AT410383B

AT410383B - Elektrostatische halteeinrichtungen

Info

Publication number: AT410383B
Application number: AT0911997A
Authority: AT
Original assignee: Delsys Pharmaceutical Corp
Priority date: 1996-04-09
Filing date: 1997-04-09
Publication date: 2003-04-25
Also published as: AU719669B2; FI991162A7; SE9901882D0; GB2334463A; PT102922A; PT102921A; US6294024B1; US6670038B2; PT102921B; FI991162A0; US5858099A; SE0302478L; DE19782130T1; IL126501A0; WO1997038480A1; CA2251586C; DE29724005U1; CH694040A5; ATA911997A; AU2431497A

Description

Die gegenständliche Erfindung betrifft eine Teilchenabscheidungsvorrichtung.

In der pharmazeutischen Industrie werden beispielsweise pharmazeutische Zusammensetzun- gen mit einem aktiven Bestandteil durch mechanisches Mischen des aktiven Bestandteiles mit pharmazeutisch akzeptablen Trägern hergestellt. Ein Hauptnachteil dieses Verfahrens ist die
Verteilungsungenauigkeit des aktiven Bestandteiles in den individuellen Tabletten einer Charge.

Dieses Problem ist besonders offensichtlich, wenn der aktive Bestandteil in einer geringen Dosie- rung vorhanden ist, und die Ungenauigkeit des mechanisches Mischens zur Folge haben kann, dass die individuellen Tabletten einer einzelnen Charge verschiedene Dosierungen aufweisen.

Zusätzlich enthalten, beispielsweise, einige pharmazeutische Zusammensetzungen eine Mi- schung verschiedener Träger gemeinsam mit dem aktiven Bestandteil, bei der der Träger nicht vollständig verträglich mit dem aktiven Bestandteil ist. Zum Beispiel kann der aktive Bestandteil im
Träger nur schlecht löslich sein, oder der Träger kann die Bioverfügbarkeit des aktiven Bestandtei- les negativ beeinträchtigen.

Zusammenfassung der Erfindung
Gemäss einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Teilchenabscheidungsvorrichtung zur Verfügung gestellt, mit: einer Abgabeeinrichtung zur Abgabe von geladenen Teilchen; einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit einer leitfähigen Schicht mit mindestens einer
Elektrode für das elektrostatische Anziehen der geladenen Teilchen ; einem Sensor, welcher positioniert und angeordnet ist, um ein Mass bereitzustellen, das die
Menge der geladenen Teilchen anzeigt, welche an der elektrostatischen Halteeinrichtung oder an einem Aufnahmesubstrat, welches an der elektrostatischen Halteeinrichtung gehalten ist, anhaften.

Vorzugsweise umfasst die Vorrichtung weiters ein Mittel für die Steuerung der Teilchenab- lagerung als Reaktion auf die genannte Messung mit dem Sensor.

Die vorliegende Erfindung sorgt für eine grössere Genauigkeit bei der Applikation einer spezifizierten Dosierung auf ein pharmazeutisches Substrat, wie beispielsweise eine Tablette. Weiters ist die Ablagerung eines pharmazeutisch aktiven Bestandteiles mittels statischer Elektrizität besonders zweckmässig, beispielsweise, wenn der aktive Bestandteil unvermischbar oder anderweitig inkompatibel mit den restlichen Bestandteilen der Tablette oder einem anderen Substrat ist.

Eine Ausführung der gegenständlichen Erfindung sieht eine elektrostatische Halteeinrichtung mit einer leitfähigen Schicht vor, welche über mindestens eine Elektrode für die elektrostatische Anziehung eines Objektes verfügt, wobei das Objekt für chemische oder pharmazeutische Untersuchungen oder Produktionen verwendet wird. Das Objekt kann beispielsweise mit einer pharmazeutisch aktiven Verbindung beschichtet werden. Das Objekt kann aus zahlreichen Substrattypen bestehen, wobei Objekte inkludiert sind, welche sich zum Beispiel für den menschlichen Verzehr eignen. Die Objekte können pharmazeutische Substrate, wie ein Inhaliersubstrat, eine pharmazeutische Tablette, Kapsel, Hülse (Pille), Suppositorium (Zäpfchen), Aufbereitungsmittel (Verbandsmaterial), Bandage und eine Auflage (Pflaster) sein.

In bestimmten Ausführungen ist das pharmazeutische Substrat nicht dielektrisch.

Bestimmte Ausührungen sehen die Anwendung einer elektrostatischen Halteeinrichtung vor, um Objekte, wie beispielsweise Teilchen, an ein Aufnahmesubstrat elektrostatisch anzuziehen.

"Teilchen" sind hier als Objekte definiert, welche eine Grösse aufweisen, die kleiner als ca. 1 mm in Weite oder Durchmesser ist. Deshalb kann die erfindungsgemässe Vorrichtung beispielsweise verwendet werden, um Teilchen eines Pulvers, welches einen aktiven Bestandteil aufweist, an ein pharmazeutisches Aufnahmesubstrat anzuziehen, wobei das Substrat pharmazeutisch inert sein kann.

In einer Ausführung der vorliegenden Erfindung wird eine elektrostatische Halteeinrichtung verwendet, um einen Gegenstand anzuziehen, wobei die Dicke des Gegenstands vorzugsweise weniger als 5 mm, und noch besser weniger als 3 mm beträgt.

In einer Ausführung der Erfindung verfügt die elektrostatische Halteeinrichtung über zwei Elektroden in der oberen leitfähigen Schichte, die den Gegenständen zugewandt ist, und die beiden Elektroden greifen vorzugsweise fingerartig ineinander In anderen Ausführungen verfügt die Halteeinrichtung über eine einzelne Elektrode in der oberen leitfähigen Schichte. Die Halteeinrich-

tung kann beispielsweise verwendet werden, um einen Gegenstand gegen die Gravitationskräfte zu halten, oder um z. B. zahlreiche Gegenstände auf einem Substrat zu positionieren. Siehe, bei- spielsweise, WO/97/37803, veröffentlicht am 16. Oktober 1997, eingereicht am 9. April 1997.

In einer Ausführungsform der Erfindung umfasst die elektrostatische Halteeinrichtung eine erd- freie Elektrode. Die Halteeinrichtung kann für die selektive Anziehung von Gegenständen, wie Teilchen, an ein Substrat über der erdfreien Elektrode verwendet werden, wodurch eine Ladungs- abbildung für die Ablagerung der Teilchen in einem ausgewählten Bild geschaffen wird
In einer Ausführung der Erfindung umfasst der Sensor eine Sensor-Elektrode für das Bestim- men der Menge der geladenen Teilchen, welche auf ein Aufnahmesubstrat abgelagert wurden. In bestimmten, bevorzugten Ausführungen ist die Sensor-Elektrode auf der elektrostatische Halteein- richtung positioniert. Die Sensor-Elektrode sorgt für eine exakte Ablagerung einer genau bestimm- ten Menge von Gegenständen wie auch Teilchen.

Die auf dem Aufnahmesubstrat abgelagerten Teilchen können beispielsweise einen pharmazeutisch aktiven Bestandteil beinhalten.

Die Abgabeeinrichtung zum Abgeben von Teilchen ist vorzugsweise eine akustische Abgabe- einrichtung, wie beschrieben in der ebenfalls veröffentlichten Anmeldung WO 97/37803, einge- reicht am 9. April 1997 und veröffentlicht am 16. Oktober 1997 (entsprechend der US Serien- nummer 08/630012), was hiermit hierin durch Bezugnahme eingeschlossen ist
KURZE BESCHREIBUNG DER FIGUREN
Figur 1 ist eine Querschnittsansicht einer schematischen Wiedergabe einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit fingerartig ineinandergreifenden
Elektroden.

Figur 2 ist eine Draufsicht von oben auf eine schematische Wiedergabe der fin- gerartig ineinandergreifenden Elektroden nach Figur 1.

Figuren 3A und 3B sind Schaltkreisdarstellungen einer elektrostatischen Halteeinrichtung, die zwei Elektroden hat. Figur 3A zeigt die Halteeinrichtung ohne eine untere leitfähige Schicht und Figur 3B zeigt die Halteeinrichtung mit einer unteren leitfähigen Schicht.

Figur 4A ist eine Draufsicht von oben auf eine schematische Wiedergabe der ein- zelnen Elektroden nach Figur 4B
Figur 4B ist eine Querschnittsansicht einer schematischen Wiedergabe einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit einer einzelnen Elektrode auf der oberen leitfähigen Schicht, welche von der dielektrischen Schicht hervor- steht.

Figur 4C ist eine Querschnittsansicht einer schematischen Wiedergabe einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit einer einzelnen Elektrode auf der oberen leitfähigen Schicht, welche in die dielektrische Schicht einge- drückt bzw. zurückversetzt ist
Figur 5 ist eine schematische Querschnittsansicht einer elektrostatischen Halte- einrichtung mit erdfreien Elektroden auf der oberen leitfähigen Schicht für eine Ladungsabbildung.

Figur 6 ist eine Ansicht von oben auf eine erdfreie Elektrode nach Figur 5.

Figur 7 ist ein Schaltkreisdiagramm einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit einer erdfreien Elektrode auf der oberen leitfähigen Schicht.

Figur 8 ist eine schematische Querschnittsansicht einer Sensorelektrode.

Figur 9 ist eine schematische Ansicht von oben auf eine Sensorelektrode. wobei die Position der Sensorelektrode ausserhalb des Abscheidungsbereichs liegt.

Figur 10A ist eine schematische Ansicht von oben auf eine Sensorelektrode, wobei die Position der Sensorelektrode innerhalb des Bereiches der Abschei- dung liegt.

Figur 10B ist eine Ansicht von oben auf eine schematische Wiedergabe einer
Sensorelektrode, wobei die Position der Sensorelektrode in Form einer
Tablette innerhalb des Abscheidungsbereiches liegt.

Figur 11 ist ein Schaltkreisdiagramm einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit einer Sensorelektrode.

Figuren 12A-C sind grafische Wiedergaben der Erfassung von abgeschiedenem Pulver unter Verwendung einer Sensorelektrode mit einer elektrostatischen Hal- teeinnchtung der vorliegenden Erfindung. Die X-Achse gibt die Zeit in
Minuten wieder und die Y-Achse gibt die Ladung in Mikrocoulomb wieder. dq/dt entspricht der Abscheidungsrate bzw.-geschwindigkeit;
Figur 13 ist ein schematisches Diagramm einer elektrostatischen Halteeinrichtung für die Erzeugung von Mehrfachdosierungseinheiten
Figur 14A ist eine schematische Querschnittsansicht einer modifizierten Quarz- knstall-Überwachungseinrichtung und
Figur 14B ist ein Schaltkreisdiagramm der in Figur 14A gezeigten Überwachungs- einrichtung.

GENAUE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Für Zwecke der vorliegenden Anmeldung sollen die folgenden Begriffe die angegebenen Be- deutungen haben.

- Akustische Abgabevorrichtung : Vorrichtung für die Abgabe von Teilchen, wobei die
Vorrichtung Vibrationen mit einer Frequenz im akustischen (hörbaren) Bereich verwendet.

- Halteeinrichtung: eine Klammer bzw. Halterung für das Halten eines Gegenstandes oder von Gegenständen.

- Halteeinrichtung für die Positionierung von Gegenständen: eine Halteeinrichtung, die eine
Ausgestaltung hat, welche verwendet werden kann, um die Gegenstände an der Halteein- richtung im wesentlichen in einem ausgewählten Muster anzuordnen.

- Elektrostatische Halteeinrichtung: eine "Klammer" bzw. Halterung für das Halten eines Ge- genstandes oder von Gegenständen unter Verwendung elektrostatischer Kräfte.

- Elektrostatische Halteeinrichtung mit Leitungswegen' eine elektrostatische Halteeinrichtung für das Positionieren von Gegenständen, bei welcher die Halteeinrichtung eine Schicht hat, welche die Positionierung der Gegenstände festlegt, und wobei diese Schicht Wege bzw.

Pfade aufweist, die ein leitfähiges Material enthalten.

- Mechanische Halteeinrichtung: eine Spannvorrichtung, die für das Halten eines Gegen- standes Druck bzw. Kompression verwendet.

- Nichtmechanische Haltevorrichtung: eine Haltevorrichtung, die keinen Druck bzw. Kom- pression verwendet, um einen Gegenstand zu halten, einschliesslich von jedoch nicht be- schränkt auf eine Halteeinrichtung, die elektrostatische Einrichtungen oder Vakuumeinrich- tungen (zum Beispiel negativen Druck) für ein solches Halten verwendet.

