CH258338A - Vérificateur optique de planéité. - Google Patents

Vérificateur optique de planéité.

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CH258338A
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Cu Bernard-Eugene-Adrien-Marie
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Cuny Bernard Eugene Adrien Mar
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/306Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description


  



  Vérificateur optique de planéité
 La vérification des surfaces planes ou à génératrices rectilignes pose le problème de vérifier qu'un certain nombre de points sont ou non dans un même plan, ou sur une même droite, ou de mesurer leurs écarts par rapport   u ce plan ou à cette    droite.



   L'optique offre une solution du problème qui découle du fait que la lumière se propage en ligne droite.



   Les s appareils optiques donnant directement la mesure des écarts précités se   com-    posent généralement d'une lunette fixe à l'aide de laquelle on observe une mire que l'on déplace au contact de la pièce à vérifier.



   Ces déplacements faisant varier la distance de la mire à la lunette, l'observateur doit, pour chaque position de cette mire, refaire la mise au point de l'image observée dans la lunette. Cette mise au point peut   êlre    obtenue par le déplacement d'une pièce optique faisant partie de cette lunette (ocu  laires lentille d'objectifn et, c.)    ou indépendante de celle-ci, par exemple par la translation d'un bain de mercure placé en avant de son objectif, de manière à maintenir constant le chemin optique entre celui-ci et la mire.



   Les dispositions existantes présentent plusieurs inconvénients :
   a)    Sauf dans le cas du déplacement de   l'oculaireet    du bain de mercure, le guidage de la pièce optique mobile permettant ha mise au point doit être exécuté avec une très   grande précision : la sûreté des mesures n'est    pas absolue, car des détériorations peuvent se produire et des jeux peuvent s'introduire par suite de l'usure des pièces à l'insu de l'observateur.



   Lorsque la lunette d'observation est à duplication et à renversement d'une des images, le déplacement de l'oculaire pour effectuer la mise au point n'a même,   théori-      quement, aucune influence    sur les mesures, mais il   n'en    subsiste pas moins l'inconvénient grave que, l'observateur touchant à la lunette   d'observattion, celle-ci ! peut se déplacer    et, par conséquent, se dérégler.
 b) Chaque mesure exige la mise en place de la mire sur la pièce à vérifier, et'le déplacement de l'organe de réglage de la mise au point des images, soit deux opérations. Il n'est donc pas possible de procéder rapidement et d'une manière continue à une série de mesures.

   Cet inconvénient est particulièrement grave lorsqu'on substitue a, l'oeil un   dilspositi± photograp, hique pour l'enregistre-    ment des écarts.



   On pourrait évidemment imaginer que, par une liaison mécanique, on fasse commander un des dispositifs de mise au point précités par le déplacement du palpeur, mais comme dans tous les dispositifs existants, les déplacements du palpeur et de la   piee, e effec-    tuant la mise au point ne sont pas de même amplitude, on aboutirait à des constructions compliquées et   délicates, constituant, égale-    ment des sources possibles de déréglage. 



   La présente invention a pour but d'éviter ces inconvénients. Elle est caractérisée par un palpeur mobile qui permet d'évaluer l'écart de planéité d'une pièce par rapport à une référence immatérielle constituée par un axe optique, en le déplaçant le long de la pièce à vérifier et qui porte au moins une pièce optique traversée par un faisceau lumineux allant d'une mire a un instrument d'observation, ce palpeur étant placé entre deux systèmes réflecteurs fixes, de telle manière que la lumière parcourt un circuit de lon  gueur constante    partant du palpeur pour y revenir après réflexion sur ces deux systèmes   réfleoteurN, ce circuit étant compris dans le    t. ra.

   jet parcouru par la lumière pour la forma  tion de l'image finade de    la mire, les écarts de planéité étant déduits des déplacements apparents de l'image finale de la mire.



