ATE304123T1 - Verfahren und anlage zur verhinderung von ablagerungen in eineturbomolekularpumpe mit magnet-oder gaslager - Google Patents

Verfahren und anlage zur verhinderung von ablagerungen in eineturbomolekularpumpe mit magnet-oder gaslager

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ATE304123T1
ATE304123T1 AT99402125T AT99402125T ATE304123T1 AT E304123 T1 ATE304123 T1 AT E304123T1 AT 99402125 T AT99402125 T AT 99402125T AT 99402125 T AT99402125 T AT 99402125T AT E304123 T1 ATE304123 T1 AT E304123T1
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gas bearing
turbomolecular pump
preventing deposits
deposition
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Michel Puech
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Cit Alcatel
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AT99402125T 1998-09-10 1999-08-26 Verfahren und anlage zur verhinderung von ablagerungen in eineturbomolekularpumpe mit magnet-oder gaslager ATE304123T1 (de)

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