BE455686A - - Google Patents

Info

Publication number
BE455686A
BE455686A BE455686DA BE455686A BE 455686 A BE455686 A BE 455686A BE 455686D A BE455686D A BE 455686DA BE 455686 A BE455686 A BE 455686A
Authority
BE
Belgium
Prior art keywords
probe
verifier
fact
image
optical
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Publication of BE455686A publication Critical patent/BE455686A/fr

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description


   <Desc/Clms Page number 1> 
 



  Vérificatour optique de planéité et d'alignement. 



   La Tarification des surfaces planes ou à   génératrices   rectilignes pose le problème de vérifier qu'un certain nombre de pointe sont ou   non   dans un même plan, ou sur une même dei- te ou de mesurer leurs écarts par rapport à ce plan ou à cette   droite?   
L'optique offre une solution du problème qui dé- coule du fait que la lumière se propage en ligne droite. 



   Tous les appareils optiques donnant directement la mesure des écarta précités se composent   dtune   lunette fixe à l'aide de laquelle on observe une mire que l'on déplace au contact de la pièce à vérifier. 



   Ces déplacements faisant varier la distance de la mire la lunette, l'observateur doit, pour chaque position de cette mire, refaire la mise au point de l'image observée dans la lunette. Cette mise au point peut   être   obtenue par le déplacement d'une pièce optique faisant partie de cette   lunette (oculaire, lentille d'objectif, eto.) pu indépendante de celle-ci, par exemple par la translation d'un bain   de mercure placé en avant de son objectif de manière   à   main- tenir constant le ohemin optique entre celui-ci et la mire. les dispositifs existants présentent plusieurs in- convéniente :

   dee bain demeroure. le   cas   du déplacement de   l'oculaire   et de bain de/meroure, le guidage de la pièce optique mobile permettant la mise au moint doit être exécuté avec une très grande précision; 

 <Desc/Clms Page number 2> 

 la sûreté des mesures n'est pas absolue, car des détériorations peuvent se produire et des jeux peuvent s'introduire par suite de l'usure des pièces à l'insu de l'observateur. 



   Lorsque la lunette d'observation est à duplication et à renversement d'une des images, le déplacement de l'oculaire pour effectuer la mise au point n'a même théoriquement aucune Influence sur les mesures; mais il n'en subsiste pas moins l'in-   convénient   grave suivant: du fait que l'observateur touche à la lunette d'observation, celle ci peut se déplacer et par   oonsé-   quent se dérégler, b) Chaque mesure exige la mise en place de la mire sur la pièce à vérifier, et le déplacement de l'organe de régla- ge de la mise au point des imagea, soit deux opérations. Il n'est donc pas possible de procéder rapidement et d'une manière continue à une série de mesures.

   Cet inconvénient est pertiou-   lièrement   grave lorsqu'on substitue à l'oeil un dispositif pho- tographique pour l'enregistrement des écarts. 



   On pourrait évidemment imaginer que, par une liaison mécanique appropriés, on fasse commander des dispositifs de mise au point précitée par le déplacement du palpeur, mais comme dans tous les dispositifs existants les déplacements du palpeur et de la pièce effectuant la mise au point ne sont pas de même am- plitude, on aboutirait à des systèmes compliqués et délicate, constituant également des sources possibles de   déréglage.   



   La présente invention a pour but d'éviter ces   incon-   véniente. Elle est caractérisée en premier lieu par le fait que le palpeur dont est muni le vérificateur, comme tous lès appareils de ce genre, et que l'on déplace au contact ou à   distance oonnue de la pièce à vérifier n'est plus, comme dans les appareils existants, un organe portant une simple mire   repère, mais une pièce mécanique portant au moins deux pièces   optiques, ou une seule pièce optique, mais touchée dans ce' cas, deux fois par la lumière, et ayant ainsi une double action.   



   L'invention est caractérisée en outre par le fait que le palpeur est placé entre deux systèmes réflecteurs, de telle manière que la lumière parcourt le circuit de longueur constante partant: du palpeur pour y revenir après réflexion sur ces deux systèmes réflecteurs, ce circuit caractéristique étant compris dans le chemin parcouru par la lumière pour la formation de l'i - mage finale de la tire. 