   Grâce à cette disposition, il est possible d'obtenir dans tous les cas la constance de la mise au point de l'image finale observée. Si, en effet, la   mire est fixe et l'instrument d'ob-      servation fixe,    on placera l'instrument d'ob  servation et la    mire de part et d'autre du palpeur ; le chemin total parcouru   par'la Lu-      miere de la mire a cet instrument    sera, par conséquent, constant. Si la mire est mobile (portée par le palpeur) et l'instrument d'observation fixe, on choisira les pièces optiques du palpeur et des réflecteurs de façon que l'image de la mire formée après parcours du circuit soit à l'infini, donc à distance const, ante de l'instrument d'observation.

   Si, enfin, la mire et l'instrument d'observation sont mobilbs (portés tous deux par le palpeur) on choisira les pièces optiques du palpeur et des réflecteurs   d'extrémibés    de façon que l'image formée après parcours du circuit soit à distance constante finie ou infinie du palpeur.



   Dans tous les cas, il faut noter que la constance de la mise au point est obtenue sans qu'aucune pièce optique soit déplacée,   autres que celles fixées sur le palpeur et en-    traînées avec lui dans son mouvement. Par conséquent, pour faire une mesure, on n'a à déplacer qu'un seul organe et a n'effectuer qu'une seule opération,
 Pour mesurer les écarts de planéité, on déplace l'e palpeur précité sur la pièce à   véri-    fier et on observe l'image d'une mire réticule portée ou non par le palpeur.

   Si l'image dans la lunette d'observation reste fixe, la pla  néité    est parfaite, sinon les déplacements apparents transversaux de cette image,   c'est-    à-dire   perpendiculaire a. u plan ou à vérifier,    permettent   la-détermination de    ces écarts.



   Le dessin représente, à   titred'exemple.      diversesformesd'exécution    de l'appareil   suri-    vant l'invention.



   Les fig.   1    à 4 sont quatre vues schématiques montrant le principe de l'invention.



   Les fig.   5    à 12 montrent diverses formes d'exécution.



   La disposition de la fig.   1    s'applique au cas où la mire   réticule M est. fixe. Le    palpeur   P    est mobile le long de la droite   L    à vérifier.



   Ce palpeur comprend toujours au moins    deux pièces optiques Ol et o2, lentilles ou    systèmes réfléchissants, plans, sphériques ou cylindriques, et les autres systèmes réfléchis  sants    ont été représentés par deux rectangles
R1   Rt      et42.   



   Dans le cas de la fig. 1, les deux pièces optiques du palpeur sont des systèmes    tréflé-       chissants représentés schémati ; quement par    les deux rectangles   superposés Ol et o2.   



   Le rayon lumineux émis par le réticule contenu dans le cylindre M suit d'abord le chemin MOt tracé en pointillé, puis se réfléchit sur le palpeur et ensuite sur les deux systèmes   réfléchìssants R1 et R2 et revient    au palpeur lui-même. Le circuit optique, caractéristique de l'invention, soit   01, Rt, R2, o2,    est indiqué en traits pleins.



   Après réflexion en   0"    (trait pointillé) les rayons lumineux tombent sur l'objectif de la lunette ou plus   généralement sur l'instru-    ment d'observation 1.



   Le schéma de la fig.   1    permet de   consta-    ter que le circuit optique, qui va du palpeur pour revenir au palpeur après réflexion sur les deux systèmes réflecteurs fixés aux deux    extrémités de la droite suiva-nt laquelle on    effectue la vérification, est de longueur constante. 



   Le chemin   s-up6rieur entre, R'et R2 est    constant puisque les systèmes réfléchissants
R1 et R2 sont fixes. La somme des trajets    intérieurs Ol Rl et 02 R est évidemment    constante.



   Si le palpeur P se déplace vers la gauche, le trajet O1 R1 est diminuÚ d'une certaine quantité, mais le trajet   o2    R2 est augmenté de la même quantité.



   La somme des chemins   MO'et 0'1    constante pour la même raison.



   Il suit de tout ce qui précède que, quelle que soit la position du palpeur P sur la pièce à vérifier, l'image de la mire-réticule   M    sera toujours à la même distance optique de    l'inst-. rument d'obselrvation I qui est fixe dans    le cas de la figure représentée.



