AT517796A3 - Spannfutter, insbesondere zur Verwendung in einem Maskenausrichtgerät - Google Patents

Spannfutter, insbesondere zur Verwendung in einem Maskenausrichtgerät

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AT517796A3
AT517796A3 ATA9453/2013A AT94532013A AT517796A3 AT 517796 A3 AT517796 A3 AT 517796A3 AT 94532013 A AT94532013 A AT 94532013A AT 517796 A3 AT517796 A3 AT 517796A3
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Abstract

Das Spannfutter zum Ausrichten eines ersten ebenen Substrats, z.B. einer Scheibe, parallel zu einem zweiten ebenen Substrat, z.B. einer Maske, weist auf: eine obere Platte, die eine Oberseite zur Anordnung des ersten ebenen Substrats aufweist, eine untere Platte, mindestens einen Abstandsmesssensor, der konfiguriert ist, einen Abstand zwischen der Oberseite der oberen Platte und einer Oberfläche des zweiten ebenen Substrats zu messen, und mindestens drei lineare Stellglieder in Kontakt mit der oberen Platte und der unteren Platte. Das Verfahren zum Einstellen eines Spalts zwischen einem ersten ebenen Substrat, z.B. einer Scheibe, auf einer oberen Platte eines Spannfutters, und einem zweiten ebenen Substrat, z.B. einer Maske, insbesondere mittels des Spannfutters weist die Schritte auf: Messen der Dicke des ersten ebenen Substrats an mindestens einem Punkt; Messen des Abstands zwischen einer Oberfläche des zweiten ebenen Substrats und der Oberseite der oberen Platte durch mindestens einen Abstandsmesssensor des Spannfutters; und Justieren der Schrägstellung zwischen einer Oberseite des ersten ebenen Substrats oder des Spannfutters und der Oberfläche des zweiten ebenen Substrats mittels mindestens dreierlinearer Stellglieder des Spannfutters, vorzugsweise in Kombination mit mindestens drei gefederte Lagern des Spannfutters.
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