   Grâce à oette disposition caractéristique de   l'inven-   tion il est possible dans tous les cas d'obtenir la constance de   tamise   au point de l'image finale observée. Si en effet la mire est fixe et l'instrument d'observation fixe, on placera l'instrument d observation et la mire de part et d'autre du palpeur; le chemin total parcoure par la lumière de la   mire à.     cet Instrument sera par conséquent constant. Si la mire est mobile - (portée par le palpeur) -* et l'instrument d'observation   fies. on choisira les pièces optiques du palpeur et des réflec- teurs de façon que l'image de la mire formée après parcours du circuit caractéristique soit à   l'infini,   donc à distance constante de l'instrument d'observation.

   Si enfin la mire et l'instrument d'observation sont mobiles (portés tous deux par le palpeur) on choisira les pièces optiques du palpeur et des réflecteurs d'extrémité de façon que l'image formée après par- cours du circuit caractéristique soit à distance constante, finie ou infinie du palpeur. 

 <Desc/Clms Page number 3> 

 
 EMI3.1 
 



  Bans tous les cas il faut nfter que la constance de la mise au point est obtenue sans qu'aucune pièce optique soit déplacée, autre que celles fixées sur le palpeur et entraînée a avec lui dana son mouvement. Par conséquent, pour faire une moura, on n'a à déplacer qu'un, seul organe et à n'eièaflX9 qu'une seule opé1'8.ti-O,it. 



   Pour mesurer les écarts de planéité ou d'alignement, on déplace le palpeur précité sur la pièce   à   vérifier, et on observe l'image d'une mire réticule portée ou non par le palpeur. 



  Si l'image dans la lunette d'observation reste fixe, la planéité ou l'alignementmont parfaits; sinon, les déplacements   apparents   
 EMI3.2 
 transversaux démette image ceat-àrdire perpendiculaires au plan ou à la droite à vérifier, permettent la détermination de ces   écarte'.   



   Le fait que la mire réticule (repère)   n'est   pas né- 
 EMI3.3 
 C8"èairemengrté8'.r le palpeur, comme d ans les dispositifs antérieurement connus, constitue une particularité du nouveau vérificateur. 



  L'invention est représentée, mais à titre d'exemple seulement, dans le   dessin   annexé dans lequel: 
 EMI3.4 
 Les figures 1 à 4 sont quatre vues sohématique8}l"I; montrant le principe de 1tinvention; Les figures 5 à 13 montrent divers modes de réalisa- 
 EMI3.5 
 tion. 



   La disposition de la figure 1 s'applique au cas où la mire.réticule   M   est fixe. Le palpeur P est mobile le long de la droite L à vérifier* 
Ce palpeur comprend toujours au moins deux pièces 
 EMI3.6 
 optiques 01 et 03, lentilles ou systèmes ri:tléchis8&nts,plan, sphériques ou cylindriques, et les   systèmes     réfléchissants   ont 
 EMI3.7 
 été représentés par deux rectangles ai et Bgw 
Dans le cas de la figure 1. ces deux pièces optiques sont des systèmes réfléchissante représentée   schématiquement   
 EMI3.8 
 par les deux rectangles superposés 01 et Raz Le rayon lumineux émis par le réticule contenu dans 
 EMI3.9 
 le cylindre ii suit d'abord le chemin JI01, tracé en pointillé, puis se réfléchit sur le palpeur et ensuite sur les deux surfaces ou systèmes ri:

  tléohissant.a -1 et la et revient au palpeur lui-aême. Le circuit optique, caractéristique de l'invention, 0],. 



  RI,, A, 0$i est indiqué en traits pleins   ',Après   réflexion en 0 (trait pointillé) les rayons lumineux tombent sur l'objectif de la lunette, ou plue généralement sur l'instrument d'observation I. 



   Le schéma de la figure 1 permet de constater que le circuit optique, qui va du palpeur pour revenir au palpeur après 
 EMI3.10 
 réflexion sur les deux systèmes réflecteurs fixés aux deux ezta6r. mités de la droite suivant laquelle on effectue la vérification, 
 EMI3.11 
 est de longueur oonstanb*+ Le chemin supérieur entre RI et Rg est constant pul8que les systèmes réfléchissants al et Rg sont fixes. La somme des trajets inférieurs 01-RI et Og - Ba ,est évidemment constante i 

 <Desc/Clms Page number 4> 

 
 EMI4.1 
 Il le palpeur P se déplaoe vers la gauche, le trajet  1-a, est dfiminué d'une certaine quantité, maie le trajet OseRa cet aug-   menté   de la même quantité. 
 EMI4.2 
 La somme des chemine )1)1 et Oaj est constante pour la même raison. 