   Dans le cas de la fig. 2, les deux éléments réfléchissants du palpeur sont remplacés par des syst¯mes O1 O2 traversÚs par la lumi¯re.



  Le chemin optique devient da. ns ces conditions M, 02,   R2,      Bl,    01,   I    dont la longueur est toujours constante.



   La fig. 3 représente une autre disposition, dans laquelle la. mire-réticule est portée par le palpeur. Dans ce cas, ce réticule sera considéré comme étant l'une des pièces optiques du palpeur. Si la mire M est placée en   Ol,    l'autre ÚlÚment situÚ en O2 est un ÚlÚment (lentille collimatrice à distance focale égale   ; Ol R2 1 o2) traversé    par la lumière.



   L'image de la mire sera encore fixe, puisqu'elle est rejetée dans le plan fixe de   l'in-    fini, quelle que soit la disposition du palpeur sur la droite à vérifier.



     Dans le cas de la fig. 4. la    mire   M est    confondue avec c l'ÚlÚment   02    du palpeur, tandis   que l'élément 0t est un elémenl travelsé    par la lumière.



   L'instrument I d'observation est fixe au    pal'peur. LTn miroir supplémentaire R donne    une orientation commode à cet instrument.



  Celui-ci étant solidaire du palpeur le suit dans ses   déplace-ments    ; la mise au point reste constante, mais cette fois l'image de la mire fournie par le système constitué par le palpeur et les miroirs fixes, n'a pas besoin    d'être relJetée à l'infin'observatiqn peut    se faire ainsi en lumière convergente. Ce palpeur spécial a, en outre, une autre propriété qui permet les mesures. Les deux pièces optiques qu'il comprend sont choisies, en effet, de façon. que leurs petits déplacements    transversa. ux consécutifs à des petits défauts    de planéité ou de rectitude des pièces à vérifier, se traduisent par un déplacement d'image et que, au contraire, une modification de leur orientation soit sans effet sur les mesures.



   Quelles que soient les dispositions adoptÚes, les pièces optiques constituant les réflecteurs fixes d'extrémités sont choisies de façon que les deux pièces optiques. du palpeur contribuent chacune dans le même sens, et non en sens contraires. au   déplacemeK    transversal apparent de l'image à mesurer. Autrement dit, ces déplacements doivent s'ajouter, mais non se retrancher, ce qu'on peut toujours   réa, liser.   



     Comme H a, déjà été signalé,    si on le désire, on   pofu. rra choisir les pièces optiques    du palpeur et des réflecteurs d'extrémités de façon que l'image de la mire se forme à une distance constante (finie ou infinie) de l'instrument d'observation, dans lequel on observe les écarts à mesurer sous forme   d'écartdedeuximages.Ceux-ciseront    par ailleurs, mesurés à l'aide des   procèdes classi-       ques connus (oculaires mioro. métriques, dé- viateurs à lame, à prismes, à lentilles) ou    encore par   r déplacements micrométriques des    pièces optiques du palpeur pa. r rapport a ce dernier jusqu'au contact des deux images précitées.

   On peut encore utiliser un micromètre    gradué, placé dans le plan de l'image formée    dans l'instrument d'observation et lire direetement l'écart des deux images.



   La fig. 5 représente un   vérificateur per-    mettant la vérification de la planéité.



   La mire M est fixe et. indépendante du palpeur.



   Les pièces   optiques 0 0"du    palpeur comprennent quatre miroirs constituant deux
 dièdres d'arêtes parallèles au plan à vérifier.



  L'une des deux glaces Ó faces parall¯les du dièdre   OZ. est semi-argentée.    Les réflecteurs d'extrémités sont, l'un un   dièdre R1, l'autre    un miroir   planjR.   



   Le   disposiltif    de mesure des écarts est une lame Ó faces parall¯les l, inclinable et placée devant l'objectif Ob de l'instrument d'observation 7 qui, dans ce cas, peut être simplement un viseur. En suivant la formation des images, on voit facilement que les écarts perpendiculaires au plan à vérifier s'ajoutent et que ceux parallèles à ce plan se retranchent. Le dispositif permet donc la vérification de la planéité et la   rectification    d'un alignement en   mesurant les éca. rts    d'ali  gnement    dans'une direction (verticale par    exemple) puis, après avoir orienté perpendi-    culairement le   véffificateur, les écarts    de   plaaéité dans la direction    horizontale, par exemple.



