ATE329224T1 - Ellipsometrisches verfahren und kontrollvorrichtung zur herstellung eines dünnschichtbauelements - Google Patents

Ellipsometrisches verfahren und kontrollvorrichtung zur herstellung eines dünnschichtbauelements

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ATE329224T1
ATE329224T1 AT99923728T AT99923728T ATE329224T1 AT E329224 T1 ATE329224 T1 AT E329224T1 AT 99923728 T AT99923728 T AT 99923728T AT 99923728 T AT99923728 T AT 99923728T AT E329224 T1 ATE329224 T1 AT E329224T1
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    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21—Polarisation-affecting properties
    • G01N21/211—Ellipsometry

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