   Il suit de tout ce qui précède que, quelle que soit la position du palpeur P sur la pièce à vérifier,l'image de 
 EMI4.3 
 la mire*"réticule Il dans le système 9aieur-réfieoteura fixes sera toujours à la même distance de l'instrument   d'observa-*     *ion   I qui est fixe dans le   cas   de la figure représentée. 



   L'invention comprend diverses variantes de la réali-   sation. @   
 EMI4.4 
 Dans le cas de la figure 3, les deux éléments reflêchissante du palpeur sont remplacés par des systèmes Oi-Os traversés par la lumière. Le chemin optique devient dans ces oonditions K, Os, B@, Q%p,1 dont la longueur est toujours cons- tante. 



   La figure 3 représente une autre disposition dans   laquelle   la mire réticule est portée par le palpeur. Dans ce cas ce réticule sera considéré oomme étant l'une des pièces op- 
 EMI4.5 
 tiques du palpeur. Si la mire il est placée en 01. l'autre élémert situé en 08 wst un élément traversé par la lumiêr*4 L'image de 16àiro sera encore fixe, puisque rejetée l'infini queLle que soit la position du palpeur sur la droite hvériflere Dans le cas de la figure 4, la mire M est confondue 
 EMI4.6 
 avec l'élément 02 du palpeur, tandis que l'élément 01 est un élé- ment traversé par la lumière* 
 EMI4.7 
 L'instrument 1 d'observation est fixe ais palpeur. un miroir supplémentaire R donne une orientation commode   a cet   instrument.   Celui-oi   étant solidaire du palpeur le suit dans ses déplacements;

     la   mise au point reste constante,, mais cette fois l'image de la mire fournie par le système palpeur et les 
 EMI4.8 
 miroirs fixes, n'a pas besoin d'être rejetée l'infini. L'obaea. va%ion peut se faire ainsi en lumière convergentes, 
Ce palpeur spécial a, en outre, une autre propriété qui permet lea mesures. Les deux pièces optiques qu'il comprend sont choisies eneffet, de façon que leur petite déplacements 
 EMI4.9 
 transversaux, consécutifs à des petite défauts de pané1té ou   'de   rectitude des pièces à vérifier, se traduisent par un déplacement d'image et que, au contraire, une modification de leur orientation soit sans effet sur les mesures. 



   Quelles que soient les dispositions adoptées, les pièces optiques constituant les réflecteurs fixes d'extrémité aont   choisies   de façon que les deux pièces optiques du palpeur con- 
 EMI4.10 
 tribuent chacune dans le même a-sna.aet non en sens contraire, sa déplacement transversal apparent de l'image â mesurer,, Autrement dit, ces déplacements doivent s'ajouter,, mais non se totrancherg ce qu'on peut toujours réaliser. 



   Comme il a déjà été signalé, si on le   désire,  on pourra choisir lea pièces optiques du palpeur et des réflecteurs d'ex- 
 EMI4.11 
 trémité de façon que l'image de la mire se foZ'M à une distance constante (finie ou infinie) de l'instrument d'observation, dans lequel on observe les écarts à mesurer sous   forme   d'écart de deux images.

   Ceux-ci seront par ailleurs, mesurés à l'aide des 
 EMI4.12 
 procédés classiques oonnua(ooulairea micrométriques, déviateurs à lame., à prismes, à lentilles ou encore par déplacements micre- 

 <Desc/Clms Page number 5> 

 métriques des pièces   optiques du   palpeur par rapport à ce dernier jusqu'au contact des deux images   précité.   On peut enoome utiliser un micromètre gradué, placé dans le plan de l'image formée dans l'instrument d'observation et lire directement l'écart des deux images. 
 EMI5.1 
 



  On va maintenant déonrej à titre d'exemple seulement divers modes de réalisation du vérificateur objet de l'invention. 



     .En   pratique, on constitue celui-ci au moyen de trois   ensembles distincts seulement groupés autour du palpeur et des deux réflecteurs d'extrémité. Suivant le cas, le rétioule-   mire et l'instrument d'observation seront eolidairement liés aux réflecteurs d'extrémité décrits ci-dessus ou au palpeur. 



