ATE334412T1 - Verfahren zur herstellung einer wellenleiterkomponente mit mehreren schichten auf einem substrat und damit versehene komponente - Google Patents

Verfahren zur herstellung einer wellenleiterkomponente mit mehreren schichten auf einem substrat und damit versehene komponente

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ATE334412T1
ATE334412T1 AT01400170T AT01400170T ATE334412T1 AT E334412 T1 ATE334412 T1 AT E334412T1 AT 01400170 T AT01400170 T AT 01400170T AT 01400170 T AT01400170 T AT 01400170T AT E334412 T1 ATE334412 T1 AT E334412T1
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waveguide
substrate
buffer
buffer layer
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Centre Nat Rech Scient
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