveling unit that travels on a track, a main body unit that is connected to the traveling unit and moves by traveling of the traveling unit, and a holding unit that holds an article,
  • An elevating table that can be raised and lowered, an elevating drive section that elevates and lowers the elevating table by unwinding and winding up a flexible suspension member, and a lateral projection that laterally projects the elevating drive section in a cantilevered state.
  • the horizontal movement when delivering or receiving the article to the transfer destination.
  • an adjustment unit that performs one or both of the adjustment of the amount and the adjustment of the orientation of the sensor included in the elevation drive unit.
  • the sensor may irradiate a detection wave having directivity toward a predetermined position below, and the adjustment unit may adjust the orientation of the sensor so as to correct the deviation of the irradiation direction of the detection wave.
  • the sensor may include an actuator for changing the irradiation direction of the detection wave, and the adjustment unit may correct the deviation in the irradiation direction of the detection wave by driving the actuator.
  • the main body unit includes a storage unit that stores a data table regarding the amount of lateral movement of the elevating and lowering drive unit by the lateral ejection mechanism and the amount of descending to the transfer destination for each of the plurality of transfer destinations that transfer the article.
  • the adjusting unit acquires information regarding the transfer destination of the article from the data table stored in the storage unit, adjusts the sideways amount based on the information, and adjusts the orientation of the sensor provided in the lifting drive unit, Either one or both may be performed.
  • the storage unit stores in advance the machine difference of the own vehicle that is unique to each transport vehicle, and the adjustment unit adjusts the sideways amount and raises and lowers the drive including the machine difference stored in the storage unit. Either or both of the adjustment of the orientation of the sensor provided in the unit may be performed.
  • the adjusting unit adjusts the horizontal projection amount and the elevating and lowering driving unit when the horizontal projection amount indicated by the data table is the first specific value and the downward movement amount indicated by the data table is less than the first threshold value. If the descending amount indicated by the data table is equal to or greater than the first threshold value without adjusting both the orientations of the sensors provided in the Either or both may be performed.
  • the adjusting unit adjusts the lateral projection amount and raises and lowers the driving unit when the lateral projection amount indicated by the data table is less than the second threshold value when the downward motion amount indicated by the data table is the second specific value. If both of the adjustments of the orientation of the sensor provided in the above are not performed and the amount of sideways indicated by the data table is equal to or greater than the second threshold, Either one or both may be performed.
  • the transport vehicle According to the above-mentioned transport vehicle, according to the amount of lateral movement of the elevating and lowering drive unit by the lateral ejection mechanism and the amount of elevating and lowering of the elevating table by the elevating and lowering drive unit, there are a case of delivering an article to a transfer destination and a case of receiving an article.
  • the amount of horizontal ejection in step 1 the article can be accurately delivered to the destination.
  • the orientation of the sensor provided in the elevator drive unit according to the amount of sideways-out and the amount of lowering of the elevator, it is possible to orient the sensor in the target direction, and to operate the sensor appropriately. It is possible to suppress erroneous detection while ensuring.
  • the sideways amount is adjusted depending on whether the product is delivered to the transfer destination or received, so that the product can be accurately transferred to the transfer destination by considering the effect of deflection due to the weight of the product. Can be handed over to.
  • the sensor irradiates a detection wave having directivity toward a predetermined position below and the adjustment unit adjusts the sensor direction so as to correct the deviation of the detection wave in the irradiation direction
  • the sensor irradiates the detection wave. It is possible to accurately adjust the direction of the detected wave to be detected.
  • the sensor includes an actuator for changing the irradiation direction of the detection wave, and the adjusting unit drives the actuator to correct the deviation in the irradiation direction of the detection wave
  • the detection wave is driven by driving the actuator. The direction of can be adjusted with high precision.
  • the main body unit includes a storage unit that stores a data table regarding the amount of lateral movement of the elevating and lowering drive unit by the lateral ejection mechanism and the amount of descending to the transfer destination for each of the plurality of transfer destinations that deliver and receive the article.
  • the adjustment unit acquires information about the transfer destination of the article from the data table stored in the storage unit, and adjusts the sideways amount or adjusts the orientation of the sensor included in the lifting drive unit. Alternatively, in a configuration in which both of them are performed, it is possible to quickly and accurately adjust the amount of horizontal projection and the orientation of the sensor by reading the data table stored in the storage unit.
  • the storage unit stores in advance the machine difference of the own vehicle that is unique to each transport vehicle, and the adjustment unit adjusts the sideways amount and raises and lowers the drive including the machine difference stored in the storage unit.
  • the sideways amount is adjusted and the orientation of the sensor is adjusted in consideration of the influence of the machine difference occurring for each transport vehicle.
  • the goods can be accurately delivered to the transfer destination by each carrier.
  • the adjusting unit adjusts the horizontal amount of projection and the elevating/lowering drive unit. If the descending amount indicated by the data table is equal to or greater than the first threshold value without adjusting both the orientations of the sensors provided in the In a configuration in which one or both of them are performed, the presence or absence of adjustment can be switched according to the amount of lowering.
  • the adjusting unit adjusts the amount of lateral protrusion and the elevating/lowering drive unit if the amount of lateral protrusion indicated by the data table is less than the second threshold value. If both of the adjustments of the orientation of the sensor provided in the above are not performed and the amount of sideways indicated by the data table is equal to or greater than the second threshold, In a configuration in which either one or both are performed, the presence/absence of adjustment can be switched according to the amount of horizontal projection.
  • the direction indicated by the arrow in the drawing is the + direction, and the opposite direction is the ⁇ direction.
  • the rotation direction around the X axis is represented as the ⁇ X direction
  • the rotation direction around the Y axis is represented as the ⁇ Y direction
  • the rotation direction around the Z axis is represented as the ⁇ Z direction.
  • FIG. 1 is a diagram showing an example of a carrier vehicle according to the present embodiment.
  • a transfer system including a transfer vehicle 100 is provided in a processing room PR such as a clean room.
  • a semiconductor processing device (not shown) or the like is arranged on the floor in the processing chamber PR.
  • a rail R which is a track for guiding the transport vehicle 100, is provided on the ceiling of the processing chamber PR.
  • the rail R is configured to include a traveling rail and a power feeding rail.
  • the carrier 100 runs along the rail R in, for example, the +Y direction.
  • the transport vehicle 100 delivers the article FP to the transfer destination S.
  • the transfer destination S is, for example, a load port of the processing device.
  • the carrier vehicle 100 includes a traveling drive unit (traveling unit) 10, a connecting unit 30, a main body unit 40, and a control unit 80.
  • the drive of each unit of the transport vehicle 100 is controlled by the control unit 80.
  • the control unit 80 is provided, for example, in the main body unit 40, but is not limited to this configuration and may be provided outside the main body unit 40.
  • the traveling drive unit 10 is arranged inside the rail R, and includes a plurality of rollers 11 that come into contact with the inner surface (traveling surface) of the rail R, and a drive device 12 that rotates the plurality of rollers 11. ..
  • the transport vehicle 100 receives power via a non-contact power supply line provided on a power feed rail (not shown) along the rail R, and supplies power to a drive unit such as the traveling drive unit 10 provided on the transport vehicle 100 (not shown). Equipped with.
  • the connecting portion 30 is attached to the lower side ( ⁇ Z side) of the traveling drive portion 10 and connects the traveling drive portion 10 and the main body portion 40.
  • the main body 40 includes a transfer device 41.
  • the transfer device 41 includes an elevating table 42, an elevating/lowering drive unit 43, a sensor 44, a sideways-out mechanism 45, and a correction mechanism 46.
  • the body portion 40 is connected to the traveling drive unit 10 via the connecting portion 30.
  • the main body 40 moves along the rail R integrally with the traveling drive unit 10.
  • the lift table 42 can move up and down with respect to the main body 40 (movable in the Z direction).
  • the elevating table 42 has a gripper 42a as a holding unit that holds the article FP.
  • the article FP is, for example, a container (FOUP) containing a semiconductor wafer, a reticle pod containing a reticle, or the like.
  • the gripper 42a is capable of gripping or releasing the flange FPa provided on the top portion (the surface on the +Z side) of the article FP.
  • the lift drive unit 43 moves the lift table 42 up and down (moves in the Z direction).
  • the elevating/lowering drive unit 43 suspends the elevating/lowering table 42 via a plurality of (for example, four) flexible belts (hanging members) 43a, for example.
  • the elevating/lowering drive unit 43 elevates and lowers the elevating table 42 by feeding or winding the belt 43a.
  • the sensor 44 is provided in the lift drive unit 43.
  • the sensor 44 includes a shake detection sensor (swing sensor) 47 and a look-down sensor 48.
  • the shake detection sensor 47 and the look-down sensor 48 irradiate a detection wave having directivity, such as a laser beam, toward a detection target region below the elevation drive unit 43.
  • a configuration in which the shake detection sensor 47 and the look-down sensor 48 irradiate a laser beam as a detection wave will be described as an example.
  • the shake detection sensor 47 and the look-down sensor 48 may be configured to irradiate other detection waves having directivity such as ultrasonic waves in addition to the laser light.
  • the shake detection sensor 47 emits the laser light L1 toward the reflection plate 49 provided on the upper surface (the surface on the +Z side) of the lift table 42.
  • the shake detection sensor 47 irradiates the reflection plate 49 with the laser light L1 when moving the elevator 42 up and down, and detects the shake of the elevator 42 from the reflected light.
  • the control unit 80 determines that the shake (amplitude) is within the normal range while the laser light L1 from the shake detection sensor 47 is hitting the reflector 49, and the shake is within the normal range when the laser light L1 deviates from the reflector 49. Is deviated (the amplitude is increased and exceeds the allowable limit), and the elevating/lowering of the elevating table 42 is stopped.
  • the look-down sensor 48 irradiates the laser light L2 toward the vicinity of the descending destination of the elevating table 42.
  • the look-down sensor 48 irradiates the laser beam L2 and detects from the reflected light whether or not a foreign substance is present in the vicinity of the transfer destination S, which is the descending destination of the elevating table 42. For example, it is detected whether or not an object (obstacle) such as a worker exists in the area on the passage side of the transfer destination S.
  • the control unit 80 stops the elevation of the elevator 42.
  • FIG. 2 is a perspective view showing an example of the side-out mechanism 45.
  • the sideways-out mechanism 45 projects the elevation drive unit 43 laterally (X direction) in a cantilevered state.
  • the sideways-out mechanism 45 includes an upper stage portion 51, a middle stage portion 52, a lower stage portion 53, and a drive device 54.
  • the upper portion 51 is provided on the upper side of the main body portion 40.
  • the upper portion 51 may be fixed to the main body portion 40, or may be movable in the +X direction or the ⁇ X direction, which is the side portion of the main body portion 40, by a guide (not shown).
  • the middle section 52 is attached to the lower side of the upper section 51.
  • the middle section 52 moves in the +X direction or the ⁇ X direction with respect to the upper section 51 by a guide (not shown).
  • the lower step portion 53 is attached to the lower side of the middle step portion 52.
  • the lower part 53 moves in the +X direction or the ⁇ X direction with respect to the middle part 52.
  • the upper stage portion 51, the middle stage portion 52, and the lower stage portion 53 are moved by the drive device 54.
  • the drive unit 54 performs a horizontal ejection operation under the control of the control unit 80.
  • a linear motor, a rotary motor including a ball screw mechanism, or the like is used.
  • 1 and 2 show an example in which the upper stage portion 51, the middle stage portion 52, and the lower stage portion 53 move to the ⁇ X side with respect to the main body portion 40, but the present invention is not limited to this example. , And can be moved to the +X side with respect to the main body 40.
  • the upper step portion 51, the middle step portion 52, and the lower step portion 53 are not limited to being plate-shaped as shown in the figure, and a rod-shaped member or a frame in which rod-shaped members are combined may be used.
  • the drive device 54 causes the upper step portion 51 and the like to be laterally projected so as to have a preset lateral projection amount in the +X direction or the ⁇ X direction according to an instruction from the control unit 80. Further, the drive device 54 functions as a correction mechanism for adjusting the lateral projection amount in the +X direction or the ⁇ X direction.
  • a lifting drive unit 43 is attached to the lower surface of the lower stage portion 53.
  • a swing drive unit (not shown) capable of swinging the lift drive unit 43 in the ⁇ Z direction with respect to the lower stage portion 53 may be provided.
  • a swing drive unit (not shown) capable of swinging the gripper 42a in the ⁇ Z direction with respect to the lift table 42 may be provided.
  • the sideways-out mechanism 45 is configured such that the weight of the middle stage portion 52 and the lower stage portion 53, the elevating drive unit 43, and the lift table 42 in the state where the middle stage portion 52 and the lower stage portion 53 are projected to the side ( ⁇ X side) of the main body portion 40.
  • the weight of the article FP or the like causes the entire body to bend downward, and the tip side of the lower step portion 53 moves downward.
  • the elevating/lowering drive unit 43 is inclined in the ⁇ Y direction due to the inclination of the lower stage portion 53.
  • the lift table 42 is positioned vertically below the lift drive unit 43 even when the lift drive unit 43 is tilted in the ⁇ Y direction.
  • the correction mechanism 46 corrects the deviation in the irradiation direction of the laser beams L1 and L2 caused by the deflection of the side-out mechanism 45 when the elevation drive unit 43 is projected to the side of the main body section 40 by the side-out mechanism 45.
  • the correction mechanism 46 includes a first correction mechanism 60 and a second correction mechanism 70.
  • the first correction mechanism 60 corrects the deviation of the shake detection sensor 47 in the irradiation direction of the laser light L1.
  • the second correction mechanism 70 corrects the deviation of the look-down sensor 48 in the irradiation direction of the laser light L2.
  • FIG. 3 is a perspective view showing an example of the first correction mechanism 60.
