WO2023068024A1 - 熱硬化性樹脂組成物、放熱シート、放熱板、放熱シートの製造方法、及び放熱板の製造方法 - Google Patents

熱硬化性樹脂組成物、放熱シート、放熱板、放熱シートの製造方法、及び放熱板の製造方法 Download PDF

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boron nitride
filler
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裕二 外山
雅枝 矢野
佐紀 阿部
啓佑 須藤
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L33/00Compositions of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides or nitriles thereof; Compositions of derivatives of such polymers
    • C08L33/04Homopolymers or copolymers of esters
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L63/00Compositions of epoxy resins; Compositions of derivatives of epoxy resins
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W40/00Arrangements for thermal protection or thermal control
    • H10W40/20Arrangements for cooling
    • H10W40/25Arrangements for cooling characterised by their materials

Definitions

  • the present invention relates to a thermosetting resin composition, a heat dissipation sheet, a heat dissipation plate, a method for manufacturing a heat dissipation sheet, and a method for manufacturing a heat dissipation plate.
  • the board on which the electronic components are installed is provided with a metal radiator plate with high thermal conductivity via a heat dissipating sheet having insulating properties.
  • Patent Literature 1 and Patent Literature 2 disclose a thermally conductive sheet having insulating properties and a thermally conductive resin composition that constitutes the thermally conductive sheet.
  • the heat dissipation sheets described in Patent Documents 1 and 2 are excellent in heat dissipation, dielectric breakdown is likely to occur when a high voltage is applied. For this reason, it is difficult to use such a heat dissipation sheet as a heat dissipation sheet having long-term withstand voltage characteristics for use with power semiconductors mounted on electric vehicles, for example.
  • the long-term withstand voltage characteristic means a characteristic that dielectric breakdown is unlikely to occur even if a constant voltage is applied for a long period of time. Evaluation of this characteristic is performed, for example, under conditions of 150° C., 1 kV, and 10 years.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and includes a heat dissipation sheet and a heat dissipation plate that are excellent in heat dissipation and long-term withstand voltage characteristics, a thermosetting resin composition that constitutes them, a method for producing a heat dissipation sheet, and a heat dissipation plate.
  • the object is to provide a manufacturing method.
  • thermosetting resin composition according to the present invention comprises an epoxy resin, a curing agent, an acrylic copolymer having a functional group in a side chain, boron nitride, and a filler, wherein the boron nitride
  • the average particle diameter (D50) of the filler is 7.0 ⁇ m or more and 60 ⁇ m or less
  • the average particle diameter (D50) of the filler is 0.5 ⁇ m or more and 5.0 ⁇ m or less
  • the volume ratio of the boron nitride is the heat It is 55% by volume or more and 70% by volume or less with respect to 100% by volume of the curable resin composition
  • the volume ratio of the filler is 0.3% by volume or more with respect to 100% by volume of the thermosetting resin composition. It is 0% by volume or less.
  • the filler is at least one selected from the group consisting of silica, alumina, boron nitride, magnesium oxide, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, zinc oxide, silicon nitride, silicon carbide, gallium nitride, and talc. may be composed of
  • the shape of the filler may be spherical.
  • the boron nitride may be composed of at least one selected from the group consisting of scale-shaped boron nitride and aggregated boron nitride in which a plurality of boron nitrides are aggregated.
  • the functional group may have at least one functional group selected from the group consisting of a carboxyl group, a hydroxyl group, and an epoxy group.
  • the heat dissipation sheet according to the present invention is composed of a resin layer, and the resin layer is composed of the thermosetting resin composition according to any one of [1] to [5].
  • the cured state of the resin layer may be a semi-cured state.
  • a heat sink according to the present invention includes a metal plate and a resin layer composed of the thermosetting resin composition according to any one of [1] to [5], A resin layer is laminated on at least one surface of the metal plate.
  • the cured state of the resin layer may be a semi-cured state.
  • a method for producing a heat-dissipating sheet according to the present invention comprises: a resin composition preparation step of preparing the thermosetting resin composition according to any one of [1] to [5]; It includes a coating step of coating a thermosetting resin composition and a heating step of heating the film coated with the thermosetting resin composition.
  • a method for manufacturing a heat sink according to the present invention comprises: a resin composition preparation step of preparing the thermosetting resin composition according to any one of [1] to [5]; It includes a coating step of coating the thermosetting resin composition and a heating step of heating the metal plate coated with the thermosetting resin composition.
  • thermosetting resin composition that constitutes them
  • a method for producing a heat dissipation sheet a method for producing a heat dissipation plate.
  • thermosetting resin composition The thermosetting resin composition of the embodiment is preferably used mainly as a resin composition that constitutes a heat dissipation sheet and a heat dissipation plate.
  • thermosetting resin composition of the embodiment contains an epoxy resin, a curing agent, an acrylic copolymer having a functional group on its side chain, boron nitride, and a filler.
  • the epoxy resin contained in the thermosetting resin composition of the embodiment has two or more epoxy groups in one molecule and an epoxy equivalent of 100 g/eq or more and 1000 g/eq, from the viewpoint of enhancing long-term withstand voltage characteristics after curing. It is preferably eq or less, and more preferably 150 g/eq or more and 300 g/eq or less.
  • epoxy resins include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, novolac type epoxy resin, amine type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, Resins, cresol novolak-type epoxy resins, naphthalene ring-containing epoxy resins, dicyclopentadiene-type epoxy resins, and the like.
  • epoxy resins include polyfunctional epoxy resins such as novolac epoxy resins, phenol novolac epoxy resins, and cresol novolac epoxy resins, alicyclic epoxy resins, and bisphenols.
  • Type A epoxy resins are preferred. It is preferable to use two or more epoxy resins.
  • the epoxy resin may be dissolved in an organic solvent in advance in order to facilitate mixing with other materials contained in the thermosetting resin composition.
  • the content of the epoxy resin is preferably 14 parts by weight or more and 23 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the thermosetting resin composition, from the viewpoint of improving the long-term withstand voltage characteristics after curing and the viewpoint of increasing the thermal conductivity. 14 parts by weight or more and 21 parts by weight or less is more preferable.
  • the parts by weight used in the embodiment means, for example, the weight of only the resin excluding volatile components such as organic solvents contained in the resin.
  • the curing agent cures the epoxy resin.
  • Curing agents include, for example, diaminodiphenylmethane (DDM), diaminodiphenylsulfone (DDS), diaminodiphenyl ether (DDE), hexamethylenediamine, dicyandiamide, phenol novolac type epoxy resins, and the like.
  • the curing agent is preferably dicyandiamide, preferably diaminodiphenylsulfone, from the viewpoint of ease of control of the curing reaction.
  • two or more curing agents may be used in combination.
  • the content of the curing agent is preferably 5 parts by weight or more and 40 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the epoxy resin, from the viewpoint of improving long-term withstand voltage characteristics after curing and improving heat resistance.
  • the equivalent weight of the curing agent is 0.3 equivalent or more and 0.8 equivalent or less with respect to 1 equivalent of the epoxy group contained in the epoxy resin. 3 equivalents or more and 0.6 equivalents or less are preferable.
  • acrylic copolymer having functional groups in side chains examples include acrylic acid ester copolymers having functional groups in side chains, and (meth)acrylic acid ester copolymers having functional groups in side chains. .
  • the acrylic ester copolymer having a functional group on the side chain and the (meth)acrylic ester copolymer having a functional group on the side chain may be composed of a single monomer, or may be composed of two or more kinds. may be composed of a monomer of Examples of monomers constituting these copolymers include acrylic acid ester monomers, carboxyl group-containing monomers, anhydrides of carboxyl group-containing monomers, amide group-containing monomers, aromatic vinyl monomers, monomers, cyano group-containing monomers, and the like.
