ATE347624T1 - Verfahren zur beschichtung eines schneidwerkzeuges. - Google Patents

Verfahren zur beschichtung eines schneidwerkzeuges.

Info

Publication number
ATE347624T1
ATE347624T1 AT04030247T AT04030247T ATE347624T1 AT E347624 T1 ATE347624 T1 AT E347624T1 AT 04030247 T AT04030247 T AT 04030247T AT 04030247 T AT04030247 T AT 04030247T AT E347624 T1 ATE347624 T1 AT E347624T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
substrate
cutting tool
larger
coating
surface area
Prior art date
Application number
AT04030247T
Other languages
English (en)
Inventor
Lennart Karlsson
Original Assignee
Seco Tools Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seco Tools Ab filed Critical Seco Tools Ab
Application granted granted Critical
Publication of ATE347624T1 publication Critical patent/ATE347624T1/de

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
    • C23C14/0036—Reactive sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Knives (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
AT04030247T 2003-12-22 2004-12-21 Verfahren zur beschichtung eines schneidwerkzeuges. ATE347624T1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0303485A SE526857C2 (sv) 2003-12-22 2003-12-22 Sätt att belägga ett skärverktyg med användning av reaktiv magnetronsputtering

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE347624T1 true ATE347624T1 (de) 2006-12-15

Family

ID=30768804

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT04030247T ATE347624T1 (de) 2003-12-22 2004-12-21 Verfahren zur beschichtung eines schneidwerkzeuges.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20050145479A1 (de)
EP (1) EP1548146B1 (de)
AT (1) ATE347624T1 (de)
DE (1) DE602004003547T2 (de)
SE (1) SE526857C2 (de)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4317888B2 (ja) * 2007-08-31 2009-08-19 富士フイルム株式会社 スパッタ方法およびスパッタ装置
US8557088B2 (en) * 2009-02-19 2013-10-15 Fujifilm Corporation Physical vapor deposition with phase shift
US8540851B2 (en) * 2009-02-19 2013-09-24 Fujifilm Corporation Physical vapor deposition with impedance matching network
CN101798671B (zh) * 2010-03-29 2011-06-15 天津师范大学 新型ReB2/TaN高硬纳米多层薄膜及其制备方法与应用
CN102345089A (zh) * 2010-08-05 2012-02-08 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镀膜件及其制作方法
DE102011010401A1 (de) * 2011-02-04 2012-08-23 Oerlikon Trading Ag, Trübbach Mit Cr-Si-N Schichten versehene Werkzeuge zum Formen oder Stanzen von heissen Metallplatten
US9499901B2 (en) * 2012-01-27 2016-11-22 Applied Materials, Inc. High density TiN RF/DC PVD deposition with stress tuning
RU2561612C2 (ru) * 2013-07-12 2015-08-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2558313C2 (ru) * 2013-07-19 2015-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2557935C2 (ru) * 2013-07-23 2015-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2557864C2 (ru) * 2013-07-23 2015-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2553773C1 (ru) * 2013-12-03 2015-06-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2553771C1 (ru) * 2013-12-03 2015-06-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2558310C2 (ru) * 2013-12-03 2015-07-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2553778C1 (ru) * 2013-12-03 2015-06-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2561577C2 (ru) * 2013-12-03 2015-08-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
RU2561579C2 (ru) * 2013-12-03 2015-08-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения износостойкого покрытия для режущего инструмента
JP6761597B2 (ja) * 2016-09-02 2020-09-30 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
CN110527956A (zh) * 2018-05-23 2019-12-03 何午琳 一种铝钪合金溅射靶材及其制备方法
CN109735869B (zh) * 2018-11-28 2021-02-02 清华大学 一种耐蚀导电合金膜层及其制备方法和应用
RU2718642C1 (ru) * 2019-06-06 2020-04-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВО "КубГТУ") Способ получения износостойкого покрытия режущего инструмента
CN116815120A (zh) * 2023-06-30 2023-09-29 厦门金鹭特种合金有限公司 一种Ti-W-B涂层及其制备方法和应用