   La figure 5 représente un -vérificateur permettant la vérification de la planéité. 
 EMI5.2 
 



  La mire M est f1JJ,. et indépendante du palpeur. 
 EMI5.3 
 ( Les pièces optiques Ot-Oo du palpeur sont constituées par deux dièdres d'a1'4te8 parallèles au plan aurifier. L'une des deux glaces à faces parallèles du dièdre O2 est   semi-argen-   
 EMI5.4 
 tée. Les réflecteurs d'extrémité sont l'un un dièdre Rle l'auto un miroir plan R2. '
Le dispositif de mesure des écarts est une lame à 
 EMI5.5 
 faces jBMalleles inclinable et placée devant l'objectif Ob de l'instrument d'observation I qui, dans oe   cas,   peut être simplement un viseur. En   suivant   la formation des images on voit facilement que les écarts perpendiculaires au plan à 
 EMI5.6 
 vérifier s'ajoutent et que ceux parallèles à ce plan se retran" chant. Le dispositif ne permet donc que la vérification de la planéité. 



   La figure 6 montre un vérificateur de planéité et d'a- 
 EMI5.7 
 iignembnt dans lequel les des pièces optiques portées par le palpeur 2¯aont deux i1l'ièd:NS trireotà'Dgula1res 01 et 03é La mire-rétioule Il est fixe et liée soldalrément au réflecteur d'entrée RI qui est également un trièdre trirectangle L'autre réflecteur d'extrémité à est un prisme a trois réflexions dont les faces réfléchissantes se coupent suivant des droites parallèles* perpendiculaires à la direction la, suivant laqatle on effectue es vérifications. 



     1 imago   de la mire réticule est observée à l'aide d'un viseur 1 réticulé solidairement lié au réflecteur B2 On 
 EMI5.8 
 a indiqué comme organe de mesure une lame 1 â f aoea parallèles orientable autour de deux directions perpendiculaires et'qui permet de mesurer les écarts suivant ces deux 41reot10ns:7.' 
On notera la sensibilité du vérificateur grâce à l'amplification des écarts. En effet, un écart .sa décelé par le palpeur donne un déplacement d'image analogue à celui que donnerait un déplacement de la mire   réticule   égale à 4e. 



   En suivant la formation des images on voit faoilement qu'il y a addition des écarts transversaux situés dans un plan perpendiculaire à la droite. Ce dispositif permet donc de vérifier des alignements: 
La figure 7 représente un vérificateur de   planéité   et d'alignement dans lequel la mire rétioule est solidaire du palpeur. Les deux pièces optiques de ce dernier comprennent 
 EMI5.9 
 la mire réticule 1 et un objeotif 0 aveoootte particularité que le rétioule est tracé sur l'objectif. Les réflecteurs   #   

 <Desc/Clms Page number 6> 

 
 EMI6.1 
 d'extrémité comprennent un prisme triedre R. et un prisme à trois réflexions Bg dont les trois faces r4fléoh1888.D:te8 se coupent suivant des roitaserallèles entre elle$ mais perpenàioulairea à la droite L le long de laquelle s'effectue la vérification.

   Ltécartement des deux priamibe R, et Bg cet tel que le circuit de longueur constante parcourt par la lumière pour aller du rétioulpàl du palpeur à son objectif 0* est égale à la distance focale de cet objectifs L'image de la mire est donc toujours à   l'infini.   



   Cette image est observée dans la lunette 1 réticule et pointée sur l'infini. Les rayons lumineux traversent   à   cet 
 EMI6.2 
 effet une 88mi-argenture appliquée sur la face± du réflec- teur R2. La mesure des écarts de planéité et d'alignement est effectuée par exemple à l'aide d'un oculaire   micrométrique*   
Dans ce dispositif il y a addition des écarts dans toute direction   perpendiculaire   à L. La mesure des alignements est donc possible. 



   Pour un vérificateur de planéité soulement cette disposition peut être modifiée comme indiqué sur la figure 8. 



   La mire M est fixée sur le palpeur, mais n'est plus sur l'objectif   0.   Le réflecteur est un dièdre dont les faces réfléchissantes se coupent suivant   une parallèle   au plan à. vérifier, et le miroir R2 un miroir plan, normal à la droite L suivant laquelle s'effectue la vérification de   planéité.   