  • acrylate monomers include alkyl acrylates such as methyl acrylate, ethyl acrylate, n-butyl acrylate, and 2-ethylhexyl acrylate; methyl (meth) acrylate, (meth) ) Ethyl acrylate, (meth) acrylate-n-butyl, (meth) acrylic acid alkyl esters such as 2-ethylhexyl (meth) acrylate; acrylate hydroxyalkyl esters such as hydroxyethyl acrylate; ) hydroxyalkyl (meth)acrylates such as hydroxyethyl acrylate; N,N-dimethylaminoalkyl acrylates such as N,N-dimethylaminomethyl acrylate; N,N-dimethylaminomethyl (meth)acrylates, etc. epoxy group-containing acrylic acid esters such as glycidyl acrylate; and epoxy group-containing (meth)acrylic acid
  • carboxyl group-containing monomers examples include acrylic acid, (meth)acrylic acid, fumaric acid, maleic acid, and maleic anhydride.
  • anhydrides of carboxyl group-containing monomers include anhydrides of acrylic acid, (meth)acrylic acid, fumaric acid, maleic acid, and maleic anhydride.
  • amide group-containing monomers examples include acrylamide.
  • aromatic vinyl monomers examples include styrene and methylstyrene.
  • cyano group-containing monomers examples include acrylonitrile.
  • the weight average molecular weight of the acrylic ester copolymer having a functional group on the side chain and the (meth)acrylic ester copolymer having a functional group on the side chain is 100,000 or more and 400,000 or less from the viewpoint of workability. It is preferably 150,000 or more and 300,000 or less.
  • the weight average molecular weight is a molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC) using standard polystyrene having an average molecular weight of about 500 to about 1,000,000.
  • the content of the acrylic copolymer having a functional group in its side chain is 10 parts by weight or more and 40 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the epoxy resin, from the viewpoint of enhancing long-term withstand voltage characteristics after curing. More than 30 parts by weight and less than 30 parts by weight are preferable.
  • the acrylic copolymer having functional groups in side chains has at least one functional group selected from the group consisting of carboxyl groups, hydroxyl groups, and epoxy groups.
  • the functional group is preferably a carboxyl group from the viewpoint of enhancing long-term withstand voltage characteristics after curing.
  • the acrylic copolymer having functional groups on side chains may have two or more functional groups.
  • the acid value is 3 KOHmg/g or more and 20 KOHmg/g or less, preferably 10 KOHmg/g or more and 20 KOHmg/g or less, from the viewpoint of enhancing long-term withstand voltage characteristics after curing.
  • the acid value is measured by a titration method with a 0.1N potassium hydroxide aqueous solution.
  • acrylic copolymers having functional groups in side chains include, for example, Noxtite (manufactured by Nippon Oil Seal Co., Ltd.), Nipol (registered trademark, manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd.), Vamac (registered trademark, DuPont). Co., Ltd.), Leocoat (manufactured by Toray Coatex Co., Ltd.), Paraclon (registered trademark, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), and the like.
  • the average particle size (D50) of boron nitride (BN) is 7.0 ⁇ m or more and 60 ⁇ m or less.
  • the average particle size (D50) of the scale-shaped boron nitride is preferably 7.0 ⁇ m or more and 15 ⁇ m or less from the viewpoint of improving dispersibility.
  • the average particle size (D50) of aggregated boron nitride is preferably 10 ⁇ m or more and 40 ⁇ m or less from the viewpoint of improving dispersibility.
  • the average particle size (D50) refers to the particle size when the particles with the smallest particle size are counted in the volume-based particle size distribution, and the cumulative total reaches 50% of the total volume. Particle size is measured by a dynamic light scattering method. Average particle size (D50) is also called median size.
  • the volume ratio of boron nitride is 55% by volume or more and 70% by volume or less with respect to 100% by volume of the thermosetting resin composition, from the viewpoint of increasing thermal conductivity and maintaining a high dielectric breakdown voltage. It is preferably vol % or more and 65 vol % or less.
  • Boron nitride is at least one selected from the group consisting of scale-shaped boron nitride and aggregated boron nitride in which a plurality of boron nitrides are aggregated, from the viewpoint of increasing thermal conductivity and maintaining a high dielectric breakdown voltage. It preferably consists of seeds. Boron nitride is preferably agglomerated boron nitride from the viewpoint of having excellent thermal conductivity. Boron nitride may be composed of two or more boron nitrides.
  • the average particle diameter (D50) of the filler is 0.5 ⁇ m or more and 5.0 ⁇ m or less, preferably 0.5 ⁇ m or more and 3.0 ⁇ m or less, from the viewpoint of maintaining a high dielectric breakdown voltage.
  • the volume ratio of the filler is preferably 0.3% by volume or more and 2.0% by volume or less with respect to 100% by volume of the thermosetting resin composition, and 0.5 volume % or more and 1.5 volume % or less.
  • the filler has insulating properties and is at least one selected from the group consisting of silica, alumina, boron nitride, magnesium oxide, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, zinc oxide, silicon nitride, silicon carbide, gallium nitride, and talc. consists of
  • the filler is preferably silica having a low dielectric constant from the viewpoint of enhancing long-term withstand voltage characteristics after curing.
  • the filler may be composed of two or more fillers.
  • the filler has a spherical shape. As a result, when a voltage is applied to the thermosetting resin composition after curing, concentration of an electric field on the filler is suppressed, and dielectric breakdown is less likely to occur in the thermosetting resin composition after curing.
  • thermosetting resin composition of the embodiment may further contain other additives.
  • Other additives include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, N-benzyl-2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, etc.
  • Imidazole-based curing accelerators Lewis acid complex-based curing accelerators such as boron trifluoride monoethylamine and boron trifluoride diethylamine; A coupling agent etc. are mentioned.
  • thermosetting resin composition of the embodiment is obtained by mixing the above materials.
  • An organic solvent may be added when preparing the thermosetting resin composition of the embodiment.
  • a heat dissipation sheet composed of the thermosetting resin composition of the embodiment will be described.
  • the heat dissipation sheet of the embodiment is composed of a resin layer.
  • the resin layer is composed of the thermosetting resin composition of the embodiment.
  • the thickness of the heat dissipation sheet of the embodiment is 100 ⁇ m or more and 500 ⁇ m or less.
  • thermosetting resin composition is prepared by adding predetermined amounts of an epoxy resin, a curing agent, an acrylic copolymer having a functional group on a side chain, boron nitride, a filler, and an organic solvent to a container.
  • a coating device is used to apply the thermosetting resin composition to the film (coating step).
  • the film coated with the thermosetting resin composition is heated to cure the thermosetting resin composition to a semi-cured state (heating step).
  • a heat-dissipating sheet is obtained in which a resin layer composed of a thermosetting resin composition is formed on the film.
  • the heating conditions are from 100° C.
  • thermosetting resin composition a state in which the curing reaction of the thermosetting resin composition has progressed halfway.
  • semi-cured state is also called B stage.
  • the thickness of the film used when producing the heat dissipation sheet of the embodiment is 25 ⁇ m or more and 100 ⁇ m or less.
  • the thickness of the film is determined according to the thickness of the resin layer.
  • film materials include polyethylene, polypropylene, polyimide, polyamide, polyethylene naphthalate, and polyethylene terephthalate.
  • Treatment agents for release treatment include, for example, silicone-based treatment agents and fluorine-based treatment agents.
  • the heat dissipation sheet may have a configuration in which resin layers are provided on both sides of the film.
  • resin layers examples include polyimide, polyamide, polyethylene naphthalate, and the like.
  • the heat dissipation sheet may be a prepreg in which a base material such as a woven fabric or nonwoven fabric is impregnated with the thermosetting resin composition of the embodiment.
  • prepreg refers to a composite material in which a substrate such as a woven fabric or nonwoven fabric is impregnated with a resin composition.
  • the cured state of the resin composition is B stage.
  • a prepreg is produced, for example, by the following procedure.
  • a non-woven fabric made of glass fibers or a fabric made by weaving glass yarns and a thermosetting resin composition are prepared.
  • a nonwoven or woven fabric is impregnated with a thermosetting resin composition.
  • the nonwoven fabric or fabric impregnated with the thermosetting resin composition is heated until the curing state of the thermosetting resin composition reaches the B stage. After that, it is cooled to obtain a prepreg.
  • thermosetting resin composition of the embodiment The heat-dissipating sheet composed of the thermosetting resin composition of the embodiment has been described above. Next, a radiator plate using the thermosetting resin composition of the embodiment will be described.
  • the radiator plate of the embodiment includes a metal plate and a resin layer made of the thermosetting resin composition of the embodiment.