- Objekt bzw. Gegenstand : einmaterieller Gegenstand.

Teilchen. ein Gegenstand mit 1 mm oder weniger als 1 mm Breite oder Durchmesser.

- Pitch der sich wiederholende Abstand zwischen der Kante bzw. dem Rand einer Vertie- fung zu dem entsprechenden Rand bzw. der Kante der benachbarten Vertiefung, beispiels- weise bei einer Mikrotiterplatte.

- Aufnahmesubstrat: ein Gegenstand der eine Oberfläche oder eine Schicht hat, die mit Ge- genständen beschichtet wird oder eine Beschichtung von Gegenständen aufnimmt, wie zum Beispiel Teilchen - Obere leitfähige Schicht : die leitfähige Schicht einer elektrostatischen Halteeinrichtung, welche Gegenstände an die Halteeinrichtung anzieht oder an dieser hält.

Claims

1. Verwendung der elektrostatischen Halteeinrichtungen: "Halteeinrichtungen" sind oben definiert als Klammern oder Halterungen für das Halten eines Gegenstandes oder von Gegenständen. Statt der Verwendung konventioneller Klammern, welche mechanische oder Druckkraft verwenden, nutzt eine elektrostatische Halteeinrichtung statische Elektrizität für das Halten von Gegenständen Die Gegenstände können wahlweise positioniert, transportiert und abgeschieden bzw. abgelagert werden. Die Halteeinrichtungen verwenden hierbei <Desc/Clms Page number 4> eine Kraft für das Halten von Gegenständen, die sich von der aktiven Druckausübung unterschei- det. Die Halteeinrichtungen können für das Positionieren von Gegenständen verwendet werden, was in der WO 97/37803 (veröffentlicht: 16.10.1997; eingereicht : 9. 4.1997) "Halteeinrichtungen und Verfahren zum Positionieren mehrerer Gegenstände auf einem Substrat" beschrieben ist. Ohne dass hiermit eine Beschränkung auf irgendeine Theorie vorgenommen werden soll, so wird doch angenommen, dass dann, wenn ein elektrisches Potential an eine elektrostatische Halte- einrichtung angelegt wird, zwischen den Elektroden der Halteeinrichtung Kondensatoren gebildet werden und dass die Gegenstände durch elektrostatische Kraft gehalten werden. Einer der Vorteile der Verwendung einer elektrostatischen Halteeinrichtung in der chemischen oder pharmazeuti- schen Industrie ist der, dass, im Gegensatz zur Plasmaladung, elektrostatische Ladung (die auch als Reibungsladung bekannt ist) im allgemeinen chemische Substanzen nicht negativ beeinflusst. Weiterhin gewährleistet die Verwendung einer elektrostatischen Halteeinrichtung die Fähigkeit, beispielsweise ein pharmazeutisches Substrat zu halten, ohne dass eine mechanische Kraft erfor- derlich ist, welche das Substrat zerreissen bzw. zerstören könnte. Die Halteeinrichtungen können verwendet werden, um einen Gegenstand oder mehrere Ge- genstände während einer chemischen oder pharmazeutischen Bearbeitung oder Verarbeitung gegen Gravitationskräfte zu halten. Die Halteeinrichtung kann verwendet werden, um einen Ge- genstand oder mehrere Gegenstände an ein Substrat anzuziehen, wobei die Gegenstände bei der chemischen Herstellung verwendet werden. Eine Halteeinrichtung kann auch verwendet werden, um einen Gegenstand oder mehrere Gegenstände an ein Substrat heranzuziehen, wobei die Gegenstände verwendet werden, um eine pharmazeutische Zusammensetzung herzustellen. Die Halteeinrichtung kann so hergestellt werden, dass sie vergrösserte Abmessungen hat, um einen Gegenstand anzuziehen, der eine vergrösserte Fläche hat. Eine elektrostatische Halteeinrichtung kann ein Vorspannpotential für das Anziehen eines Ge- genstandes oder mehrerer Gegenstände an ein Substrat nutzen. Vorzugsweise ist das Vorspann- potential grösser als etwa 1000 Volt. Ein Vorspannpotential verursacht hierbei nicht notwendiger- weise eine Beschädigung eines pharmazeutischen Substrats, im Gegensatz zu einem Wafer in der Halbleiterindustrie, welcher auf Spannung empfindlich reagiert. Wenn eine elektrostatische Halteeinrichtung verwendet wird, liegt die Temperatur vorzugswei- se zwischen etwa -50 C bis etwa 200 C und vorzugsweise zwischen etwa 22 C bis etwa 60 C. Die Feuchtigkeit liegt vorzugsweise zwischen 0 und 100%, wobei die Feuchtigkeit keine Kondensation verursacht ; bevorzugter ist es, wenn die Feuchtigkeit 30% beträgt. Die Verwendung von elektrostatischen Halteeinrichtungen kann grössenmässig über einen gro- &num;en Bereich kontinuierlicher Herstellung angepasst werden, wie zum Beispiel durch Verwendung eines Blattes bzw. eines Bogens oder einer Bahn aus einem essbaren Substrat für die Verwendung mit Tabletten oder zum Beispiel einer Bahn aus einem Inhaliersubstrat, welches beispielsweise zu einzelnen Bändern für individuelle Inhaliervorrichtungen perforiert sein kann. Ein Verfahren für das Abscheiden einer ausgewählten Anzahl von Gegenständen kann umfas- sen : (a) Bereitstellen einer elektrostatischen Halteeinrichtung, die einen Bereich bzw. eine Fläche hat, die X- oder Y-adressierbar ist, (b) in Kontaktbringen der Halteeinrichtung mit Gegenständen, wobei die Gegenstände an der Halteeinrichtung im wesentlichen in den Bereichen haften, die X- oder Y-adressierbar sind, und (c) Freigeben der Gegenstände auf einem aufnehmenden Substrat, welches mit den Flächen der Halteeinrichtung ausgenchtet ist, auf welchen die Gegenstände haften. Ein Verfahren zur Herstellung einer Darreichungs- bzw. Dosierform kann umfassen: (a) Bereitstellen einer elektrostatischen Halteeinrichtung, die eine Fläche hat, welche X- oder Y-adressierbar ist, (b) in Kontaktbringen der Halteeinrichtung mit Teilchen, die einen pharmazeu- tisch wirksamen Bestandteil enthalten, wobei die Teilchen an der Halteeinrichtung im wesentlichen in den Bereichen anhaften, die X- oder Y-adressierbar sind, und (c) Freigeben bzw. Lösen der Teilchen auf einen pharmazeutischen Träger, der mit den Flächen der Halteeinrichtung ausgerichtet ist, aufweichen die Teilchen haften. Die Möglichkeit des Haltens eines pharmazeutischen Substrates ohne Verwendung mechani- scher Einrichtungen hat Vorteile. So kann eine elektrostatische Halteeinrichtung eine Tablette halten, welche nur leicht komprimiert ist und sehr brüchig oder bröckelig wäre, wenn sie durch eine mechanische Einrichtung oder durch eine Vakuumhalterung gehalten werden würde. Zusätzlich steht ohne Bindung an ein bestimmte Theorie zu vermuten, dass die pharmazeutisch akzeptablen <Desc/Clms Page number 5> bzw. geeigneten Träger beispielsweise in Form von Tabletten häufig elektrisch leitfähig sind und ihre Ladung innerhalb von weniger als etwa einer Millisekunde verteilen bzw. abgeben. Eine elektrostatische Halteeinrichtung gewährleistet einen Vorteil, indem sie ihre Ladung aufrechterhält, wahrend ein pharmazeutisches Substrat ansonsten beispielsweise seine Ladung verlieren würde. Elektrostatische Halteeinrichtungen können verwendet werden, um einen Gegenstand oder mehrere Gegenstände während der Verarbeitung in der chemischen und pharmazeutischen Industne zu halten. Eine solche Verarbeitung umfasst das Abscheiden von Teilchen auf den Gegenständen, wie zum Beispiel die Abscheidung eines pharmazeutisch wirksamen Pulvers auf Tabletten. Dies ist beispielsweise besonders zweckmässige, wenn der aktive Bestandteil mit dem übrigen Teil der Tablette unverträglich bzw. inkompatibel ist Weiterhin kann mehr als eine Art von Wirkstoff bzw Bestandteil, wie zum Beispiel zwei wirksame Bestandteile, auf einen Gegenstand, wie zum Beispiel eine Tablette, aufgeschichtet werden. Die Tablette kann ausserdem weiter verarbeitet werden, nachdem die Teilchen auf ihr abgeschieden worden sind, beispielsweise kann die Tablette nach der Abscheidung wiederum beschichtet werden Vorzugsweise werden die Teilchen in einer Ausbildungsform der vorliegenden Erfindung unter Verwendung einer akustischen Abgabevorrichtung abgegeben. (US-Patentanmeldung mit der Serien-Nr 08/630,049, eingereicht : 9. 4.1996, US Patent 5753302) Ohne dass eine Beschränkung auf eine bestimmte Theorie vorgenommen werden soll, wird angenommen, dass das von elektrostatischen Halteeinrichtungen erzeugte elektrische Potential sowohl dazu dienen soll, einen leitfähigen Gegenstand, wie zum Beispiel eine Tablette, an Ort und Stelle zu halten, als auch einen geladenen Gegenstand anzuziehen, wie zum Beispiel Teilchen innerhalb eines Pulvers, und zwar auf ein aufnehmendes Substrat Solche elektrostatische Halteeinrichtungen können für Inhaliersubstrate verwendet werden. Siehe auch die noch folgenden Abschnitte über ladungsabbildende Halteeinrichtungen.

