ATE193155T1 - Vorrichtung zur herstellung einer elektronenquelle und bilderzeugungsgerät - Google Patents

Vorrichtung zur herstellung einer elektronenquelle und bilderzeugungsgerät

Info

Publication number
ATE193155T1
ATE193155T1 AT95304815T AT95304815T ATE193155T1 AT E193155 T1 ATE193155 T1 AT E193155T1 AT 95304815 T AT95304815 T AT 95304815T AT 95304815 T AT95304815 T AT 95304815T AT E193155 T1 ATE193155 T1 AT E193155T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
thin film
producing
electroconductive thin
electron source
electrodes
Prior art date
Application number
AT95304815T
Other languages
English (en)
Inventor
Sotomitsu Ikeda
Toshikazu Ohnishi
Masato Yamanobe
Tatsuya Iwasaki
Hisaaki Kawade
Original Assignee
Canon Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Kk filed Critical Canon Kk
Application granted granted Critical
Publication of ATE193155T1 publication Critical patent/ATE193155T1/de

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
    • H01J9/022—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes
    • H01J9/027—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes of thin film cathodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02—Main electrodes
    • H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
    • H01J1/316—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode having an electric field parallel to the surface, e.g. thin film cathodes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
  • Photographic Developing Apparatuses (AREA)
AT95304815T 1994-07-12 1995-07-10 Vorrichtung zur herstellung einer elektronenquelle und bilderzeugungsgerät ATE193155T1 (de)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16008894 1994-07-12
JP16008594 1994-07-12
JP25154894 1994-09-21
JP17794395 1995-06-22
JP18204895A JP3062990B2 (ja) 1994-07-12 1995-06-26 電子放出素子及びそれを用いた電子源並びに画像形成装置の製造方法と、電子放出素子の活性化装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE193155T1 true ATE193155T1 (de) 2000-06-15

Family

ID=27528221

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT95304815T ATE193155T1 (de) 1994-07-12 1995-07-10 Vorrichtung zur herstellung einer elektronenquelle und bilderzeugungsgerät

Country Status (9)

Country Link
US (1) US5591061A (de)
EP (1) EP0692809B1 (de)
JP (1) JP3062990B2 (de)
KR (1) KR100198765B1 (de)
CN (1) CN1086057C (de)
AT (1) ATE193155T1 (de)
AU (1) AU713697B2 (de)
CA (1) CA2153554C (de)
DE (1) DE69516945T2 (de)