  • the resin layer is laminated on at least one surface of the metal plate.
  • the thickness of the resin layer should be 60 ⁇ m or more and 400 ⁇ m or less, and 120 ⁇ m or more and 200 ⁇ m or less, from the viewpoint of maintaining the heat dissipation property of the heat dissipation plate and from the viewpoint of maintaining the insulation between the metal plate constituting the heat dissipation plate and the substrate. is preferred.
  • the metal plate is preferably made of a metal with high thermal conductivity.
  • Metals with high thermal conductivity include, for example, copper, aluminum, stainless steel, and the like. Among these, copper and aluminum are preferred because of their excellent workability and high thermal conductivity.
  • the thickness of the metal plate is 9 ⁇ m or more and 500 ⁇ m or less, preferably 12 ⁇ m or more and 120 ⁇ m or less.
  • a heat sink may be used instead of the metal plate.
  • the heat sink is provided with a plurality of fins on one side of the base plate.
  • the base plate is composed of a metal plate.
  • the thickness of the base plate is 0.3 mm or more and 50 mm or less.
  • a fin consists of a plate or a bar.
  • the height of the fins is 1 mm or more and 100 mm or less.
  • the plate-shaped fins have a thickness of 0.2 mm or more and 9 mm or less, and are thinner than the base plate. Also, the size of the plate-like fins is smaller than that of the base plate.
  • the rod-shaped fins have, for example, a square or circular cross section in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the fins.
  • a heat sink with a resin layer has a resin layer laminated on the surface opposite to the surface on which the fins are provided.
  • the entire surface of the fins may be covered with the thermosetting resin composition of the embodiment, or only part of the surface of the fins may be covered with the thermosetting resin composition of the embodiment. good.
  • the heat sink of the embodiment is produced, for example, by the following procedure.
  • a copper foil is prepared as the metal plate.
  • predetermined amounts of an epoxy resin, a curing agent, an acrylic copolymer having a functional group on a side chain, boron nitride, a filler, and an organic solvent are added to a container to form a thermosetting resin composition.
  • the thermosetting resin composition is applied to the prepared copper foil using a coating device (coating step).
  • the copper foil coated with the thermosetting resin composition is heated until the cured state of the thermosetting resin composition reaches the B stage (heating step).
  • a heat sink is obtained in which a resin layer composed of a thermosetting resin composition is formed on one side of the copper foil.
  • the heating conditions are from 100° C. to 250° C. and from 5 seconds to 30 minutes. The heating conditions can be adjusted according to the thickness of the applied resin composition.
  • Examples of the organic solvent used for producing the heat dissipation sheet of the embodiment and the heat dissipation plate of the embodiment include alcohols such as methanol and ethanol; glycols such as ethylene glycol and propylene glycol; ethylene glycol monomethyl ether; Glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monoethyl ether; Glycol dialkyl ethers such as ethylene glycol dimethyl ether and ethylene glycol diethyl ether; Alkyl esters such as methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate and methyl acetoacetate; Acetone, methyl ethyl ketone, methyl Ketones such as isobutyl ketone and cyclohexanone; Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene and ethylbenzene; Aliphatic hydrocarbons such as hexane, cyclohexane and o
  • a known coater can be used as a coating device used when manufacturing the heat-dissipating sheet of the embodiment and the heat-dissipating plate of the embodiment.
  • Examples of the coater include a die coater and a comma coater.
  • the radiator plate using the thermosetting resin composition of the embodiment has been described above.
  • boron nitride (1) DF-10N: aggregated boron nitride, average particle size (D50) 15 ⁇ m, manufactured by Tokuyama Corporation, (2) HP-40MF100: aggregated boron nitride, average particle size (D50) 40 ⁇ m, manufactured by Mizushima Ferroalloy Co., Ltd., (3) S-03: Scale-shaped boron nitride, average particle size (D50) 7 ⁇ m, manufactured by Tokuyama.
  • S0-C2 spherical silica, average particle size (D50) 0.5 ⁇ m, manufactured by Admatechs
  • YC100C-LHH spherical silica, average particle size (D50) 0.1 ⁇ m, manufactured by Admatechs
  • S0-C5 spherical silica, average particle size (D50) 1.5 ⁇ m, manufactured by Admatechs
  • FB-3SDC spherical silica, average particle size (D50) 3.0 ⁇ m, manufactured by Denka
  • FB-7SDC spherical silica, average particle size (D50) 5.0 ⁇ m, manufactured by Denka
  • FB-105FD spherical silica, average particle size (D50) 11.0 ⁇ m, manufactured by Denka
  • AO-502 spherical alumina, average particle size (D50) 0.2 ⁇ m, manufactured by Admatechs
  • thermosetting resin that will be a resin layer is applied to the release treated surface of a 50 ⁇ m thick release PET (polyethylene terephthalate) film (manufactured by Unitika, TR). The composition was applied to a thickness of 180 ⁇ m after drying. Next, the thermosetting resin composition was heated at 120° C. for 10 minutes until it reached a semi-cured state (B stage). After cooling, a heat-dissipating sheet was obtained.
  • the rolled copper foil was etched into a circular shape with a diameter of 20 mm, washed with water, and dried to obtain a sample for measurement.
  • the rolled copper foil was laminated on the heat dissipation sheet so that the rough surface of the rolled copper foil was in contact with the heat dissipation sheet.
  • the evaluation criteria were as follows. Excellent: Insulation retention time is 100 hours or more, Good: Insulation retention time is 50 hours or more and less than 100 hours, Poor: Insulation retention time is less than 50 hours.
  • a measurement sample that can secure an insulation retention time of 100 hours or more under the above test conditions has long-term withstand voltage characteristics sufficient to maintain insulation under the conditions of 150° C., 1 kV, and 10 years.
  • thermosetting resin composition was applied so as to Next, the thermosetting resin composition was heated at 120° C. for 10 minutes until it reached a semi-cured state (B stage). After cooling, a heat-dissipating sheet composed of a resin layer was obtained. A total of two heat dissipation sheets were produced in the same manner.
  • thermo diffusion coefficient ( ⁇ ) The thermal diffusion coefficient ( ⁇ ) is measured by using the laser flash method, irradiating one side of the measurement sample with pulsed light to heat it, and changing the temperature on the other side. was measured. The measurement was performed at 25° C. using LFA447 manufactured by NETZSCH. The analysis method adopted the half-time method.
  • the evaluation criteria were as follows. Good: 6 W / (m K) or more, Poor: less than 6 W/(m ⁇ K).
  • Measurement sample The measurement sample prepared in ⁇ Long-term withstand voltage characteristics> was used.
  • Example 1 90 parts by weight of JER152 and 10 parts by weight of JER828 were added to the container to make the total weight part of the epoxy resin 100 parts by weight. To this, 26.85 parts by weight of Seika Cure S, 0.3 parts by weight of BF3-MEA, 15 parts by weight of 1HY-2002M, 338.0 parts by weight of DF-10N (100% by volume of thermosetting resin composition 55% by weight of the thermosetting resin composition), 1.8 parts by weight of S0-C2 (0.4% by weight with respect to 100% by weight of the thermosetting resin composition), and 200 parts by weight of methyl ethyl ketone as an organic solvent. After that, they were stirred at room temperature to obtain a thermosetting resin composition.
  • thermosetting resin composition was obtained by changing the type and content of each component in the same manner as in Example 1.
  • the unit of content in the table indicates "parts by weight" unless otherwise specified.
  • Table 1 shows the evaluation results of the long-term withstand voltage characteristics, thermal conductivity, and dielectric breakdown voltage of the heat dissipation sheet when the volume ratio (% by volume) of the filler in the thermosetting resin composition is changed. . As shown in Examples 1 to 5, the long-term withstand voltage characteristics showed good evaluation results when the volume ratio (% by volume) of the filler was 0.3% by volume or more and 2.0% by volume or less. . In addition, good evaluation results were obtained for thermal conductivity and dielectric breakdown voltage.
  • Table 2 shows the evaluation results of the long-term withstand voltage characteristics, thermal conductivity, and dielectric breakdown voltage of the heat dissipation sheet when the type of boron nitride and the amount of filler are changed. As shown in Examples 6 to 8, regardless of the type of boron nitride, the long-term withstand voltage characteristics showed good evaluation results due to the inclusion of a filler in the thermosetting resin composition. . In addition, good evaluation results were obtained for thermal conductivity and dielectric breakdown voltage.
