ATE334412T1 - Verfahren zur herstellung einer wellenleiterkomponente mit mehreren schichten auf einem substrat und damit versehene komponente - Google Patents

Verfahren zur herstellung einer wellenleiterkomponente mit mehreren schichten auf einem substrat und damit versehene komponente

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ATE334412T1
ATE334412T1 AT01400170T AT01400170T ATE334412T1 AT E334412 T1 ATE334412 T1 AT E334412T1 AT 01400170 T AT01400170 T AT 01400170T AT 01400170 T AT01400170 T AT 01400170T AT E334412 T1 ATE334412 T1 AT E334412T1
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buffer
buffer layer
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Centre Nat Rech Scient
Univ Montpellier
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ATE334412T1 (de) * 2001-01-19 2006-08-15 Centre Nat Rech Scient Verfahren zur herstellung einer wellenleiterkomponente mit mehreren schichten auf einem substrat und damit versehene komponente
US7802450B2 (en) * 2003-03-14 2010-09-28 Central Glass Company, Limited Organic-inorganic hybrid glassy materials and their production processes
FR2854696A1 (fr) * 2003-05-06 2004-11-12 Commissariat Energie Atomique Support de biopuce utilisant des couches minces de materiau sol gel et procede de realisation
KR100740804B1 (ko) * 2003-06-26 2007-07-19 샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드 유기-무기 하이브리드 글래스상 물질 및 그 제조 방법
US6852358B1 (en) * 2003-08-28 2005-02-08 Chang Chun Plastics Co., Ltd. Process for preparing an optical waveguide component from acrylate/titanium alkoxide composite material and the prepared optical waveguide component
FR2872590B1 (fr) * 2004-07-02 2006-10-27 Essilor Int Procede de realisation d'un verre ophtalmique et composant optique adapte pour la mise en oeuvre de ce procede
US7593984B2 (en) * 2004-07-30 2009-09-22 Swift Creek Systems, Llc System and method for harmonizing changes in user activities, device capabilities and presence information
KR20060093219A (ko) * 2005-02-21 2006-08-24 삼성전자주식회사 차단층을 갖는 평면광파회로 및 이를 이용한 광집적회로
FR2884622B1 (fr) * 2005-04-19 2007-08-10 Essilor Int Verre ophtalmique comprenant une couche d'indice de refraction variable
FR2888947B1 (fr) 2005-07-20 2007-10-12 Essilor Int Composant optique a cellules
FR2888948B1 (fr) 2005-07-20 2007-10-12 Essilor Int Composant optique transparent pixellise comprenant un revetement absorbant, son procede de realisation et son utilisation dans un element optique
FR2888951B1 (fr) 2005-07-20 2008-02-08 Essilor Int Composant optique pixellise aleatoirement, son procede de fabrication, et son utilisation dans la fabrication d'un element optique transparent
FR2907559B1 (fr) 2006-10-19 2009-02-13 Essilor Int Composant optique elecro-commandable comprenant un ensemble de cellules
FR2910642B1 (fr) 2006-12-26 2009-03-06 Essilor Int Composant optique transparent a deux ensembles de cellules
FR2911404B1 (fr) 2007-01-17 2009-04-10 Essilor Int Composant optique transparent a cellules remplies de materiau optique
TWI636617B (zh) * 2016-12-23 2018-09-21 財團法人工業技術研究院 電磁波傳輸板及差動電磁波傳輸板

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0383335A (ja) * 1989-08-28 1991-04-09 Hitachi Ltd エッチング方法
DE69512688T2 (de) * 1994-09-23 2000-05-04 British Telecommunications P.L.C., London Methode zur Herstellung eines planaren Wellenleiters
US6323361B1 (en) * 1997-04-17 2001-11-27 Corning Inc. Photocurable halofluorinated acrylates
US6054253A (en) * 1997-10-10 2000-04-25 Mcgill University-The Royal Institute For The Advancement Of Learning Solvent-assisted lithographic process using photosensitive sol-gel derived glass for depositing ridge waveguides on silicon
EP0987580A1 (de) * 1998-09-16 2000-03-22 Akzo Nobel N.V. Optischer Intensitätsmodulator und diesen enthaltender Schalter
US6995034B2 (en) * 2000-12-07 2006-02-07 Reflectivity, Inc Methods for depositing, releasing and packaging micro-electromechanical devices on wafer substrates
ATE334412T1 (de) * 2001-01-19 2006-08-15 Centre Nat Rech Scient Verfahren zur herstellung einer wellenleiterkomponente mit mehreren schichten auf einem substrat und damit versehene komponente

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