ATE416061T1 - Vorrichtung zur erzeugung von mikrostrukturen - Google Patents

Vorrichtung zur erzeugung von mikrostrukturen

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ATE416061T1
ATE416061T1 AT05732039T AT05732039T ATE416061T1 AT E416061 T1 ATE416061 T1 AT E416061T1 AT 05732039 T AT05732039 T AT 05732039T AT 05732039 T AT05732039 T AT 05732039T AT E416061 T1 ATE416061 T1 AT E416061T1
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AT
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workpiece
fast
microstructures
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Heinrich Ostendarp
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Schott Ag
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    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
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