   Le circuit optique de longueur constante qui va de 
 EMI6.3 
 la mire M au palpeur est égale la distance focale de l' obr jeotif 0. L'image de la mire est encore rejetée à l'infini et observée dans la lunette d'observation 1 toujours réglée sur l'infini. 



   La mesure des écarts se fait en déplaçant un prisme déviateur D placé entre l'objectif Ob et le plan de l'image donnée par celui-ci. Il n'y a dans ce cas, addition des écarte, que lorsqu'ils sont dirigés verticalement, si   Isba   se place dans le cas de la figure. Le dispositif ne permet donc que de vérifier des surfaces planes. 



   Il faut néter cependant, que comme tous les   vérifica-   teurs de planéité, il pourrait servir de vérificateur   d'ali-   gnement en exécutant deux séries   successives   de mesures. On y déterminerait les écarts des points intéressés par rapport à deux   plans,   rectangulaires par exemple parallèles à la droi- te sur laquelle ils devraient être alignés. 



   La figure 9 représente un mode de réalisation d'un   vérificateur   de planéité et d'alignement semblable à celui   de la figure 7, mais dans lequel la mire M n'est pas portée par de palpeur P. Les pièces optiques de ce dernier se composent   de deux objectifs   confondue en   seul O. Les réflecteurs d'ex- 
 EMI6.4 
 trémité et la lunette d'observation sont iàentiqU8x à ceux de la figure 7. L'écartement des réflecteurs R1 et F2 est tel que le circuit de longueur constante, caractéristique de l'invention, ait une longueur égale au double de la distance focale de l'objectif 0.

   Il donne dans ces conditions,   d'un   objet situé à   l'infini,   une   imége   également à l'infini après 
 EMI6.5 
 sa deuxième traveradépar la lumière;     
Dans le cas présent, la mire   1L   est placée au foyer d'un objeotif 0 et à son image rejetée à l'infini. On ajoute 
 EMI6.6 
 aux prismes 8y et des surfaces semi-argentées rx, ma per- mettant le passage de la lumière incidente.      

 <Desc/Clms Page number 7> 

 



   La figure 10 représente une variante de la dispo- sition précédente. la mire M est placée au voisinage du sys- téme réflecteur R1 qui est constitué par un dièdre. Elle n'a   plus, comme dans le cas de la figure 9, son image à l'infini. 



  Dans ces conditions, la lumière se réfléchissant sur les    réflecteurs d'extrémité et en traversant deux fois l'objeo- tig 0 du palpeur, donne en M' une image de la mire M à dis- tance finie et   constante'*';   
L'instrument d'observation peut se réduire à un simple oculaire OC. Il est à noter que, si le réflecteur   d'ex-   trémité !la est également un dièdre, les déplacements d'images consécutifs aux déplacements de l'objectif 0 s'ajoutent et le dispositif permet la vérification d'alignement. 



   Si on avait voulu réaliser seulement un   vérifica-   teur de planéité, on aurait pu supprimer les semi-argentures des dispositifs des figures 9 et 10, en utilisant deux ob-   jectifs   non confondus et placés côte à   cote.   Il est évident qu'on peut utiliser à la place des objectifs précités, des miroirs sphériques. 



   Les systèmes optiques du palpeur peuvent être simple-   ment deux mires-réticules M et M . comme représenté figure 11. 



  Les réflecteurs d'extrémité sont Identiques et comportent un   prisme dièdre à miroirs et un objectif. Les deux objectifs sont placée de telle façon qu'ils ont leurs foyers principaux confondus. 



   Dans ces conditions, l'image de M donnée dans les ré- flectoure d'extrémité se trouve au voisinage de M' et dans son plan. 



   L'écart de M' et de l'image de M varie comme le dou- ble des écarts à mesurer. L'instrument d'observation peut êtte un simple coulaire Co porté par le palpeur. Pour la commodité de l'observation, la lumière est renvoyée à 90  par réflexion   sur,=   miroir plan argenté R. 



   La mesure s'effectuera, par exemple, par simple   dé-   placement miorométrique de la mire réticule sur son   supportèpal-     peur   
La figure 12 représente un mode de réalisation particulièrement, simple, permettant les vérifications de pla-   néité   et d'alignement. 



   Le palpeur comprend un seul micromètre (en réalité, par suite   de.la   double traversée de la lumière,il joue le rôle de deux micromètres confondue). Les réflecteurs d'ex-   trémité sont deux miroirs sphériques R21 et R2 ayant même axe ' et leurs foyers confondue.   