Families Citing this family (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6802752B1 (en) * 1993-12-27 2004-10-12 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing electron emitting device
CA2540606C (en) * 1993-12-27 2009-03-17 Canon Kabushiki Kaisha Electron-emitting device and method of manufacturing the same as well as electron source and image-forming apparatus
US6246168B1 (en) * 1994-08-29 2001-06-12 Canon Kabushiki Kaisha Electron-emitting device, electron source and image-forming apparatus as well as method of manufacturing the same
AU746302B2 (en) * 1994-10-17 2002-04-18 Canon Kabushiki Kaisha Electron source and image forming apparatus as well as method of providing the same with means for maintaining activated state thereof
JP2946189B2 (ja) * 1994-10-17 1999-09-06 キヤノン株式会社 電子源及び画像形成装置、並びにこれらの活性化方法
JP3299096B2 (ja) 1995-01-13 2002-07-08 キヤノン株式会社 電子源及び画像形成装置の製造方法、並びに電子源の活性化処理方法
KR100203611B1 (ko) * 1995-02-14 1999-07-01 가네꼬 히사시 전계 방사 냉음극의 검사 방법 및 검사 장치
EP0955663B1 (de) * 1995-03-13 2005-09-21 Canon Kabushiki Kaisha Herstellungsverfahren einer Elektronenemittierenden Vorrichtung, einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgeräts
JP3302278B2 (ja) * 1995-12-12 2002-07-15 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法並びに該製造方法を用いた電子源及び画像形成装置の製造方法
US5857882A (en) * 1996-02-27 1999-01-12 Sandia Corporation Processing of materials for uniform field emission
US5998924A (en) * 1996-04-03 1999-12-07 Canon Kabushiki Kaisha Image/forming apparatus including an organic substance at low pressure
CN1115708C (zh) 1996-04-26 2003-07-23 佳能株式会社 电子发射器件、电子源和图像形成装置的制造方法
US6231412B1 (en) * 1996-09-18 2001-05-15 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing and adjusting electron source array
JP3372848B2 (ja) * 1996-10-31 2003-02-04 キヤノン株式会社 電子放出素子及び画像表示装置及びそれらの製造方法
JPH11135018A (ja) 1997-08-29 1999-05-21 Canon Inc 画像形成装置の製造方法、製造装置および画像形成装置
DE69820945T2 (de) * 1997-09-16 2004-10-21 Canon Kk Verfahren zur Herstellung einer Elektronenquelle und Vorrichtung zur Herstellung einer Elektronenquelle
US6416374B1 (en) 1997-09-16 2002-07-09 Canon Kabushiki Kaisha Electron source manufacturing method, and image forming apparatus method
DE69919242T2 (de) * 1998-02-12 2005-08-11 Canon K.K. Verfahren zur Herstellung eines elektronenemittierenden Elementes, Elektronenquelle und Bilderzeugungsgerätes
JP3054137B2 (ja) * 1998-02-24 2000-06-19 キヤノン株式会社 画像形成装置の製造方法及び製造装置
JP3075535B2 (ja) * 1998-05-01 2000-08-14 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源及び画像形成装置の製造方法
JP3320387B2 (ja) * 1998-09-07 2002-09-03 キヤノン株式会社 電子源の製造装置及び製造方法
JP3102787B1 (ja) * 1998-09-07 2000-10-23 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、及び画像形成装置の製造方法
US6492769B1 (en) * 1998-12-25 2002-12-10 Canon Kabushiki Kaisha Electron emitting device, electron source, image forming apparatus and producing methods of them
JP2000311603A (ja) * 1999-02-23 2000-11-07 Canon Inc 電子源の製造装置及び製造方法、電子源並びに画像形成装置
JP2000311597A (ja) * 1999-02-23 2000-11-07 Canon Inc 電子放出素子の製造方法及び装置、駆動方法並びに調整方法
JP3437519B2 (ja) * 1999-02-25 2003-08-18 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法および調整方法
EP1032012B1 (de) * 1999-02-25 2009-03-25 Canon Kabushiki Kaisha Elektronen emittierende Einrichtung,Elektronenquelle und Verfahren zur Herstellung eines Bilderzeugungsgerätes
JP3397738B2 (ja) * 1999-02-25 2003-04-21 キヤノン株式会社 電子源および画像形成装置
JP3423661B2 (ja) 1999-02-25 2003-07-07 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源および画像形成装置の製造方法
US6612887B1 (en) * 1999-02-25 2003-09-02 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing electron source and image-forming apparatus
EP1032013B1 (de) * 1999-02-25 2007-07-11 Canon Kabushiki Kaisha Herstellungsverfahren einer Elektronenemittierenden Vorrichtung
EP2161735A3 (de) 1999-03-05 2010-12-08 Canon Kabushiki Kaisha Bilderzeugungsvorrichtung
JP3754883B2 (ja) * 2000-03-23 2006-03-15 キヤノン株式会社 画像表示装置の製造法
JP3733308B2 (ja) * 2000-09-29 2006-01-11 キヤノン株式会社 画像表示装置の製造方法
JP3793014B2 (ja) * 2000-10-03 2006-07-05 キヤノン株式会社 電子源の製造装置、電子源の製造方法及び画像形成装置の製造方法
US6712660B2 (en) * 2001-08-06 2004-03-30 Canon Kabushiki Kaisha Method and apparatus for adjusting characteristics of electron source, and method for manufacturing electron source
JP3647436B2 (ja) * 2001-12-25 2005-05-11 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、画像表示装置、及び電子放出素子の製造方法
US7358146B2 (en) * 2003-06-24 2008-04-15 Micron Technology, Inc. Method of forming a capacitor
US7153778B2 (en) * 2004-02-20 2006-12-26 Micron Technology, Inc. Methods of forming openings, and methods of forming container capacitors
JP3774723B2 (ja) * 2004-07-01 2006-05-17 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法およびそれを用いた電子源並びに画像表示装置の製造方法、該製造方法によって製造された画像表示装置を用いた情報表示再生装置
JP4475646B2 (ja) * 2004-08-27 2010-06-09 キヤノン株式会社 画像表示装置
TWI344167B (en) * 2007-07-17 2011-06-21 Chunghwa Picture Tubes Ltd Electron-emitting device and fabricating method thereof
NO328634B1 (no) * 2008-02-13 2010-04-12 Fmc Kongsberg Subsea As Ledd for anvendelse sammen med et stigeror, stigeror med slikt ledd og fremgangsmate for a redusere boyemomenter i et stigeror
TW201032259A (en) * 2009-02-20 2010-09-01 Chunghwa Picture Tubes Ltd Fabricating method of electron-emitting device
US10031531B2 (en) 2011-02-25 2018-07-24 Mks Instruments, Inc. System for and method of multiple channel fast pulse gas delivery
US10353408B2 (en) 2011-02-25 2019-07-16 Mks Instruments, Inc. System for and method of fast pulse gas delivery
US10126760B2 (en) 2011-02-25 2018-11-13 Mks Instruments, Inc. System for and method of fast pulse gas delivery
US11569077B2 (en) * 2017-07-11 2023-01-31 Sri International Compact electrostatic ion pump
WO2020093300A1 (zh) * 2018-11-08 2020-05-14 深圳市欢太科技有限公司 一种终端设备的数据显示方法和终端设备
TWI687630B (zh) * 2019-04-16 2020-03-11 亞台富士精機股份有限公司 乾燥系統與控制方法
CN110939348A (zh) * 2019-12-13 2020-03-31 中国铁路设计集团有限公司 隔断门装置和隔断门系统