  • the first correction mechanism 60 includes a frame 61, a shaft portion 62, a movable portion 63, a tilt adjusting mechanism 64, a rotation restricting portion 65, and a first correction driving portion 66. doing.
  • the frame 61 is formed of a metal plate or the like, and is fixed to the elevating/lowering drive unit 43 with bolts or the like.
  • the shaft portion 62 is formed so as to project from the frame 61.
  • the shaft portion 62 has a central axis AX1 parallel to the Y direction.
  • the movable portion 63 can rotate (swing) about the shaft portion 62 in the ⁇ Y direction with respect to the frame 61.
  • the movable portion 63 has a suspension member 63a and a support member 63b.
  • the hanging member 63a is formed so as to extend downward from the shaft portion 62, and is supported rotatably in the ⁇ Y direction with respect to the central axis AX1 of the shaft portion 62.
  • the support member 63b is rotatable with the hanging member 63a in the ⁇ Y direction about the central axis AX1.
  • the support member 63b has an opening as shown in FIG. 3, and supports the shake detection sensor 47 via a sensor fixing member 64a described later.
  • the tilt adjusting mechanism 64 adjusts the tilt of the shake detection sensor 47.
  • the tilt adjusting mechanism 64 has a sensor fixing member 64a, a screw portion 64b, and a nut 64c.
  • the sensor fixing member 64a fixes the shake detection sensor 47 by a predetermined fixing member.
  • the sensor fixing member 64a is a U-shaped member when viewed from the Z direction.
  • the screw parts 64b are arranged on both sides in the X direction with the shake detection sensor 47 interposed therebetween.
  • the screw portions 64b are arranged at both ends of the sensor fixing member 64a.
  • the screw portion 64b is screwed to a tap formed on the support member 63b, extends upward (in the +Z direction) from the support member 63b, and has its tip in contact with the lower surface of the sensor fixing member 64a.
  • the nut 64c is screwed to the lower end of the screw portion 64b on the lower surface of the support member 63b.
  • the distance between the sensor fixing member 64a and the supporting member 63b is individually adjusted, and the inclination of the shake detection sensor 47 in the ⁇ Y direction (the irradiation direction of the laser beam L1) is vertical. It can be adjusted so as to be downward ( ⁇ Z direction).
  • the rotation restricting portion 65 defines the rotation range of the movable portion 63 around the central axis AX1 in the ⁇ Y direction.
  • the rotation restricting portion 65 has a base portion 65a, a screw portion 65b, and a nut 65c.
  • the base portion 65a is fixed to the frame 61.
  • the screw portions 65b are arranged on both sides of the shake detection sensor 47 in the support member 63b, sandwiching the shake detection sensor 47 in the X direction.
  • the screw portion 65b is arranged so as to penetrate the support member 63b, and is held by the nut 65c in a state of protruding toward the base portion 65a.
  • the protruding amount of the screw portion 65b can be adjusted by the screw coupling position with the nut 65c.
  • the tip end of the screw portion 65b contacts the base portion 65a to define the rotation range of the movable portion 63.
  • the position of the tip of the screw portion 65b is preset according to the angle at which the elevating/lowering drive unit 43 tilts in the ⁇ Y direction.
  • the rotation restricting portion 65 is positioned at three points (a position where the screw portion 65b abuts on the base portion 65a on the ⁇ X side, a center position where the screw portion 65b abuts on the base portion 65a on the +X side), It is possible to deal with both sides of the side-out mechanism 45 (side-out in the -X direction or side-out in the +X direction).
  • the first correction driving unit 66 applies a driving force in the X direction to the movable unit 63.
  • the first correction drive unit 66 has an actuator 66a and a transmission mechanism 66b.
  • As the actuator 66a for example, a solenoid or the like is used.
  • the transmission mechanism 66b transmits the driving force of the actuator 66a to the support member 63b.
  • the transmission mechanism 66b may be configured to include an elastic member.
  • the movable portion 63 rotates about the central axis AX1 in the ⁇ Y direction, the posture of the shake detection sensor 47 changes, and the laser light L1 emitted from the shake detection sensor 47 according to the rotational position of the movable portion 63 changes. Irradiation direction changes.
  • the amount of protrusion in the X direction by the sideways-out mechanism 45 varies depending on the position of the transfer destination S.
  • the inclination of the elevating/lowering drive unit 43 in the ⁇ Y direction varies depending on the amount of protrusion by the side-out mechanism 45. Therefore, in the present embodiment, when the elevating/lowering drive unit 43 is projected by the sideways-out mechanism 45, whether or not the control unit 80 should change the irradiation direction of the laser beam L1 according to the inclination of the elevating/lowering drive unit 43 in the ⁇ Y direction. To judge.
  • the first correction drive unit 66 drives the support member 63b by the adjustment unit 81 described later, and the movable unit 63 is rotated as described above.
  • the control unit 80 controls the laser beam L1 from the shake detection sensor 47 according to the tilt of the elevation drive unit 43 only by two types of control such that the first correction drive unit 66 drives or does not drive the support member 63b.
  • the irradiation direction can be corrected.
  • the transmission mechanism 66b is held at a predetermined position by an elastic body such as a spring arranged in the solenoid which is the first correction drive unit 66.
  • the movable portion 63 is held at a predetermined position, and the irradiation direction of the laser light L1 from the shake detection sensor 47 is set to face downward.
  • FIG. 4 is a perspective view showing an example of the second correction mechanism 70.
  • the second correction mechanism 70 includes a frame 71, a shaft portion 72, a movable portion 73, an inclination adjusting mechanism 74, and a second correction driving portion 76.
  • the frame 71 is formed of a metal plate or the like, and is fixed to the elevating/lowering drive unit 43 with bolts or the like.
  • the frame 71 includes a strip-shaped portion 71a extending downward.
  • the shaft portion 72 is formed so as to project from the belt-shaped portion 71a.
  • the shaft portion 72 has a central axis AX2 parallel to the Y direction.
  • the movable portion 73 rotates about the shaft portion 72 in the ⁇ Y direction with respect to the frame 71.
  • the movable portion 73 has a drive piece 73a and an action piece (not shown).
  • the drive piece 73a is formed so as to extend from the shaft portion 72 in the ⁇ X direction and bend upward.
  • the operating piece (not shown) is arranged on the +X side with respect to the shaft portion 72.
  • the drive piece 73a and the action piece can be integrally rotated in the ⁇ Y direction about the central axis AX2.
  • the drive piece 73a supports the look-down sensor 48 via a sensor fixing member 74a described later.
  • the tilt adjusting mechanism 74 adjusts the tilt of the look-down sensor 48 with respect to the driving piece 73a.
  • the tilt adjusting mechanism 74 has a sensor fixing member 74a, a mounting screw 74b, and an adjusting screw 74c.
  • the sensor fixing member 74a is attached to the driving piece 73a with a mounting screw 74b.
  • the lower end of the sensor fixing member 74a is arranged so as to project below the shaft portion 72.
  • the adjusting screw 74c is attached to the lower end of the sensor fixing member 74a.
  • the adjustment screw 74c fixes the look-down sensor 48 to the sensor fixing member 74a and adjusts the inclination of the look-down sensor 48 in the ⁇ Y direction with respect to the sensor fixing member 74a.
  • FIG. 4 in the present embodiment, when viewed from the +X direction, for example, the ⁇ Y side and +Z side corners of the look-down sensor 48 and the +Y side and ⁇ Z side corners are divided into two parts.
  • the adjusting screw 74c is arranged at a position.
  • the distance between the look-down sensor 48 and the sensor fixing member 74a is adjusted, and the inclination of the look-down sensor 48 in the ⁇ Y direction (so that the laser beam L2 is irradiated in a predetermined direction). ) Adjustable.
  • the tilt adjusting mechanism 74 includes a rotation restricting unit (not shown).
  • the rotation restricting portion defines a rotation range of the movable portion 73 about the central axis AX2 in the ⁇ Y direction.
  • this rotation restricting portion for example, two screw portions are arranged, and when the movable portion 73 rotates in the ⁇ Y direction about the central axis AX2, the tip of the screw portion abuts the fixed portion to rotate the movable portion 73.
  • the rotation restriction unit is set in advance according to the angle at which the elevating/lowering drive unit 43 tilts in the ⁇ Y direction.
  • the rotation restricting portion performs positioning at three points (the position where the look-down sensor 48 is tilted toward the ⁇ X side, the center, and the position where the look-down sensor 48 is tilted toward the +X side), so that the lateral movement mechanism 45 is positioned. It is possible to deal with both-sided projection (horizontal projection in the ⁇ X direction or lateral projection in the +X direction).
  • the second correction driving unit 76 applies a driving force in the X direction to the movable unit 73.
  • the second correction driving unit 76 has an actuator 76a and a transmission mechanism 76b.
  • As the actuator 76a for example, a solenoid or the like is used.
  • the transmission mechanism 76b transmits the driving force of the actuator 76a to the driving piece 73a.
  • the transmission mechanism 76b may be configured to include an elastic member.
  • the second correction driving unit 76 drives the driving piece 73a, so that a driving force in the X direction acts on the driving piece 73a.
  • the movable portion 73 rotates about the central axis AX2 in the ⁇ Y direction, the posture of the look-down sensor 48 changes, and the laser light L2 emitted from the look-down sensor 48 changes in accordance with the rotational position of the movable portion 73. Irradiation direction changes.
  • the amount of protrusion in the X direction by the sideways-out mechanism 45 varies depending on the position of the transfer destination S.
  • the inclination of the elevating/lowering drive unit 43 in the ⁇ Y direction varies depending on the amount of protrusion by the side-out mechanism 45. Therefore, in the present embodiment, when the elevating/lowering drive unit 43 is projected by the side-out mechanism 45, whether or not the control unit 80 should change the irradiation direction of the laser beam L2 according to the inclination of the elevating/lowering drive unit 43 in the ⁇ Y direction. To judge.
  • the adjustment unit 81 drives the second correction driving unit 76 to rotate the movable unit 73 as described above, and the look-down sensor.
  • the irradiation direction of the laser beam L2 emitted from 48 can be corrected.
  • the control unit 80 controls the laser beam L2 from the look-down sensor 48 according to the inclination of the elevating/lowering drive unit 43 only by two types of control such that the second correction drive unit 76 drives or does not drive the drive piece 73a.
  • the irradiation direction can be corrected.
  • the transmission mechanism 76b is held at a predetermined position by an elastic body such as a spring arranged in the solenoid which is the second correction drive unit 76.
  • the movable portion 73 is held at a predetermined position, and the irradiation direction of the laser beam L2 from the look-down sensor 48 is set to face the predetermined direction.
  • the actuators 66a and 76a described above are not limited to solenoids.
  • a ball screw mechanism using an electric motor, a hydraulic or pneumatic cylinder mechanism, a linear motor or the like may be used.
  • the control unit 80 comprehensively controls the operation of the carrier vehicle 100.
  • the control unit 80 includes an adjustment unit 81 and a storage unit 82.
  • the adjustment unit 81 performs at least one of adjustment of the amount of lateral movement of the elevating and lowering drive unit 43 by the lateral ejection mechanism 45 and adjustment of the orientation of the sensor 44 included in the elevating and lowering drive unit 43.
  • the adjusting unit 81 performs the above-described adjustment according to the amount of lateral movement of the elevating drive unit 43 by the lateral ejection mechanism 45 and the amount of lowering of the elevating table 42 by the elevating drive unit 43.
  • the sideways-out mechanism 45 when the sideways-out mechanism 45 is projected in the lateral direction of the transport vehicle 100, the sideways-out mechanism 45 may be moved out depending on the weight of the side-out mechanism 45 itself, the weight of the elevating/lowering drive unit 43, the weight of the elevating table 42, and the weight of the article FP.
  • the mechanism 45 is bent. Due to this deflection, the lift table 42 (article FP) is displaced from directly above the mounting surface at the transfer position at the transfer destination S, and even if the lift table 42 (article FP) is lowered in this state, the transfer is performed.
  • the article FP is placed on the placement surface at a position deviated from the placement surface.
  • the side-out mechanism corresponding to the weight of the article FP is used. Since the amount of flexure generated in 45 is different, the appropriate lateral projection amount is different in order to arrange the elevating/lowering drive unit 43 immediately above the transfer position. Therefore, in order to correct such a deviation of the elevating and lowering drive unit 43, it is necessary to adjust the laterally extending amount of the elevating and lowering drive unit 43 by the laterally ejecting mechanism 45 in consideration of the bending of the laterally ejecting mechanism 45.
  • the adjusting unit 81 adjusts the lateral ejection amount of the elevating drive unit 43 by the lateral ejection mechanism 45 and the lateral ejection amount of the elevating drive unit 43 by the lateral ejection mechanism 45 according to the presence or absence of the article FP.
  • the adjusting unit 81 adjusts the drive amount of the drive device 54 to adjust the upper stage portion 51 in the X direction, as shown in FIG.
  • the positions of the middle section 52 and the lower section 53 are adjusted. Due to the bending of the side-out mechanism 45, the position of the elevation drive unit 43 in the X direction is shifted to a position closer to the main body unit 40. Therefore, the adjusting unit 81 adjusts the position of at least one of the upper stage unit 51, the middle stage unit 52, and the lower stage unit 53 in the X direction, and adjusts the position of the lift drive unit 43 supported by the lower stage unit 53.
  • the adjustment unit 81 adjusts the shake detection sensor 47 and the look-down sensor 48 according to the amount of lateral movement of the elevating drive unit 43 by the lateral ejection mechanism 45 and the amount of lowering of the elevating table 42 by the elevating drive unit 43. ..
  • the elevating table 42 is rotated around the ⁇ Y axis when it is laterally extended by the horizontal ejection mechanism 45. As the lift table 42 rotates about the ⁇ Y axis, the shake detection sensor 47 and the look-down sensor 48 also rotate about the ⁇ Y axis.