  • Tables 3A and 3B show the evaluation results of long-term withstand voltage characteristics, thermal conductivity, and dielectric breakdown voltage of the heat dissipation sheet when the amount of boron nitride and the amount of filler are changed.
  • the long-term withstand voltage characteristics are such that the volume ratio (% by volume) of boron nitride is 55% by volume or more and 70% by volume or less, and the thermosetting resin composition contains a filler.
  • Good evaluation results were obtained by In addition, good evaluation results were obtained for thermal conductivity and dielectric breakdown voltage.
  • Table 4 shows the evaluation results of the long-term withstand voltage characteristics, thermal conductivity, and dielectric breakdown voltage of the heat dissipation sheet when the shape of the filler is spherical. As shown in Examples 12 and 13, the long-term withstand voltage characteristics showed good evaluation results due to the spherical filler contained in the thermosetting resin composition. In addition, good evaluation results were obtained for thermal conductivity and dielectric breakdown voltage.
  • Table 5 shows the evaluation results of the long-term withstand voltage characteristics, thermal conductivity, and dielectric breakdown voltage of the heat dissipation sheet when the average particle size (D50) of the filler is changed.
  • the long-term withstand voltage characteristics were improved by the average particle diameter (D50) of the filler contained in the thermosetting resin composition being 0.5 ⁇ m or more and 5.0 ⁇ m or less.
  • a good evaluation result was shown.
  • good evaluation results were obtained for thermal conductivity and dielectric breakdown voltage.
  • Table 6 shows the long-term withstand voltage characteristics, thermal conductivity, and dielectric breakdown voltage of the heat dissipation sheet, depending on the presence or absence of the epoxy resin, the presence or absence of the curing accelerator, and the difference in the functional group of the acrylic copolymer. Evaluation results are shown. Moreover, Table 6 shows the evaluation results of long-term withstand voltage characteristics, thermal conductivity, and dielectric breakdown voltage of heat dissipation sheets when nano BN (boron nitride) is used as a filler.
  • nano BN boron nitride
  • Example 18 regardless of the presence or absence of the curing accelerator, the long-term withstand voltage characteristics showed good evaluation results. In addition, good evaluation results were obtained for thermal conductivity and dielectric breakdown voltage.
  • Example 19 the use of nano-BN (boron nitride) as a filler also showed good long-term withstand voltage characteristics. In addition, good evaluation results were obtained for thermal conductivity and dielectric breakdown voltage.
  • nano-BN boron nitride
  • Example 1 and Comparative Example 18 in Table 1 are compared, the long-term withstand voltage characteristics and thermal conductivity of Example 1 are evaluated as good by including an epoxy resin in the thermosetting resin composition. showed the results. Also, the dielectric breakdown voltage showed good evaluation results.
  • the heat dissipation sheets of Examples 1 to 21 were excellent in long-term withstand voltage characteristics, thermal conductivity, and dielectric breakdown voltage.
  • the heat dissipation sheet and heat dissipation plate composed of the thermosetting resin composition of the embodiment are excellent in heat dissipation and long-term withstand voltage characteristics.

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Abstract

熱硬化性樹脂組成物は、エポキシ樹脂と、硬化剤と、官能基を側鎖に有するアクリル系共重合体と、窒化ホウ素と、フィラーとを含む。窒化ホウ素の平均粒子径(D50)は、7.0μm以上60μm以下である。フィラーの平均粒子径(D50)は、0.5μm以上5.0μm以下である。窒化ホウ素の体積割合は、熱硬化性樹脂組成物100体積%に対して55体積%以上70体積%以下である。フィラーの体積割合は、熱硬化性樹脂組成物100体積%に対して0.3体積%以上2.0体積%以下である。

Description

熱硬化性樹脂組成物、放熱シート、放熱板、放熱シートの製造方法、及び放熱板の製造方法
 本発明は、熱硬化性樹脂組成物、放熱シート、放熱板、放熱シートの製造方法、及び放熱板の製造方法に関する。
 ICチップ、トランジスタ等の電子部品が多数搭載された装置を駆動すると、電子部品から多くの熱が発生する。このとき、放熱が十分でない場合、熱の影響で電子部品の機能が低下し、装置に誤作動を生じる。効率よく放熱するために、電子部品が設置されている基板は、絶縁性を有する放熱シートを介して、熱伝導率が高い金属製の放熱板を備える。