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2727193B2 (ja) * 1988-04-28 1998-03-11 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法
JPH0687392B2 (ja) * 1988-05-02 1994-11-02 キヤノン株式会社 電子放出素子の製造方法
JP2623738B2 (ja) * 1988-08-08 1997-06-25 松下電器産業株式会社 画像表示装置
JP3010299B2 (ja) * 1990-04-27 2000-02-21 キヤノン株式会社 表面伝導形電子放出素子の製造方法
CA2073923C (en) * 1991-07-17 2000-07-11 Hidetoshi Suzuki Image-forming device
CA2112180C (en) * 1992-12-28 1999-06-01 Canon Kabushiki Kaisha Electron source and manufacture method of same, and image forming device and manufacture method of same
CA2138363C (en) * 1993-12-22 1999-06-22 Yasuyuki Todokoro Electron beam generating apparatus, image display apparatus, and method of driving the apparatuses
CA2126535C (en) * 1993-12-28 2000-12-19 Ichiro Nomura Electron beam apparatus and image-forming apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0969333A (ja) 1997-03-11
CA2153554A1 (en) 1996-01-13
EP0692809A3 (de) 1997-02-05
US5591061A (en) 1997-01-07
EP0692809B1 (de) 2000-05-17
EP0692809A2 (de) 1996-01-17
JP3062990B2 (ja) 2000-07-12
AU713697B2 (en) 1999-12-09
CN1121256A (zh) 1996-04-24
DE69516945D1 (de) 2000-06-21
AU2495595A (en) 1996-01-25
CA2153554C (en) 2001-01-09
DE69516945T2 (de) 2000-10-05
CN1086057C (zh) 2002-06-05
KR100198765B1 (ko) 1999-07-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69516945D1 (de) Vorrichtung zur Herstellung einer Elektronenquelle und Bilderzeugungsgerät
DE69419250D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer elektronen-emittierenden Vorrichtung und Elektronenquelle sowie einer Bilderzeugungsvorrichtung
ATE194727T1 (de) Herstellungsverfahren einer elektronen emittierenden vorrichtung, einer elektronenquelle und eine bilderzeugungsvorrichtung
CA2158886A1 (en) Electron-Emitting Device and Method of Manufacturing the Same as Well as Electron Source and Image Forming Apparatus Comprising Such Electron-Emitting Devices
ATE184133T1 (de) Verfahren zur herstellung einer elektronenquelle und ein bilderzeugungsgerät
DE69841736D1 (de) Feldemissionselektronenquelle, Verfahren zu deren Herstellung und Verwendung derselben
DE69532007D1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Elektronen emittierenden Vorrichtung,
ATE270428T1 (de) Vorrichtung und verfahren zur elektrophorese
ATE152857T1 (de) Bilderzeugungsvorrichtung
DE69408812D1 (de) Elektronenquelle und Elektronenstrahlgerät
ATE44114T1 (de) Verfahren zur herstellung flacher bildwiedergabeschirme und nach diesem verfahren hergestellte schirme.
EP0394698A3 (de) Elektronenstrahllithographiemaschine und Bildwiedergabeapparat
EP0388984A3 (de) Elektronenstrahl-Generator und Anzeigevorrichtung unter Verwendung desselben
ES2096687T3 (es) Fuente de electrones de emision por un campo que emplea un recubrimiento de diamantes y metodo para su produccion.
ATE333302T1 (de) Reservoirelektrode zur iontophorese und methode zur herstellung der reservoirelektrode
ATE171562T1 (de) Elektronenquelle und bilderzeugungsvorrichtung und verfahren zur herstellung
AU5268993A (en) Image-forming apparatus, and designation of electron beam diameter at image-forming member in image-forming apparatus
EP1047097A4 (de) Elektronenemittierende vorrichtung,elektronenemittierende quelle,bildanzeigegerät und herstellungsverfahren dafür
ATE224097T1 (de) Elektronenstrahlgerät und bilderzeugungsgerät
EP0948027A3 (de) Bilderzeugungsgerät mittels einem Elektronenstrahlerzeugungsgerät
DE69427340D1 (de) Herstellungsverfahren einer oberflächenleitenden elektronenemittierenden Vorrichtung und Bilderzeugungsgerät
EP0954006A3 (de) Verfahren zur Herstellung einer Elektronen emittierenden Vorrichtung,einer Elektronenquelle und eines Bilderzeugungsgeräts
EP1220273A3 (de) Bildanzeigegerät
WO2003021624A3 (en) Nanotubes activated as field emission sources
EP1443538A3 (de) Verfahren zur Ansteuerung einer elektroemittierenden Vorrichtung und einer Elektronenquelle, Verfahren zur Herstellung einer Elektronenquelle, und Bildanzeigevorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
RER Ceased as to paragraph 5 lit. 3 law introducing patent treaties