  • the distance between the shake detection sensor 47 and the lift table 42 increases as the descending amount of the lift table 42 increases, so that the shake of the lift table 42 ( Even if the (amplitude) is not so large, the laser beam L1 may deviate from the reflector 49, and the shake detection sensor 47 may erroneously detect that the shake exceeds the allowable limit.
  • the look-down sensor 48 even if the rotation about the ⁇ Y axis is small, if the descending amount of the elevating table 42 is large, the distance from the place where an object such as an operator should be detected becomes large, and therefore the look-down sensor 48 is
  • the irradiated laser beam L2 may deviate from the above-mentioned location, and for example, the load port or the like, which is the transfer destination S of the article FP, may be erroneously detected as an obstacle. Therefore, when adjusting the shake detection sensor 47, as shown in FIG. 3, the adjusting unit 81 drives the actuator 66a of the first correction driving unit 66 to rotate the irradiation direction of the laser light L1 in the ⁇ Y direction. , The deviation of the irradiation direction is corrected so as to face downward.
  • the adjusting unit 81 drives the actuator 76a of the second correction driving unit 76 to rotate the irradiation direction of the laser light L2 in the ⁇ Y direction. , The deviation of the irradiation direction is corrected so as to point in a predetermined direction.
  • FIG. 5 is a diagram schematically showing an example of the detection operation by the shake detection sensor 47.
  • the shake detection sensor 47 irradiates the reflection plate 49 with the laser light L1 and detects the laser light L1 reflected by the reflection plate 49.
  • FIG. 5 illustrates the deviation of the laser light L1 with respect to the reflection plate 49 in the detection operation using the shake detection sensor 47, but the same applies to the look-down sensor 48 with respect to the deviation of the laser light L2 with respect to the detection location. Can be said.
  • the shake detection sensor 47 irradiates the reflection plate 49 with the laser light L1 and detects the laser light L1 reflected by the reflection plate 49.
  • the control unit 80 detects the variation amount of the optical axis position of the laser light L1 based on the detection result of the shake detection sensor 47.
  • FIG. 5 shows the state in which the gripper 42a holds the article FP
  • the variation amount of the optical axis position of the laser light L1 is similarly detected even in the state in which the gripper 42a does not hold the article FP.
  • the irradiation position of the laser beam L1 on the reflection plate 49 changes due to the bending of the side-out mechanism 45, and also changes depending on the descending amount of the elevating table 42.
  • the irradiation position of the laser beam L1 fluctuates in the X direction on the reflection plate 49 as shown by the arrow. Therefore, when the horizontal movement amount of the elevating/lowering drive unit 43 by the horizontal ejection mechanism 45 increases and the lowering amount of the elevating table 42 increases, the irradiation position of the laser light L1 deviates from the reflection plate 49, and the shake detection sensor 47 detects. It cannot be detected.
  • FIG. 6 is a diagram showing the relationship between the position of the lifting table 42 and the variation amount of the optical axis position when the gripper 42a does not hold the article FP.
  • FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the position of the lift table 42 and the variation amount of the optical axis position when the gripper 42a holds the article FP. 6 and 7 show experimental results or results obtained by simulation.
  • the horizontal axes of FIGS. 6 and 7 show the lateral movement amount of the elevating drive unit 43 by the lateral ejection mechanism 45, and the vertical axes of FIGS. 6 and 7 show the downward movement amount of the elevating table 42 by the elevating drive unit 43.
  • the center in the left-right direction indicates 0, and from the center to the maximum value SL1 in the ⁇ X direction (left direction in FIG. 5) and to the maximum value SL2 in the +X direction from the center (right direction in FIG. 5).
  • the value of each is shown.
  • the maximum value SL1 and the maximum value SL2 are different due to the mechanical reason of the side-out mechanism 45, but the same mechanism may be used.
  • the lowering amount of the lifting platform 42 is 0 at the upper end and the maximum value DC at the lower end.
  • the lift table 42 is arranged according to the height of the transfer destination S and the laser beam L1 is emitted. It was confirmed that the irradiation position did not come off from the reflection plate 49 of the lift table 42. However, in the areas A1 and A3 where the lift mechanism 43 has a large horizontal projection amount and the vertical lift amount is large. It was confirmed that when the transfer destination S exists, the irradiation position of the laser light L1 deviates from the reflection plate 49.
  • the area A1 and the area A3 have different shapes in FIG.
  • the transfer destination S exists in the area A2 when the gripper 42a does not hold the article FP, it is not necessary to adjust the irradiation direction of the laser beam L1 and the transfer destination S has the areas A1 and A3. If it exists, it is necessary to adjust the irradiation direction of the laser beam L1.
  • the irradiation position of the laser light L1 may not deviate from the reflection plate 49. confirmed.
  • the area A12 is narrower than the area A2 in FIG.
  • the transfer destination S is present in the areas A11 and A13 where the horizontal drive mechanism 43 has a large horizontal drive amount and the vertical movement amount of the elevator base 42 is large, the irradiation position of the laser beam L1 is set to the irradiation position. It was confirmed that it came off from the reflection plate 49.
  • the area A11 and the area A13 have different shapes of areas. The area A11 is wider than the area A1 in FIG.
  • the transfer destination S exists in the area A12 while the gripper 42a holds the article FP, it is not necessary to adjust the irradiation direction of the laser beam L1 and the transfer destination S has the areas A11 and A13. If it exists, it is necessary to adjust the irradiation direction of the laser beam L1.
  • the adjusting unit 81 of the control unit 80 adjusts the irradiation direction of the laser light L1 when the height of the lifting platform 42 is included in the areas A1 and A3 when the gripper 42a does not hold the article FP. That is, the adjustment unit 81 does not perform adjustment when the height of the lifting platform 42 is included in the area A2, but performs three-step adjustment when included in the area A1 and in the area A3. When the height of the lift table 42 is included in the area A2, the adjustment unit 81 does not drive the actuator 66a (see FIG. 3) of the first correction drive unit 66, and the height of the lift table 42 is included in the area A1.
  • the actuator 66a drives the support member 63b to tilt the irradiation direction of the laser light L1 to the +X side, and when the height of the lift table 42 is included in the area A3, the actuator 66a drives the support member 63b to emit the laser light. Tilt the irradiation direction of L1 to the ⁇ X side.
  • the adjusting unit 81 adjusts the irradiation direction of the laser light L1 when the height of the lift table 42 is included in the areas A11 and A13 when the gripper 42a holds the article FP. That is, the adjusting unit 81 does not adjust when the height of the lifting platform 42 is included in the area A12, but performs three-step adjustment when the height is included in the area A11 and when included in the area A13. When the height of the lift table 42 is included in the area A12, the adjustment unit 81 does not drive the support member 63b by the actuator 66a (see FIG. 3) of the first correction drive unit 66, and the height of the lift table 42 is in the area.
  • the supporting member 63b When included in A11, the supporting member 63b is driven by the actuator 66a to tilt the irradiation direction of the laser light L1 to the +X side, and when the height of the lift 42 is included in the region A13, the supporting member 63b is driven by the actuator 66a. Then, the irradiation direction of the laser beam L1 is tilted to the ⁇ X side.
  • the adjustment by the adjusting unit 81 is not limited to three stages including the case where no adjustment is made, and may be two stages or four or more stages.
  • the amount of horizontal projection is a value (first specific value) included in the areas A1 and A3 (areas A11 and A13) shown in FIG. If the value is a value included in the areas A1 and A3 (areas A11 and A13) shown in FIG. 7 (a value that is equal to or greater than the first threshold value), the horizontal projection amount is adjusted and the irradiation direction of the laser beam L1 is adjusted. Do either one or both.
  • the horizontal amount is the value (first specific value) included in the areas A1 and A3 (areas A11 and A13) shown in FIG. If the value is a value included in the area A2 (area A12) shown in FIG.
  • neither the horizontal adjustment nor the irradiation direction of the laser light L1 is adjusted. ..
  • the lateral projection amount and the descending amount are based on the data of the data table DT1 described later.
  • the adjustment according to the deflection of the sideways-out mechanism 45 is based on the data in the data table DT2 described later.
  • the horizontal projection amount and the irradiation direction of the laser beam L1 are adjusted. Do either one or both.
  • the descending amount is a value (second specific value) included in the areas A1 and A3 (areas A11 and A13) shown in FIG. If the value is a value included in the area A2 (area A12) shown in FIG.
  • the lateral projection amount and the descending amount are based on the data of the data table DT1 described later. Further, the adjustment according to the deflection of the sideways-out mechanism 45 (the sideward-outward adjustment amount and the downward adjustment amount described later) is based on the data in the data table DT2 described later.
  • FIG. 8 is a diagram showing the amount of lateral movement of the elevating and lowering drive unit 43 by the lateral ejection mechanism 45 during transfer.
  • FIG. 8A shows an example in which the lateral projection amount is large
  • FIG. 8B shows an example in which the lateral projection amount is small.
  • the amount of horizontal movement of the elevating/lowering drive unit 43 by the horizontal movement mechanism 45 is determined by the position of the transfer destination S. As shown in FIG. 8A, when the transfer destination S is located directly below the main body section 40, the elevating drive section 43 does not cause the elevating drive section 43 to laterally move out of the elevating table 42, and the elevating drive section 43 moves the elevating table 42. By moving up and down, the article FP can be delivered.
  • the article FP may be delivered with the lateral ejection mechanism 45 having the maximum lateral ejection amount SL1 in the ⁇ X direction.
  • the article FP may be delivered with the lateral ejection mechanism 45 having the maximum lateral ejection amount SL2 in the +X direction. Note that the maximum lateral projection amounts SL1 and SL2 are set in a state where there is still room for lateral projection.
  • FIG. 8A shows a case where the lifting table 42 (gripper 42a) holds the article FP (when unloading), but when the lifting table 42 does not hold the article FP (when grabbing the article).
  • the adjusting unit 81 adjusts the amount of lateral movement of the elevating and lowering drive unit 43 by the lateral ejection mechanism 45 when the article FP is held (when unloading) and when the elevating table 42 does not hold the article FP (carrying load). And), and adjust with different values.
  • the sideways-out mechanism 45 can perform sideways-out in the +X direction or the ⁇ X direction with an arbitrary sideways-out amount SLn.
  • the sideward transfer mechanism 45 is set to the sideward transfer amount SLn in the ⁇ X direction. I do.
  • the amount of flexure of the side-by-side mechanism 45 changes depending on the amount of side-by-side movement of the elevating and lowering drive unit 43 by the side-by-side mechanism 45, and the amount of deviation of the elevating table 42 in the X direction from directly above the transfer destination S also changes. Further, similarly to the above, when the article FP is held (when unloading) and when the lifting platform 42 does not hold the article FP (when grabbing a load), the amount of flexure of the side-feed mechanism 45 varies. different.
  • the adjusting unit 81 adjusts the lateral ejection amount of the elevating drive unit 43 by the lateral ejection mechanism 45 based on the presence or absence of the article FP on the elevating table 42 according to the lateral ejection amount of the lateral ejection mechanism 45. Further, after being horizontally extended by the horizontal ejection mechanism 45, the descending amount of the elevating table 42 varies depending on the height of the transfer destination S. For example, when the irradiation direction of the laser light L1 is out of the reflection plate 49, and when the laser light L2 is emitted. The irradiation direction may deviate from the predetermined direction. In such a case, the adjustment unit 81 adjusts the irradiation direction of the laser light L1 and the irradiation direction of the laser light L2.
  • FIG. 9 is a diagram showing an example of the transfer destination of the article FP.
  • transfer destinations S for the transport vehicle 100 eight transfer destinations S1 to S8 different in the X direction and the Z direction are arranged.
  • the transfer destinations S1 to S8 are shown in one diagram for convenience, but the transfer destinations S1 to S8 are arranged at different positions in the Y direction.
  • eight transfer destinations S1 to S8 are shown in FIG. 9, eight or more transfer destinations, for example, transfer destinations between transfer destinations S3 and S4, transfer destinations S6 and S7, and so on.
  • the transfer destination between the transfer destinations S3 and S6 may be set.
  • the ⁇ X side is represented as the left side and the +X side is represented as the right side.
  • the transfer destination S1 is a left transfer destination.
  • the transfer destination S2 is a right transfer destination.
  • the transfer destination S3 is a left high place transfer destination.
  • the transfer destination S4 is a high place transfer destination.
  • the transfer destination S5 is a right high place transfer destination.
  • the transfer destination S6 is a left low place transfer destination.
  • the transfer destination S7 is a low place transfer destination.
  • the transfer destination S8 is a right low place transfer destination.
  • FIG. 10 is a diagram showing an example in which transfer destinations S1 to S8 of the article FP shown in FIG. 9 are indicated by areas. As shown in FIG. 10, when the transfer destination is included in the area indicated by S1, the transfer destination is S1. Similarly, when the transfer destinations are included in the areas shown in S2 to S8, the transfer destinations are set to S2 to S8, respectively.
  • the information of such transfer destinations S1 to S8 is stored in the storage unit 82 (see FIG. 1) of the control unit 80 as, for example, a data table.
  • FIG. 11 is a diagram showing an example of a data table DT1 relating to the positions of the transfer destinations S1 to S8, the lateral extension amount of the elevating drive unit 43 by the lateral ejection mechanism 45, and the descending amount of the elevating table 42 by the elevating drive unit 43. ..
  • the positions (coordinate values: X1, Y1, Z1, etc.) of the eight transfer destinations S1 to S8 shown in FIG. 9 or 10 and the transfer destinations S1 to S8 are set.
  • sideways out amounts SL1, SL2, SLX1, SLX2, and descending amounts H1, H2, H3 of the elevating table 42 are stored.
  • the transfer destinations S1 and S2, the transfer destinations S3, S4 and S5, and the transfer destinations S6, S7 and S8 are at the same position in the traveling direction of the transport vehicle 100 (the same Y1, Y2, However, the position may be shifted in the traveling direction of the transport vehicle 100.