 特許文献1及び特許文献2には、絶縁性を有する放熱シート、及びこの放熱シートを構成する熱伝導性樹脂組成物が開示されている。
特開2017-25186号公報 特開2014-193965号公報
 特許文献1及び特許文献2に記載の放熱シートは、放熱性に優れるものの、高い電圧が印加されると絶縁破壊を生じやすい。このため、例えば、電気自動車に搭載されるパワー半導体と共に用いられる長期耐電圧特性を有する放熱シートとして、このような放熱シートを使用することは難しい。なお、長期耐電圧特性とは、長期間一定の電圧が印加されても絶縁破壊が生じ難い特性をいう。この特性の評価は、例えば、150℃、1kV、10年の条件で行う。
 本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、放熱性及び長期耐電圧特性に優れる放熱シート及び放熱板、これらを構成する熱硬化性樹脂組成物、放熱シートの製造方法、及び放熱板の製造方法を提供することを目的とする。
 本発明は以下のとおりである。
 [1]本発明に係る熱硬化性樹脂組成物は、エポキシ樹脂と、硬化剤と、官能基を側鎖に有するアクリル系共重合体と、窒化ホウ素と、フィラーと、を含み、前記窒化ホウ素の平均粒子径(D50)は、7.0μm以上60μm以下であり、前記フィラーの平均粒子径(D50)は、0.5μm以上5.0μm以下であり、前記窒化ホウ素の体積割合は、前記熱硬化性樹脂組成物100体積%に対して55体積%以上70体積%以下であり、前記フィラーの体積割合は、前記熱硬化性樹脂組成物100体積%に対して0.3体積%以上2.0体積%以下である。
 また、[2]前記フィラーは、シリカ、アルミナ、窒化ホウ素、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、酸化亜鉛、窒化ケイ素、炭化ケイ素、窒化ガリウム、及びタルクからなる群から選ばれる少なくとも1種から構成される、ようにしてもよい。
 また、[3]前記フィラーの形状は、球状である、ようにしてもよい。
 また、[4]前記窒化ホウ素は、鱗片形状を有する窒化ホウ素、及び複数の窒化ホウ素が凝集している凝集窒化ホウ素からなる群から選ばれる少なくとも1種から構成される、ようにしてもよい。
 また、[5]前記官能基は、カルボキシル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群から選ばれる少なくとも1種の官能基を有する、ようにしてもよい。
 また、[6]本発明に係る放熱シートは、樹脂層から構成され、前記樹脂層は[1]から[5]のいずれか1つに記載の熱硬化性樹脂組成物から構成されている。
 また、[7]前記樹脂層の硬化状態は、半硬化状態である、ようにしてもよい。
 また、[8]本発明に係る放熱板は、金属板と、[1]から[5]のいずれか1つに記載の熱硬化性樹脂組成物から構成される樹脂層と、を備え、前記樹脂層は前記金属板の少なくとも一方の面に積層されている。
 また、[9]前記樹脂層の硬化状態は、半硬化状態である、ようにしてもよい。
 また、[10]本発明に係る放熱シートの製造方法は、[1]から[5]のいずれか1つに記載の熱硬化性樹脂組成物を調製する樹脂組成物調製工程と、フィルムに前記熱硬化性樹脂組成物を塗布する塗布工程と、前記熱硬化性樹脂組成物が塗布された前記フィルムを加熱する加熱工程と、を含む。
 また、[11]本発明に係る放熱板の製造方法は、[1]から[5]のいずれか1つに記載の熱硬化性樹脂組成物を調製する樹脂組成物調製工程と、金属板に前記熱硬化性樹脂組成物を塗布する塗布工程と、前記熱硬化性樹脂組成物が塗布された前記金属板を加熱する加熱工程と、を含む。
 本発明によれば、放熱性及び長期耐電圧特性に優れる放熱シート及び放熱板、これらを構成する熱硬化性樹脂組成物、放熱シートの製造方法、及び放熱板の製造方法を提供することができる。
 以下、本発明を実施するための形態(以下、実施形態という。)について詳細に説明する。以下の実施形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明を以下の内容に限定する趣旨ではない。本発明は、その要旨の範囲内で適宜に変形して実施できる。
 [熱硬化性樹脂組成物]
 実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、主に、放熱シート及び放熱板を構成する樹脂組成物として好適に用いられる。
 実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、エポキシ樹脂と、硬化剤と、官能基を側鎖に有するアクリル系共重合体と、窒化ホウ素と、フィラーと、を含む。
 (エポキシ樹脂)
 実施形態の熱硬化性樹脂組成物に含まれるエポキシ樹脂は、硬化後の長期耐電圧特性を高める観点から、一分子中にエポキシ基を2つ以上有し、エポキシ当量が100g/eq以上1000g/eq以下であることが好ましく、150g/eq以上300g/eq以下であることがより好ましい。
 エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、アミン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン環含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂等が挙げられる。
 エポキシ樹脂は、硬化後の長期耐電圧特性を高める観点から、例えば、ノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等の多官能型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、及びビスフェノールA型エポキシ樹脂が好ましい。エポキシ樹脂は、2種以上のエポキシ樹脂を用いることが好ましい。また、エポキシ樹脂は、熱硬化性樹脂組成物に含まれる他の材料との混合を容易にするために、予め有機溶剤で溶解されていてもよい。
 エポキシ樹脂の含有量は、硬化後の長期耐電圧特性を高める観点及び熱伝導率を上げる観点から、熱硬化性樹脂組成物100重量部に対して、14重量部以上23重量部以下が好ましく、14重量部以上21重量部以下がより好ましい。ここで、実施形態で使用する重量部とは、例えば、樹脂中に含まれる有機溶剤のような揮発成分を除いた樹脂のみの重さをいう。
 (硬化剤)
 硬化剤は、エポキシ樹脂を硬化させる。硬化剤としては、例えば、ジアミノジフェニルメタン(DDM)、ジアミノジフェニルスルフォン(DDS)、ジアミノジフェニルエーテル(DDE)、ヘキサメチレンジアミン、ジシアンジアミド、フェノールノボラック型エポキシ樹脂等が挙げられる。硬化剤は、硬化反応の制御のし易さの観点から、ジシアンジアミドが好ましく、ジアミノジフェニルスルフォンが好ましい。また、硬化剤は、2種以上の硬化剤を併用してもよい。
 硬化剤の含有量は、硬化後の長期耐電圧特性を高める観点及び耐熱性を向上させる観点から、エポキシ樹脂100重量部に対して、5重量部以上40重量部以下が好ましい。
 硬化剤の当量は、エポキシ樹脂に含まれるエポキシ基1当量に対して、0.3当量以上0.8当量以下であり、長期耐電圧特性を高める観点及び耐熱性を向上させる観点から、0.3当量以上0.6当量以下が好ましい。
 (官能基を側鎖に有するアクリル系共重合体)
 官能基を側鎖に有するアクリル系共重合体としては、官能基を側鎖に有するアクリル酸エステル共重合体、及び、官能基を側鎖に有する(メタ)アクリル酸エステル共重合体が挙げられる。
 官能基を側鎖に有するアクリル酸エステル共重合体、及び、官能基を側鎖に有する(メタ)アクリル酸エステル共重合体は、単独の単量体から構成されてもよいし、2種以上の単量体から構成されてもよい。これら共重合体を構成する単量体としては、例えば、アクリル酸エステル単量体、カルボキシル基含有単量体、カルボキシル基含有単量体の無水物、アミド基含有単量体、芳香族ビニル単量体、シアノ基含有単量体等が挙げられる。
 アクリル酸エステル単量体としては、例えば、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸-n-ブチル、アクリル酸-2-エチルへキシル等のアクリル酸アルキルエステル;(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸-n-ブチル、(メタ)アクリル酸-2-エチルへキシル等の(メタ)アクリル酸アルキルエステル;アクリル酸ヒドロキシエチル等のアクリル酸ヒドロキシアルキルエステル;(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチル等の(メタ)アクリル酸ヒドロキシアルキルエステル;アクリル酸N,N-ジメチルアミノメチル等のアクリル酸N,N-ジメチルアミノアルキル;(メタ)アクリル酸N,N-ジメチルアミノメチル等の(メタ)アクリル酸N,N-ジメチルアミノアルキル;アクリル酸グリシジル等のエポキシ基含有アクリル酸エステル;(メタ)アクリル酸グリシジル等のエポキシ基含有(メタ)アクリル酸エステルが挙げられる。
 カルボキシル基含有単量体としては、例えば、アクリル酸、(メタ)アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸等が挙げられる。
