ATE480800T1 - Alkalischer entwickler für strahlungsempfindliche zusammensetzungen - Google Patents

Alkalischer entwickler für strahlungsempfindliche zusammensetzungen

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ATE480800T1
ATE480800T1 AT05103878T AT05103878T ATE480800T1 AT E480800 T1 ATE480800 T1 AT E480800T1 AT 05103878 T AT05103878 T AT 05103878T AT 05103878 T AT05103878 T AT 05103878T AT E480800 T1 ATE480800 T1 AT E480800T1
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AT
Austria
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developer
radiation sensitive
sensitive compositions
alkaline developer
alkaline
Prior art date
Application number
AT05103878T
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English (en)
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Willi-Kurt Gries
Damme Marc Van
Mario Boxhorn
Pascla Meeus
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Agfa Graphics Nv
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
    • G03F7/32—Liquid compositions therefor, e.g. developers
    • G03F7/322—Aqueous alkaline compositions

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
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