  • SLX1 and SLX2 in the data table DT1 are values calculated by the lateral projection amount (position of the transfer destination) of the elevation drive unit 43 by the lateral projection mechanism 45.
  • a predetermined calculation formula is stored in the storage unit 82, and the lateral adjustment amount SLLX1 and the like are calculated by this calculation formula.
  • the sideways amount is adjusted and the direction of the sensor is adjusted (the irradiation direction of the laser beam L1 of the shake detection sensor 47, the irradiation direction of the laser beam L2 of the look-down sensor 48). ) May be required at least one of.
  • the adjusting unit 81 adjusts the sideways amount, the descending amount, and the sensor orientation according to the positions of the transfer destinations S1 to S8 and the presence or absence of the article FP.
  • the adjusting unit 81 adjusts the sideways amount, the descending amount, and the sensor orientation from the data table DT2 stored in the storage unit 82 according to the positions of the transfer destinations S1 to S8.
  • FIG. 12 is a diagram showing an example of the data table DT2 relating to the lateral adjustment amount and the adjustment of the sensor orientation.
  • the adjustment unit 81 acquires information regarding the transfer destinations S1 to S8 of the article FP from the data table DT1 of the storage unit 82, and adjusts the sideways amount required at the target transfer destination and the orientation of the sensor 44. , Or both of them are performed based on the data table DT2.
  • the data table DT2 includes data relating to the descending adjustment amount for adjusting the descending amount of the elevating table 42. When the side-out mechanism 45 bends, the distance between the transfer destination S and the lift 42 also changes.
  • the adjusting unit 81 adjusts the descending amounts H1, H2, and H3 of the elevating table 42 acquired from the data table DT1 based on the data table DT2, according to the laterally extending amount of the elevating and lowering driving unit 43 by the laterally ejecting mechanism 45.
  • the lateral ejection adjustment with respect to the lateral ejection amount SL1 by the lateral ejection mechanism 45 is performed.
  • the amount ( ⁇ X shown in FIG. 2) is SLL1
  • the lowering adjustment amount with respect to the lowering amount H1 of the lifting table 42 is H1A
  • the actuators 66a and 76a of the sensor 44 are off.
  • the sideways adjustment amount is SLL2
  • the downward adjustment amount is H1B
  • the actuators 66a and 76a of the sensor 44 are provided. Is off.
  • Other data transfer destinations are as shown in the data table DT2.
  • the transfer destinations S4 and S7 do not cause the side-by-side mechanism 45 to horizontally extend the elevating and lowering drive unit 43, so that the side-out mechanism 45 is not bent, and the adjustment unit 81 adjusts and lowers the side-out amount.
  • the quantity and sensor orientation are not adjusted.
  • SLLX1, SLLX2, SLRX1 and SLRX2 in the data table DT2 are values calculated by the horizontal movement amount of the elevating drive unit 43 by the horizontal movement mechanism 45.
  • a predetermined calculation formula is stored in the storage unit 82, and the lateral adjustment amount SLLX1 and the like are calculated by this calculation formula.
  • turning on (1) of the actuators 66a and 76a of the sensor 44 means that the irradiation direction of the laser light L1 or the like is inclined to the +X side.
  • turning on (2) means that the irradiation direction of the laser light L1 or the like is inclined to the ⁇ X side.
  • the processing load on the control unit 80 can be reduced.
  • the horizontal adjustment amounts SLL1, SLL2, SLR1, SLR2, SLLX1, SLLX2, SLRX1, SLRX2, and the downward adjustment amounts H1A, H1B, H1C, H1D, H2A, H2B, H2C, H2D, H3A, H3B, H3C, H3D. May be a value obtained by actually unloading or grasping the article FP from each of the transfer destinations S1 to S8, or a value obtained by simulation.
  • the data table DT2 is set for each transport vehicle 100 including the machine difference of the own vehicle. In other words, even if the sideways-out mechanism 45 has the same sideward-outside amount, the deflection amount of the side-outside mechanism 45 differs depending on the rigidity of each carrier vehicle 100. Therefore, by using the data table DT2 set for each transport vehicle 100, each transport vehicle 100 can accurately unload or grasp the article FP with respect to each transfer destination S1 to S8.
  • FIG. 13 is a diagram showing another example of the carrier vehicle according to the present embodiment.
  • two upper and lower rails R are provided in the processing chamber PR, and the transport vehicle 100 travels on each rail R.
  • the laser light L2 emitted from the look-down sensor 48 mounted on the upper transport vehicle 100 is tilted toward the ⁇ X side due to the bending of the side-out mechanism 45.
  • the laser beam L2 is irradiated to the lower transport vehicle 100, and the look-down sensor 48 may erroneously detect an abnormality, and the operation of the transport vehicle 100 may be unnecessarily stopped.
  • the adjusting unit 81 corrects the irradiation direction of the laser beam L2 emitted from the look-down sensor 48 to the +X side according to the amount of horizontal movement of the elevating drive unit 43 by the horizontal movement mechanism 45. To do. As a result, the laser beam L2 emitted from the look-down sensor 48 is corrected in the emission direction L2a, and is separated from the lower transport vehicle 100, so that the look-down sensor 48 can prevent erroneous detection.
  • the operation of each unit of the transport vehicle 100 is performed by the control unit 80.
  • the control unit 80 drives the traveling drive unit 10 to cause the transport vehicle 100 to travel along the rail R.
  • the control unit 80 may cause the side-out mechanism 45 to project to the +X side or the ⁇ X side in parallel with the traveling of the transport vehicle 100, or may not project it.
  • the control unit 80 when placing the article FP held by the gripper 42a on the transfer destination S (see FIG. 1), or when holding the article FP placed on the transfer destination S by the gripper 42a, The transport vehicle 100 is stopped at a predetermined position corresponding to the transfer destination S.
  • the stop position of the transport vehicle 100 is, for example, a position directly above the transfer destination S or a position laterally displaced from directly above the transfer destination S.
  • the control unit 80 causes the vertical drive mechanism 45 to project the lifting drive unit 43 to the side of the main body unit 40.
  • the control unit 80 acquires in advance the lateral projection amount of the elevation drive unit 43 by the lateral projection mechanism 45 according to the transfer destination S (see the data table DT1 in FIG. 11).
  • the adjusting unit 81 adjusts at least one of the amount of lateral movement of the elevating and lowering drive unit 43 by the lateral ejection mechanism 45 and the orientation of the sensor 44 according to the transfer destination S based on the data table DT2 of FIG. ..
  • the adjustment by the adjusting unit 81 may be performed before the horizontal movement of the elevating and lowering drive unit 43 by the horizontal ejection mechanism 45 or during the horizontal ejection of the elevating and lowering drive unit 43 by the horizontal ejection mechanism 45. May be.
