WO2026062103A1 - Dispositif de mesure pour la détermination interférométrique de la forme de surface d'une pièce à contrôler, ainsi que procédé de fabrication d'un élément optique pour un tel dispositif de mesure - Google Patents

Dispositif de mesure pour la détermination interférométrique de la forme de surface d'une pièce à contrôler, ainsi que procédé de fabrication d'un élément optique pour un tel dispositif de mesure

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Abstract

L'invention concerne un dispositif de mesure pour la détermination interférométrique de la forme de surface d'une pièce à contrôler. Une onde d'essai, générée à partir d'un rayonnement électromagnétique et réfléchie sur la pièce à contrôler, peut être superposée à une onde de référence non réfléchie sur la pièce à contrôler. Le dispositif comprend un élément de référence (110, 210, 310, 410) doté d'une surface de référence (112, 212, 312, 412) qui, dans le chemin optique, sépare par réflexion l'onde de référence de l'onde d'essai avant que celle-ci ne frappe la pièce à contrôler (120, 220, 320, 420), et au moins une surface de mise en forme de faisceau (111, 211, 311, 411, 413, 414) située sur le chemin optique en amont de la surface de référence, cette surface de mise en forme de faisceau étant conçue comme une surface asphérique de correction de distorsion de sorte qu'une distorsion apparaissant dans un plan de référence prédéfini du dispositif de mesure est réduite. Cette invention concerne en outre un procédé de fabrication d'un élément optique pour un tel dispositif de mesure.
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