2 Gegenstande, die von elektrostatischen Halteeinrichtungen gehalten werden. A Masse und Arten von Gegenständen Vorzugsweise beträgt die Dicke eines von einer elektrostatischen Halteeinrichtung gehaltenen Gegenstandes weniger als etwa 300 mm und besonders bevorzugt weniger als etwa 100 mm und, was noch mehr bevorzugt ist, weniger als etwa 50 mm, bevorzugter noch weniger als 25 mm, noch bevorzugter weniger als etwa 10 mm, noch bevorzugter weniger als 5 mm und am meisten bevorzugt weniger als 3 mm. Der Gegenstand kann also ein kleiner Gegenstand sein, wie zum Beispiel ein Teilchen, welches im Durchschnitt eine Breite oder einen Durchmesser von weniger als etwa 1 mm hat. Die Halteeinrichtungen können mit einer Vielzahl kleiner Objekte verwendet, die vorzugsweise eine Grösse von etwa 5 Mikrometer bis etwa 500 Mikrometer haben, und vorzugsweise für die Verwendung in der chemischen oder pharmazeutischen Industrie. Die Gegenstände, die von einer Haltevorrichtung gehalten werden, können pharmazeutische Substrate sein, wobei die Gegenstände rund sind, wie zum Beispiel Tabletten. Alternativ sind die Gegenstände beispielsweise länglich und sie können beispielsweise Kapseln oder Hülsen sein. Wenn der Gegenstand eine Tablette ist, hat sie vorzugsweise eine Dicke, die nicht mehr als etwa 3 mm beträgt. Eine Halteeinrichtung kann einen Gegenstand oder Gegenstände halten, welche mit Teilchen beschichtet werden können während sie gehalten werden. Die Teilchen können sich in einem Pulver befinden, welches eine pharmazeutisch wirksame Zusammensetzung aufweist. Vorzugsweise liegt das Pulver in einer trockenen, verkleinerten Form vor, zum Beispiel unter Verwendung eines Luftstrahl-Mahlvorganges und die Teilchen haben zumindest einen Mikrometer Durchmesser und vorzugsweise zwischen etwa 1 bis etwa 10 Mikrometer und besonders bevorzugt zwischen etwa 4 bis etwa 8 Mikrometer. Vorzugsweise wird das Pulver elektrostatisch geladen, bevor es auf die Haltevorrichtung aufgebracht wird, beispielsweise durch Vermischung mit Perlen, zum Beispiel durch mechanisches Schütteln. Weitere pharmazeutische Substrate schliessen beispielsweise ein Suppositorium oder ein e&num;bares Substrat, wie zum Beispiel eine pharmazeutische Tablette, eine Kapsel oder Hülse oder einen wasserlöslichen Film, wie zum Beispiel Hydroxypropylmethylzelluloseharz, ein. Andere Substrate schliessen Zusatz- bzw. Aufbereitungsmittel, Bandagen und Auflagen ein, ebenso wie <Desc/Clms Page number 6> beispielsweise ein Substrat für ein Inhalationsmittel. Beispielsweise kann die Inhalationseinnchtung eine flache, keramische Scheibe sein, auf welcher eine Mehrzahl von Medikamentendosierungen angeordnet sind. Siehe beispielsweise WO ) & /39257, veröffentlicht am 12.12.1996, US-A-5714007. Die Halteeinrichtungen können für zahlreiche andere Arten von Gegenständen verwendet wer- den, einschliesslich (ohne hierauf beschränkt zu sein) eines dünnen leitfähigen Substrates, wie zum Beispiel einem essbaren Polymersubstrat, welches als ein Substrat für die Abscheidung eines pharmazeutisch wirksamen Pulvers verwendet werden kann, und das Substrat kann anschliessend verwendet werden, beispielsweise um eine Tablette zu erzeugen oder zu beschichten. Vorzugs- weise werden überschüssige Gegenstände, die nicht elektrostatisch an der Halteeinrichtung anhaf- ten, vor der Überführung der Gegenstände auf ein Substrat entfernt. Um diese Gegenstände zu lösen, kann das Anlegen einer Spannung beendet werden oder die Spannung kann für eine grösse- re Ablösekraft umgekehrt werden. Zusätzlich zu den pharmazeutischen Gegenständen oder Teilchen können die elektrosta- tischen Halteeinrichtungen verwendet werden, um auch irgendwelche anderen Teilchen anzuzie- hen, die an einer elektrostatischen Halteeinrichtung haften können. Beispielsweise können die Halteeinrichtungen zusätzlich verwendet werden, um Liposome anzuziehen und in Kapseln für kosmetische Zwecke abzuscheiden. B. Zusammensetzung der Gegenstände, welche von den Halteeinrichtungen gehalten werden Vorzugsweise weisen die Tabletten, die durch die elektrostatischen Halteeinrichtungen gehal- ten werden sollen, einen beträchtlichen Anteil an Zellulose auf, vorzugsweise mehr als etwa 50% Zellulose und noch bevorzugter mehr als 60% Zellulose, wobei mehr als 75% Zellulose noch mehr bevorzugt sind und insbesondere vorzugsweise mehr als 90% Zellulose, am meisten bevorzugt etwa 95% Zellulose. In einigen Versionen weisen die Tabletten etwa 65% Laktose und etwa 34% Zellulose auf. In bestimmten Versionen beinhalten die Tabletten etwa 80% Laktose. Vorzugsweise haben die Tabletten keinen Bestandteil, der verursachen würde, dass sie ihre Eigenschaft verlieren, entweder ein guter Leiter oder ein gutes Dielektrikum zu sein. Beispielsweise beinhaltet eine leitfä- hige Tablette, wie zum Beispiel eine, die im wesentlichen aus Zellulose hergestellt ist, keine die- lektrischen Metalloxide, wie zum Beispiel 2- oder 3-wertiges Eisenoxid oder Titanoxid. Vorzugs- weise beträgt die Menge an Eisenoxid, falls sie vorhanden ist, weniger als etwa 1%. Ausserdem beinhaltet die Tablette vorzugsweise keine Feuchtigkeit und beinhaltet vorzugsweise auch keine beträchtliche Menge an Salz, wie zum Beispiel Natriumbikarbonat, welches bei hoher Feuchtigkeit leitfähig wird, wodurch die besonders effektive Betriebsweise der elektrostatischen Halteeinrich- tung aufgrund von Feuchtigkeit beeinflusst würde. Die Tabletten können wahlweise auch zusätzli- che Bestandteile haben, einschliesslich Natriumstärkeglycolat und Magnesiumstearat, ohne jedoch hierauf beschränkt zu sein. Wenn ein essbares Substrat, welches beispielsweise ein darauf abgeschiedenes pharmazeu- tisch wirksames Pulver hat, mit einer Tablette verschmolzen wird, so besteht das essbare Substrat vorzugsweise aus im wesentlichen demselben Bestandteil wie die Tablette, wie zum Beispiel aus Zellulose. Beispielsweise kann Hydroxypropylmethylzellulose verwendet werden, wie zum Beispiel als Edisol M Film M-900 oder EM 1100, welches von Polymer Films Inc. (Rockville, CT) erhältlich ist. Vorzugsweise ist die Dichte der Tablette derart, dass, falls sie einen Durchmesser von etwa 5,6 mm hat, die Tablette nicht mehr als etwa 100 mg wiegt. Das Gewicht kann proportional zum Quadrat des Durchmessers der Tablette sein. Die Leitfähigkeit einer Tablette kann bestimmt werden durch Messen der DC-Impedanz, indem die Tablette zwischen einer Spannungsquelle und einem Pikoamperemeter in einem elektrischen Schaltkreis angeordnet wird. Die Kapazität der Tablette kann gemessen werden, indem die Tablet- tenprobe parallel zu einem Hewlett Packard 4192A Niederfrequenzimpedanzanalysator angeordnet wird, der auf 1 kHz eingestellt ist. Die Tabletten sind vorzugsweise auf beiden Seiten mit einer dünnen Schicht einer leitfähigen Silberfarbe bestrichen, um guten elektrischen Kontakt sicherzu- stellen Es wurden verschiedene Zusammensetzungen getestet und es wurden Leitfähigkeiten zwischen 2,4 x 109# und 6,3 x 109# gefunden. Der Impedanzbereich lag zwischen etwa 2 x 109# <Desc/Clms Page number 7> und 23 x 1010 # Die Kapazität wurde mit 0,3 pF bis 0,5 pF bestimmt, was einer Ladungshaltezeit von 100 usec bis 1 msec. entspricht. 3. Laden der Gegenstände Die an der Halteeinrichtung anzubringenden Gegenstände können vor ihrer Anbringung gela- den. Die Ladung kann beispielsweise entweder eine Plasmaladung oder eine elektrostatische Ladung sein, je nach der Art des Gegenstandes, der an der Halteeinrichtung angebracht werden soll. Wenn beispielweise Perlen bzw. Kügelchen verwendet werden, kann entweder eine Plasma- ladung oder eine elektrostatische Ladung verwendet werden, da keine von beiden eine Beschä- digung der Perlen verursacht. Für andere Gegenstände, die möglicherweise durch Plasmaladung beschädigt werden, wird vorzugsweise die elektrostatische Ladung verwendet. Die Verfahren können elektrostatisches Laden des Gegenstandes vor der Aufbringung desselben an der Halte- einrichtung beinhalten. 4. Ausgestaltung der Halteeinrichtungen Die Grösse der Halteeinrichtung hängt von der Anzahl und Grösse der Gegenstände ab, die un- ter Verwendung der Halteeinrichtung angezogen werden sollen. Vorzugsweise ist die Halteeinrich- tung wiederverwendbar und kann zwischen den Anwendungen gewaschen bzw. gereinigt werden. Wenn eine Halteeinrichtung verwendet wird, um während der Abscheidung von Teilchen, wie zum Beispiel eines Pulvers, welches einen pharmazeutisch wirksamen Bestandteil enthält, ein Aufnahmesubstrat, wie zum Beispiel eine Tablette, zu halten, so sind die Tabletten vorzugsweise dicht gepackt auf der Halteeinrichtung angeordnet, so dass nur die Tabletten das Pulver aufnehmen und die Halteeinrichtung selbst nicht mit dem Pulver beschichtet wird. Beispielsweise kann eine Halteeinrichtung mit einem Mass von 2 Zoll x 2 Zoll (5,082 cm2) etwa 91 Tabletten in Reihen zu 9 Tabletten und Spalten zu 9 Tabletten halten, wobei jede Tablette einen Durchmesser von etwa 5,6 mm hat. Bei einer elektrostatischen Halteeinrichtung ist vorgesehen. dass sie eine leitfähige Schicht aufweist, welche zumindest eine Elektrode für das elektrostatische Anziehen mehrerer Gegenstän- de aufweist. Die Halteeinrichtung kann eine elektrisch leitfähige Schicht aufweisen, die zwei Elek- troden bildet, die in bestimmten Versionen schlangenartig oder fingerartig ineinandergreifend sind und ein höhere Wahrscheinlichkeit gewährleisten, dass die Fläche der beiden Elektroden, die von demselben Objekt bedeckt wird, dieselbe ist, so dass daher Gegenstände an verschiedenen Stellen der Halteeinrichtung auf demselben Potential gehalten werden. Beispielsweise kann die Elektrode eine grössere Oberfläche haben, um einen kleineren Gegenstand elektrostatisch zu halten. Die leitfähige Schicht, welche Gegenstände an die Halteeinrichtung anzieht oder durch welche sie an dieser haften, wird "obere leitfähige Schicht" genannt und diese Schicht ist nicht notwendigerweise die äusserste Schicht der Halteeinrichtung. Beispielsweise kann die obere leitfähige Schicht eine dünne dielektrische Schicht darauf haben, die zwischen der leitfähigen Schicht und den Gegen- ständen liegt. Weiterhin kann die Halteeinrichtung mehr als eine elektrisch leitfähige Schicht haben, die eine Elektrode bildet, auch wenn nur die leitfähige Schicht, welche Gegenstände an die Halteeinrichtung anzieht oder an dieser hält, als "obere leitfähige Schicht" bezeichnet wird. Die elektrostatischen Halteeinrichtungen können aus Festkörpermaterialien, wie zum Beispiel Glas oder Siliziumdioxid oder anderen Keramiken hergestellt sein, denen einen gute dielektrische Festigkeit und damit eine bessere Anziehung von Gegenständen innewohnt. Die bessere dielektri- sche Festigkeit gewährleistet auch eine dünnere Schicht und eine niedrigere Spannung, was die Sicherheit erhöht. Weiterhin sind die Materialien wohlcharakterisiert, haltbar, mechanisch fest und leicht verfügbar. A. Elektrostatische Halteeinrichtung mit zwei Elektroden in der oberen leitfähigen Schicht Gemäss Figur 1 ist die untere elektrisch leitfähige Schicht 610 der Halteeinrichtung 620 mit einer dielektrischen Schicht 630 beschichtet. Oben auf der dielektrische Schicht befindet sich eine obere leitfähige Schicht 640, die eine fingerartig ineinandergreifende Elektroden bildet, und zwar <Desc/Clms Page number 8> mit einer ersten Elektrode 650 und einer zweiten Elektrode 660. Eine zweite dielektrische Schicht 670 ist oben auf der oberen elektrisch leitfähigen Schicht 640 angeordnet. Figur 2 zeigt eine An- sicht von oben auf die beiden fingerartig ineinandergreifenden Elektroden 650 und 660. Diese Halteeinrichtung 620 kann verwendet werden, um, wie dargestellt, einen Gegenstand 680 anzu- ziehen. Während der Verwendung einer elektrostatischen Halteeinrichtung, die eine obere elektrisch leitfähige Schicht mit zwei fingerartig ineinandergreifenden Elektroden hat, wird eine Spannung an den beiden Elektroden der Halteeinrichtung angelegt, vorzugsweise von etwa 200 bis etwa 2000 Volt. Siehe beispielsweise das Beispiel 4, welches unten folgt. Die an einer elektrostatischen Halteeinrichtung angelegte Spannung kann eine Gleichspannung (DC) oder eine Wechselspan- nung (AC) sein, vorausgesetzt, dass derselbe Betrag an Spannung angelegt wird. B. Mathematische Berechnung der Haltekraft der Halteeinrichtunq Ohne eine Beschränkung auf eine bestimmte Theone vornehmen zu wollen, wird angenom- men, dass eine Kontaktfläche für die Tablette von 1 mm2 vorliegt. EMI8.1 Unter der Annahme, dass X die Dicke der dielektrischen Schicht ist und für eine 60 mg Tablette die Schwerkran = 60 x 10-6 kg x 9,8 N/kg¯ 600 !