  • the elevating table 42 is arranged immediately above the transfer destination S, the irradiation direction of the laser beam L1 emitted from the shake detection sensor 47 is prevented from deviating from the reflection plate 49, and the look The laser light L2 emitted from the down sensor 48 is appropriately emitted toward the vicinity of the transfer destination S. Further, the adjusting unit 81 adjusts the descending amount of the elevating table 42. As described above, the adjustment by the adjusting unit 81 differs depending on whether the gripper 42a is holding the article FP or not holding the article FP (see the data table DT2 in FIG. 12).
  • control unit 80 lowers the lift table 42 to place the article FP held by the gripper 42a on the transfer destination S, or lowers the lift table 42 to be placed on the transfer destination S.
  • the gripping item 42a is gripped by the gripper 42a.
  • control unit 80 raises the elevating table 42 and then drives the sideways mechanism 45 to house the elevating table 42 (article FP) in the main body section 40.
  • the control unit 80 drives the traveling drive unit 10 after the elevating table 42 is housed in the main body unit 40 to drive the transport vehicle 100 to travel along the rail R.
  • the article FP is transferred to the transfer destination according to the amount of lateral movement of the elevating/lowering drive unit 43 by the laterally ejecting mechanism 45 and the descending amount of the elevating/lowering table 42 by the elevating/lowering drive unit 43.
  • the article FP can be accurately delivered to the destination.
  • the orientation of the sensor 44 provided in the elevating/lowering drive unit 43 according to the sideways-out amount and the descending amount of the elevating table 42 it is possible to orient the sensor 44 in a target direction. It is possible to suppress erroneous detection while ensuring proper operation of the.
  • the correction mechanism described above is an example, and a correction mechanism having another configuration may be applied.
  • the sensor 44 is not limited to the shake detection sensor 47 and the look-down sensor 48, and may be any sensor that emits a detection wave having directivity.

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Abstract

【課題】物品を移載先に対して正確に受け渡しさせ、又はセンサを適切に作動させることが可能な搬送車を提供する。 【解決手段】搬送車１００は、走行駆動部１０と、本体部４０と、物品ＦＰを保持するグリッパ４２ａを有しかつ本体部４０に対して昇降可能な昇降台４２と、可撓性を有するベルト４３ａの繰り出し及び巻き取りにより昇降台４２を昇降させる昇降駆動部４３と、昇降駆動部４３を片持ち支持した状態で本体部４０の側方に突出させる横出し機構４５と、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量、及び昇降駆動部４３による昇降台４２の下降量に応じて、移載先に対して物品ＦＰを渡す場合と物品ＦＰを受け取る場合とでの横出し量の調整、及び昇降駆動部４３に備えるセンサ４４の向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う調整部８１と、を備える。

Description

搬送車
　本発明は、搬送車に関する。
　半導体製造工場等の製造工場では、例えば半導体ウエハの搬送容器（ＦＯＵＰ）やレチクル搬送用のレチクルポッドなどの物品を搬送するため、天井又は天井近傍に敷設されたレールに沿って走行する搬送車が用いられている。搬送車は、軌道を走行する走行部と、走行部の走行により移動する本体部と、本体部に対して昇降可能な昇降台と、昇降台を昇降させる昇降駆動部と、を備えており、さらに、昇降駆動部を本体部に対して走行方向の側方に突出させる横出し機構を備えている。この搬送車は、工場内に設けられる物品の受け渡し位置で停止し、移載先によっては横出し機構によって昇降駆動部を横出しした状態で、昇降駆動部による昇降台の昇降と、昇降台に備えた保持部による物品の把持又は開放により物品の受け渡しを行う。このような搬送車では、横出し機構により横出しを行った場合、昇降駆動部及び物品等の重量により横出し機構にたわみが発生し、このたわみに起因して物品を規定の移載位置に移載できなくなることが考えられる。このため、横出し機構により横出しを行う場合において、たわみの大きさを予め求めておき、この求めたデータに基づいて横出し量を調整する構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
　また、昇降駆動部には、下方に検出波を照射するセンサを昇降駆動部に備える搬送車が知られている。上記のように横出し機構により昇降駆動部を横出しした時にたわみが発生すると、検出波を照射する向きが変わるため、横出し機構による昇降駆動部の横出し時にセンサの向きを変えるようにした搬送車が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
特許第５６３６８４９号公報 国際公開第２０１７／１９９５９３号
　上記したような搬送車において、横出し機構に発生するたわみの大きさは、横出し機構による昇降駆動部の横出し量によって変動する。一方、特許文献１に記載の搬送車において求められたデータは、例えば横出し機構により昇降駆動部を最も横出しした際に設定された固定値である。そのため、特許文献１に記載の搬送車では、横出し機構による昇降駆動部の横出し量が変動する場合には、横出し量を調整しても横出し機構のたわみ量が変動するので、そのまま物品（昇降台）を下降させても移載位置からずれてしまい、物品を移載先に対して正確に受け渡すことができない場合がある。
　また、昇降駆動部に設けられているセンサの向きも、横出し機構による昇降駆動部の横出し量によって変動する。さらに、センサの向きが変動した状態で昇降台の下降量が大きくなると、例えば、センサからの検出波が昇降台上に設けられている指標板から外れるなど、検出波が目標とする照射先から外れてしまい、適切な検出を行うことができなくなるといった問題がある。
　本発明は、横出し機構により横出しする場合に、横出し量又はセンサの向きを調整することにより、物品を移載先に対して正確に受け渡しさせ、又はセンサを適切に作動させることが可能な搬送車を提供することを目的とする。
　本発明の態様に係る搬送車は、軌道を走行する走行部と、走行部に連結されて走行部の走行により移動する本体部と、物品を保持する保持部を有しかつ本体部に対して昇降可能な昇降台と、可撓性を有する吊持部材の繰り出し及び巻き取りにより昇降台を昇降させる昇降駆動部と、昇降駆動部を片持ち支持した状態で本体部の側方に突出させる横出し機構と、横出し機構による昇降駆動部の横出し量、及び昇降駆動部による昇降台の下降量に応じて、移載先に対して物品を渡す場合と物品を受け取る場合とでの横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う調整部と、を備える。
　また、センサは、下方の所定位置に向けて指向性を有する検出波を照射し、調整部は、検出波の照射方向のずれを補正するようにセンサの向きを調整してもよい。また、センサは、検出波の照射方向を変えるためのアクチュエータを備え、調整部は、アクチュエータを駆動することにより検出波の照射方向のずれを補正してもよい。
　また、本体部は、物品を受け渡しする複数の移載先のそれぞれについて、横出し機構による昇降駆動部の横出し量、及び移載先までの下降量に関するデータテーブルが記憶された記憶部を備え、調整部は、記憶部に記憶されているデータテーブルから物品の移載先に関する情報を取得して、その情報に基づいて横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行ってもよい。また、記憶部は、搬送車ごとに固有の自車の機差が予め記憶されており、調整部は、記憶部に記憶されている機差を含めて、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行ってもよい。
　また、調整部は、データテーブルが示す横出し量が第１の特定値である場合に、データテーブルが示す下降量が第１の閾値未満であれば、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整の双方を行わず、データテーブルが示す下降量が第１の閾値以上であれば、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行ってもよい。
　また、調整部は、データテーブルが示す下降量が第２の特定値である場合に、データテーブルが示す横出し量が第２の閾値未満であれば、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整の双方を行わず、データテーブルが示す横出し量が第２の閾値以上であれば、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行ってもよい。
　上記した搬送車によれば、横出し機構による昇降駆動部の横出し量、及び昇降駆動部による昇降台の下降量に応じて、移載先に対して物品を渡す場合と物品を受け取る場合とでの横出し量の調整を行うことにより、物品を搬送先に対して正確に受け渡すことができる。また、横出し量及び昇降台の下降量に応じて、昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整を行うことにより、センサの向きを目標とする方向に向けることができ、センサの適切な作動を確保しつつ、誤検出を抑制することができる。また、移載先に対して物品を渡す場合と物品を受け取る場合とで横出し量の調整を行うので、物品の重量によるたわみの影響を考慮することにより、物品を移載先に対して正確に受け渡すことができる。
　また、センサが、下方の所定位置に向けて指向性を有する検出波を照射し、調整部が、検出波の照射方向のずれを補正するようにセンサの向きを調整する構成では、センサが照射する検出波の向きを精度よく調整することができる。また、センサが、検出波の照射方向を変えるためのアクチュエータを備え、調整部が、アクチュエータを駆動することにより検出波の照射方向のずれを補正する構成では、アクチュエータを駆動することにより、検出波の向きを高精度に調整することができる。
　また、本体部が、物品を受け渡しする複数の移載先のそれぞれについて、横出し機構による昇降駆動部の横出し量、及び移載先までの下降量に関するデータテーブルが記憶された記憶部を備え、調整部が、記憶部に記憶されているデータテーブルから物品の移載先に関する情報を取得して、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う構成では、記憶部に記憶されたデータテーブルを読み出すことにより、横出し量の調整、及びセンサの向きの調整を迅速かつ精度よく行うことができる。また、記憶部が、搬送車ごとに固有の自車の機差が予め記憶されており、調整部が、記憶部に記憶されている機差を含めて、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う構成では、搬送車ごとに生じている機差の影響を踏まえて横出し量の調整、及びセンサの向きの調整を行うため、各搬送車によって物品を移載先に対して正確に受け渡すことができる。
　また、調整部が、データテーブルが示す横出し量が第１の特定値である場合に、データテーブルが示す下降量が第１の閾値未満であれば、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整の双方を行わず、データテーブルが示す下降量が第１の閾値以上であれば、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う構成では、下降量に応じて調整の有無を切り替えることができる。
　また、調整部が、データテーブルが示す下降量が第２の特定値である場合に、データテーブルが示す横出し量が第２の閾値未満であれば、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整の双方を行わず、データテーブルが示す横出し量が第２の閾値以上であれば、横出し量の調整、及び昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う構成では、横出し量に応じて調整の有無を切り替えることができる。
本実施形態に係る搬送車の一例を示す図である。 横出し機構の一例を示す斜視図である。 第１補正機構の一例を示す斜視図である。 第２補正機構の一例を示す斜視図である。 揺れ検出センサによる検出の一例を模式的に示す図である。 保持部で物品を保持していない場合において、昇降台の位置と光軸位置の変動量との関係を示す図である。 保持部で物品を保持している場合において、昇降台の位置と光軸位置の変動量との関係を示す図である。 物品の移載を行う際の横出し機構による昇降駆動部の横出し量を示す図であり、（Ａ）は横出し量が大きい場合、（Ｂ）は横出し量が小さい場合の例を示している。 物品の移載先の例を示す図である。 図９に示す物品の移載先を領域で示した例を示す図である。 移載先の位置、横出し量、及び下降量に関するデータテーブルの一例を示す図である。 横出し調整量、センサの向きの調整に関するデータテーブルの一例を示す図である。 本実施形態に係る搬送車の他の例を示す図である。
　以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は以下に説明する形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きく又は強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面において搬送車１００の走行方向をＹ方向と表記し、Ｙ方向に直交する水平方向をＸ方向と表記する。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の指す方向が＋方向であり、反対の方向が－方向であるとして説明する。また、Ｘ軸周りの回転方向をθＸ方向、Ｙ軸周りの回転方向をθＹ方向、Ｚ軸周りの回転方向をθＺ方向と表記する。
　図１は、本実施形態に係る搬送車の一例を示す図である。図１に示すように、例えばクリーンルームなどの処理室ＰＲには、搬送車１００を含む搬送システムが設けられる。処理室ＰＲには、不図示の半導体処理装置などが床面上に配置されている。処理室ＰＲの天井部分には、搬送車１００を案内する軌道であるレールＲが設けられる。レールＲは、走行レール及び給電レールを含んで構成される。