 カルボキシル基含有単量体の無水物としては、例えば、アクリル酸、(メタ)アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸の無水物が挙げられる。
 アミド基含有単量体としては、例えば、アクリルアミドが挙げられる。
 芳香族ビニル単量体としては、例えば、スチレン、及びメチルスチレンが挙げられる。
 シアノ基含有単量体としては、例えば、アクリロニトリルが挙げられる。
 官能基を側鎖に有するアクリル酸エステル共重合体、及び、官能基を側鎖に有する(メタ)アクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量は、加工性の観点から10万以上40万以下であり、15万以上30万以下であることが好ましい。ここで、重量平均分子量は、平均分子量が約500以上約100万以下の標準ポリスチレンを用いて、ゲル浸透クロマトグラフィー(Gel Permeation Chromatography:GPC)により測定した分子量である。
 官能基を側鎖に有するアクリル系共重合体の含有量は、硬化後の長期耐電圧特性を高める観点から、エポキシ樹脂100重量部に対して、10重量部以上40重量部以下であり、10重量部以上30重量部以下が好ましい。
 官能基を側鎖に有するアクリル系共重合体は、カルボキシル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群から選ばれる少なくとも1種の官能基を有する。官能基は、硬化後の長期耐電圧特性を高める観点から、カルボキシル基であることが好ましい。官能基を側鎖に有するアクリル系共重合体は、2種以上の官能基を有してもよい。
 官能基が例えばカルボキシル基である場合、酸価は、硬化後の長期耐電圧特性を高める観点から、3KOHmg/g以上20KOHmg/g以下であり、10KOHmg/g以上20KOHmg/g以下が好ましい。酸価は、0.1Nの水酸化カリウム水溶液による滴定法により測定したものである。
 官能基を側鎖に有するアクリル系共重合体の市販品としては、例えば、ノックスタイト(日本オイルシール社製)、ニポール(登録商標、日本ゼオン社製)、ベイマック(Vamac)(登録商標、デュポン社製)、レオコート(東レコーテックス社製)、パラクロン(登録商標、新中村化学社製)等が挙げられる。
 (窒化ホウ素)
 窒化ホウ素(BN)の平均粒子径(D50)は、7.0μm以上60μm以下である。鱗片形状を有する窒化ホウ素の平均粒子径(D50)は、分散性を良好にする観点から、7.0μm以上15μm以下であることが好ましい。凝集窒化ホウ素の平均粒子径(D50)は、分散性を良好にする観点から、10μm以上40μm以下であることが好ましい。
 ここで、平均粒子径(D50)とは、体積基準の粒度分布において、粒子径の小さい粒子からカウントし、その積算が全体積の50%になったときの粒子径をいう。粒子径は、動的光散乱法により測定される。平均粒子径(D50)は、メディアン径とも呼ばれる。
 窒化ホウ素の体積割合は、熱伝導率を高くする観点及び高い絶縁破壊電圧を維持する観点から、熱硬化性樹脂組成物100体積%に対して、55体積%以上70体積%以下であり、55体積%以上65体積%以下であることが好ましい。
 窒化ホウ素は、熱伝導率を高める観点及び高い絶縁破壊電圧を維持する観点から、鱗片形状を有する窒化ホウ素、及び、複数の窒化ホウ素が凝集している凝集窒化ホウ素からなる群から選ばれる少なくとも1種から構成されることが好ましい。窒化ホウ素は、優れた熱伝導率を有する観点から、凝集窒化ホウ素であることが好ましい。窒化ホウ素は、2種以上の窒化ホウ素から構成されてもよい。
 (フィラー)
 フィラーの平均粒子径(D50)は、高い絶縁破壊電圧を維持する観点から、0.5μm以上5.0μm以下であり、0.5μm以上3.0μm以下であることが好ましい。
 フィラーの体積割合は、高い絶縁破壊電圧を維持する観点から、熱硬化性樹脂組成物100体積%に対して0.3体積%以上2.0体積%以下であることが好ましく、0.5体積%以上1.5体積%以下であることがより好ましい。
 フィラーは、絶縁性を有し、シリカ、アルミナ、窒化ホウ素、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、酸化亜鉛、窒化ケイ素、炭化ケイ素、窒化ガリウム、及びタルクからなる群から選ばれる少なくとも1種から構成される。フィラーは、硬化後の長期耐電圧特性を高める観点から、誘電率が低いシリカであることが好ましい。フィラーは、2種以上のフィラーから構成されていてもよい。
 フィラーは、球状の形状を有する。これにより、硬化後の熱硬化性樹脂組成物に電圧が印加された場合において、フィラーへの電界の集中が抑えられ、硬化後の熱硬化性樹脂組成物は絶縁破壊を起こし難い。
 (その他成分)
 実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、他の添加剤を更に含有してもよい。他の添加剤としては、2-メチルイミダゾール、2-ウンデシルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、N-ベンジル-2-メチルイミダゾール、2-ウンデシルイミダゾール等のイミダゾール系硬化促進剤;三フッ化ホウ素モノエチルアミン、三フッ化ホウ素ジエチルアミン等のルイス酸錯体系硬化促進剤;ポリアミン、メラミン樹脂等の硬化促進剤、分散剤、軟化剤、熱老化防止剤、シランカップリング剤等が挙げられる。
 以上、実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、上述した材料を混ぜ合わせることで得られる。実施形態の熱硬化性樹脂組成物を調製する際に有機溶剤を加えてもよい。次に、実施形態の熱硬化性樹脂組成物から構成される放熱シートについて説明する。
 [放熱シート]
 実施形態の放熱シートは、樹脂層から構成される。樹脂層は実施形態の熱硬化性樹脂組成物から構成される。
 実施形態の放熱シートの厚さは、100μm以上500μm以下である。
 実施形態の放熱シートは、例えば、以下の手順で作製される。容器に、エポキシ樹脂と、硬化剤と、官能基を側鎖に有するアクリル系共重合体と、窒化ホウ素と、フィラーと、有機溶剤と、を所定量加えて熱硬化性樹脂組成物を調製する(樹脂組成物調製工程)。塗布装置を用いて、フィルムにその熱硬化性樹脂組成物を塗布する(塗布工程)。次に、熱硬化性樹脂組成物が塗布されたフィルムを加熱し、熱硬化性樹脂組成物を半硬化状態まで硬化させる(加熱工程)。冷却後、フィルム上に熱硬化性樹脂組成物から構成される樹脂層が形成された放熱シートを得る。加熱条件は、100℃以上250℃以下、5秒以上30分以下である。加熱条件は、塗布した熱硬化性樹脂組成物の厚さに応じて調整してもよい。得られた放熱シートは、使用時にフィルムを剥がして使用する。ここで、半硬化状態とは、熱硬化性樹脂組成物の硬化反応が途中まで進んでいる状態をいう。半硬化状態は、Bステージともいう。
 実施形態の放熱シートを作製する際に使用するフィルムの厚さは、25μm以上100μm以下である。フィルムの厚さは、樹脂層の厚さに応じて決定される。フィルムの材質としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイミド、ポリアミド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート等が挙げられる。
 フィルムを剥がれやすくする観点から、フィルムの表面に離型処理が施されていてもよい。離型処理の処理剤としては、例えば、シリコーン系の処理剤、フッ素系の処理剤が挙げられる。
 剛性や電気絶縁信頼性を高める観点から、放熱シートはフィルムの両面に樹脂層が設けられた構成を有してもよい。このフィルムの材質としては、例えば、ポリイミド、ポリアミド、ポリエチレンナフタレート等が挙げられる。
 また、剛性を高める観点から、放熱シートは、織物又は不織布等の基材に、実施形態の熱硬化性樹脂組成物が含浸されているプリプレグであってもよい。ここで、プリプレグとは、織物又は不織布等の基材に樹脂組成物が含浸された複合材料をいう。その樹脂組成物の硬化状態はBステージである。
 プリプレグは、例えば、以下の手順で作製される。ガラス繊維から構成される不織布、又はガラス糸を織成してなる織物、及び熱硬化性樹脂組成物を準備する。不織布又は織物に熱硬化性樹脂組成物を含浸させる。その後、熱硬化性樹脂組成物の硬化状態がBステージになるまで、熱硬化性樹脂組成物を含浸させた不織布又は織物を加熱する。その後、冷却してプリプレグを得る。
 以上、実施形態の熱硬化性樹脂組成物から構成される放熱シートについて説明した。次に、実施形態の熱硬化性樹脂組成物を用いた放熱板について説明する。
 [放熱板]
 実施形態の放熱板は、金属板と、実施形態の熱硬化性樹脂組成物から構成される樹脂層と、を備える。樹脂層は金属板の少なくとも一方の面に積層されている。
 樹脂層の厚さは、放熱板の放熱性を維持する観点及び放熱板を構成する金属板と基板との間の絶縁を保つ観点から、60μm以上400μm以下であり、120μm以上200μm以下であることが好ましい。
 金属板は、装置に搭載された電子部品から発生する熱を効率よく放熱する観点から、高い熱伝導率を有する金属から構成されていることが好ましい。高い熱伝導率を有する金属としては、例えば、銅、アルミニウム、ステンレス鋼等が挙げられる。これらの中でも、加工性に優れ、高い熱伝導率を有する銅及びアルミニウムが好ましい。
