ATE244395T1 - Kapazitiver foliendickensensor mit induktivem sensor zur korrektur bei einer regelung - Google Patents

Kapazitiver foliendickensensor mit induktivem sensor zur korrektur bei einer regelung

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ATE244395T1
ATE244395T1 AT98121870T AT98121870T ATE244395T1 AT E244395 T1 ATE244395 T1 AT E244395T1 AT 98121870 T AT98121870 T AT 98121870T AT 98121870 T AT98121870 T AT 98121870T AT E244395 T1 ATE244395 T1 AT E244395T1
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Austria
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sensor
film thickness
correction during
during regulation
capacitive film
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AT98121870T
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Hans-Peter Dr H C Bierbaumer
Original Assignee
Hans-Peter Dr H C Bierbaumer
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