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH611938A5 (de) * 1976-05-19 1979-06-29 Battelle Memorial Institute
US4125446A (en) * 1977-08-15 1978-11-14 Airco, Inc. Controlled reflectance of sputtered aluminum layers
DE3107914A1 (de) * 1981-03-02 1982-09-16 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Verfahren und vorrichtung zum beschichten von formteilen durch katodenzerstaeubung
US5407548A (en) * 1990-10-26 1995-04-18 Leybold Aktiengesellschaft Method for coating a substrate of low resistance to corrosion
JPH04256313A (ja) * 1991-02-08 1992-09-11 Toshiba Corp 半導体装置の製造方法
US5776615A (en) * 1992-11-09 1998-07-07 Northwestern University Superhard composite materials including compounds of carbon and nitrogen deposited on metal and metal nitride, carbide and carbonitride
US5952085A (en) * 1994-03-23 1999-09-14 Rolls-Royce Plc Multiple layer erosion resistant coating and a method for its production
US6153061A (en) * 1998-03-02 2000-11-28 Auburn University Method of synthesizing cubic boron nitride films

Also Published As

Publication number Publication date
DE602004003547T2 (de) 2007-09-27
SE0303485D0 (sv) 2003-12-22
SE526857C2 (sv) 2005-11-08
SE0303485L (sv) 2005-06-23
US20050145479A1 (en) 2005-07-07
EP1548146B1 (de) 2006-12-06
EP1548146A1 (de) 2005-06-29
DE602004003547D1 (de) 2007-01-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE347624T1 (de) Verfahren zur beschichtung eines schneidwerkzeuges.
MY138872A (en) Diamond coated tool and method of manufacturing the same
SG166794A1 (en) Layer arrangement for the formation of a coating on a surface of a substrate,coating method,and substrate with a layer arrangement
TW200506107A (en) Multiple-step electrodeposition process for direct copper plating on barrier metals
RU95105176A (ru) Тело из цементированного карбида с покрытием и способ его изготовления
ATE522637T1 (de) Verfahren zur herstellung eines sputtertargets
WO2007140144A3 (en) Back side wafer dicing
WO2005028701A3 (en) Methods and apparatus for controlling formation of deposits in a deposition system and deposition systems and methods including the same
WO2004113585A3 (en) Atomic layer deposition of barrier materials
ATE221809T1 (de) Verfahren zum herstellen eines zerspanungswerkzeugs sowie zerspanungswerkzeug
EP1893786A4 (de) Verfahren zur herstellung von metallschneidwerkzeugen
ATE468418T1 (de) Verfahren zur beschichtung einer substratoberfläche unter verwendung eines plasmastrahles
ATE338837T1 (de) Pvd beschichtetes schneidwerkzeug und verfahren zu dessen herstellung
ATE452729T1 (de) Hochpräzions-mehrkorn-schneidmesser
SE0500858L (sv) Belagt skär
UA88774C2 (ru) противозасаливающая композиция, абразивное изделие, содержащее противозасаливающую композицию, и процесс шлифования поверхности
DE50311895D1 (de) Verfahren zur abscheidung von metallfreien kohlenstoffschichten
SE9802488D0 (sv) Coated grooving or parting insert
EP1640089A4 (de) Oberflächenbeschichtetes material mit grosser härte für werkzeug
SE0402386L (sv) Metod för höghastighetsbearbetning och belagt skärverktyg
ATE361803T1 (de) Schneideinsatz
EP0812932A3 (de) Erzeugung eines Diamantfilmes
EP1644150A1 (de) Schneidwerkzeug und verfahren zur verminderung der breite der verschleissmarke eines schneidwerkzeugs
ATE308629T1 (de) Verfahren zur herstellung eines pvd al2o3 beschichteten schneidwerkzeugs
SE0301450L (sv) Skärande verktyg för metallbearbetning samt metod vid tillverkning av skärande verktyg

Legal Events

Date Code Title Description
UEP Publication of translation of european patent specification

Ref document number: 1548146

Country of ref document: EP