-IN ist, ist die elektrostatische Kraft daher etwa 70 mal grösser als die Schwerkraft. Ohne Beschränkungsabsicht auf eine bestimmte Theorie wird angenommen, dass der Gegen- stand nicht notwendigerweise direkten Körperkontakt mit einer Elektrode in der oberen leitfähigen Schicht haben muss, um durch die Halteeinrichtung elektrostatisch gehalten zu werden. Wenn die Halteeinrichtung, die eine obere leitfähige Schicht mit fingerartig ineinandergreifenden Elektroden hat, verwendet wird, um ein geladenes Pulver beispielsweise auf einer Tablette abzuscheiden, so nimmt die elektrostatische Kraft, welche die Tablette hält, zu, während das geladene Pulver auf der Tablette abgeschieden wird, und liefert dadurch einen zusätzlichen Vorteil in Form einer stärkeren Haltekraft. Es gibt eine begrenzte Menge an geladenem Pulver, welches unter Verwendung der fingerartig ineinandergreifenden Halteeinrichtung abgeschieden werden kann, die auf ein Vor- spannpotential vorgespannt ist. Diese Halteeinrichtung stellt daher den Vorteil bereit, dass sie in der Lage ist, die Menge an Pulver, welches auf einem Substrat abgeschieden wird, zu bestimmen, indem die Menge der verbleibenden Ladung gemessen wird. Die Ladung kann beispielsweise unter Verwendung eines Elektrometers oder Pikoamperemeters gemessen werden. Der Wert der Ladung kann verwendet werden, um die Masse des abgeschiedenen Pulvers zu bestimmen. Die Ausgestaltung dieser Halteeinrichtung gewährleistet ihre Fähigkeit, im Prinzip jedes Objekt, wel- ches im Vergleich zu der starken dielektrischen Schicht auf der Oberseite der Halteeinrichtung leitfähig ist, zu halten. Ohne Beschränkungsabsicht bezüglich einer bestimmten Theorie können die folgenden mathe- matischen Formeln verwendet werden, um die Haltekraft für die in dem Schaltkreisdiagramm gemäss Figur 3 dargestellte Halteeinrichtung zu berechnen. Figur 3A gibt ein Schaltkreisdiagramm einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit einer oberen leitfähigen Schicht wieder, welche zwei Elektroden hat, wobei jede Elektrode einen Gegenstand hat, der an sie angezogen worden ist, und wobei die untere leitfähige Schicht fehlt. Figur 3B gibt ein Schaltkreisdiagramm einer Halteeinrich- <Desc/Clms Page number 9> tung mit einer oberen leitfähigen Schicht, die zwei Elektroden hat, wieder, wobei jede Elektrode denselben Gegenstand angezogen hat und wobei die untere leitfähige Schicht vorhanden ist. Cp1 ist die Kapazität des zwischen einem Gegenstand, wie zum Beispiel einer Tablette, und der ersten Elektrode geformten Kondensators. Cp2 ist die Kapazität des Kondensators, der zwischen einem Gegenstand, wie zum Beispiel einer Tablette, und der zweiten Elektrode gebildet wird ; ist der Widerstand aufgrund des Gegenstandes und V gibt das Haltepotential wieder, welches zu der Kraft, welche den Gegenstand an der Halteeinrichtung hält, in Beziehung steht. Gemäss Figur 3B ist Ce1 die Kapazität des Kondensators, der zwischen der unteren leitfähigen Schicht und der ersten Elektrode gebildet wird. Ce2 ist die Kapazität des Kondensators, der zwischen der unteren elektrisch leitfähigen Schicht und der ersten Elektrode gebildet wird und V1 gibt das Vorspann- potential wieder. Ein leitfähiger Gegenstand und die Elektrode in der oberen leitfähigen Schicht bilden einen Kondensator mit einer Kapazität, die näherungsweise gleich EMI9.1 ist, wobei SD die Dielektrizitätskonstante im Vakuum ist und sr die relative dielektrische Konstante der dielektrischen Schicht auf der Oberseite der Elektroden in der oberen elektrisch leitfähigen Schicht ist. A ist die Kontaktfläche und d ist die Dicke der dielektrischen Schicht. Die Kraft, welche den leitfähigen Gegenstand und die Elektrode in der oberen, elektrisch leitfähigen Schicht hält, ist gegeben durch EMI9.2 wobei V die Spannung ist, die über der dielektrischen Schicht anliegt. Unter der Annahme, dass #= 3 für ein Polymer ist, V = 350 Volt, d = 10 m und A = 15 mm2, ist die elektrostatische Kraft 0,24 N. Wenn das Material eine Masse von 60 mg hat, so ist die Schwerkraft 0,59 mN. Die elektrostatische Kraft ist über 400 mal stärker als die Schwerkraft. In dem Schaltkreisdiagramm, welches in Figur 3 dargestellt ist, ist Vad = V. Unter der Voraus- setzung, dass genügend Ladungszeit verstrichen ist, nachdem die Spannung V angelegt wurde, ist Vbc= 0. Wenn die geladenen Pulver auf Rp landen, wird die Spannung an den beiden Kondensato- ren neu ausgebildet. Jedoch hält die Strom- bzw. Spannungsversorgung den Gesamtspannungs- abfall Vad konstant In einer praktischen Auslegung ist Cp1 näherungsweise dieselbe wie Cp2 und Vab- Vcd- V/2. Die gesamte anziehende Kraft ist proportional zu (Vab2 + Vcd2)- V2/2. Wenn die Spannung an dem Punkt b (oder c) um V' geändert wird aufgrund des Auftreffens der Ladungspul- ver, so ist die neue anziehende Kraft proportional zu V2/2 + 2V2= V2/4 + V'2. Als Folge der Hinzu- fügung des geladenen Pulvers nimmt die anziehende Kraft zu Ausserdem wird der normale Leck- strom durch die beiden Kondensatoren, die einen begrenzten Widerstand haben, ebenso durch die Stromversorgung zugeführt. Das angelegte Potential V kann auf einer getrennten Spannungsdifferenz Vf bezüglich Masse gehalten werden. Das Potential an dem leitfähigen Material (bei dieser Anwendung ist das leitfähi- ge Material eine Tablette) ist Vf + V/2. Wenn die Tablette einer Wolke geladenen Pulvers ausge- setzt ist, so erfährt das Pulver das Feld aufgrund des Potentials Vf + V/2 und wird entsprechend dem Vorzeichen der Ladung auf dem Pulver angezogen oder abgestossen. Wenn die resultierende Kraft anziehend ist, so wird das Pulver auf der Tablette abgeschieden. Da sowohl Vf als auch V hinsichtlich ihrer Grösse ebenso wie hinsichtlich ihres Vorzeichens kontrolliert bzw. eingestellt werden können, kann die resultierende Kraft gesteuert werden, so dass sie für die Abscheidung anziehend ist. Ohne Beschränkung auf eine bestimmte Theorie wird angenommen, dass, bevor irgendwelches leitfähiges Material an der in Figur 1 und in dem Schaltkreisdiagramm in Figur 3 dargestellten Halteeinrichtung angebracht wird, die Ladungen sich an den Kanten bzw. Ecken der Elektroden konzentrieren. Es gibt ein relativ schwaches elektrisches Randfeld an der Oberseite der elektrosta- <Desc/Clms Page number 10> tischen Halteeinrichtung. Dieses Feld ist möglicherweise nicht stark genug, um eine Neuverteilung der Ladung in der Tablette zu bewirken, um die Tablette an der Halteeinrichtung anzubringen. Diese Einschränkung wird beseitigt durch Hinzufügung einer unteren leitfähigen Schicht unter der Halteeinrichtung, die auch als rückwärtige oder unterstützende Ebene bekannt ist. Diese leitfähige Schicht bewirkt, dass sich die Ladungen auf den Elektroden gleichmässiger über die Elektroden neu verteilen. Als Ergebnis davon werden ein höheres elektrisches Randfeld auf der Oberseite der Halteeinrichtung und eine bessere anfängliche Anziehung zwischen der Tablette und der Halteein- richtung ausgebildet. Der neue äquivalente Schaltkreis ist in Figur 3B dargestellt. C. Elektrostatische Halteeinrichtung mit Einzelelektrode in der oberen leitfähigen Schicht Die Halteeinrichtung weist eine obere leitfähige Schicht auf, die eine einzelne Elektrode hat. Vorzugsweise umfasst die Halteeinrichtung drei Schichten. Die untere Schicht ist vorzugsweise eine aus Metall hergestellte, untere elektrisch leitfähige Schicht, wie zum Beispiel aus Aluminium. Alternativ kann die untere Schicht beispielsweise auch halbleitend sein, wie zum Beispiel ein Siliziumwafer. Die mittlere Schicht ist eine dielektrische Schicht, die vorzugsweise eine hohe dielektrische Festigkeit hat, wie zum Beispiel thermisch gewachsenes Siliziumdioxid. Die obere Schicht ist eine obere leitfähige Schicht, welche die Elektrode bildet, und welche sich von der Oberseite der dielektrischen Schicht nach aussen erstrecken kann oder zurückspringend sein kann, wobei sie sich nach innen in die dielektrische Schicht hinein erstreckt. Die obere leitfähige Schicht ist aus einem leitfähigen Material, wie zum Beispiel Metall, beispielsweise Kupferdrähten, oder einem Halbleiter, beispielsweise polykristallinem Silizium, hergestellt. Vorzugsweise hat die obere leitfähige Schicht keinen nennenswerten negativen Effekt auf eine pharmazeutische wirksame Zusammensetzung. In bevorzugten Ausführungsformen beträgt die Dicke der oberen leitfähigen Schicht zwischen etwa 100 nm und etwa 500 nm. Vorzugsweise weist die obere elektrisch leitfähi- ge Schicht leitfähige Streifen auf, und wenn sie für das Anziehen mehrerer Gegenstände verwen- det wird, so ist die Breite der Fläche zwischen den Streifen vorzugsweise in etwa gleich dem durchschnittlichen Durchmesser der Gegenstände, wodurch eine vollständige Abdeckung der Elektrode bereitgestellt wird, wenn die maximale Anzahl von Gegenständen von der Halteeinrich- tung gehalten wird. Wenn also die Halteeinrichtung verwendet wird, um Gegenstände zu halten, während Teilchen auf den Gegenständen abgeschieden werden, so gewährleistet diese Ausgestal- tung im wesentlichen eine Beseitigung bzw. Vermeidung von Abscheidung auf der Halteeinrichtung selbst. Gemäss Figur 4B hat die elektrostatische Halteeinrichtung 910 beispielsweise eine untere elek- trisch leitfähige Schicht 920 mit einer dielektrischen Schicht 930 darauf. Die obere leitfähige Schicht 940 steht entweder nach aussen von der dielektrischen Schicht 930 vor, wie es in Figur 4B dargestellt ist, oder sie ist zurückspringend bzw. eingedrückt in die dielektrische Schicht 930, wie es in Figur 4C dargestellt ist. Eine Ansicht von oben auf die Streifen bzw. Striation in der oberen elektrisch leitfähigen Schicht 940 ist in Figur 4A dargestellt. Während der Verwendung der elektro- statischen Halteeinrichtung wird ein Vorspannpotential zwischen der oberen leitfähigen Schicht 940 und der unteren leitfähigen Schicht 920 angelegt. Ohne Beschränkungsabsicht bezüglich einer bestimmten Theorie wird vermutet, dass dann, wenn die oben beschriebene Halteeinrichtung mit einer einzelnen Elektrode in der oberen elek- trisch leitfähigen Schicht verwendet wird, beispielsweise um Tabletten elektrostatisch zu halten, während ein geladenes Pulver auf die Tabletten aufgebracht wird, keine Ladungsneuverteilung in der Tablette vorliegt, sondern dass stattdessen die Tablette direkt durch den Kontakt mit der Elek- trode geladen wird. Daher kann eine unbegrenzte Menge an geladenem Pulver auf den Tabletten abgeschieden werden. D. X-Y-Adressierbarkeit der Halteeinrichtungen und deren Verwendung Eine der leitfähigen Schichten, wie zum Beispiel die untere leitfähige Schicht der elektro- statischen Halteeinrichtung, kann x-adressierbar oder x-y-adressierbar sein, so dass die Position von Gegenständen, die an die Halteeinrichtung angezogen werden, ausgewählt werden kann. Beispielsweise hat in einer x-adressierbaren Halteeinrichtung die untere elektrisch leitfähige <Desc/Clms Page number 11> Schicht Reihen, von welchen eine einzelne Reihe zu einem Zeitpunkt aktiviert werden kann. Man kann also die Plazierung von Gegenständen nur auf einer bestimmten Reihe der elektrostatischen Halteeinrichtung auswählen, anstatt auf jeder Reihe der Halteeinrichtung. Bei einer x-y-adressierbaren Halteeinrichtung entspricht die Fläche der unteren elektrisch leitfähigen Schicht jeweils einer Reihe und einer Spalte und sie kann daher vorzugsweise für jeden Gegenstand von dem übrigen Bereich der unteren leitfähigen Schicht, welcher irgendwelchen anderen Reihen und Spalten entspricht, unabhängig gemacht werden. Man kann also beispielsweise die Anordnung von Gegenständen nur auf bestimmten Flächen der elektrostatischen Halteeinrichtung anstatt auf der gesamten Halteeinrichtung auswählen. Eine elektrostatische Halteeinrichtung kann eine Ausgestaltung für das Abscheiden einer ausgewählten Anzahl von Gegenständen nur auf einem Aufnahmesubstrat aufweisen. Vorzugsweise haben die Gegenstände eine Dicke von weniger als etwa 3 mm und die Ausgestaltung der Halteeinrichtung weist vorzugsweise eine elektrisch leitfähige Schicht auf, die eine x- oder y-adressierbare Fläche für das Abscheiden einer ausgewählten Anzahl von Gegenständen auf dem Aufnahmesubstrat hat. Vorzugsweise hat die Halteeinrichtung mehrere Flächen, die x- oder y-adressierbar sind, wobei jede Fläche vorzugsweise einem getrennten Substrat, wie zum Beispiel einem pharmazeutischen Träger, entspricht. In bevorzugten Ausführungsformen werden die Gegenstände im wesentlichen gleichzeitig auf mehreren Substraten abgeschieden und in bestimmten Ausführungsformen sind die Substrate miteinander verbunden. Beispielsweise können die Substrate ein pharmazeutischer Träger und die Gegenstände können beispielsweise Teilchen in einem Pulver, Mikrokügelchen oder Liposome, welche einen pharmazeutisch wirksamen Bestandteil enthalten, sein und sie können gemeinsam eine pharmazeutische Verabreichungsform (Dosierform) erzeugen bzw bilden. Wenn die Substrate miteinander verbunden sind, so kann eine Mehrfachdosierungspackung gebildet werden, auf welcher die Dosierung beispielsweise von einer Einheit zu der nächsten abnimmt, wie zum Beispiel bei einer Mehrfachdosierungspackung zur Geburtenkontrolle. Die Dosierung kann festgelegt werden durch die Anzahl von Gegenständen, die in bzw. auf jedem pharmazeutischen Träger angeordnet werden unter Verwendung einer elektrostatischen Halteeinrichtung. Dies stellt damit eine Mehrfachdosierungs- bzw. Mehrfachdarreichungsform bereit, welche Einheiten hat, von welchen jede Einheit eine Dosierung hat, zumindest zwei Einheiten unterschiedliche Dosierungen haben, und die Dosierungen durch die Anzahl von Mikrokügelchen in der Einheit bestimmt werden. In bestimmten