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TWI791689B
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KR102546322B1
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TWI842826B
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KR102858005B1
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실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
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KR102762833B1
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2025-02-04 |
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JP2020167398A
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KR102809999B1
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2025-05-19 |
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KR102897355B1
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KR20200125453A
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2020-11-04 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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KR102929471B1
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KR102929472B1
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2019-05-10 |
2026-02-20 |
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USD900790S1
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JP7612342B2
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JP7598201B2
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2019-05-16 |
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
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USD947913S1
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USD935572S1
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2019-06-10 |
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(ko)
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2019-06-11 |
2020-12-23 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
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KR102911421B1
(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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토폴로지-제어된 비정질 탄소 중합체 막을 형성하는 방법
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KR20210018759A
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KR20210018761A
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USD952804S1
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USD965524S1
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2019-08-19 |
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USD965044S1
(en)
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2019-08-19 |
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JP7810514B2
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KR20210024423A
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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KR20210065848A
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CN112885692B
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KR20210137395A
(ko)
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JP7736446B2
(ja)
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2020-05-07 |
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同調回路を備える反応器システム
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KR102788543B1
(ko)
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2020-05-13 |
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반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구
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2020-05-15 |
2026-03-10 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
다중 전구체를 사용하여 실리콘 게르마늄 균일도를 제어하기 위한 방법
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KR102905441B1
(ko)
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2020-05-19 |
2025-12-30 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치
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KR20210145079A
(ko)
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2020-05-21 |
2021-12-01 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판을 처리하기 위한 플랜지 및 장치
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KR102795476B1
(ko)
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2020-05-21 |
2025-04-11 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법
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TWI873343B
(zh)
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2020-05-22 |
2025-02-21 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於在基材上形成薄膜之反應系統
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KR20210146802A
(ko)
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2020-05-26 |
2021-12-06 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
붕소 및 갈륨을 함유한 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법
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TWI876048B
(zh)
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2020-05-29 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
基板處理方法
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2020-06-02 |
2022-04-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
處理基板之設備、形成膜之方法、及控制用於處理基板之設備之方法
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KR20210156219A
(ko)
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2020-06-16 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
붕소를 함유한 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법
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2020-06-24 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
形成含矽層之方法
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Spa circulating jet unit
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2020-06-25 |
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Wellis USA Inc. |
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TWI873359B
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2020-06-30 |
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
基板處理方法
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KR102707957B1
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 방법
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KR20220010438A
(ko)
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2020-07-17 |
2022-01-25 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
포토리소그래피에 사용하기 위한 구조체 및 방법
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2020-07-20 |
2025-04-01 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於沉積鉬層之方法及系統
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KR20220011092A
(ko)
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2020-07-20 |
2022-01-27 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
전이 금속층을 포함하는 구조체를 형성하기 위한 방법 및 시스템
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TW202219303A
(zh)
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2020-07-27 |
2022-05-16 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
薄膜沉積製程
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KR20220020210A
(ko)
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2020-08-11 |
2022-02-18 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 상에 티타늄 알루미늄 카바이드 막 구조체 및 관련 반도체 구조체를 증착하는 방법
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KR102915124B1
(ko)
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2020-08-14 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 방법
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
清潔基板的方法、選擇性沉積的方法、及反應器系統
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
形成金屬氧化矽層及金屬氮氧化矽層的方法
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
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Weighted lift pin
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실리콘 함유 재료를 증착하기 위한 증착 방법 및 장치
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
在部件的側壁上形成氮化矽的方法及系統
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Asm Ip私人控股有限公司 |
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단차형 구조 상에 재료를 증착하는 방법
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
반도체 소자의 제조 방법, 및 ether-cat을 사용하는 기판 처리 장치
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統
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特文特大學 |
沉積系統、用於控制反應條件之方法、沉積方法
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具注入器之基板處理設備
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
填充間隙之方法與相關之系統及裝置
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
注入器、及基板處理設備
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KR20220077875A
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샤워헤드 어셈블리용 세정 고정구
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Asm Ip私人控股有限公司 |
跳动和摆动测量固定装置
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
具有可旋轉台的晶圓處理設備
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
具匹配器的電漿處理裝置
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KR20220090435A
(ko)
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2020-12-22 |
2022-06-29 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
전구체 캡슐, 용기 및 방법
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KR20220090438A
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2020-12-22 |
2022-06-29 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
전이금속 증착 방법
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Gas flow control plate for substrate processing apparatus
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USD980814S1
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2021-05-11 |
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Asm Ip Holding B.V. |
Gas distributor for substrate processing apparatus
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USD981973S1
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Asm Ip Holding B.V. |
Reactor wall for substrate processing apparatus
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USD1023959S1
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Asm Ip Holding B.V. |
Electrode for substrate processing apparatus
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USD990441S1
(en)
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2021-09-07 |
2023-06-27 |
Asm Ip Holding B.V. |
Gas flow control plate
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USD1099184S1
(en)
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2021-11-29 |
2025-10-21 |
Asm Ip Holding B.V. |
Weighted lift pin
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USD1060598S1
(en)
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2021-12-03 |
2025-02-04 |
Asm Ip Holding B.V. |
Split showerhead cover
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USD1024136S1
(en)
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2022-04-12 |
2024-04-23 |
Battlemax (Pty) Ltd |
Cover for a centrifugal pump
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USD1046922S1
(en)
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2022-11-23 |
2024-10-15 |
Holley Performance Products, Inc. |
Oil pump housing
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