WO2026079009A1 - Récipient de réception de substrat - Google Patents
Récipient de réception de substratInfo
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- WO2026079009A1 WO2026079009A1 PCT/JP2025/029953 JP2025029953W WO2026079009A1 WO 2026079009 A1 WO2026079009 A1 WO 2026079009A1 JP 2025029953 W JP2025029953 W JP 2025029953W WO 2026079009 A1 WO2026079009 A1 WO 2026079009A1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
L'invention concerne un récipient de réception de substrat comprenant : un corps principal de récipient qui est apte à recevoir une pluralité de substrats verticalement en de multiples niveaux ; un corps de couvercle qui ferme une ouverture dans une surface avant du corps principal de récipient ; un élément de retenue avant qui est disposé dans le corps de couvercle ; des corps de support qui sont disposés sur les surfaces latérales gauche et droite du corps principal de récipient et qui supportent la pluralité de substrats lorsque l'ouverture du corps de récipient n'est pas fermée par le corps de couvercle ; et des structures de support qui sont disposées sur les surfaces latérales gauche et droite ou la surface arrière du corps principal de récipient et qui maintiennent la pluralité de substrats entre les structures de support et le dispositif de retenue avant lorsque l'ouverture du corps principal de récipient est fermée par le corps de couvercle. Une partie de maintien du dispositif de retenue avant comprend des rainures de maintien pour maintenir les substrats lorsque l'ouverture du corps principal de récipient est fermée par le corps de couvercle, et des rainures de levage disposées en dessous des rainures de maintien. Les rainures de levage retiennent les substrats pendant une opération de levage pour soulever les substrats vers une position levée dans la structure de support.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2024-177902 | 2024-10-10 | ||
| JP2024177902 | 2024-10-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2026079009A1 true WO2026079009A1 (fr) | 2026-04-16 |
Family
ID=99438746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2025/029953 Pending WO2026079009A1 (fr) | 2024-10-10 | 2025-08-26 | Récipient de réception de substrat |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| WO (1) | WO2026079009A1 (fr) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016048757A (ja) * | 2014-08-28 | 2016-04-07 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
| WO2018154779A1 (fr) * | 2017-02-27 | 2018-08-30 | ミライアル株式会社 | Récipient de logement de substrat |
| JP2020174068A (ja) * | 2019-04-08 | 2020-10-22 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
-
2025
- 2025-08-26 WO PCT/JP2025/029953 patent/WO2026079009A1/fr active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016048757A (ja) * | 2014-08-28 | 2016-04-07 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
| WO2018154779A1 (fr) * | 2017-02-27 | 2018-08-30 | ミライアル株式会社 | Récipient de logement de substrat |
| JP2020174068A (ja) * | 2019-04-08 | 2020-10-22 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
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