　搬送車１００は、レールＲに沿って例えば＋Ｙ方向に走行する。搬送車１００は、移載先Ｓに対して物品ＦＰの受け渡しを行う。移載先Ｓは、例えば、処理装置のロードポートである。搬送車１００は、図１に示すように、走行駆動部（走行部）１０と、連結部３０と、本体部４０と、制御部８０と、を有している。搬送車１００の各部の駆動は、制御部８０によって制御される。制御部８０は、例えば本体部４０に設けられるが、この構成に限定されず、本体部４０外に設けられてもよい。走行駆動部１０は、レールＲの内側に配置され、レールＲの内側の面（走行面）に当接する複数のローラ１１と、これら複数のローラ１１を回転させる駆動装置１２とを有している。搬送車１００は、レールＲに沿った不図示の給電レールに備える非接触給電線を介して受電し、走行駆動部１０などの搬送車１００に備える駆動部に電力を供給する不図示の受電部を備える。連結部３０は、走行駆動部１０の下側（－Ｚ側）に取り付けられ、走行駆動部１０と本体部４０とを連結する。
　本体部４０は、移載装置４１を備える。移載装置４１は、昇降台４２と、昇降駆動部４３と、センサ４４と、横出し機構４５と、補正機構４６とを備える。本体部４０は、連結部３０を介して走行駆動部１０に連結されている。本体部４０は、走行駆動部１０と一体的にレールＲに沿って移動する。
　昇降台４２は、本体部４０に対して昇降可能（Ｚ方向へ移動可能）である。昇降台４２は、物品ＦＰを保持する保持部としてグリッパ４２ａを有する。物品ＦＰは、例えば、半導体ウエハを収容する容器（ＦＯＵＰ）、あるいはレチクルを収容するレチクルポッドなどである。グリッパ４２ａは、物品ＦＰの頂部（＋Ｚ側の面）に設けられているフランジＦＰａを把持又は解放可能である。
　昇降駆動部４３は、昇降台４２を昇降（Ｚ方向に移動）させる。昇降駆動部４３は、例えば可撓性を有する複数（例えば４本）のベルト（吊持部材）４３ａを介して昇降台４２を吊り下げている。昇降駆動部４３は、ベルト４３ａの繰り出し、又は巻き取りを行うことにより、昇降台４２を昇降させる。
　センサ４４は、昇降駆動部４３に設けられる。センサ４４は、揺れ検出センサ（スイングセンサ）４７及びルックダウンセンサ４８を含む。揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８は、昇降駆動部４３の下方である検出対象の領域に向けて、例えばレーザ光等の指向性を有する検出波を照射する。以下、本実施形態では、揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８が検出波としてレーザ光を照射する構成を例に挙げて説明する。なお、揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８は、レーザ光の他に、超音波など、指向性を有する他の検出波を照射する構成であってもよい。
　揺れ検出センサ４７は、昇降台４２の上面（＋Ｚ側の面）に設けられる反射板４９に向けてレーザ光Ｌ１を射出する。揺れ検出センサ４７は、昇降台４２を昇降させる際に、レーザ光Ｌ１を反射板４９に照射し、その反射光から昇降台４２の揺れを検出する。制御部８０は、揺れ検出センサ４７からのレーザ光Ｌ１が反射板４９に当たっている間は揺れ（振幅）が正常範囲内であると判定し、レーザ光Ｌ１が反射板４９から外れたら揺れが正常範囲を逸脱した（振幅が大きくなり、許容限度を超えた）と判定して、例えば昇降台４２の昇降を停止させる。ルックダウンセンサ４８は、昇降台４２の降下先の近傍に向けてレーザ光Ｌ２を照射する。ルックダウンセンサ４８は、レーザ光Ｌ２を照射し、その反射光から昇降台４２の降下先である移載先Ｓの近傍に異物が存在するか否かを検出する。例えば、移載先Ｓよりも通路側の領域に、作業者などの物体（障害物）が存在するか否かを検出する。ルックダウンセンサ４８が物体を検出した場合、例えば、制御部８０は、昇降台４２の昇降を停止させる。
　図２は、横出し機構４５の一例を示す斜視図である。横出し機構４５は、昇降駆動部４３を片持ち支持した状態で本体部４０の側方（Ｘ方向）に突出させる。横出し機構４５は、上段部５１と、中段部５２と、下段部５３と、駆動装置５４と、を有している。上段部５１は、本体部４０の上部側に設けられる。上段部５１は、本体部４０に対して固定されていてもよいし、不図示のガイドにより、本体部４０の側方である＋Ｘ方向又は－Ｘ方向に移動可能であってもよい。中段部５２は、上段部５１の下側に取り付けられている。中段部５２は、不図示のガイドにより、上段部５１に対して＋Ｘ方向又は－Ｘ方向に移動する。下段部５３は、中段部５２の下側に取り付けられている。下段部５３は、中段部５２に対して＋Ｘ方向又は－Ｘ方向に移動する。上段部５１、中段部５２、及び下段部５３は、駆動装置５４によって移動する。
　駆動装置５４は、制御部８０の制御により、横出し動作を行う。駆動装置５４は、例えば、リニアモータ、又はボールねじ機構を含む回転モータ等が用いられる。図１及び図２には、上段部５１、中段部５２及び下段部５３が本体部４０に対してそれぞれ－Ｘ側に移動する場合を例に挙げて示しているが、この例に限定されず、本体部４０に対してそれぞれ＋Ｘ側に移動することも可能である。また、上段部５１、中段部５２及び下段部５３は、図示のように板状であることに限定されず、棒状の部材又は棒状の部材を組み合わせたフレームが用いられてもよい。また、駆動装置５４は、制御部８０からの指示により＋Ｘ方向又は－Ｘ方向に予め設定された横出し量となるように上段部５１等を横出しさせる。また、駆動装置５４は、＋Ｘ方向又は－Ｘ方向への横出し量を調整するための補正機構として機能する。
　図１に示すように、下段部５３の下面には、昇降駆動部４３が取り付けられる。なお、下段部５３に対して昇降駆動部４３をθＺ方向に旋回可能な不図示の旋回駆動部が設けられてもよい。あるいは、昇降台４２に対してグリッパ４２ａをθＺ方向に旋回可能な不図示の旋回駆動部が設けられてもよい。横出し機構４５は、中段部５２及び下段部５３を本体部４０の側方（－Ｘ側）に突出させた状態において、中段部５２及び下段部５３の重量、昇降駆動部４３、昇降台４２及び物品ＦＰ等の重量により全体的に下方にたわみ、下段部５３の先端側が下方に移動した状態となる。このとき、昇降駆動部４３は、下段部５３の傾きによりθＹ方向に傾いた状態となる。ただし、ベルト４３ａが可撓性を有するため、昇降駆動部４３がθＹ方向に傾いた状態であっても、昇降台４２は昇降駆動部４３の鉛直下方に位置する。
　また、揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８（センサ４４）は、昇降駆動部４３の傾きにより本来の照射方向からずれた方向にレーザ光Ｌ１及びＬ２を照射する。補正機構４６は、横出し機構４５により昇降駆動部４３を本体部４０の側方に突出させた状態において、横出し機構４５のたわみにより生じるレーザ光Ｌ１及びＬ２の照射方向のずれを補正する。補正機構４６は、第１補正機構６０と、第２補正機構７０とを有する。第１補正機構６０は、揺れ検出センサ４７についてレーザ光Ｌ１の照射方向のずれを補正する。第２補正機構７０は、ルックダウンセンサ４８についてレーザ光Ｌ２の照射方向のずれを補正する。
　図３は、第１補正機構６０の一例を示す斜視図である。図３に示すように、第１補正機構６０は、フレーム６１と、軸部６２と、可動部６３と、傾き調整機構６４と、回転規制部６５と、第１補正駆動部６６と、を有している。
　フレーム６１は、金属板などで形成され、昇降駆動部４３にボルト等により固定される。軸部６２は、フレーム６１から突出して形成される。軸部６２は、Ｙ方向に平行な中心軸ＡＸ１を有する。可動部６３は、軸部６２を中心にフレーム６１に対してθＹ方向に回転（揺動）可能である。可動部６３は、吊り下げ部材６３ａと、支持部材６３ｂとを有する。吊り下げ部材６３ａは、軸部６２から下方に延びて形成され、軸部６２の中心軸ＡＸ１に対してθＹ方向に回転可能に支持される。支持部材６３ｂは、吊り下げ部材６３ａと一体で中心軸ＡＸ１を中心としてθＹ方向に回転可能である。支持部材６３ｂは、図３に示すように開口部を有し、後述のセンサ固定部材６４ａを介して揺れ検出センサ４７を支持する。
　傾き調整機構６４は、揺れ検出センサ４７の傾きを調整する。傾き調整機構６４は、センサ固定部材６４ａと、ネジ部６４ｂと、ナット６４ｃとを有する。センサ固定部材６４ａは、所定の固定部材によって揺れ検出センサ４７を固定する。センサ固定部材６４ａは、Ｚ方向から見てコ字状の部材である。
　ネジ部６４ｂは、揺れ検出センサ４７を挟んでＸ方向の両側に配置される。本実施形態では、ネジ部６４ｂは、センサ固定部材６４ａの両端に配置される。ネジ部６４ｂは、支持部材６３ｂに形成されたタップとネジ結合しており、支持部材６３ｂから上方（＋Ｚ方向）に延びて、先端がセンサ固定部材６４ａの下面に当接している。ナット６４ｃは、支持部材６３ｂの下面においてネジ部６４ｂの下端とネジ結合する。２つのネジ部６４ｂを個別に調整することにより、センサ固定部材６４ａと支持部材６３ｂとの間隔を個別に調整して、揺れ検出センサ４７のθＹ方向の傾き（レーザ光Ｌ１の照射方向）が鉛直下方（－Ｚ方向）となるように調整可能である。
　回転規制部６５は、中心軸ＡＸ１を中心とする可動部６３のθＹ方向の回転範囲を規定する。回転規制部６５は、基部６５ａと、ネジ部６５ｂと、ナット６５ｃとを有する。基部６５ａは、フレーム６１に固定される。ネジ部６５ｂは、図３に示すように、支持部材６３ｂにおいて揺れ検出センサ４７をＸ方向に挟んだ両側に配置される。ネジ部６５ｂは、支持部材６３ｂを貫通して配置され、基部６５ａに向けて突出した状態でナット６５ｃにより保持されている。ネジ部６５ｂの突出量はナット６５ｃとのネジ結合位置により調整可能である。可動部６３が中心軸ＡＸ１を中心としてθＹ方向に回転する場合、ネジ部６５ｂの先端が基部６５ａに当接することにより可動部６３の回転範囲を規定する。なお、ネジ部６５ｂの先端の位置は、昇降駆動部４３がθＹ方向に傾く角度に応じて予め設定される。また、回転規制部６５は、３点（－Ｘ側でネジ部６５ｂが基部６５ａに当接する位置、真ん中、＋Ｘ側でネジ部６５ｂが基部６５ａに当接する位置）での位置決めを行うことにより、横出し機構４５の両側出し（－Ｘ方向への横出し、又は＋Ｘ方向への横出し）に対応することが可能である。
　第１補正駆動部６６は、可動部６３に対してＸ方向の駆動力を付与する。第１補正駆動部６６は、アクチュエータ６６ａ及び伝達機構６６ｂを有する。アクチュエータ６６ａは、例えばソレノイド等が用いられる。伝達機構６６ｂは、アクチュエータ６６ａの駆動力を支持部材６３ｂに伝達する。なお、伝達機構６６ｂは、弾性部材を含んで構成されてもよい。第１補正駆動部６６が支持部材６３ｂを駆動することにより、支持部材６３ｂにはＸ方向の駆動力が作用する。その結果、可動部６３が中心軸ＡＸ１を中心としてθＹ方向に回転し、揺れ検出センサ４７の姿勢が変化し、可動部６３の回転位置に応じて揺れ検出センサ４７から照射されるレーザ光Ｌ１の照射方向が変動する。
　なお、横出し機構４５によるＸ方向の突出量は、移載先Ｓの位置によって変動する。横出し機構４５による突出量に応じて、昇降駆動部４３のθＹ方向の傾きが変動する。従って、本実施形態では、横出し機構４５により昇降駆動部４３を突出させた場合、昇降駆動部４３のθＹ方向の傾きに応じて制御部８０がレーザ光Ｌ１の照射方向を変更すべきか否かを判断する。制御部８０がレーザ光Ｌ１の照射方向を変更すべきと判断したときには、後述する調整部８１により第１補正駆動部６６が支持部材６３ｂを駆動し、上記のように可動部６３を回転させて回転規制部６５によって所定位置に保持することにより、揺れ検出センサ４７から照射されるレーザ光Ｌ１の照射方向を反射板４９（図１参照）に照射するように設定することができる。また、制御部８０は、第１補正駆動部６６により支持部材６３ｂを駆動する又は駆動しない、といった２種類の制御だけで昇降駆動部４３の傾きに応じて揺れ検出センサ４７からのレーザ光Ｌ１の照射方向を補正できる。なお、第１補正駆動部６６が支持部材６３ｂを駆動しない場合、伝達機構６６ｂは、第１補正駆動部６６であるソレノイド内に配置されたバネ等の弾性体により所定位置に保持される。その結果、可動部６３は、所定位置に保持され、揺れ検出センサ４７からのレーザ光Ｌ１の照射方向は、下方に向くように設定される。
　図４は、第２補正機構７０の一例を示す斜視図である。図４に示すように、第２補正機構７０は、フレーム７１と、軸部７２と、可動部７３と、傾き調整機構７４と、第２補正駆動部７６とを有している。
　フレーム７１は、金属板などで形成され、昇降駆動部４３にボルト等により固定される。フレーム７１は、下方に延びる帯状部７１ａを備える。軸部７２は、帯状部７１ａから突出して形成される。軸部７２は、Ｙ方向に平行な中心軸ＡＸ２を有する。可動部７３は、軸部７２を中心にフレーム７１に対してθＹ方向に回転する。可動部７３は、駆動片７３ａと、不図示の作用片とを有する。駆動片７３ａは、軸部７２から－Ｘ方向に延びてかつ上方に向けて屈曲して形成される。不図示の作用片は、軸部７２に対して＋Ｘ側に配置される。駆動片７３ａ及び作用片は、一体で中心軸ＡＸ２を中心としてθＹ方向に回動可能である。駆動片７３ａは、後述のセンサ固定部材７４ａを介してルックダウンセンサ４８を支持する。
　傾き調整機構７４は、駆動片７３ａに対するルックダウンセンサ４８の傾きを調整する。傾き調整機構７４は、センサ固定部材７４ａと、取付ネジ７４ｂと、調整ネジ７４ｃとを有する。センサ固定部材７４ａは、取付ネジ７４ｂによって駆動片７３ａに取り付けられる。センサ固定部材７４ａの下端は、軸部７２の下方に突出して配置される。
　調整ネジ７４ｃは、センサ固定部材７４ａの下端に取り付けられる。調整ネジ７４ｃは、ルックダウンセンサ４８をセンサ固定部材７４ａに固定し、かつ、センサ固定部材７４ａに対するルックダウンセンサ４８のθＹ方向の傾きを調整する。図４に示すように、本実施形態では、例えば＋Ｘ方向から見た場合に、ルックダウンセンサ４８の－Ｙ側かつ＋Ｚ側の角部と、＋Ｙ側かつ－Ｚ側の角部と、の２個所に調整ネジ７４ｃが配置される。２つの調整ネジ７４ｃを調整することにより、ルックダウンセンサ４８とセンサ固定部材７４ａとの距離を調整し、ルックダウンセンサ４８のθＹ方向の傾きを（レーザ光Ｌ２が所定方向に照射されるように）調整可能である。
　傾き調整機構７４は、不図示の回転規制部を備えている。回転規制部は、中心軸ＡＸ２を中心とする可動部７３のθＹ方向の回転範囲を規定する。この回転規制部は、例えば、２つのネジ部が配置され、可動部７３が中心軸ＡＸ２を中心としてθＹ方向に回転する場合、ネジ部の先端が固定部分に当接することにより可動部７３の回転範囲を規定する。なお、回転規制部は、昇降駆動部４３がθＹ方向に傾く角度に応じて予め設定される。また、回転規制部は、３点（－Ｘ側にルックダウンセンサ４８が傾いた位置、真ん中、＋Ｘ側にルックダウンセンサ４８が傾いた位置）での位置決めを行うことにより、横出し機構４５の両側出し（－Ｘ方向への横出し、又は＋Ｘ方向への横出し）に対応することが可能である。
　第２補正駆動部７６は、可動部７３に対してＸ方向の駆動力を付与する。第２補正駆動部７６は、アクチュエータ７６ａ及び伝達機構７６ｂを有する。アクチュエータ７６ａは、例えばソレノイド等が用いられる。伝達機構７６ｂは、アクチュエータ７６ａの駆動力を駆動片７３ａに伝達する。なお、伝達機構７６ｂは、弾性部材を含んで構成されてもよい。第２補正駆動部７６が駆動片７３ａを駆動することにより、駆動片７３ａにはＸ方向の駆動力が作用する。その結果、可動部７３が中心軸ＡＸ２を中心としてθＹ方向に回転し、ルックダウンセンサ４８の姿勢が変化し、可動部７３の回転位置に応じてルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２の照射方向が変動する。
　なお、上記したように、横出し機構４５によるＸ方向の突出量は、移載先Ｓの位置によって変動する。横出し機構４５による突出量に応じて、昇降駆動部４３のθＹ方向の傾きが変動する。従って、本実施形態では、横出し機構４５により昇降駆動部４３を突出させた場合、昇降駆動部４３のθＹ方向の傾きに応じて制御部８０がレーザ光Ｌ２の照射方向を変更すべきか否かを判断する。制御部８０がレーザ光Ｌ２の照射方向を変更すべきと判断したときには、後述する調整部８１により第２補正駆動部７６を駆動させ、上記のように可動部７３を回転させて、ルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２の照射方向を補正することができる。また、制御部８０は、第２補正駆動部７６により駆動片７３ａを駆動する又は駆動しない、といった２種類の制御だけで昇降駆動部４３の傾きに応じてルックダウンセンサ４８からのレーザ光Ｌ２の照射方向を補正できる。なお、第２補正駆動部７６が駆動片７３ａを駆動しない場合、第２補正駆動部７６であるソレノイド内に配置されたバネ等の弾性体により伝達機構７６ｂを所定位置に保持する。その結果、可動部７３は、所定位置に保持され、ルックダウンセンサ４８からのレーザ光Ｌ２の照射方向は、所定方向に向くように設定される。
