AT308198B - Halbleitervorrichtung mit einem Halbleiterkörper mit einer integrierten Schaltung, wobei ein Körper aus piezoelektrischem Material mindestens zwei verschiedene Schaltungselemente der integrierten Schaltung elektrisch verbindet - Google Patents

Halbleitervorrichtung mit einem Halbleiterkörper mit einer integrierten Schaltung, wobei ein Körper aus piezoelektrischem Material mindestens zwei verschiedene Schaltungselemente der integrierten Schaltung elektrisch verbindet

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