   La fig. 6 montre un vérificateur de pla  néité    et d'alignement dans lequel les deux pièces'optiques portées par le palpeur P sont deux trièdres   trirectangulaires-0 et 0.   



   La mire réticule M est fixe et liée soli  dairement    au réflecteur   d'extrémité R1    qui est également un trièdre trirectangle. L'autre réflecteur d'extrémité 2 est un prisme à trois réflexions dont les faces réfléchissantes se coupent suivant des droites parallèles, per  pendiculaires    à la direction L suivant laquelle on effectue des vérifications.



   L'image de la mire-réticule est observée à l'aide   d'un viseuT I réticule, solidairement    lié au   réflecteur R2. On    a indiqué comme organe   de mesure une lame Z à faces. parallèles    orientables autour de deux directions   perpen-    diculaires et qui permet de mesurer ces écarts suivant les deux directions.



   On notera la sensibilité du vérificateur, grâce à l'amplification des   eca. rts.    En effet, un écart e décelé par le palpeur donne un   dé-    placement d'image analogue à celui que donnerait un déplacement de la mire-réticule égale à   4e.   



   En suivant la formation des   images,    on voit facilement qu'il y a addition des écarts    transversaux dans toute direction perpendi-    culaire à la droite. Ce dispositif permet donc do vérifier des alignements.



   La fig. 7 représente un vérificateur de planéité et d'alignement dans lequel la mireréticule est solidaire du palpeur. Les deux pièces optiques de ce dernier comprennent la mire-réticule M et un objectif 0, avec cette particularité que le réticule est tracé sur l'objectif. Les, réflecteurs d'extrémités comprennent un prisme   trièdre Rl et un    prisme à   trois réflexions R2    dont les trois faces   réflé-      chissantes    se coupent suivant les droites paallèles entre elles, mais perpendiculaires à la droite L le long de laquelle s'effectue la vérification.

   L'écartement des s deux prismes   At et R2 est tel    que le circuit de longueur constante parcouru par la lumière pour aller du réticule M du palpeur à son objectif 0, est égale à la distance focale de cet objectif.



  L'image de la mire est donc toujours à l'infini.



   Cette image est observée dans la lunette   1    réticulée et pointée sur l'infini. Les rayons lumineux traversent à cet   effet une semi-    argenture appliquée sur la face r du   réflec-    teur   R3.    Au contact de la face   semi-argentée    est placé un prisme   complémentaire R3,    permettant la traversée de la lumière sans déviation. La mesure des écarts de planéité et d'alignement est effectuée par exemple à l'aide d'un oculaire micrométrique.



   Dans ce dispositif, il y a addition des écarts dans toute direction perpendiculaire à   L.    La mesure des alignements est donc possibl, e.



   Pour un vérificateur de planéité ou pour un vérificateur mesurant les écarts   d'aligne-    ment dans une seule direction, la mesure des écarts dans la direction perpendiculaire étant obtenue par rotation de 90  du verificateur, cette disposition peut être modifiée comme indiqué sur la fig. 8.



   La mire M est fixée sur le palpeur, mais n'est plus sur l'objectif 0. Le réflecteur   R1    est un dièdre dont les faces réfléchissantes se coupent suivant une parallèle au plan à   véri-    fier, et le   miroir R2 un miroir plan normal Åa    la droite L suivant laquelle   s'effectue la vé-      rification de la, planéité.   



   Le circuit optique de longueur constante qui va de la mire   M    à l'objectif du palpeur est égal à la distance focale de cet objectif 0. L'image de la mire est encore rejetée à l'infini et observée dans la lunette d'observation 1 toujours réglée sur l'infini,
 La mesure des écarts se fait en déplaçant un prisme déviateur D placé entre l'objectif   Ob    et le plan de l'image donnée par celui-ci.



