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기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
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질소 함유 탄소 막을 형성하는 방법 및 이를 수행하기 위한 시스템
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크롬 나이트라이드 층을 형성하는 방법 및 크롬 나이트라이드 층을 포함하는 구조
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形成包括硼化釩及磷化釩層的結構之方法
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바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템
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냉각 가스 공급부를 포함한 수직형 배치 퍼니스 어셈블리
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包含釩化合物之組成物與容器及用於穩定釩化合物之方法及系統
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形成含氮化釩層及包含該層的結構之方法
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고체 소스 전구체 용기
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(zh)
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半導體處理系統
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
불소계 라디칼을 이용하여 반응 챔버의 인시츄 식각을 수행하기 위한 장치 및 방법
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(ja)
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2020-05-07 |
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(ko)
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Asm Ip Holding B.V. |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치
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2020-05-21 |
2021-12-01 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판을 처리하기 위한 플랜지 및 장치
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KR102795476B1
(ko)
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2020-05-21 |
2025-04-11 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법
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KR102702526B1
(ko)
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2020-05-22 |
2024-09-03 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
과산화수소를 사용하여 박막을 증착하기 위한 장치
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KR20210146802A
(ko)
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2020-05-26 |
2021-12-06 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
붕소 및 갈륨을 함유한 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법
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TWI876048B
(zh)
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2020-05-29 |
2025-03-11 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
基板處理方法
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TW202212620A
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2020-06-02 |
2022-04-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
處理基板之設備、形成膜之方法、及控制用於處理基板之設備之方法
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KR20210156219A
(ko)
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2020-06-16 |
2021-12-24 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
붕소를 함유한 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법
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TWI908816B
(zh)
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2020-06-24 |
2025-12-21 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
形成含矽層之方法
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USD961726S1
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2020-06-25 |
2022-08-23 |
Wellis USA Inc. |
Spa flow-in unit
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USD959604S1
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2020-06-25 |
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Wellis USA Inc. |
Spa circulating jet unit
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TWI873359B
(zh)
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2020-06-30 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
基板處理方法
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KR102707957B1
(ko)
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2020-07-08 |
2024-09-19 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 방법
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TWI864307B
(zh)
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2020-07-17 |
2024-12-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於光微影之結構、方法與系統
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TWI878570B
(zh)
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2020-07-20 |
2025-04-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於沉積鉬層之方法及系統
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KR20220011092A
(ko)
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2020-07-20 |
2022-01-27 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
전이 금속층을 포함하는 구조체를 형성하기 위한 방법 및 시스템
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US12322591B2
(en)
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2020-07-27 |
2025-06-03 |
Asm Ip Holding B.V. |
Thin film deposition process
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(ko)
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2020-08-11 |
2022-02-18 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 상에 티타늄 알루미늄 카바이드 막 구조체 및 관련 반도체 구조체를 증착하는 방법
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KR102915124B1
(ko)
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2020-08-14 |
2026-01-19 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 방법
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US12040177B2
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2024-07-16 |
Asm Ip Holding B.V. |
Methods for forming a laminate film by cyclical plasma-enhanced deposition processes
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(ko)
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2020-08-25 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
표면을 세정하는 방법
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2023-08-15 |
Asm Ip Holding B.V. |
Method for forming metal silicon oxide and metal silicon oxynitride layers
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KR20220027772A
(ko)
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2020-08-27 |
2022-03-08 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
다중 패터닝 공정을 사용하여 패터닝된 구조체를 형성하기 위한 방법 및 시스템
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USD990534S1
(en)
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2020-09-11 |
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Asm Ip Holding B.V. |
Weighted lift pin
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KR20220036866A
(ko)
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2020-09-16 |
2022-03-23 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘 산화물 증착 방법
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Asm Ip Holding B.V. |
Apparatus and method for etching metal nitrides
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(ko)
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2020-10-06 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘 함유 재료를 증착하기 위한 증착 방법 및 장치
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(zh)
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2020-10-06 |
2022-04-22 |
Asm Ip私人控股有限公司 |
用于在特征的侧壁上形成氮化硅的方法和系统
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Asm Ip私人控股有限公司 |
气体供应单元和包括气体供应单元的衬底处理设备
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(ko)
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2020-10-14 |
2025-09-04 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
단차형 구조 상에 재료를 증착하는 방법
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KR102873665B1
(ko)
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2020-10-15 |
2025-10-17 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
반도체 소자의 제조 방법, 및 ether-cat을 사용하는 기판 처리 장치
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KR20220053482A
(ko)
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2020-10-22 |
2022-04-29 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
바나듐 금속을 증착하는 방법, 구조체, 소자 및 증착 어셈블리
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2022-06-16 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統
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(zh)
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2022-08-01 |
特文特大學 |
沉積系統、用於控制反應條件之方法、沉積方法
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TW202229795A
(zh)
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
具注入器之基板處理設備
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TW202235649A
(zh)
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2022-09-16 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
填充間隙之方法與相關之系統及裝置
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KR20220076343A
(ko)
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2020-11-30 |
2022-06-08 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치의 반응 챔버 내에 배열되도록 구성된 인젝터
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KR20220077875A
(ko)
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2020-12-02 |
2022-06-09 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
샤워헤드 어셈블리용 세정 고정구
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2020-12-10 |
2025-03-18 |
Asm Ip Holding B.V. |
Methods and systems for depositing a layer
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Asm Ip Holding B.V. |
Method of forming structures for threshold voltage control
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CN114639631A
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2020-12-16 |
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Asm Ip私人控股有限公司 |
跳动和摆动测量固定装置
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TW202232639A
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2020-12-18 |
2022-08-16 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
具有可旋轉台的晶圓處理設備
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TW202231903A
(zh)
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2020-12-22 |
2022-08-16 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成
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TW202226899A
(zh)
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2020-12-22 |
2022-07-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
具匹配器的電漿處理裝置
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TW202242184A
(zh)
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2020-12-22 |
2022-11-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
前驅物膠囊、前驅物容器、氣相沉積總成、及將固態前驅物裝載至前驅物容器中之方法
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USD981973S1
(en)
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2021-05-11 |
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Asm Ip Holding B.V. |
Reactor wall for substrate processing apparatus
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USD1023959S1
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2021-05-11 |
2024-04-23 |
Asm Ip Holding B.V. |
Electrode for substrate processing apparatus
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USD980813S1
(en)
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2021-05-11 |
2023-03-14 |
Asm Ip Holding B.V. |
Gas flow control plate for substrate processing apparatus
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USD980814S1
(en)
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2021-05-11 |
2023-03-14 |
Asm Ip Holding B.V. |
Gas distributor for substrate processing apparatus
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USD990441S1
(en)
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2021-09-07 |
2023-06-27 |
Asm Ip Holding B.V. |
Gas flow control plate
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USD1099184S1
(en)
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2021-11-29 |
2025-10-21 |
Asm Ip Holding B.V. |
Weighted lift pin
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USD1060598S1
(en)
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2021-12-03 |
2025-02-04 |
Asm Ip Holding B.V. |
Split showerhead cover
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USD1024136S1
(en)
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2022-04-12 |
2024-04-23 |
Battlemax (Pty) Ltd |
Cover for a centrifugal pump
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USD1046922S1
(en)
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2022-11-23 |
2024-10-15 |
Holley Performance Products, Inc. |
Oil pump housing
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