bevorzugten Ausführungsformen liegt der durchschnittliche Durchmesser der Mikrokügelchen zwischen etwa 1 und etwa 500 Mikrometer, in einigen Fällen vorzugsweise zwischen 100 und 500 Mikrometer und in anderen Fällen vorzugsweise bis etwa 50 Mikrometer. Vorzugsweise weisen die Mikrokügelchen ein pharmazeutisch annehmbares bzw. verträgliches Polyalkylen auf, wie zum Beispiel Polyethylenglycol, das vorzugsweise in einer Konzentration von zumindest etwa 90% vorliegt und noch bevorzugter mit etwa 95% Polyethylenglycol. Die hier beschriebenen Halteeinrichtungen, wie zum Beispiel für das Anziehen von Tabletten und für das Erzeugen von Ladungsbildern mit einer anderen dielektrischen Schicht, können verwendet werden, um die oben beschriebenen Mehrfachdosierungsformen zu erzeugen. Siehe zum Beispiel Figur 13. E. Ladungsabbildende elektrostatische Halteeinrichtunqen mit erdfreien Elektroden Elektrostatische Halteeinrichtungen können für die Verwendung bei der Ladungsabbildung bzw. Ladungsbildgebung verwendet werden. Insbesondere weist eine solche elektrostatische Halteeinrichtung eine erdfreie Elektrode für die Ladungsabbildung auf. Eine elektrostatische Halteeinrichtung für Ladungsabbildung weist drei Schichten, vorzugsweise mit einer wahlweise vorhandenen vierten Schicht auf. Die untere Schicht ist die untere elektrisch leitfähige Schicht, die auch als rückwärtige Elektrode bzw Auffangelektrode bekannt ist. Die zweite Schicht, die sich auf der unteren leitfähigen Schicht befindet, ist eine dielektrische Schicht. Die dntte Schicht ist eine obere leitfähige Schicht oben auf der dielektrischen Schicht und diese obere leitfähige Schicht hat zwei Typen von Elektroden, nämlich erdfreie Elektroden und Abschirmelektroden. Bevorzugterweise sind die erdfreien Elektroden von den anderen Leitern elektrisch isoliert und es gibt einen Spalt zwischen den erdfreien und den Abschirmelektroden. Die vierte (wahlweise vorhandene) Schicht oben auf der oberen leitfähigen Schicht ist eine dielektrische Schicht, welche vorzugsweise dieje- <Desc/Clms Page number 12> nige Schicht ist, welche mit dem Medikamentenpulver Kontakt hat. Ohne Beschränkungsabsicht auf eine bestimmte Theorie wird angenommen, dass dann, wenn ein Potential zwischen den Ab- schirm- und den rückwärtigen bzw. Auffang- oder Unterstützungselektroden angelegt wird, auf den erdfreien Elektroden eine Ladungsneuverteilung bzw. Ladungsumverteilung auftritt Diese La- dungsumverteilung bewirkt, dass elektrostatisch geladene Gegenstände an die Flächen der Halte- einrichtung angezogen werden, welche den erdfreien Elektroden entsprechen, was daher zu einer Abscheidung in diesen Bereichen führt. Vorzugsweise gibt es ein hohes Randfeld in dem Spalt zwischen den erdfreien und den Abschirmelektroden, jedoch ist dieses Feld vorzugsweise nicht gross genug, um eine elektrische Entladung zu bewirken. Die untere elektrisch leitfähige Schicht kann beispielsweise aus Metall, wie zum Beispiel aus Silber, Kupfer oder aluminisiertem Polypropylen hergestellt sein und sie hat vorzugsweise eine Dicke von etwa 500 nm. Die dielektrische Schicht kann beispielsweise aus Polyimid, Polypropylen oder einer halbleitenden Schicht hergestellt sein, wie zum Beispiel einer Keramik, zum Beispiel Si02, wie einem thermisch gewachsenen Siliziumdioxid, und sie ist vorzugsweise etwa 0,5 mil (ca. 0,013 mm) bis 2 mil (ca. 0,051 mm) (1 mil = tausendstel Zoll) dick. Die obere elektrisch leitfähige Schicht ist vorzugsweise aus Metall, wie zum Beispiel Silber, hergestellt Vorzugsweise ist die obere leitfähige Schicht aus einem Material hergestellt, welches pharmazeutisch wirksame Mate- rialien nicht in negativer Weise beeinflusst. Die obere leitfähige Schicht kann beispielsweise aus einer dünnen Goldfilmbeschichtung her- gestellt sein und vorzugsweise haben die erdfreien und die Abschirmelektroden dieselbe Dicke, die vorzugsweise etwa 500 nm beträgt. In bevorzugten Ausführungsformen hat der Spalt zwischen der erdfreien Elektrode und der Abschirmelektrode ein Mass von etwa 25 Mikrometer bis etwa 500 Mikrometer. Die Form der erdfreien Elektrode kann variiert werden und sie kann unregelmässig sein, solange der Spalt zwischen der erdfreien Elektrode und der Abschirmelektrode im wesentli- chen konstant bleibt. In bestimmten bevorzugten Ausführungsformen ist die erdfreie Elektrode rund und bildet einen Punkt, der verwendet werden kann, um ein ausgewähltes Muster zu erzeugen. In bestimmten bevorzugten Ausführungsformen ist die Abschirmelektrode geerdet. Die Abschirm- elektrode ist bezüglich der unteren leitfähigen Schicht vorgespannt. Die Polarität der Vorspannung ist vorzugsweise entgegengesetzt zu der Spannung des Pulvers, das auf dem Substrat abgeschie- den werden soll. Die vierte Schicht oben auf der oberen leitfähigen Schicht ist eine wahlweise vorhandene, dünne dielektrische Schicht, die vorzugsweise aus Polyimid oder einem anderen Material hoher dielektrischer Festigkeit hergestellt ist und sie hat vorzugsweise eine Dicke von etwa 10 Mikrome- ter bis etwa 50 Mikrometer Die erdfreien Elektroden der ladungsabbildenden Halteeinrichtung bestimmen das Muster der Abscheidung des Medikamentenpulvers auf dem Substrat und sie halten das Pulver darauf. Wäh- rend der Abscheidung von Pulver ist die ladungsabbildende Halteeinrichtung elektrisch mit einer Strom- bzw. Spannungsquelle verbunden, die anschliessend nach der Abscheidung abgetrennt wird. Die erdfreien Elektroden können beispielsweise so ausgestaltet werden, dass sie räumlich individuelle Dosierungen auf einem Substrat festlegen. Solche Substrate umfassen beispielsweise eine Tablette und ein Inhaliersubstrat. Für das Ladungsabbilden werden bevorzugterweise die erdfreien Elektroden verwendet, um gezielt Teilchen an ein Substrat in Kontakt mit den erdfreien Elektroden anzuziehen. Vorzugsweise hat das Substrat körperlichen Kontakt mit den erdfreien Elektroden. Ohne Beschränkungsabsicht auf eine bestimmte Theorie wird angenommen, dass die Verwendung von erdfreien Elektroden bei der elektrostatischen Halteeinrichtung ein Abbild von Ladungen durch kapazitives Koppeln erzeugt. Jede erdfreie Elektrode hat eine Ladung, die verschoben wird, wenn geladene Teilchen mit der Elektrode in Kontakt kommen. Der Vorgang der Abscheidung der geladenen Teilchen auf der erdfreien Elektrode setzt sich fort, bis die erdfreie Elektrode kein Potential mehr verschieben kann, nämlich an dem Punkt, an welchem sie dasselbe Potential hat wie die Abschirmelektrode. Gemäss Figur 5 hat die Halteeinrichtung 1110 eine untere leitfähige Schicht 1120 mit einer dielektrischen Schicht 1130 darauf. Die dielektrische Schicht hat eine obere leitfähige Schicht 1140 darauf. Die obere leitfähige Schicht 1140 ist elektrisch gekoppelt, jedoch mit einem Spalt 1150 zwischen einer Abschirmelektrode 1160 und einer erdfreien Elektrode 1170. Eine Ansicht von oben auf die obere leitfähige Schicht 1140 ist in Figur 6 dargestellt, wobei sich die erdfreie Elektrode <Desc/Clms Page number 13> 1170 im Zentrum befindet, mit einem Spalt 1150 zwischen der erdfreien Elektrode und der umge- benden Abschirmelektrode 1160. Die Fläche der unteren leitfähigen Schicht 1120, die jeder erd- freien Elektrode entspricht, kann in Reihen adressierbar gemacht werden, wie das oben beschrie- bene x-adressierbare Haltesystem, und sie kann individuell adressierbar sein, wie das oben be- schriebene x-y-adressierbare Haltesystem. Während des Gebrauchs wird zwischen der Abschirmelektrode und der unteren leitfähigen Schicht ein Vorspannpotential angelegt. Wenn die abzuscheidenden Teilchen positiv geladen sind, so ist das Vorspannpotential negativ, und wenn die abzuscheidenden Teilchen negativ geladen sind, so ist das Vorspannpotential positiv. Vorzugsweise ist die Abschirmelektrode mit Masse verbunden. Während der Abscheidung von Teilchen wird die Zeitdauer der Abscheidung vorzugs- weise so lange fortgesetzt, bis tatsächlich jede einzelne erdfreie Elektrode ihren Grenzwert erreicht hat, in welchem das Potential der erdfreien Elektrode mit dem Potential der Abschirmelektrode zusammenpasst. Bei der Verwendung einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit erdfreien Elektroden für das Abscheiden von Pulver auf einem Substrat wird die Menge des auf dem Substrat abgeschiedenen Pulvers bestimmt durch die Ladung oder das Vorspannpotential der Halteeinrichtung und es kann nur eine begrenzte Menge an Pulver abgeschieden werden. Ohne Beschränkungsabsicht hinsicht- lich einer bestimmten Theorie wird angenommen, dass die Abscheidung von Pulver dann aufhört, wenn die Ladungen auf der erdfreien Elektrode nicht mehr umverteilt werden können, was dann auftritt, wenn die Abschirmelektrode und die erdfreie Elektrode im wesentlichen dasselbe Potential haben. Vorzugsweise befinden sich sowohl die erdfreien als auch die Abschirmelektroden auf Massepotential, wenn die Abscheidung vollständig bzw. vollendet ist. Die Menge an abzuschei- dendem Pulver kann daher gesteuert bzw. eingestellt werden, durch die Kontrolle des Vorspann- potentials und sie steht in keiner Beziehung zu der Dauer der Abscheidung, sobald der Grenzwert erreicht worden ist. Weiterhin wird das Muster der Abscheidung festgelegt durch das Muster der erdfreien Elektroden, wodurch ein Ladungsabbild erzeugt wird. Beispielsweise kann eine Halteeinrichtung verwendet werden für das Ladungsabbilden auf einem Substrat, um die Abscheidung von Teilchen in einem bestimmten Muster auf dem Substrat festzulegen Bevorzugterweise werden Teilchen eines Pulvers, das einen pharmazeutisch wirksa- men Bestandteil enthält, in einem ausgewählten Muster auf einem aufnehmenden, pharmazeuti- schen Substrat abgeschieden. Bevorzugterweise ist das aufnehmende Substrat ein dünnes, die- lektrisches Material, wie zum Beispiel Polypropylen oder ein anderes dünnes essbares Substrat, wie zum Beispiel Hydroxypropylmethylzellulose, welches vorzugsweise eine Dicke von etwa 25 Mikrometern hat. Alternativ kann beispielsweise eine elektrostatische, ladungsabbildende Halteeinrichtung mit einer erdfreien Elektrode verwendet werden, um ein Inhalationssubstrat zu bilden und um die elektrostatische Abscheidung von beispielsweise trockenem Pulver auf dem Substrat zu bestim- men. Die Halteeinrichtung mit Ladungsabbildung kann beispielsweise verwendet werden, um die räumliche Positionierung individueller Dosierungen auf einem Substrat festzulegen. Zusätzlich kann die leitfähige Schicht der elektrostatischen Halteeinrichtung in dem Inhalationssubstrat ver- wendet werden für das elektronisch unterstützte Ablösen des Pulvers. Weiterhin kann die ladungsabbildende Halteeinrichtung ausserhalb der pharmazeutischen In- dustrie verwendet werden, wie zum Beispiel für die Festlegung des Abscheidungsmusters einer Zuckerbeschichtung auf einem Lebensmittelgegenstand. Die elektrostatischen, ladungsabbilden- den Halteeinrichtungen können verwendet werden, um Gegenstände beispielsweise für die Auf- bringung eines Gestaltungsmusters, wie zum Beispiel einer Zuckerbeschichtung auf einem essba- ren Substrat, zu halten. Alternativ können beispielsweise die elektrostatischen Halteeinrichtungen mit Ladungsabbildung verwendet werden, um Gegenstände für die Aufbringung einer trockenen Pulverbemalung bzw. Pulverbeschichtung oder -lackierung, zu erhalten. Ohne Beschränkungsabsicht bezüglich einer bestimmten Theorie können die folgenden mathe- matischen Formeln verwendet werden, um die Pulvermenge zu ermitteln, die von der elektrostati- schen Halteeinrichtung mit erdfreier Elektrode gehalten werden kann, welche in dem Schaltkreis- diagramm dargestellt ist, welches in Figur 7 vorgesehen ist. Gemäss Figur 7 ist C die Kapazität des Kondensators, der zwischen der unteren leitfähigen Schicht e1 und der erdfreien Elektrode e1 gebil- det wird. Cs ist die Streukapazität des zwischen der erdfreien Elektrode ef und der Schirmelektrode <Desc/Clms Page number 14> es gebildeten Kondensators. C' ist die Kapazität des Kondensators zwischen der erdfreien Elektro- de ef und der virtuellen Elektrode ev gebildet wird, die ihrerseits durch die abgeschiedenen gelade- nen Pulver gebildet wird. Das Potential der erdfreien Elektrode ef kann nur irgendeinen Wert zwi- schen demjenigen der Abschirmelektrode es und der unteren leitfähigen Schicht e1 annehmen, wobei die Abschirmelektrode es in dem in Figur 7 dargestellten Diagramm geerdet ist. Die maximale Ladung, welche die erdfreie Elektrode halten kann, hängt von dem Vorspann- potential und dem Kondensator C ab, und zwar gemäss der Gleichung Qmax = CV. Wenn das Rand- feld vernachlässigt wird, um die maximale Ladung zu berechnen, so gilt die folgende Gleichung: EMI14.1 wobei A der Oberflächenbereich der erdfreien Elektrode und d die Dicke der dielektrischen Schicht zwischen der erdfreien Elektrode und der Abschirmelektrode ist. Da Cs sehr klein im Vergleich zu C ist, ist die abgeschiedene Ladung Q' näherungsweise gleich Q. Die Masse M des abgeschiedenen Pulvers ist dann die folgende: EMI14.2 wobei das Ladung-zu-Masse-Verhältnis des geladenen Pulvers ist. Beispielsweise ist, wenn Er = 2, d = 50 m der Durchmesser der erdfreien Elektrode = 4 mm, = 50 