　なお、上記したアクチュエータ６６ａ及び７６ａは、ソレノイドであることに限定されない。例えば、電動モータを用いたボールねじ機構、あるいは油圧又は空圧シリンダ機構、リニアモータなどが使用されてもよい。
　制御部８０は、搬送車１００の動作を統括的に制御する。制御部８０は、調整部８１と、記憶部８２と、を有する。調整部８１は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量の調整、及び昇降駆動部４３に備えるセンサ４４の向きの調整のうち少なくとも一方を行う。調整部８１は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量、及び昇降駆動部４３による昇降台４２の下降量に応じて、上記の調整を行う。
　つまり、横出し機構４５を搬送車１００の横方向に突出させた場合、横出し機構４５自身の重量、昇降駆動部４３の重量、昇降台４２の重量、及び物品ＦＰの重量等により、横出し機構４５にたわみが生じる。このたわみにより、移載先Ｓにおける移載位置の載置面の直上から昇降台４２（物品ＦＰ）がずれた状態となり、この状態で昇降台４２（物品ＦＰ）を下降させても、移載位置の載置面からずれて物品ＦＰを載置させることになる。また、物品ＦＰを移載先Ｓに載置する際（荷下ろし時）と、移載先Ｓの物品ＦＰを受け取る際（荷つかみ時）とでは、物品ＦＰの重さの分だけ横出し機構４５に生じるたわみの量が異なるので、昇降駆動部４３を移載位置の直上に配置させるには適正な横出し量が異なる。従って、このような昇降駆動部４３のずれを補正するため、横出し機構４５におけるたわみを考慮して、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量を調整する必要がある。そこで、調整部８１は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量、及び物品ＦＰの有無に応じて、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量の調整を行う。
　調整部８１は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量の調整を行う場合、図２に示すように、駆動装置５４の駆動量を調整することにより、Ｘ方向における上段部５１、中段部５２、及び下段部５３の位置を調整する。横出し機構４５のたわみにより、Ｘ方向における昇降駆動部４３の位置が本体部４０に近づいた位置にずれた状態となる。従って、調整部８１は、上段部５１、中段部５２、及び下段部５３の少なくとも一つについてＸ方向における位置を調整し、下段部５３に支持されている昇降駆動部４３の位置を調整する。図２では、横出し機構４５を－Ｘ方向に横出しした状態から、調整部８１により下段部５３を－Ｘ側に所定値△Ｘだけ移動させて調整を行った場合を一例として示している。なお、横出し機構４５を＋Ｘ方向に横出しする場合、調整部８１により下段部５３を＋Ｘ側に所定値だけ移動させて調整を行うようにする。
　また、調整部８１は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量、及び昇降駆動部４３による昇降台４２の下降量に応じて、揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８の調整を行う。横出し機構４５により横出しした状態では昇降台４２がθＹ軸まわりに回転した状態となっている。昇降台４２のθＹ軸まわりの回転に伴って揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８もθＹ軸まわりに回転する。このとき、揺れ検出センサ４７のθＹ軸まわりの回転が小さくても、昇降台４２の下降量が大きくなると、揺れ検出センサ４７と昇降台４２との距離が大きくなるため、昇降台４２の揺れ（振幅）がそれほど大きくない場合であってもレーザ光Ｌ１が反射板４９から外れるおそれがあり、揺れ検出センサ４７において許容限度を超えて揺れていると誤検出してしまう場合がある。また、ルックダウンセンサ４８では、θＹ軸まわりの回転が小さくても昇降台４２の下降量が大きくなると、作業者等の物体を検出すべき場所との距離が大きくなるため、ルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２が上記した場所から外れるおそれがあり、例えば、物品ＦＰの移載先Ｓであるロードポートなどを障害物と誤検出してしまう場合がある。従って、揺れ検出センサ４７の調整を行う場合、図３に示すように、調整部８１は、第１補正駆動部６６のアクチュエータ６６ａを駆動して、レーザ光Ｌ１の照射方向をθＹ方向に回転させ、下方に向けるように照射方向のずれを補正する。
　また、ルックダウンセンサ４８の調整を行う場合、図４に示すように、調整部８１は、第２補正駆動部７６のアクチュエータ７６ａを駆動して、レーザ光Ｌ２の照射方向をθＹ方向に回転させ、所定の方向に向けるように照射方向のずれを補正する。
　図５は、揺れ検出センサ４７による検出動作の一例を模式的に示す図である。図５に示すように、揺れ検出センサ４７は、反射板４９に向けてレーザ光Ｌ１を照射し、反射板４９で反射されたレーザ光Ｌ１を検出する。なお、図５では、揺れ検出センサ４７を用いた検出動作に際して、反射板４９に対するレーザ光Ｌ１のずれについて説明しているが、ルックダウンセンサ４８についても検出場所に対するレーザ光Ｌ２のずれについて同じことがいえる。
　図５に示すように、揺れ検出センサ４７は、反射板４９に向けてレーザ光Ｌ１を照射し、反射板４９で反射されたレーザ光Ｌ１を検出する。制御部８０は、揺れ検出センサ４７の検出結果に基づいて、レーザ光Ｌ１の光軸位置の変動量を検出する。図５ではグリッパ４２ａで物品ＦＰを保持している状態を示しているが、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持していない状態においても同様にレーザ光Ｌ１の光軸位置の変動量を検出する。反射板４９上のレーザ光Ｌ１の照射位置は、横出し機構４５のたわみにより変動し、さらに、昇降台４２の下降量によっても変動する。レーザ光Ｌ１の照射位置は、反射板４９上において矢印に示すようにＸ方向に変動する。従って、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量が大きくなり、かつ昇降台４２の下降量が大きくなると、レーザ光Ｌ１の照射位置が反射板４９から外れてしまい、揺れ検出センサ４７による検出ができなくなる。
　図６は、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持していない場合において、昇降台４２の位置と光軸位置の変動量との関係を示す図である。図７は、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持している場合において、昇降台４２の位置と光軸位置の変動量との関係を示す図である。図６及び図７は、実験結果又はシミュレーションにより得られた結果を表している。図６及び図７の横軸は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量を示し、図６及び図７の縦軸は昇降駆動部４３による昇降台４２の下降量を示す。横出し量は、左右方向の中央が０を示し、中央から－Ｘ方向（図５の左方向）については最大値ＳＬ１まで、中央から＋Ｘ方向（図５の右方向）については最大値ＳＬ２までの値をそれぞれ示している。最大値ＳＬ１と最大値ＳＬ２とは、横出し機構４５の機構上の理由により異なっているが、同一とする機構が用いられてもよい。昇降台４２の下降量は、上端が０であり、下端が最大値ＤＣである。
　図６に示すように、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持していない場合において、移載先Ｓが領域Ａ２に存在する場合は、その高さに応じて昇降台４２が配置され、レーザ光Ｌ１の照射位置が昇降台４２の反射板４９から外れないことが確認されたが、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量が大きく、かつ昇降台４２の下降量が大きい領域Ａ１、Ａ３に移載先Ｓが存在する場合は、レーザ光Ｌ１の照射位置が反射板４９から外れることが確認された。なお、領域Ａ１と領域Ａ３とは図６において領域の形状が異なっている。従って、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持していない場合において、移載先Ｓが領域Ａ２に存在する場合は、レーザ光Ｌ１の照射方向を調整する必要がなく、移載先Ｓが領域Ａ１、Ａ３に存在する場合は、レーザ光Ｌ１の照射方向を調整する必要がある。
　また、図７に示すように、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持している場合において、移載先Ｓが領域Ａ１２に存在する場合は、レーザ光Ｌ１の照射位置が反射板４９から外れないことが確認された。領域Ａ１２は、図６の領域Ａ２より狭くなっている。また、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量が大きく、かつ昇降台４２の下降量が大きい領域Ａ１１、Ａ１３に移載先Ｓが存在する場合には、レーザ光Ｌ１の照射位置が反射板４９から外れることが確認された。なお、領域Ａ１１と領域Ａ１３とは領域の形状が異なっている。また、領域Ａ１１は、図６の領域Ａ１よりＸ方向及びＺ方向に広くなっており、領域Ａ１３は、図６の領域Ａ３よりＸ方向及びＺ方向に広くなっている。従って、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持している場合において、移載先Ｓが領域Ａ１２に存在する場合は、レーザ光Ｌ１の照射方向を調整する必要がなく、移載先Ｓが領域Ａ１１、Ａ１３に存在する場合は、レーザ光Ｌ１の照射方向を調整する必要がある。
　制御部８０の調整部８１は、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持していない場合において、昇降台４２の高さが領域Ａ１、Ａ３に含まれる場合は、レーザ光Ｌ１の照射方向を調整する。すなわち、調整部８１は、昇降台４２の高さが領域Ａ２に含まれる場合は調整せず、領域Ａ１に含まれる場合、及び領域Ａ３に含まれる場合の３段階の調整を行う。調整部８１は、昇降台４２の高さが領域Ａ２に含まれる場合、第１補正駆動部６６のアクチュエータ６６ａ（図３参照）を駆動させず、昇降台４２の高さが領域Ａ１に含まれる場合、アクチュエータ６６ａにより支持部材６３ｂを駆動させてレーザ光Ｌ１の照射方向を＋Ｘ側に傾け、昇降台４２の高さが領域Ａ３に含まれる場合、アクチュエータ６６ａにより支持部材６３ｂを駆動させてレーザ光Ｌ１の照射方向を－Ｘ側に傾ける。
　調整部８１は、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持している場合において、昇降台４２の高さが領域Ａ１１、Ａ１３に含まれる場合は、レーザ光Ｌ１の照射方向を調整する。すなわち、調整部８１は、昇降台４２の高さが領域Ａ１２に含まれる場合は調整せず、領域Ａ１１に含まれる場合、及び領域Ａ１３に含まれる場合の３段階の調整を行う。調整部８１は、昇降台４２の高さが領域Ａ１２に含まれる場合、第１補正駆動部６６のアクチュエータ６６ａ（図３参照）により支持部材６３ｂを駆動させず、昇降台４２の高さが領域Ａ１１に含まれる場合、アクチュエータ６６ａにより支持部材６３ｂを駆動させてレーザ光Ｌ１の照射方向を＋Ｘ側に傾け、昇降台４２の高さが領域Ａ１３に含まれる場合、アクチュエータ６６ａにより支持部材６３ｂを駆動させてレーザ光Ｌ１の照射方向を－Ｘ側に傾ける。
　図６と図７とを比較すると、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持していない場合（図６参照）に対して、グリッパ４２ａで物品ＦＰを保持している場合（図７参照）の方が調整を要する領域が広くなっている。つまり、物品ＦＰを保持している場合、横出し機構４５により昇降駆動部４３を横出ししたときに物品ＦＰの重量が加わるので、横出し機構４５のたわみが大きくなり、昇降駆動部４３のθＹまわりの回転量が大きくなる。そのため、物品ＦＰを保持している場合には、物品ＦＰを保持していない場合に比べて、昇降台４２の下降量が小さくてもレーザ光Ｌ１が反射板４９から外れやすくなる。なお、調整部８１による調整は、調整しない場合を含めて３段階とすることに限定されず、２段階又は４段階以上であってもよい。
　すなわち、調整部８１は、横出し量が図６（図７）に示す領域Ａ１、Ａ３（領域Ａ１１、Ａ１３）に含まれる値（第１の特定値）である場合、下降量が図６（図７）に示す領域Ａ１、Ａ３（領域Ａ１１、Ａ１３）に含まれる値（第１の閾値以上となる値）であれば、該横出し量の調整、及びレーザ光Ｌ１の照射方向の調整のうちいずれか一方又は双方を行う。一方、調整部８１は、横出し量が図６（図７）に示す領域Ａ１、Ａ３（領域Ａ１１、Ａ１３）に含まれる値（第１の特定値）である場合、下降量が図６（図７）に示す領域Ａ２（領域Ａ１２）に含まれる値（第１の閾値未満となる値）であれば、該横出し量の調整、及びレーザ光Ｌ１の照射方向の調整の双方を行わない。なお、横出し量や下降量は、後述するデータテーブルＤＴ１のデータに基づく。また、横出し機構４５のたわみに応じた調整（後述する横出し調整量、下降調整量）は、後述するデータテーブルＤＴ２のデータに基づく。
　また、調整部８１は、下降量が図６（図７）に示す領域Ａ１、Ａ３（領域Ａ１１、Ａ１３）に含まれる値（第２の特定値）である場合、横出し量が図６（図７）に示す領域Ａ１、Ａ３（領域Ａ１１、Ａ１３）に含まれる値（第２の閾値以上となる値）であれば、該横出し量の調整、及びレーザ光Ｌ１の照射方向の調整のうちいずれか一方又は双方を行う。一方、調整部８１は、下降量が図６（図７）に示す領域Ａ１、Ａ３（領域Ａ１１、Ａ１３）に含まれる値（第２の特定値）である場合、横出し量が図６（図７）に示す領域Ａ２（領域Ａ１２）に含まれる値（第２の閾値未満となる値）であれば、該横出し量の調整、及びレーザ光Ｌ１の照射方向の調整の双方を行わない。なお、横出し量や下降量は、後述するデータテーブルＤＴ１のデータに基づく。また、横出し機構４５のたわみに応じた調整（後述する横出し調整量、下降調整量）は、後述するデータテーブルＤＴ２のデータに基づく。
　図８は、移載を行う際の横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量を示す図である。図８（Ａ）は横出し量が大きい場合、図８（Ｂ）は横出し量が小さい場合の例を示している。横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量は、移載先Ｓの位置によって決定される。図８（Ａ）に示すように、本体部４０の直下に移載先Ｓがある場合は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出しを行わずに昇降駆動部４３によって昇降台４２を昇降させることで物品ＦＰの受け渡しが可能である。また、移載先Ｓが－Ｘ側にある場合、横出し機構４５を－Ｘ方向に最大の横出し量ＳＬ１として物品ＦＰの受け渡しを行う場合がある。移載先Ｓが＋Ｘ側にある場合、横出し機構４５を＋Ｘ方向に最大の横出し量ＳＬ２として物品ＦＰの受け渡しを行う場合がある。なお、最大の横出し量ＳＬ１、ＳＬ２は、いずれもさらに横出し可能な余地を残した状態で設定されている。
　図８（Ａ）に示すように、横出し機構４５により昇降駆動部４３を横出し量ＳＬ１、ＳＬ２で横出しした場合には、横出し機構４５のたわみにより昇降駆動部４３の位置が所望の位置からＸ方向にずれてしまうので、調整部８１により、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量の調整を行う必要がある。図８（Ａ）では、昇降台４２（グリッパ４２ａ）が物品ＦＰを保持している場合（荷下ろし時）を示しているが、昇降台４２が物品ＦＰを保持していない場合（荷つかみ時）でも横出し機構４５により昇降駆動部４３を横出し量ＳＬ１、ＳＬ２で横出ししたときに、横出し機構４５のたわみにより昇降駆動部４３の位置が所望の位置からＸ方向にずれてしまう。従って、昇降台４２が物品ＦＰを保持していない場合でも、調整部８１により、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量の調整を行う必要がある。ただし、昇降台４２が物品ＦＰを保持している場合と、物品ＦＰを保持していない場合とで横出し機構４５のたわみ量が異なり、横出し機構４５による適正な横出し量が異なる。調整部８１は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量を、物品ＦＰを保持している場合（荷下ろし時）と、昇降台４２が物品ＦＰを保持していない場合（荷つかみ時）とで、それぞれ異なる値により調整する。