   Bans ces conditions, le système optique constitué par les réflecteurs d'extrémité donne de la mire   M,   après que la lumiére a paroouru le circuit de longueur constante, une image -située dans le plan de la mire M, comme dans le cas de la figure 11. 



   Pour la vérification on observera la mire et son image commodément en renvoyant la lumière à 90  au moyen d'un miroir R semi-argenté, solidaire du palpeur. L'observa-, tion pourra se faire dans les mêmes   conditions   que dans le cas de la figure 11, à l'aide d'un oculaire Oc également solidaire du palpeur*' 

 <Desc/Clms Page number 8> 

 
Outre lea modes de réalisation décrite, on peut en combiner de nombreux autres, toujours basés sur les mêmes prin-   oipes.   



    ,.   Il est évident qu'on peut utiliser pour les pièces optiques du palpeur des   pièces   optiques, dioptriques ou cata- dioptriques quelconques pieces c plans, prismes à réflexion totale, miroirs sphériques, cylindriques, lentilles sphériques,   sphérooylindriques, réticules, etc.). La seule condition est qu'elles doivent être associées de façon que les petits dé-   placements transversaux du palpeur dans le sens des écarts   à.   mesurer et consécutifs à ses changements de position sur la pièce à vérifier, se traduisent par   un déplacement   de l'image de la mire, et que, au contraire, les défauts d'orientation soient sans effet sur les mesures. On peut même utiliser,comme   on l'a vue le dièdre à 90 .

   Ce dernier dispositif est. li est vrai, sensible aux rotations autour d'axes non parallèles à   son arête, mais il peut être encore utilisé pour les   vérifica-     tiona   de   planéité.   Il suffira de l'orienter de façon à ce que son arétséoit parallèle au   plan à   vérifier. 



   On peut, d'une manière plus générale, par compen- sation, utiliser des pièces sensibles à la rotation, à condi-   tion qu'elles soient encombre pair et que les effets de rotationde ces pièces se neutralisent. est ainsi que l'on   pourra utiliser   deux   miroirs sphériques ou cylindriques*, 
Dans les exemples citée, la lumière ne parcourt qu'une fois le circuit caractéristique de longueur   constan-   te. Il y a lieu d'ajouter que l'invention comprend tout vérificateur optique dans lequel la lumière parcourt une fois ou plusieurs le trajet optique caractéristique de longueur constante. Le palpeur supporte alors plus de deux   pièces   optiques et est traversé quatre, six fois, ou plus, par la lumière. 



   Les réflecteurs peuvent, de même que les pièces optiques du palpeur, être constituées de manières diverses   (miroirs plans, prismes a réflexion totale, miroirs sphériques, cylindriques, lentilles sphériques, sphércylindriques, etel).   



   Ces réflecteurs doivent renvoyer la lumière dans la direction du palpeur et en outre comporter un nombre de réflexions qui, au total, permettent l'addition et non l'annu- lation par compensation des petits déplacements d'images de la mire donnée par ohaoune des pièces optiques du palpeur. 



   Il y a enfin lieu de signaler un avantage du nouveau vérificateur optique qui est en général plus précis que les vérificateurs existants, ce qui tient en particulier à ce que les petite déplacements transversaux de l'image de la mire consécutifs à ceux du papour, sont   décèles   par au moins deux passages de la lumière à travers les pièces op- tiques qu'il porte,   d'où   résulte une amplification des écarts, d'autant plue grande que le parcoure de la lumière est plue multiple

Claims (1)