uC/g und V = 8 kV ist, M gleich 1,2 mg. Die maximale Masse an Pulver, die man unter diesen Bedingungen für die Abschei- dung erwarten kann, beträgt also 1,2 mg. Da Cs C, ist Q' = C'V == Q. Daher wird die maximale Menge an geladenem Pulver geliefert durch die folgende Gleichung: EMI14.3 Ein Verfahren zur Ladungsabbildung oder Abscheidung von Teilchen auf ausgewählten Bereichen eines Substrates ist vorgesehen, wobei das Verfahren die Verwendung einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit erdfreien Elektroden in den Bereichen der Halteeinrichtung einschliesst, welche den ausgewählten Bereichen bzw. Flächen auf dem Substrat entsprechen. Ein Gegenstand mit ausgewählten Flächen ist vorgesehen, auf welchen Teilchen auf dem Gegenstand über elektrostatische Einrichtungen aufgebracht werden. Die Teilchen weisen bevorzugterweise einen pharmazeutisch wirksamen Bestandteil auf. Vorzugsweise ist der Gegenstand für den menschlichen Konsum geeignet. Der Gegenstand kann ein pharmazeutisches Substrat, wie zum Beispiel ein Inhaliersubstrat, eine Tablette, ein Suppositorium (Zäpfchen), ein Aufbereitungsmittel (Verbandsmaterial), eine Bandage oder eine Auflage (Pflaster) aufweisen. Vorzugsweise wird die Menge an Teilchen, welche auf dem Gegenstand aufgebracht werden, unter Verwendung einer Sensorelektrode in einer elektrostatischen Halteeinrichtung bestimmt. Vorteile des Gebrauchs einer elektrostatischen Halteeinrichtung für die Abscheidung von Teilchen und für die Ladungsabbildung schliessen die Fähigkeit ein, ein Substrat genauer und gleichmässiger zu beschichten, was besondere wichtig ist, wenn die Dosierung des wirksamen Bestandteiles niedrig ist, wie zum Beispiel im Bereich von 1 (am bis 1 mg. Andere Niedrigdosierungsbereiche schliessen beispielsweise den Bereich von 1 m bis etwa 500 g und von etwa 10 g bis etwa 250 g und von etwa 20 g bis etwa 100 g ein, wie zum Beispiel etwa 25 ug. Weiterhin liefert die Verwendung einer elektrostatischen Halteeinrichtung für das Abscheiden von Teilchen und für die Ladungsabbildung beispielsweise den Vorteil eines Mechanismus für das Aufbringen eines aktiven Bestandteils auf einen pharmazeutischen Träger, welcher möglicherweise nicht vermischbar oder auf andere Weise inkompatibel bzw unverträglich mit diesem wirksamen Bestandteil ist. F. Sensorelektrode für das Bestimmen der Menge von Gegenständen, die auf einem Aufnah- <Desc/Clms Page number 15> mesubstrat abgeschieden werden Zusätzlich zu der Bereitstellung elektrostatischer Halteeinrichtungen mit erdfreien Elektroden für die Ladungsabbildung sind auch Halteeinrichtungen mit Sensorelektroden für das Abfühlen der auf einem Substrat abgeschiedenen Ladungsmenge vorgesehen. Weiterhin kann eine einzelne Halteeinrichtung sowohl erdfreie als auch Sensorelektroden haben. Die Ladungsmenge, die auf der Halteeinrichtung abgeschieden werden kann, kann auf eine endliche Zahl bzw. Grösse beschränkt sein und diese Einschränkung liefert einen Mechanismus für das exakte Bestimmen der Pulvermenge, die auf dem von der Halteeinrichtung gehaltenen Substrat abgeschieden wird. Eine elektrostatische Halteeinrichtung hat eine Sensorelektrode für das Abfühlen der Anzahl von Teilchen, welche an die Halteeinrichtung angezogen worden sind, insbesondere, wenn die Halteeinrichtung bezüglich der Menge geladener Teilchen, die auf einem von der Halteeinrichtung gehaltenen Substrat abgeschieden werden können, sich nicht automatisch selbst begrenzt. Die elektrostatischen Halteeinrichtungen oder anderen Flächen, auf welchen ein Aufnahmesubstrat angeordnet ist, schliessen wahlweise Sensorelektroden ein, um die auf dem Aufnahmesubstrat abgeschiedene Ladungsmenge zu erfassen bzw abzufühlen. In bestimmten Versionen kann die Ladungsmenge, die beispielsweise auf einer elektrostatischen Halteeinrichtung abgeschieden werden kann, auf eine endliche Zahl beschränkt und diese Einschränkung liefert einen Mechanismus für das genaue Bestimmen der Pulvermenge, die auf einem von der Halteeinrichtung gehaltenen Substrat abgeschieden ist. Alternativ kann die Abscheidungsmenge nicht selbstbegrenzend bzw. automatisch begrenzt sein. Eine Sensorelektrode kann beispielsweise mit einer akustischen Abgabeeinrichtung verwendet werden, um die auf einer Tablette abgeschiedene Pulvermenge zu bestimmen, wobei das Pulver einen pharmazeutisch wirksamen Bestandteil enthält. Die Sensorelektrode stellt damit einen genaueren und gleichmässigeren Weg für das Abgeben einer ausgewählten Menge von Gegenständen bereit. Dies ermöglicht beispielsweise die exakte Abscheidung einer ausgewählten Menge eines pharmazeutisch wirksamen Bestandteiles, welcher auf einem Substrat abgeschieden wird, insbesondere wenn der wirksame Bestandteil nur in kleinen Dosismengen vorhanden ist. Die Sensorelektrode hat vorzugsweise zwei Schichten. Die Bodenschicht ist eine untere leitfähige Schicht, die eine aus Metall, wie zum Beispiel Aluminium, hergestellte Elektrode bildet. Die obere Schicht, die den Teilchen ausgesetzt ist, welche abgeschieden werden, ist eine dielektrische Schicht und sie ist aus einem Material hergestellt, welches eine hohe dielektrische Festigkeit hat, wie zum Beispiel Aluminiumoxid. Zusätzlich kann die Sensorelektrode beispielsweise aus einem dünnen, aluminisierten Polypropylenblatt oder einem dünnen Polyimidblatt mit einer rückwärtigen Kupferbeschichtung hergestellt sein. Ohne dass eine Beschränkung auf eine bestimmte Theorie vorgenommen werden soll, wird angenommen, dass die geladenen Teilchen auf der dielektrischen Schicht landen und eine gleiche und entgegengesetzte Ladung auf der leitfähigen Schicht induzieren. Wegen des Vorhandenseins der dielektrischen Schicht ist die Möglichkeit einer Ladungsneutralisierung beträchtlich vermindert. Gemäss Figur 8 ist die Sensorelektrode 1310 beispielsweise aus einer unteren leitfähigen Schicht 1320 und einer oberen dielektrischen Schicht 1330 aufgebaut. Wie in Figur 9 dargestellt, kann die Sensorelektrode 1310 beispielsweise in einem Bereich ausserhalb des Substrats 1410 angeordnet werden, welches die Abscheidung der Teilchen aufnimmt. In dieser Figur hat die Sensorelektrode 1310 die Form eines Ringes und es können auch andere Formen verwendet werden. Die Sensorelektrode 1310 kann beispielsweise auch innerhalb des Bereiches des Substrates 1410 angeordnet werden, welcher die Abscheidung der Teilchen aufnimmt, wie es in Figur 10A dargestellt ist, wenn es eine einzige von dem Substrat aufgenommene Abscheidung gibt. Alternativ kann beispielsweise, wenn es mehrere Substrate 1410 gibt, die Sensorelektrode 1310 innerhalb des Abscheidungsbereiches angeordnet werden, vorzugsweise in Form eines der Substrate 1410, welche eine Abscheidung aufnehmen, wie zum Beispiel einer Tablette. Gemäss Figur 10B ahmt beispielsweise die Form der Sensorelektrode 1310 die Form eines der Substrate 1410 nach. Die Sensorelektrode ist vorzugsweise in einem Bereich angeordnet, der eine Menge an auf der Sensorelektrode abzuscheidenden Teilchen in unmittelbarem Verhältnis zu der Menge an Abscheidung auf dem Substrat gewährleistet. Für ein einzelnes Substrat können mehr als eine Sensor- <Desc/Clms Page number 16> elektrode verwendet werden. Beispielsweise kann das Vorhandensein von zwei Sensorelektroden bei der Abscheidung auf einem einzelnen Substrat verwendet werden, um die Beziehung zwischen der Abscheidungsmenge, die auf dem Substrat und in den Bereichen ausserhalb des Substrates auftritt, zu bestimmen. Die Masse der auf dem Substrat (den Substraten) abgeschiedenen Teilchen wird bestimmt, sobald die Ladung der Sensorelektrode gemessen wird. Um die abgeschiedene Menge an Ladung zu messen, wird die Sensorelektrode mit einem Kondensator bekannten Wertes in Reihe geschaltet. Beispielsweise induziert ein Kondensator von 1 nF eine Spannung von 1 Volt, wenn eine Ladung von 1 nC aufgesammelt worden ist. Der andere Pol des bekannten Kondensators wird mit Masse verbunden und das Potential an dem Kondensa- tor wird gemessen. Ein veranschaulichendes Schaltkreisdiagramm ist in Figur 11wiedergegeben. Gemäss Figur 11ist Vm ein Voltmeter oder ein Elektrometer mit hoher Impedanz. C ist die Kapazität eines Kondensators bekannter Grösse, wie zum Beispiel 1 F, C' ist die Kapazität des zwischen der Sensorelektrode es und der abgeschiedenen Ladung ep, welche aus der Abscheidung geladener Teilchen resultiert, gebildeten Kondensators. Ohne auf eine bestimmte Theorie beschränkt sein zu wollen, können die folgenden mathema- tischen Formeln verwendet werden, um die Messung der abgeschiedenen Ladungen durch die Sensorelektrode entsprechend dem obigen Schaltkreisdiagramm auszuwerten. C' bezieht sich auf den Kondensator, der von der Sensorelektrode und den geladenen Teilchen gebildet wird. C ist ein Kondensator bekannten Wertes, C hat eine Anfangsladung von null. Wenn geladene Teilchen auf der Sensorelektrode landen, so bewirken sie, dass eine gleich grosse Menge entgegengesetzter Ladung auf der Elektrode induziert wird, die in der Folge eine entsprechende Menge an entgegengesetzter Ladung auf C induziert. Der Gesamteffekt führt dazu, dass eine gleiche Menge an Ladung gleichen Vorzeichens auf C induziert wird, was durch ein Elektrometer gemessen werden kann. Weiterhin wird das dominierende elektrische Rauschen, welches mit einer aktiven Stromquelle verbunden ist, beseitigt. Die aufgesammelte Ladung Q' ist gleich C mal V. Mit diesem Überwachungsverfahren unter Verwendung der Sensorelektrode müssen zwei Parameter bestimmt werden, um die Menge an tatsächlicher Abscheidung zu überwachen. Diese beiden Parameter sind das q/m (Ladung-zu-Masse) Verhältnis des geladenen Pulvers und der Verhältnisfaktor k zwischen der überwachten Ladung Q' und der abgeschiedenen Ladung Q auf dem interessierenden Abscheidungsbereich (d. h. k = Q/Q'). Dementsprechend wird die abgeschie- dene Masse M bestimmt durch die Gleichung: EMI16.1 Die Zuverlässigkeit der Sensorelektrode erfordert, dass die Variable k während der gesamten Abscheidung im wesentlichen konstant ist. Die Verwendung der Sensorelektrode ist bevorzugt mit dem Gebrauch eines Amperemeters oder eines Voltmeters innerhalb des Schaltkreises, da die Sensorelektrode beispielsweise die Vorteile liefert, dass eine Ansammlung von Ladungen aus der umgebenden Atmosphäre und ande- ren Leckpfaden, welche durch die Haltevorrichtung induziert werden, korrigiert wird. Vorzugsweise wird das Ladung-zu-Masse-Verhältnis der abzugebenden Gegenstände wäh- rend des Abscheidungsvorganges gemessen, um eine Rückkopplungssteuerung für die Beendi- gung der Abscheidung bereitzustellen, wenn die gewünschte Anzahl von Gegenständen abge- schieden worden ist. Beispielsweise kann eine Rückkopplungssteuerung verwendet werden, um die Abscheidung eines pharmazeutischen Pulvers zu überwachen, bis die angemessene Dosis erreicht worden ist. Das durchschnittliche Ladung-zu-Masse-Verhältnis kann beispielsweise gemessen werden unter Verwendung eines Velozimeters und eines modifizierten Quarzkristallmonitors. Gemäss Figur 14A hat der Quarzkristallmonitor 1305 eine obere Abfühlschicht 1307 und eine Bodenschicht 1309 für die Verbindung mit einem Messgerät. Der Quarzkristallmonitor wird durch Hinzufügung einer Ladungsabfühlschicht 1308 modifiziert, welche eine zweite leitfähige Schicht ist, sowie durch eine dielektrische Schicht 1312, wie es in Figur 14A dargestellt ist. Diese Modifizierung bewirkt, dass der Monitor sowohl Ladung als auch Masse gleichzeitig erfühlt bzw. erfasst Siehe beispielsweise das <Desc/Clms Page number 17> Schaltkreisdiagramm des Monitors, welches in Figur 14B dargestellt ist, in welcher Cs der Kondensator aufgrund der dielektrischen Schicht ist, welcher die aufgesammelte Ladung misst. Vorzugsweise werden zumindest zwei Ladung-zu-Masse-Monitore verwendet, und zwar einer mit der akustischen Abgabeeinrichtung und der andere mit der Halteeinrichtung oder anderen Einrichtungen, welche das Aufnahmesubstrat oder die Aufnahmesubstrate hält. Es ist also ein Verfahren zum Anziehen einer ausgewählten Anzahl mehrfacher Teilchen auf ein Substrat, mit (a) Bereitstellen einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit einer Sensorelektrode, (b) Aufbringen einer Mehrzahl von elektrostatisch geladenen Teilchen auf die Halteeinrichtung, und (c) Abfühlen der Anzahl von Teilchen, die durch die Halteeinrichtung angezogen werden. Vorzugsweise sind die Teilchen Teilchen eines trockenen Pulvers und das Verfahren wird verwendet um die auf einem Substrat, welches an die Haltevorrichtung angezogen wird, abgeschiedene Pulvermenge zu bestimmen. Dies stellt daher ein Verfahren bereit, um die Dosierung in einer pharmazeutischen Tablette exakt zu bestimmen. Zusätzlich wird ein Verfahren zum Herstellen einer pharmazeutischen Zusammensetzung bereitgestellt, mit (a) Bereitstellen eines pharmazeutischen Substrates, (b) elektrostatisches Abscheiden von Teilchen auf dem Substrat, wobei die Abscheidung die Verwendung einer elektrostatischen Halteeinrichtung aufweist. Die elektrostatische Halteeinrichtung weist eine erdfreie Elektrode auf, und die Teilchen werden im wesentlichen auf einem Bereich bzw. einer Fläche des