ATE427184T1 - Vorrichtung und verfahren zur erzeugung von mikrostrukturen - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur erzeugung von mikrostrukturen

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ATE427184T1
ATE427184T1 AT06026119T AT06026119T ATE427184T1 AT E427184 T1 ATE427184 T1 AT E427184T1 AT 06026119 T AT06026119 T AT 06026119T AT 06026119 T AT06026119 T AT 06026119T AT E427184 T1 ATE427184 T1 AT E427184T1
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AT
Austria
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drive
tool
workpiece
fast
microstructures
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Heinrich Ostendarp
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Schott Ag
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    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
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