  1. REVENDICATIONS 1 ) Vérificateur optique de planéité et d'alignement caractérise,par le fait que le palpeur qui permet d'évaluer l'écart de planéité ou d alignement, en le déplaçant au contact ou à distance connue de la pièce à vérifier, porte une ou plu- sieurs pièces optiques qui interviennent dans la formation du circuit lumineux allant de la mire à l'instrument d'observation 20) Vérificateur comme revendiqué en l , caractérisé par le fait.
    que ledit palpeur porte en général au moins deux pièces optiques, ou un nombre pair de pièces optiques, chaque couple de ces pièces optiques pouvant toutefois Atre réduit à une seule pièce si celle-ci est touchée deux fois par la lu- mière.
    3 ) Vérificateur oomme revendiqué en 1 , .caractérisé par le fait,que le palpeur est placé entre deux systèmes réfleoteurs, de telle manière que la lumière paroourt le circuit de longueur constante partant du palpeur pour y 'revenir après réflexion sur ces deux systèmes réflecteurs, ce circuit caractéristique étant compris dans le chemin parcouru par la lumière pour la formation de l'image finale de la mire.
    4 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 , caractérisé par le fait que la mire-réticule est solidaire du palpeur.
    5 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 , caractérisé par le fait.que la mire-réticule est fixe et indépendante du palpeur, et 6 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 , caractérisé par le fait, que l'instrument d'observation est fixe.
    7 ) Vérificateur comme revendique en 1 , caractérisé par le fait.que l'instrument d'observation est lié au palpeur.
    8 ) Vérificateur oomme revendiqué en 1 : caractérisé par le fait. que chaque mesure se fait par le déplacement d'un seul organe et en une seule opération. , 9 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 , caractérisé par le fait.que l'éoart de planéité ou d'alignement se ,déduit des déplacements du palpeur précité, par observation visuelle ou photographique des déplacements apparents de l'image d'une mire-réticule,portée ou non par le palpeur, et donnée par le système optique caractéristique de l'invention dans lequel le circuit qui va du palpeur pour revenir au palpeur après réflexion sur deux systèmes réflecteurs fixes placés aux deux extrémités de la droite suivant laquelle on effectue la vérification est de longueur constante.
    10 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 , caractérisé par le fait, que les ppiéces optiques portées par le palpeur sont telles que leur translation dans le sens des écarte à mesurer donne des déplacements de l'Image observée et que leurs défauts d'orientation n'ont individuellement ou globalement aucuns influence sur les mesures.
    11 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 , oaraotérisé par le fait que les réflecteurs fixes d'extrémité sont tels que les déplacements d'images donnés par les deux passages de la lumière à travers les pièces du palpeur s'ajoutent et ne se retranchent pas.
    12 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 ,caractérisé <Desc/Clms Page number 10> par le fait que les réflecteurs d'extrémités comprennent des croira, prismes à réflexion totale et éventuellement des len- tille et des miroirs spheriques, ou cylindriques, ou aphéro- oylindriquea, disposes de telle fagon que l'image de la mire- réticule, formée après parcours du circuit caractéristique,, par la lumière, soit située à une distance constante de l'instru- ment d'observation ou de l'appareil photographique.
    13 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 , caracté- risé par le fait que la mesure proprement dite des écarts est effectuée par des moyens connus permettant d'apprécier la die- tance angulaire d'une image à un rétioule, ou encore de deux a- gel contenues dans un même plan, et elle se déduit du dépla- cement miorométrique des pièces optiques portées par le pal- peur par rapport à oelui-di et qui est nécessaire pour mettre en coïncidence l'image finale et le réticule précité* ttre 14 )
    Vérificateur comme revendiqué en l oarsotérisé par le fait que l'image finale observée oa photographiée reste constamment au point lorsqu'on déplace le palpeur le long de la droite suivant laquelle est effectuée la vérification , de sorte qu'auouns opération de mise au point n'est nécessaire entre chaque maure;
    cette constance de la mise au point est ob- tenue, bien qu'aucune pièce optique ne soit déplacée autre qu celles fixées sur le palpeur et entraînées par lui dans son mouvementé 15 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 caractérasé par le fait que les pièces optiques sont réparties en trois ensembles distincts groupés respectivement autour du pal- peur et des réflecteurs d'extrémité. /du palpeur 16 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 .
    caracté- risé par le fait que les pièces optiques/sont constituées par deux dièdres à 90 , d'arêtes parallèles au plan à vérifier, les réflecteur* d'extrémité étant respectivement constituée d'un dièdre à 90 , d'arêtes parallèles au plan à vérifier et d'un mi- roir plan, la mire-réticule et la lunette d'observation étant fixes et placées respectivement au voisinage des deux réfleo- teurs d'extrémité.
    17 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 caracté- risé par là fait que les pièces optique portées par re palpaur sont deux riédres trirectangles, les réflecteurs d'exteémité étant un dièdre à 90 et un réflecteur à trois faces réfléchis- santes dont les intersections sont parallèles entre elle et perpendiculaires à la droite le long de laquelle on fait la vé- rifioation, 18 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 , caracté- risé par le fait que les pièces optiques du palpeur sont un objectif et un réticule tracé sur celui-ci, l'écart des réflec- teurs d'extrémité étant tel que l'image de la mire-réticule donnée par l'objectif est à l'infini.
    19 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 , caracté- risé par le fait que le palpeur porte une mire-réticule et un objectif placés còté à cote et dans le même plan, les systèmes réflecteurs étant les mites que ceux définie au paragraphe 16 , et leur écartement étant tel que l'image de la mire-rétioule est rejetée à l'infini.
    20 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 caractéria6 par le fait que le palpeur ne porte qu'une seule pièce optique, l'objectif, et l'écart des réflecteurs d'extrémité étant tel que le chemin parcouru par la lumière pour aller <Desc/Clms Page number 11> de l'objectif et y revenir est égal au double de la distance focale de cet objectif, la mire-rétioule étant fixe et placée au foyer d'un collimateur.
    21 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 : oaractérisé par le fait que les réflecteurs d'extrémité sont constitués ohacun par un dièdre à 90 d'arêtes perpendioulaires à. la droite le long de laquelle est effectuée la vérification,, la mire-ré- ticule étant au voisinage d'un des réflecteurs d'extrémité, l'écart des réflecteurs étant tel que le chemin parcouru par la lumière pour aller de l'objectif et y revenir est égal au double de la distance fooale de set objectif,, 22 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 , caractérisé par le fait que le palpeur porte deux réticules situés au voisinage l'un de l'autre, les réflecteurs d'extrémité, conslktués par des dièdres comme ci-dessus,
    oomportant en plus des objectifs de même distance focale ayant leurs foyers confondus, l'observation étant faite au moyen d'un instrument lié au palpeur.
    23 ) Vérificateur comme revendiqué en 1 , caracté- risé par le fait que les deux réticules portés par le palpeur sont confondus, les réflecteurs d'extrémité étant constitués par des miroirs sphériques ayant leurs foyers confondus l'instrument d'observation étant lié au palpeur.
    24 ) Vérificateur caractérisé par les diverses combinaisons possibles réalisées à l'aide des divers éléments oi- dessus.
BE455686D BE455686A (fr)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
BE455686A true BE455686A (fr)