Substrates abgeschieden, welcher der erdfreien Elektrode entspricht, und die elektrostatische Halteeinrichtung weist weiterhin eine Sensorelektrode für das Bestimmen der Menge von auf dem Substrat abgeschiedenen Teilchen auf. G. Gegenstände, die unter Verwendung elektrostatischer Halteeinrichtungen erzeugt werden Gegenstände können bereitgestellt werden, die ausgewählte Bereiche haben, auf bzw. in welche Teilchen auf Gegenstände mittels elektostatischer Halteeinrichtungen aufgebracht werden, wie durch Ladungsabbilden. Die Verwendung einer elektrostatischen Einrichtung erzeugt eine genauere Abscheidung von Teilchen nach einem ausgewählten Bereich bzw. Muster und stellt damit eine Art von Identifikation für einen solchen Gegenstand bereit. Die Abscheidung erfolgt auch mit grösserer Gleichmässigkeit und gewährleistet einen geringeren Teilchenabfall. Die Teilchen weisen bevorzugterweise einen pharmazeutisch wirksamen Bestandteil auf und der Gegenstand ist für den menschlichen Konsum geeignet und weist vorzugsweise ein pharmazeutisches Substrat auf, wie zum Beispiel eine Tablette, Kapsel oder Hülse (Pille). In anderen bevorzugten Ausführungsformen ist der Gegenstand ein Suppositorium oder er wird aus der Gruppe ausgewählt, die aus einem Inhaliersubstrat, einem Aufbereitungsmittel, einer Bandage und einer Auflage besteht. Die Menge von auf den Gegenstand aufgebrachten Teilchen unter Verwendung einer Sensorelektrode in der elektrostatischen Einrichtung vorbestimmt. Ausserdem werden die Teilchen bevorzugterweise unter Verwendung einer akustischen Abgabeeinrichtung auf den Gegenstand aufgebracht. H. Elektrostatische Halteeinrichtung mit einer oberen leitfähiqen Schicht, die zwei fingerartig ineinandergreifende Elektroden hat. Eine elektrostatische Halteeinrichtung mit einer oberen leitfähigen Schicht, die zwei fingerartig ineinandergreifende Elektroden hat, wurde folgendermassen hergestellt. Es wurde ein Glassubstrat verwendet, welches eine ITO (Indiumzinnoxid) Elektrode hat, die fingerartig ineinandergreift und die eine obere leitfähige Schicht mit weniger als etwa 25 Mikrometer Dicke bildet. Oben auf der oberen leitfähigen Schicht befand sich eine dünne Polystyrenschicht mit etwa 1 Tausendstel Zoll (25 m) Dicke, indem ein Band der Marke Scotch verwendet wurde. In einem Test wurden 1000 Volt an den Elektroden angelegt und eine Tablette mit dem Gewicht von etwa 65 mg und einem Durchmesser von etwa 5,6 mm wurde an der Halteeinrichtung gehalten. Nachdem 1400 Volt angelegt wurden, wurde die Tablette von der Halteeinrichtung abgestossen, möglicherweise aufgrund eines sprungartigen Spannungsanstiegs, was zu einer Entladung aufgrund einer abstossenden Kraft führte In einem zweiten Test wurde die Tablette oben auf dem Band angeordnet und es wurde eine <Desc/Clms Page number 18> Gleichspannung von 500 Volt an den Elektroden angelegt. Die Halteeinrichtung wurde auf den Kopf gestellt und die Tablette wurde an der Halteeinrichtung an ihrem Platz gehalten. In einem dritten Test wurden unter Verwendung von 500 Volt drei Tabletten an der Halteein- richtung angebracht und die Spannung wurde abgesenkt, bis alle drei von der Halteeinrichtung abfielen. Die erste Tablette fiel bei 300 Volt ab, die zweite Tablette fiel bei 200 Volt ab und die dritte Tablette fiel bei 100 Volt ab. Die Testergebnisse zeigten, dass die Haltekraft proportional zu V2 ist. In einem anderen Test wurden 600 Volt an einer der beiden fingerartig ineinandergreifenden Elektroden der Halteeinrichtung angelegt und die andere Elektrode wurde geerdet Eine Tablette wurde auf der Polystyrenseite der Halteeinrichtung angeordnet und die Tablette blieb an der Halte- einrichtung, nachdem sie auf den Kopf gestellt wurde und die Tablette der Schwerkraft ausgesetzt wurde. Die Halteeinrichtung wurde auch getestet für das Abscheiden von Pulver auf eine Tablette, während sie von der Halteeinrichtung gehalten wurde. Unter Verwendung eines Luftantriebs für das Abscheiden eines positiv geladenen Steroids in einer 3%igen Suspension aus Perlen wurde festgestellt, dass zumindest etwa 47 g abgeschieden worden waren. 1 Elektrostatische Halteeinrichtung mit einer einzelnen Elektrode in der oberen leitfähigen Schicht. Eine elektrostatische Halteeinrichtung mit einer einzelnen Elektrode in der oberen leitfähigen Schicht wurde folgendermassen ausgestaltet. Die Bodenseite der Halteeinrichtung bestand aus einer unteren leitfähigen Schicht, die aus Aluminium hergestellt wurde, das auf eine dielektrische Schicht aus Polyimid aufgeschichtet wurde, welches auf Kupfer laminiert war (Good Fellows, Berwyn, PA). Die Dicke der Polyimidschicht betrug etwa 2 Tausendstel Zoll (ca. 0,051 mm). Drei Kupferdrähte auf der Oberseite der Polyimidschicht bildeten die obere leitfähige Schicht und dien- ten als Elektrode. Die Dicke der Kupferschicht betrug etwa 4 Tausendstel Zoll (ca. 0,1 mm). Der Abstand zwischen den Kupferdrähten betrug etwa 5,6 mm 68 Tabletten wurden verwendet, die jeweils einen Durchmesser von etwa 5,6 mm hatten und jeweils etwa 65 mg wogen und welche aus 95% Zellulose und etwa 3% Laktose hergestellt waren, jeweils mit einer Dicke von etwa 2 mm. Man liess die Tabletten für etwa 5 Minuten an der Halteeinrichtung haften, wobei 1500 Volt zwi- schen den oberen und unteren leitfähigen Schichten angelegt wurden. Ein medizinisches Steroidpulver wurde auf die Tabletten aufgebracht und folgendermassen von der oben beschriebenen Halteeinrichtung gehalten. Eine Mischung aus 3% medizinischem Wirk- stoff mit mit Kynar (registrierte Marke) beschichteten Stahlperlen bzw. -kügelchen (Vertex Image Products, Yukom, PA), die einen Durchmesser von etwa 100 Mikrometer hatten, wurden in einer Teflonflasche aufgenommen. 585,0 mg eines medizinischen Pulvers wurden in einer Kombination aus medizinischem Wirkstoff und Kügelchen, die 20,6354 g wog, für etwa 6 Minuten auf den Tabletten abgeschieden, wobei eine akustische Abgabeeinrichtung verwendet wurde und zwar bei einer Frequenz von 87 Hz, was als optimale Frequenz für die Abgabeeinrichtung bestimmt wurde Das Sieb der akustischen Abgabeeinrichtung für das Abtrennen des medizinischen Pulvers von den Kügelchen bzw. Perlen wurde in einem Abstand von 0,5 bis 1 Zoll (ca. 1,27 bis 2,54 cm) von den Tabletten angeordnet, die das Pulver aufnahmen. J. Elektrostatische Halteeinrichtung mit erdfreien Elektroden Eine elektrostatische Halteeinrichtung mit erdfreien Elektroden der folgenden Ausgestaltung wurde getestet. Die untere leitfähige Schicht wurde aus einem Kupferband hergestellt und hatte eine Dicke von etwa 4 mil (tausendstel Zoll), entsprechend ca. 0,1 mm. Die nächste Schicht war eine dielektrische Schicht, die auf einem Polystyrenband der Marke Scotch hergestellt wurde und eine Dicke von 1 Tausendstel Zoll (0,025 mm) hatte. Auf dieser dielektrischen Schicht befand sich eine obere leitfähige Schicht, die aus einem standardmässigen Vielzweckbord mit Durchgangs- löchern und Wickelkontakten (Radioshack) hergestellt wurde und etwa 0,0625 Zoll dick war (ca. 1,6 mm), und welche eine Elektrode bildete mit einer Lücke zwischen einer Abschirmelektrode und einer erdfreien Elektrode, die elektrisch angeschlossen waren. Die erdfreie Elektrode war rund und hatte etwa 2,5 mm Durchmesser. Die Abschirmelektrode war rund und hatte etwa 2,5 mm Durch- <Desc/Clms Page number 19> messer. Der Spalt zwischen der Abschirm- und der erdfreien Elektrode betrug etwa 200 Mikro- meter. Ein Substrat wurde auf der oberen leitfähigen Schicht angeordnet, wobei das Substrat eine dielektrische Schicht war, die aus einem Polystyrenband der Marke Scotch hergestellt wurde und etwa 1 Tausendstel Zoll dick war (0,025 mm). Um die Halteeinrichtung zu verwenden, wurden etwa-1800 Volt an der oberen leitfähigen Schicht angelegt Als nächstes wurden Steroidmedikamentteilchen unter Verwendung einer akusti- schen Abgabeeinrichtung auf die Halteeinrichtung aufgebracht. Anschliessend wurde das Pulver auf einer erdfreien Elektrode unter Verwendung eines Vor- spannpotentials von-1800 Volt bei der oben beschriebenen Halteeinrichtung abgeschieden. Die untere leitfähige Schicht, die eine gedruckte Schaltkreisplatine war, kontrollierte die Ausrichtung des Pulvers während der Abscheidung. Bei Abwesenheit der unteren leitfähigen Schicht sammel- ten sich die geladenen Teilchen an den Rändern der erdfreien Elektrode an. Bei Anwesenheit der unteren leitfähigen Schicht wurden die geladenen Teilchen gleichmässig über die erdfreie Elektrode verteilt. Die grösste Menge an abgeschiedenem Pulver wurde bei Vorhandensein der unteren leitfähigen Schicht festgestellt. K. Elektrostatische Halteeinrichtung mit Sensorelektrode Eine elektrostatische Halteeinrichtung mit einer Sensorelektrode ist folgendermassen aufge- baut. Die Sensorelektrode besteht aus einer unteren leitfähigen Schicht, die aus Aluminium herge- stellt ist und die auf ihrer Oberseite eine dielektrische Schicht hat, die aus Aluminiumoxid besteht. Eine Sensorelektrode wird auf der elektrostatischen Halteeinrichtung angeordnet, so dass sie ausserhalb des Aufnahmesubstrates liegt, welches der Abscheidung ausgesetzt werden soll. Die Sensorelektrode wird verwendetem indirekt die Abscheidungsmenge der geladenen Teilchen zu bestimmen, indem die Ladungsänderung vor und nach der Abscheidung gemessen wird. Eine weitere elektrostatische Halteeinrichtung ist mit einer Sensorelektrode aufgebaut, die auf der Halteeinrichtung in dem Bereich innerhalb des Aufnahmesubstrates angeordnet ist und bewirkt dadurch, dass sowohl die Sensorelektrode als auch das Aufnahmesubstrat der Abscheidung aus- gesetzt sind. In diesem Fall wird die Sensorelektrode verwendet, um die Abscheidungsmenge der geladenen Teilchen durch Messen der Änderung der Ladung vor und nach der Abscheidung direkt zu bestimmen. Eine dritte elektrostatische Halteeinrichtung ist mit zwei Sensorelektroden aufgebaut, von denen eine innerhalb des Aufnahmesubstrates und die andere ausserhalb des Aufnahmesubstrates angeordnet ist. In diesem Fall wird die Sensorelektrode innerhalb des Aufnahmesubstrates ver- wendet, um die Abscheidungsmenge der geladenen Teilchen durch Messen der Veränderung der Ladung vor und nach der Abscheidung direkt zu bestimmen, und sie wird auch verwendet, um die Messung der Abscheidung durch die Sensorelektrode ausserhalb des Abscheidungsbereiches zu kalibrieren. Eine Sensorelektrode in einem Ringaufbau wurde unter Verwendung von anodisiertem Alumi- niumoxid hergestellt (wobei Aluminium als leitfähige Schicht die Elektrode bildete und die Oxid- schicht das Dielektrikum bildete). 15 g Perlen bzw. Kügelchen wurden verwendet und wurden mit einem auf Mikrometergrösse verkleinerten Steroidmedizinpulver (Cortison, Aldrich Chemical Co., Milwaukee, vv1) für etwa 30 Minuten geschüttelt. Zwei Pulverkonzentrationen wurden verwendet, wobei eine 450 mg Pulver pro 15 g Perlen (3%-Mischung) und die andere 900 mg Pulver für 15 g Perlen (6%-Mischung) hatte. Es wurden an der elektrostatischen Halteeinrichtung 1800 Volt ange- legt. Akustische Energie wurde verwendet, um das Pulver zu beschleunigen, wobei entweder 1400 (entsprechend 12 Watt) 1600 oder 1800 verwendet wurden. Die während der Abscheidung auftre- tende Ladungsänderung wurde durch Aufzeichnen der Spannung an dem Elektrometer alle 30 Sekunden während der ersten 2 Minuten und dann in jeder Minute danach gemessen, bis insge- samt 30 Minuten verstrichen waren Die auf einer zuvor gewogenen Menge an Aluminiumfolie abgeschiedene Pulvermenge wurde ebenfalls gemessen. Es sind mehrfache Tests vorgenommen worden, indem eine Abscheidung auf Aluminiumfolie durchgeführt wurde, wobei die Zeit für eine vollständige Abscheidung etwa 5 Minuten in Anspruch nahm Die Tests zeigten, dass bei einer Abscheidung im stationären Zustand k um bis zu 4% in jeder Richtung variiert, k ist das Verhältnis zwischen der beobachteten Ladung Q' und der <Desc/Clms Page number 20> abgeschiedenen Ladung Q und ist tatsächlich eine Funktion aller Betriebsparameter der Halteein- richtung und der akustischen Abgabeeinrichtung ; wird k experimentell bestimmt. Eine Inkon- sistenz von k über 10% hinaus ist begleitet von einer Veränderung der Eigenschaften der Abgabe- einrichtung. Die in den Tests erhaltenen Daten für die Sensorelektrode sind in den Figuren 12A - C dargestellt, die eine graphische Wiedergabe von experimentellen Daten unter Verwendung einer Sensorelektrode in der Überwachungsringgestaltung bereitstellen. PATENTANSPRÜCHE : 1 Teilchenabscheidungsvorrichtung mit : einer Abgabeeinrichtung zur Abgabe von geladenen Teilchen; einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit einer leitfähigen Schicht mit mindestens einer Elektrode für das elektrostatische Anziehen der geladenen Teilchen, und einem Sensor, welcher positioniert und angeordnet ist, um ein Mass bereitzustellen, das die Menge der geladenen Teilchen anzeigt, welche an der elektrostatischen Halteeinrichtung oder an einem Aufnahmesubstrat, welches an der elektrostatischen Halteeinrichtung gehalten ist, anhaften. 2. Teilchenabscheidungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die leitfähige Schicht zwei Elektroden aufweist.

