ATE456022T1 - Verfahren zur interferenzmessung und vorrichtung zur interferenzmessung - Google Patents

Verfahren zur interferenzmessung und vorrichtung zur interferenzmessung

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ATE456022T1
ATE456022T1 AT01932130T AT01932130T ATE456022T1 AT E456022 T1 ATE456022 T1 AT E456022T1 AT 01932130 T AT01932130 T AT 01932130T AT 01932130 T AT01932130 T AT 01932130T AT E456022 T1 ATE456022 T1 AT E456022T1
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AT
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light
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Application number
AT01932130T
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English (en)
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Jun Kawakami
Hisashi Shiozawa
Original Assignee
Nikon Corp
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry

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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006054975A1 (en) * 2004-11-12 2006-05-26 Medeikon Corporation Single trace multi-channel low coherence interferometric sensor
US7417740B2 (en) * 2004-11-12 2008-08-26 Medeikon Corporation Single trace multi-channel low coherence interferometric sensor
JP5153120B2 (ja) * 2006-11-02 2013-02-27 オリンパス株式会社 フリンジスキャン干渉縞計測方法および干渉計
JP2010281741A (ja) * 2009-06-05 2010-12-16 Nikon Corp ノイズ除去装置、ノイズ除去方法、ノイズ位置検出装置、ノイズ位置検出方法、測定システムおよびプログラム
JP5994186B2 (ja) * 2011-06-17 2016-09-21 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 変調信号検出装置及び変調信号検出方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07198319A (ja) * 1993-12-28 1995-08-01 Agency Of Ind Science & Technol リアルタイム位相シフト干渉計
JP3738457B2 (ja) * 1994-12-05 2006-01-25 株式会社ニコン 干渉測定装置及び干渉測定方法
ATA107495A (de) 1995-06-23 1996-06-15 Fercher Adolf Friedrich Dr Kohärenz-biometrie und -tomographie mit dynamischem kohärentem fokus
JP3693771B2 (ja) * 1996-11-13 2005-09-07 オリンパス株式会社 形状測定方法および装置
JPH10253892A (ja) * 1997-03-11 1998-09-25 Olympus Optical Co Ltd 位相干渉顕微鏡
US6137585A (en) * 1998-05-15 2000-10-24 Laser Diagnostic Technologies, Inc. Method and apparatus for recording three-dimensional distribution of light backscattering potential in transparent and semi-transparent structures

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