Family

ID=109549

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BE455686D BE455686A (fr)

Country Status (1)

Country Link
BE (1) BE455686A (fr)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100225923B1 (ko) 이상 회절 간섭계
TWI261111B (en) Eccentricity measuring method and eccentricity measuring apparatus
EP3959508B1 (fr) Systeme de mesure par deflectometrie
FR2458830A1 (fr) Systeme de representation optique muni d&#39;un systeme de detection opto-electronique servant a determiner un ecart entre le plan image du systeme de representation et un second plan destine a la representation
US20120327503A1 (en) Illumination control
US20140285813A1 (en) Wavefront sensing apparatus, method and applications
FR2914992A1 (fr) Interferometre pour la mesure d&#39;un objet.
US20220003910A1 (en) Aligning a polarization device using a spatially variant polarization element
CH258338A (fr) Vérificateur optique de planéité.
US6459490B1 (en) Dual field of view optical system for microscope, and microscope and interferometer containing the same
JP5333890B2 (ja) 表面検査装置
JP5181403B2 (ja) 干渉計
CN108627254A (zh) 一种变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪测量装置及方法
FR2612628A1 (fr) Dispositif de mesure par interferometrie laser
CN114778552A (zh) 一种用二次分束实现指向无依赖的差分干涉相衬成像系统
KR101464698B1 (ko) 이미지 포인트 정렬이 용이한 피조우 간섭계
US12467737B1 (en) Self-referencing interferometric microscope
KR101464695B1 (ko) 멀티 간섭 위상 동시 측정기능을 갖는 간섭계
WO2025238508A1 (fr) Systèmes optiques d&#39;autocollimation
CH284120A (fr) Dispositif optique destiné aux contrôles de planéité, d&#39;alignement et de coaxialité.
EP0591911B1 (fr) Interféromètre comprenant un ensemble intégré et une unité réfléchissante séparés l&#39;un de l&#39;autre par une région de mesure
CH504756A (fr) Compensateur des mouvements fortuits pour un système optique
Arnold et al. CGH-LUPI interferometer for aspheric figure metrology
CH553394A (fr) Interferometre.
JP2009097883A (ja) 偏芯測定装置