3. Teilchenabscheidungsvorrichtung nach Anspruch 2, wobei die beiden Elektroden finger- artig ineinander greifen.

4. Teilchenabscheidungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1,2 oder 3, welche zumin- dest eine erdfreie Elektrode und zumindest eine dazu benachbarte aber elektrisch von der mindestens einen erdfreien Elektrode isolierte Elektrode aufweist.

5. Teilchenabscheidungsvorrichtung nach Anspruch 4, welche eine Spannungsquelle zum Anlegen eines Potentials an die mindestens eine benachbarte Elektrode zum Induzieren eines teilchenanziehenden Feldes auf der zumindest einen erdfreien Elektrode beinhaltet.

6. Teilchenabscheidungsvorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, welche weiterhin benachbart zu der oder jeder erdfreien Elektrode ein Aufnahmesubstrat für das Aufnehmen elektrosta- tisch geladener Teilchen aufweist, wobei dann, wenn ein elektrostatisch geladenes Teil- chen sich auf dem Substrat befindet, eine Bildladung in der zumindest einen erdfreien Elektrode induziert ist, wodurch eine Bildkraft erzeugt ist, welche das Zurückhalten des Teilchens auf dem Substrat begünstigt.

7. Teilchenabscheidungsvorrichtung nach Anspruch 6, wobei das Aufnahmesubstrat ein pharmazeutisches Substrat aufweist.

8. Teilchenabscheidungsvornchtung nach Anspruch 1,2, 3,4 oder 5, welche des weiteren ein an der Halteeinrichtung gehaltenes Aufnahmesubstrat aufweist

9. Teilchenabscheidungsvorrichtung nach Anspruch 8, wobei das Aufnahmesubstrat ein Substrat aufweist, welches aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus einem Inhaliersubstrat einer Tablette, einer Kapsel, einer Hülse, einem Suppositorium, einem Aufbereitungsmittel, einer Bandage und einer Auflage besteht.

10. Teilchenabscheidungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die geladenen Teilchen ein Pulver aufweisen und die Abgabeeinrichtung positioniert und an- geordnet ist, um das geladene Pulver zum Aufnahmesubstrat zu führen.

11. Teilchenabscheidungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, welche weiterhin einen Ladung-zu-Masse-Monitor einschliesst, welcher zum Messen eines mittle- ren Ladungs-zu-Masse-Verhältnisses der von der Abgabeeinrichtung abgegebenen Teil- chen positioniert und angeordnet ist.

12. Teilchenabscheidungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, welche weiterhin Mittel zur Steuerung der Ablagerung von Teilchen in Reaktion auf das genannte durch den Sensor zur Verfügung gestellte Mass aufweisen.

13. Teilchenabscheidungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Sensor eine obere dielektrische Schicht aufweist, welche eine erste Oberfläche zur Auf- nahme der genannten geladenen Teilchen oder der genannten Substrate und eine untere <Desc/Clms Page number 21> leitfähige Schicht auf der von der ersten Oberfläche abgelegenen Seite der Schicht hat.

14 Teilchenabscheidungsvorrichtung nach Anspruch 13, wobei der Sensor die Form eines Ringes aufweist.

15. Teilchenabscheidungsvornchtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Abgabeeinrichtung zum Abgeben von Teilchen, welche einen pharmazeutisch aktiven Bestandteil aufweisen, angeordnet ist.

HIEZU 8 BLATT ZEICHNUNGEN