 金属板の厚さは、加工性の観点から、9μm以上500μm以下であり、12μm以上120μm以下が好ましい。
 金属板に代えて、ヒートシンクを用いてもよい。ヒートシンクは、ベース板の一方の面に複数のフィンが備え付けられている。ベース板は、金属板から構成される。ベース板の厚さは、0.3mm以上50mm以下である。フィンは、板や棒から構成される。フィンの高さは、1mm以上100mm以下である。板状のフィンの厚さは、0.2mm以上9mm以下であり、ベース板よりも薄い。また、板状のフィンの大きさはベース板より小さい。棒状のフィンは、フィンの長手方向と直交する方向における断面の形が、例えば四角又は円である。
 樹脂層を備えるヒートシンクは、フィンが設けられている面と反対の面に樹脂層が積層されている。なお、ヒートシンクは、フィンの表面全てが実施形態の熱硬化性樹脂組成物で覆われていてもよいし、フィンの表面の一部だけ実施形態の熱硬化性樹脂組成物で覆われていてもよい。
 実施形態の放熱板は、例えば、以下の手順で作製される。金属板として銅箔を準備する。次に、容器に、エポキシ樹脂と、硬化剤と、官能基を側鎖に有するアクリル系共重合体と、窒化ホウ素と、フィラーと、有機溶剤と、を所定量加えて熱硬化性樹脂組成物を調製する(樹脂組成物調製工程)。塗布装置を用いて、準備した銅箔にその熱硬化性樹脂組成物を塗布する(塗布工程)。次に、その熱硬化性樹脂組成物の硬化状態がBステージになるまで、その熱硬化性樹脂組成物が塗布された銅箔を加熱する(加熱工程)。冷却後、熱硬化性樹脂組成物から構成される樹脂層が銅箔の片面に形成されている放熱板を得る。加熱条件は、100℃以上250℃以下、5秒以上30分以下である。加熱条件は、塗布した樹脂組成物の厚さにより調整することができる。
 実施形態の放熱シート、及び、実施形態の放熱板を作製する際に使用する有機溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール等のアルコール類;エチレングリコール、プロピレングリコール等のグリコール類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールモノアルキルエーテル類;エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル等のグリコールジアルキルエーテル;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、アセト酢酸メチル等のアルキルエステル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;ヘキサン、シクロヘキサン、オクタン等の脂肪族炭化水素類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N-メチルピロリドン等のアミド類;テトラヒドロフラン、ジオキサン等の環状エーテル類等が挙げられる。
 実施形態の放熱シート、及び、実施形態の放熱板を作製する際に使用する塗布装置は、公知のコータを用いることができる。コータとしては、例えば、ダイコータ、コンマコータ等が挙げられる。
 以上、実施形態の熱硬化性樹脂組成物を用いた放熱板について説明した。
 以下の実施例により本発明を更に詳しく説明する。本発明は以下の実施例により何ら限定されるものではない。
 実施例及び比較例における樹脂組成物に含まれる各成分として、以下のものを用いた。
 (エポキシ樹脂)
 (1)JER152:多官能エポキシ樹脂、エポキシ当量177g/eq、三菱ケミカル社製、
 (2)JER828:ビスフェノールA型エポキシ樹脂、エポキシ当量190g/eq、三菱ケミカル社製。
 (硬化剤)
 セイカキュアーS:ジアミノジフェニルスルフォン、アミン価62g/eq、和歌山精化社製。
 (硬化促進剤)
 BF3-MEA:三フッ化ホウ素モノエチルアミン、ステラケミファ社製。
 (官能基を側鎖に有するアクリル系共重合体)
 (1)1HY-2002M:カルボキシル基を側鎖に有するアクリル系共重合体、重量平均分子量約28万、酸価20KOHmg/g、大成ファインケミカル社製、
 (2)SG-600TEA:水酸基を側鎖に有するアクリル系共重合体、重量平均分子量約120万、水酸基価5KOHmg/g、ナガセケムテックス社製、
 (3)SG-P3:エポキシ基を側鎖に有するアクリル系共重合体、重量平均分子量約120万、エポキシ価0.21eq/kg、ナガセケムテックス社製。
 (窒化ホウ素)
 (1)DF-10N:凝集窒化ホウ素、平均粒子径(D50)15μm、トクヤマ社製、
 (2)HP-40MF100:凝集窒化ホウ素、平均粒子径(D50)40μm、水島合金鉄社製、
 (3)S-03:鱗片形状を有する窒化ホウ素、平均粒子径(D50)7μm、トクヤマ社製。
 (フィラー)
 (1)S0-C2:球状シリカ、平均粒子径(D50)0.5μm、アドマテックス社製、
 (2)YC100C-LHH:球状シリカ、平均粒子径(D50)0.1μm、アドマテックス社製、
 (3)S0-C5:球状シリカ、平均粒子径(D50)1.5μm、アドマテックス社製、
 (4)FB-3SDC:球状シリカ、平均粒子径(D50)3.0μm、デンカ社製、
 (5)FB-7SDC:球状シリカ、平均粒子径(D50)5.0μm、デンカ社製、
 (6)FB-105FD:球状シリカ、平均粒子径(D50)11.0μm、デンカ社製、
 (7)AO-502:球状アルミナ、平均粒子径(D50)0.2μm、アドマテックス社製、
 (8)ナノBN:球状窒化ホウ素、平均粒子径(D50)0.5μm、デンカ社製。
 実施例及び比較例において各評価方法及び測定方法は以下の方法により行った。
 <長期耐電圧特性>
 (1)サンプルの作製手順
 (1-1)放熱シートの作製
 厚さ50μmの離型PET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム(ユニチカ社製、TR)の離型処理面に、樹脂層となる熱硬化性樹脂組成物を、乾燥後の厚さが180μmとなるように塗布した。次に、120℃、10分の条件で半硬化状態(Bステージ)になるまで熱硬化性樹脂組成物を加熱した。冷却後、放熱シートを得た。
 (1-2)測定用サンプルの作製
 (1-1)で作製した放熱シートから離型PETフィルムを剥がし、厚さ35μmの圧延銅箔(JX日鉱日石金属社製、BHY)と厚さ1mmのアルミ板(昭和電工社製、A1100)との間に放熱シートが積層されるように貼り合わせ、185℃、10MPa、180分の条件で加熱加圧した。その後、160℃のオーブンで5時間加熱し、室温まで冷却した。次に直径20mmの円形状となるように圧延銅箔をエッチングし、水洗し、乾燥させて測定用サンプルを得た。なお、圧延銅箔の粗面が放熱シートと接するように、放熱シートに圧延銅箔を積層した。
 (2)測定方法
 (1-2)で作製した測定用サンプルを150℃の油中に浸漬した状態で、DC10kVの電圧をアルミ板と圧延銅箔との間に印加し、印加してから絶縁破壊が生じるまでの時間を測定した。1サンプルにつき4回試験を行い、最も短い時間を絶縁保持時間とした。
 評価基準は以下の通りとした。
 Excellent:絶縁保持時間が100時間以上、
 Good:絶縁保持時間が50時間以上、100時間未満、
 Poor:絶縁保持時間が50時間未満。
 上記試験条件で100時間以上の絶縁保持時間を確保できた測定用サンプルは、150℃、1kV、10年の条件で絶縁を維持するだけの長期耐電圧特性を有する。
 <熱伝導率>
 (1)サンプルの作製手順
 (1-1)放熱シートの作製
 厚さ50μmの離型PET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム(ユニチカ社製、TR)の離型処理面に、乾燥後の厚さが180μmとなるように熱硬化性樹脂組成物を塗布した。次に、120℃、10分の条件で半硬化状態(Bステージ)になるまで熱硬化性樹脂組成物を加熱した。冷却後、樹脂層から構成される放熱シートを得た。同様の方法で放熱シートを計2枚作製した。
 (1-2)測定用サンプルの作製
 (1-1)で作製した2枚の放熱シートについて、互いの樹脂層が接触するように積層し、185℃、10MPa、180分の条件で加熱加圧した。その後、離型PETフィルムを剥がし測定用サンプルを得た。
 (2)測定方法
 熱伝導率は、測定用サンプルの熱拡散係数(α)、比熱(Cp)、密度(ρ)をそれぞれ測定し、下記式に代入することで算出した。
 熱伝導率[W/(m・K)]=α[mm/s]×Cp[J/kg・K]×ρ[g/cm
 α[mm/s]:熱拡散係数
 Cp[J/g・K]:比熱
 ρ[g/cm]:密度
 (2-1)熱拡散係数(α)の測定
 熱拡散係数(α)は、レーザーフラッシュ法を採用し、測定用サンプルの一方の面にパルス光を照射して加熱し、他面の温度変化を測定した。測定は、NETZSCH社製、LFA447を用いて、25℃の条件下で行った。解析方法はハーフタイム法を採用した。
 (2-2)比熱(Cp)の測定
 比熱Cp(J/g・K)は、示差走査熱量測定法(DSC法)により測定した。比熱測定は、TAインスツルメント社製の装置(装置名Q200)を用い、昇温速度10℃/min、温度範囲-30℃~50℃の条件下で行った。測定で得られたデータを基に、JIS K7123に準じた方法で比熱を算出した。
 (2-3)密度(ρ)の測定
 密度(ρ)は、島津製作所社製、AUX220、SMK-401を用いて、液浸法を利用して測定した。