　また、移載先Ｓの位置によって、横出し機構４５は、＋Ｘ方向又は－Ｘ方向に任意の横出し量ＳＬｎとして横出しを行うことができる。図８（Ｂ）に示すように、本体部４０の中心から－Ｘ方向に距離ＳＬｎの位置に配置された移載先Ｓでは、横出し機構４５を－Ｘ方向に横出し量ＳＬｎとして横出しを行う。上記したように、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量によって横出し機構４５のたわみ量が変動し、移載先Ｓの直上に対する昇降台４２のＸ方向のずれ量が変動する。また、上記と同様に、物品ＦＰを保持している場合（荷下ろし時）と、昇降台４２が物品ＦＰを保持していない場合（荷つかみ時）とで、横出し機構４５のたわみ量が異なる。従って、調整部８１は、横出し機構４５の横出し量に応じて、昇降台４２における物品ＦＰの有無に基づき、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量をそれぞれ調整する。さらに、横出し機構４５で横出しした後、移載先Ｓの高さによっては昇降台４２の下降量が異なり、例えばレーザ光Ｌ１の照射方向が反射板４９から外れる場合、及びレーザ光Ｌ２の照射方向が所定の方向から外れる場合がある。このような場合、調整部８１は、レーザ光Ｌ１の照射方向、及びレーザ光Ｌ２の照射方向を調整する。
　図９は、物品ＦＰの移載先の例を示す図である。図９に示すように、搬送車１００に対する移載先Ｓとしては、Ｘ方向及びＺ方向に異なる８つの移載先Ｓ１からＳ８が配置されている。図９では、移載先Ｓ１からＳ８を便宜上ひとつの図で表しているが、各移載先Ｓ１からＳ８は、Ｙ方向にそれぞれ別の位置に配置されている。なお、図９では、８つの移載先Ｓ１からＳ８を示しているが、８つ以上の移載先、例えば移載先Ｓ３とＳ４との間の移載先、移載先Ｓ６とＳ７との間の移載先、又は移載先Ｓ３とＳ６との間の移載先が設定されてもよい。図９において、－Ｘ側を左側と表記し、＋Ｘ側を右側と表記している。移載先Ｓ１は、左移載先である。移載先Ｓ２は、右移載先である。移載先Ｓ３は、左高所移載先である。移載先Ｓ４は、高所移載先である。移載先Ｓ５は、右高所移載先である。移載先Ｓ６は、左低所移載先である。移載先Ｓ７は、低所移載先である。移載先Ｓ８は、右低所移載先である。
　図１０は、図９に示す物品ＦＰの移載先Ｓ１からＳ８を領域で示した例を示す図である。図１０に示すように、移載先がＳ１に示す領域に含まれる場合は移載先Ｓ１とする。同様に、移載先がＳ２～Ｓ８に示す領域に含まれる場合は、それぞれ移載先Ｓ２からＳ８とする。このような移載先Ｓ１からＳ８の情報は、制御部８０の記憶部８２（図１参照）に例えばデータテーブルとして記憶されている。図１１は、移載先Ｓ１からＳ８の位置、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量、及び昇降駆動部４３による昇降台４２の下降量に関するデータテーブルＤＴ１の一例を示す図である。
　図１１に示すデータテーブルＤＴ１には、図９又は図１０に示す８つの移載先Ｓ１からＳ８について、それぞれの位置（座標値：Ｘ１、Ｙ１、Ｚ１など）と、その移載先Ｓ１からＳ８に対して物品ＦＰを受け渡すための横出し量ＳＬ１、ＳＬ２、ＳＬＸ１、ＳＬＸ２、及び昇降台４２の下降量Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３が格納されている。なお、データテーブルＤＴ１では、移載先Ｓ１とＳ２、移載先Ｓ３とＳ４とＳ５、移載先Ｓ６とＳ７とＳ８、が搬送車１００の走行方向において同一の位置（同一のＹ１、Ｙ２、Ｙ３の位置）である例を示しているが、搬送車１００の走行方向にずれていてもよい。
　また、データテーブルＤＴ１中のＳＬＸ１、ＳＬＸ２は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量（移載先の位置）によって計算される値である。記憶部８２には所定の計算式が記憶されており、この計算式により横出し調整量ＳＬＬＸ１等が算出される。搬送車１００により移載先Ｓ１からＳ８のいずれかに対して物品ＦＰの受け渡しを行う場合、制御部８０は、データテーブルＤＴ１から対象となる移載先のデータを読み込み、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出しと、昇降駆動部４３による昇降台４２の下降とを行うことで物品ＦＰの受け渡しを行う。
　その際、移載先Ｓ１からＳ８の位置によっては、横出し量の調整、及びセンサの向きの調整（揺れ検出センサ４７のレーザ光Ｌ１の照射方向、ルックダウンセンサ４８のレーザ光Ｌ２の照射方向）の少なくとも一方が必要な場合がある。調整部８１は、移載先Ｓ１からＳ８の位置、及び物品ＦＰの有無に応じて、横出し量の調整、下降量の調整、及びセンサの向きの調整を行う。調整部８１は、移載先Ｓ１からＳ８の位置に応じて、記憶部８２に記憶されているデータテーブルＤＴ２から横出し量の調整、下降量の調整、及びセンサの向きの調整を行う。
　図１２は、横出し調整量、センサの向きの調整に関するデータテーブルＤＴ２の一例を示す図である。調整部８１は、記憶部８２のデータテーブルＤＴ１から物品ＦＰの移載先Ｓ１からＳ８に関する情報を取得して、対象の移載先において必要な横出し量の調整、及びセンサ４４の向きの調整、のうちいずれか一方又は双方をデータテーブルＤＴ２に基づいて行う。また、データテーブルＤＴ２には、昇降台４２の下降量を調整する下降調整量に関するデータが含まれる。横出し機構４５にたわみが生じると、移載先Ｓと昇降台４２との間隔も変化する。調整部８１は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量に応じて、データテーブルＤＴ１から取得した昇降台４２の下降量Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３を、データテーブルＤＴ２に基づき調整する。
　図１２に示すデータテーブルＤＴ２は、移載先Ｓ１（左ＳＴＢ）において、グリッパ４２ａが物品を保持している場合（「有」の場合）、横出し機構４５による横出し量ＳＬ１に対する横出し調整量（図２に示すΔＸ）がＳＬＬ１であり、昇降台４２の下降量Ｈ１に対する下降調整量がＨ１Ａであり、センサ４４のアクチュエータ６６ａ、７６ａがオフであることを示している。また、移載先Ｓ１において、グリッパ４２ａが物品を保持していない場合（「無」の場合）、横出し調整量がＳＬＬ２であり、下降調整量がＨ１Ｂであり、センサ４４のアクチュエータ６６ａ、７６ａがオフであることを示している。
　他の移載先についてはデータテーブルＤＴ２に示すとおりである。なお、移載先Ｓ４、Ｓ７は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出しを行わないので、横出し機構４５のたわみが生じておらず、調整部８１による横出し量の調整、下降量の調整、及びセンサの向きの調整を行っていない。また、データテーブルＤＴ２中のＳＬＬＸ１、ＳＬＬＸ２、ＳＬＲＸ１、ＳＬＲＸ２は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量によって計算される値である。記憶部８２には所定の計算式が記憶されており、この計算式により横出し調整量ＳＬＬＸ１等が算出される。また、センサ４４のアクチュエータ６６ａ、７６ａのオン（１）は、レーザ光Ｌ１等の照射方向を＋Ｘ側に傾けることを意味する。また、オン（２）は、レーザ光Ｌ１等の照射方向を－Ｘ側に傾けることを意味する。
　このように、データテーブルＤＴ２により各移載先Ｓ１からＳ２において調整する内容が予め記憶されているので、制御部８０の処理負担を軽減できる。なお、横出し調整量ＳＬＬ１、ＳＬＬ２、ＳＬＲ１、ＳＬＲ２、ＳＬＬＸ１、ＳＬＬＸ２、ＳＬＲＸ１、ＳＬＲＸ２、及び下降調整量Ｈ１Ａ、Ｈ１Ｂ、Ｈ１Ｃ、Ｈ１Ｄ、Ｈ２Ａ、Ｈ２Ｂ、Ｈ２Ｃ、Ｈ２Ｄ、Ｈ３Ａ、Ｈ３Ｂ、Ｈ３Ｃ、Ｈ３Ｄについては、各移載先Ｓ１からＳ８に対して実際に物品ＦＰの荷下ろし又は荷つかみを行って求められた値であってもよいし、シミュレーションによって求められた値であってもよい。なお、データテーブルＤＴ２は、搬送車１００ごとに自車の機差を含めて設定されている。すなわち、横出し機構４５による同一の横出し量であっても、搬送車１００ごとの剛性等により横出し機構４５のたわみ量が異なる。従って、搬送車１００ごとに設定されたデータテーブルＤＴ２を用いることにより、各搬送車１００は、各移載先Ｓ１からＳ８に対して正確に物品ＦＰの荷下ろし又は荷つかみを行うことができる。
　図１３は、本実施形態に係る搬送車の他の例を示す図である。図１３に示すように、処理室ＰＲ内には、上下２段のレールＲが設けられ、各レールＲに搬送車１００が走行する。この構成において、上側の搬送車１００に搭載されているルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２は、横出し機構４５のたわみによって、－Ｘ側に傾いた状態となる。この状態では、レーザ光Ｌ２が下側の搬送車１００に照射され、ルックダウンセンサ４８によって異常と誤検出する可能性があり、搬送車１００の動作を無駄に停止させる場合がある。
　本実施形態において、調整部８１は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量に応じて、ルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２の照射方向を＋Ｘ側に照射するように補正する。その結果、ルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２は、照射方向Ｌ２ａに補正されることで下側の搬送車１００から離れ、ルックダウンセンサ４８による誤検出を防止することができる。
　次に、上記のように構成された搬送車１００の動作を説明する。搬送車１００の各部の動作は、制御部８０により行う。制御部８０は、走行駆動部１０を駆動させることで搬送車１００をレールＲに沿って走行させる。制御部８０は、搬送車１００の走行と並行して横出し機構４５を＋Ｘ側又は－Ｘ側に突出させてもよいし、突出させないようにしてもよい。制御部８０は、グリッパ４２ａで把持している物品ＦＰを移載先Ｓ（図１参照）に載置する場合、又は移載先Ｓに載置された物品ＦＰをグリッパ４２ａで把持する場合、移載先Ｓに対応した所定位置に搬送車１００を停止させる。搬送車１００の停止位置は、例えば、移載先Ｓの直上又は移載先Ｓの直上から横にずれた位置である。
　次に、制御部８０は、移載先Ｓがレールの直下から横にずれている場合、横出し機構４５により昇降駆動部４３を本体部４０の側方に突出させる。制御部８０は、移載先Ｓに応じて横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量を予め取得している（図１１のデータテーブルＤＴ１参照）。また、調整部８１は、移載先Ｓに応じて、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量、及びセンサ４４の向きの少なくとも一方を、図１２のデータテーブルＤＴ２に基づいて調整する。調整部８１による調整は、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出しを行う前であってもよいし、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出しを行っている間のいずれであってもよい。
　調整部８１による調整により、昇降台４２は移載先Ｓの直上に配置され、揺れ検出センサ４７から照射されるレーザ光Ｌ１は、照射方向が反射板４９から外れることが防止されるとともに、ルックダウンセンサ４８から照射されるレーザ光Ｌ２は、移載先Ｓの近傍に向けて適切に照射される。さらに、調整部８１により、昇降台４２の下降量が調整される。なお、グリッパ４２ａが物品ＦＰを把持しているときと、物品ＦＰを把持していないときとで、調整部８１による調整が異なるのは上記のとおりである（図１２のデータテーブルＤＴ２参照）。
　次に、制御部８０は、昇降台４２を下降させてグリッパ４２ａで把持している物品ＦＰを移載先Ｓに載置する、又は昇降台４２を下降させて移載先Ｓに載置されている物品ＦＰをグリッパ４２ａで把持する。次に、制御部８０は、昇降台４２を上昇させた後、横出し機構４５を駆動させて昇降台４２（物品ＦＰ）を本体部４０に収容する。制御部８０は、本体部４０への昇降台４２の収容後、走行駆動部１０を駆動させることにより、搬送車１００をレールＲに沿って走行させる。
　このように、本実施形態によれば、横出し機構４５による昇降駆動部４３の横出し量、及び昇降駆動部４３による昇降台４２の下降量に応じて、移載先に対して物品ＦＰを渡す場合と物品ＦＰを受け取る場合とでの横出し量の調整を行うことにより、物品ＦＰを搬送先に対して正確に受け渡すことができる。また、横出し量及び昇降台４２の下降量に応じて、昇降駆動部４３に備えるセンサ４４の向きの調整を行うことにより、センサ４４の向きを目標とする方向にむけることができ、センサ４４の適切な作動を確保しつつ、誤検出を抑制することができる。
　以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した補正機構は一例であって、他の構成を持つ補正機構が適用されてもよい。また、センサ４４は、揺れ検出センサ４７及びルックダウンセンサ４８に限定されず、指向性を持つ検出波を照射する任意のセンサであってもよい。
　なお、上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１８－２３４４６８、及び、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
ＦＰ・・・物品
Ｌ１、Ｌ２・・・レーザ光
Ｒ・・・レール（軌道）
Ｓ、Ｓ１からＳ８・・・移載先
１０・・・走行駆動部
４０・・・移載装置
４１・・・本体部
４２・・・昇降台
４２ａ・・・グリッパ（保持部）
４３・・・昇降駆動部
４３ａ・・・ベルト（吊持部材）
４４・・・センサ
４５・・・横出し機構
４６・・・補正機構
４７・・・揺れ検出センサ
４８・・・ルックダウンセンサ
４９・・・反射板
５１・・・上段部
５２・・・中段部
５３・・・下段部
５４・・・駆動装置
６０・・・第１補正機構
６６ａ、７６ａ・・・アクチュエータ
７０・・・第２補正機構
８０・・・制御部
８１・・・調整部
８２・・・記憶部
１００・・・搬送車

Claims (6)

  1. 　軌道を走行する走行部と、
    　前記走行部に連結されて前記走行部の走行により移動する本体部と、
    　物品を保持する保持部を有しかつ前記本体部に対して昇降可能な昇降台と、
    　可撓性を有する吊持部材の繰り出し及び巻き取りにより前記昇降台を昇降させる昇降駆動部と、
    　前記昇降駆動部を片持ち支持した状態で前記本体部の側方に突出させる横出し機構と、
    　前記横出し機構による前記昇降駆動部の横出し量、及び前記昇降駆動部による前記昇降台の下降量に応じて、移載先に対して物品を渡す場合と物品を受け取る場合とでの前記横出し量の調整、及び前記昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う調整部と、を備える、搬送車。
  2. 　前記センサは、下方の所定位置に向けて指向性を有する検出波を照射し、
    　前記調整部は、前記検出波の照射方向のずれを補正するように前記センサの向きを調整する、請求項１に記載の搬送車。
  3. 　前記センサは、前記検出波の照射方向を変えるためのアクチュエータを備え、
    　前記調整部は、前記アクチュエータを駆動することにより前記検出波の照射方向のずれを補正する、請求項２に記載の搬送車。
  4. 　前記本体部は、物品を受け渡しする複数の前記移載先のそれぞれについて、前記横出し機構による前記昇降駆動部の前記横出し量、及び前記移載先までの前記下降量に関するデータテーブルが記憶された記憶部を備え、
    　前記調整部は、前記記憶部に記憶されている前記データテーブルから物品の前記移載先に関する情報を取得して、その情報に基づいて前記横出し量の調整、及び前記昇降駆動部に備えるセンサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の搬送車。
  5. 　前記調整部は、前記データテーブルが示す前記横出し量が第１の特定値である場合に、
    　前記データテーブルが示す前記下降量が第１の閾値未満であれば、前記横出し量の調整、及び前記昇降駆動部に備える前記センサの向きの調整の双方を行わず、
    　前記データテーブルが示す前記下降量が前記第１の閾値以上であれば、前記横出し量の調整、及び前記昇降駆動部に備える前記センサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う、請求項４に記載の搬送車。
  6. 　前記調整部は、前記データテーブルが示す前記下降量が第２の特定値である場合に、
    　前記データテーブルが示す前記横出し量が第２の閾値未満であれば、前記横出し量の調整、及び前記昇降駆動部に備える前記センサの向きの調整の双方を行わず、
    　前記データテーブルが示す前記横出し量が前記第２の閾値以上であれば、前記横出し量の調整、及び前記昇降駆動部に備える前記センサの向きの調整、のうちいずれか一方又は双方を行う、請求項４又は請求項５に記載の搬送車。
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