 評価基準は以下の通りとした。
 Good:6W/(m・K)以上、
 Poor:6W/(m・K)未満。
 <絶縁破壊電圧>
 (1)測定用サンプル
 <長期耐電圧特性>で作製した測定用サンプルを使用した。
 (2)評価方法
 測定用サンプルを、25℃の油中に浸漬した状態で、1kV/0.5secの間隔で電圧を上げていき、絶縁破壊が生じたときの電圧を測定した。試験は5回行い、その平均値を算出した。
 評価基準は以下の通りとした。
 Good:電圧が9kV以上、
 Poor:電圧が9kV未満。
 (実施例1)
 容器に、JER152を90重量部、JER828を10重量部加え、エポキシ樹脂の合計重量部を100重量部とした。これに、セイカキュアーSを26.85重量部、BF3-MEAを0.3重量部、1HY-2002Mを15重量部、DF-10Nを338.0重量部(熱硬化性樹脂組成物100体積%に対して55体積%)、S0-C2を1.8重量部(熱硬化性樹脂組成物100重量%に対して0.4重量%)、有機溶剤としてメチルエチルケトンを200重量部加えた。その後、これらを室温で撹拌し熱硬化性樹脂組成物を得た。
 (実施例2)~(実施例21)、(比較例1)~(比較例18)
 表1~表6に示すように、各成分の種類及び含有量を変えて実施例1と同様の方法により調製し、熱硬化性樹脂組成物を得た。表中の含有量の単位は特に明記がない限りは「重量部」を示す。
 表1は、熱硬化性樹脂組成物におけるフィラーの体積割合(体積%)を変えた場合における、放熱シートの長期耐電圧特性、熱伝導率、及び絶縁破壊電圧の評価結果を示したものである。実施例1~実施例5に示すように、長期耐電圧特性は、フィラーの体積割合(体積%)が0.3体積%以上2.0体積%以下であるときに良好な評価結果を示した。また、熱伝導率及び絶縁破壊電圧も良好な評価結果を示した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 表2は、窒化ホウ素の種類及びフィラーの量を変えた場合における、放熱シートの長期耐電圧特性、熱伝導率、及び絶縁破壊電圧の評価結果を示したものである。実施例6~実施例8に示すように、長期耐電圧特性は、窒化ホウ素の種類にかかわらず、熱硬化性樹脂組成物中にフィラーが含まれていることにより、良好な評価結果を示した。また、熱伝導率及び絶縁破壊電圧も良好な評価結果を示した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
 表3A及び表3Bは、窒化ホウ素の量及びフィラーの量を変えた場合における、放熱シートの長期耐電圧特性、熱伝導率、及び絶縁破壊電圧の評価結果を示したものである。実施例9~実施例11に示すように、長期耐電圧特性は、窒化ホウ素の体積割合(体積%)が55体積%以上70体積%以下であり、熱硬化性樹脂組成物中にフィラーが含まれていることにより、良好な評価結果を示した。また、熱伝導率及び絶縁破壊電圧も良好な評価結果を示した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
 表4は、フィラーの形状を球状にした場合における、放熱シートの長期耐電圧特性、熱伝導率、及び絶縁破壊電圧の評価結果を示したものである。実施例12及び実施例13に示すように、長期耐電圧特性は、熱硬化性樹脂組成物中に球状のフィラーが含まれていることにより、良好な評価結果を示した。また、熱伝導率及び絶縁破壊電圧も良好な評価結果を示した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
 表5は、フィラーの平均粒子径(D50)を変えた場合における、放熱シートの長期耐電圧特性、熱伝導率、及び絶縁破壊電圧の評価結果を示したものである。実施例14~実施例17に示すように、長期耐電圧特性は、熱硬化性樹脂組成物中に含まれるフィラーの平均粒子径(D50)が0.5μm以上5.0μm以下であることにより、良好な評価結果を示した。また、熱伝導率及び絶縁破壊電圧も良好な評価結果を示した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
 表6は、エポキシ樹脂の有無による違い、硬化促進剤の有無による違い、及び、アクリル系共重合体の官能基の違いにおける、放熱シートの長期耐電圧特性、熱伝導率、及び絶縁破壊電圧の評価結果を示したものである。また、表6は、フィラーとしてナノBN(窒化ホウ素)を用いた場合における、放熱シートの長期耐電圧特性、熱伝導率、及び絶縁破壊電圧の評価結果を示したものである。
 実施例18に示すように、硬化促進剤の有無にかかわらず、長期耐電圧特性は、良好な評価結果を示した。また、熱伝導率及び絶縁破壊電圧も良好な評価結果を示した。
 また、実施例19~実施例21に示すように、アクリル共重合体の側鎖の官能基が、カルボキシル基、水酸基、又はエポキシ基である場合、長期耐電圧特性は、良好な評価結果を示した。また、熱伝導率及び絶縁破壊電圧も良好な評価結果を示した。
 また、実施例19に示すように、フィラーとしてナノBN(窒化ホウ素)を用いることでも、長期耐電圧特性は、良好な評価結果を示した。また、熱伝導率及び絶縁破壊電圧も良好な評価結果を示した。
 また、例えば表1の実施例1と比較例18とを対比すると、熱硬化性樹脂組成物中にエポキシ樹脂を含むことにより、実施例1の長期耐電圧特性及び熱伝導率は、良好な評価結果を示した。また、絶縁破壊電圧も良好な評価結果を示した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
 表1~表6に示すように、実施例1~21の放熱シートは、長期耐電圧特性、熱伝導率、及び絶縁破壊電圧に優れていた。
 以上の結果から、実施形態の熱硬化性樹脂組成物から構成される放熱シート及び放熱板は、放熱性及び長期耐電圧特性に優れる。
 本発明は、本発明の広義の精神と範囲を逸脱することなく、様々な実施形態及び変形が可能とされるものである。また、上述した実施形態は、この発明を説明するためのものであり、本発明の範囲を限定するものではない。すなわち、本発明の範囲は、実施形態ではなく、請求の範囲によって示される。そして、請求の範囲内及びそれと同等の発明の意義の範囲内で施される様々な変形が、この発明の範囲内とみなされる。
 本出願は、2021年10月20日に出願された、日本国特許出願、特願2021-171904号に基づく。本明細書中に日本国特許出願、特願2021-171904号の明細書、特許請求の範囲、図面全体を参照して取り込むものとする。
 
 

Claims (11)

  1.  エポキシ樹脂と、硬化剤と、官能基を側鎖に有するアクリル系共重合体と、窒化ホウ素と、フィラーと、を含む熱硬化性樹脂組成物であって、
     前記窒化ホウ素の平均粒子径(D50)は、7.0μm以上60μm以下であり、
     前記フィラーの平均粒子径(D50)は、0.5μm以上5.0μm以下であり、
     前記窒化ホウ素の体積割合は、前記熱硬化性樹脂組成物100体積%に対して55体積%以上70体積%以下であり、
     前記フィラーの体積割合は、前記熱硬化性樹脂組成物100体積%に対して0.3体積%以上2.0体積%以下である、熱硬化性樹脂組成物。
  2.  前記フィラーは、シリカ、アルミナ、窒化ホウ素、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、酸化亜鉛、窒化ケイ素、炭化ケイ素、窒化ガリウム、及びタルクからなる群から選ばれる少なくとも1種から構成される、請求項1に記載の熱硬化性樹脂組成物。
  3.  前記フィラーの形状は、球状である、請求項1又は2に記載の熱硬化性樹脂組成物。
  4.  前記窒化ホウ素は、鱗片形状を有する窒化ホウ素、及び複数の窒化ホウ素が凝集している凝集窒化ホウ素からなる群から選ばれる少なくとも1種から構成される、請求項1から3のいずれか1項に記載の熱硬化性樹脂組成物。
  5.  前記官能基は、カルボキシル基、水酸基、及びエポキシ基からなる群から選ばれる少なくとも1種の官能基を有する、請求項1から4のいずれか1項に記載の熱硬化性樹脂組成物。
  6.  樹脂層から構成され、前記樹脂層は請求項1から5のいずれか1項に記載の熱硬化性樹脂組成物から構成されている、放熱シート。
  7.  前記樹脂層の硬化状態は、半硬化状態である、請求項6に記載の放熱シート。
  8.  金属板と、請求項1から5のいずれか1項に記載の熱硬化性樹脂組成物から構成される樹脂層と、を備え、前記樹脂層は前記金属板の少なくとも一方の面に積層されている、放熱板。
  9.  前記樹脂層の硬化状態は、半硬化状態である、請求項8に記載の放熱板。
  10.  請求項1から5のいずれか1項に記載の熱硬化性樹脂組成物を調製する樹脂組成物調製工程と、
     フィルムに前記熱硬化性樹脂組成物を塗布する塗布工程と、
     前記熱硬化性樹脂組成物が塗布された前記フィルムを加熱する加熱工程と、を含む、放熱シートの製造方法。
  11.  請求項1から5のいずれか1項に記載の熱硬化性樹脂組成物を調製する樹脂組成物調製工程と、
     金属板に前記熱硬化性樹脂組成物を塗布する塗布工程と、
     前記熱硬化性樹脂組成物が塗布された前記金属板を加熱する加熱工程と、を含む、放熱板の製造方法。

     
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