  Il   n'y    a dans. ce ea, s addition des   écart, s que    lorsqu'ils sont dirigés verticalement, dans le cas de la. figure. Le dispositif ne permet donc que de vérifier les surfaces planes.



   Il faut noter cependant que, ainsi qu'il est vrai pour tout vérificateur de planéité, le vérificateur de l'invention, dans les diverses formes d'exécution décrites, peut toujours servir de vérificateur d'alignement en   exécu-    tant deux séries successives de mesures. On peut, par exemple, déterminer   les écarts des    points intéressés par rapport à deux plans orthogonaux se coupant suivant une droite parallèle à la droite sur laquelle ils devraient être alignés.



   La fig. 9 représente un vérificateur de planéité et d'alignement analogue à celui de la fig. 7, mais dans lequel la mire M n'est pas   portée pa. r le palpeur P. Ce    dernier porte un objectif   0    traversé deux fois. par le faisceau lumineux. Les réflecteurs   d'extré-    mités et la lunette d'observation sont   identi-    ques à ceux de la. fig. 7, toutefois un prisme   complémentairs Ro a été ajoute à la    face semi-argentée du   réflect, eur R1 pour    permettre la traversée de la lumière sans déviation.



     L'écartement des. réflecteurs 21 et 2    est tel que le circuit   de longueur constante, caracté-    ristique de l'invention, ait une longueur égale au double, de la distance focale de l'objectif   0.    Il donne, dans ces conditions, d'un objet situé à l'infini une image également à l'infini après sa deuxième traversée par la lumière.



   Dans le cas présent, la mire M est placée au foyer d'un objectif collimateur C et son image est rejetée à l'infini. Les   prisxnes B1 et      Rfl    comportent des surfaces   semi-a. rgentées ri,      r2 et    des prismes   complémentaires.permet-    tant le passage en ligne droite d'une partie de la lumière incidente.



   La fig. 10 représente une variante de la disposition précédente. La mire M est placée au   voisinage. du. système réflecteur R1 qui    est constitué par un dièdre Elle   n'a    plus, comme dans le cas de la fig. 9, son image à l'infini.



  Dans ces conditions,   la,    lumière se réfléchissant sur les réflecteurs   d'extrémités, et en    traversant deux fois l'objectif 0 du palpeur,   donne en Mt urlle    image de la mire M à distance finie et constante. En effet, la focale de l'objectif   0    a été choisie de façon que ses foyers antérieur et postérieur soient con  fon. dus. M1 est donc l'image    de M donné par un système afocal de   g-randissement I, elle    est donc à distance constante de M.



   L'instrument d'observation peut se   ré-    duire à un simple oculaire Oc. Il est à noter que, si le réflecteur   d'extrémité R2    est également un dièdre, les déplacements d'images consécutifs aux déplacements de l'objectif 0 s'ajoutent et le dispositif permet la vérifiation d'alignement.



   Si on avait voulu réaliser un vérificateur de planéité ou un vérificateur d'alignement mesurant les écarts dans une direction, on aurait pu supprimer les   semi-argentures    des dispositifs des fig. 9 et 10, en utilisant deux objectifs non confondus et placés côte à côte.



  Il est évident qu'on peut utiliser à la place des objectifs précités, des miroirs sphériques.



   Les systèmes optiques du palpeur peuvent être simplement deux mires réticules M et   . illa,    comme représenté à la fig. 11. Les rélecteurs d'extrémités comportent un dièdre à miroirs et un objectif. Les deux objectifs de même focale sont placés de telle façon qu'ils ont leurs foyers confondus, ils forment donc un système   afocal de grandiasement 7.   



      Dans ces conditions, l'image M'de M    formée par les   object. ifs des réflecteurs d'ex-      trémités    se trouvent à distance constante de
Ma et de   M    et dans le plan de Ma, si l'on a judicieusement choisi les focales des objectifs. 



     L'écart de l'ima-g'6    de   if    et de Ma varie comme le double des. écarts à mesurer. L'instrument d'observation peut être un simple oculaire Oc porté par le palpeur. Pour la commodité de l'observation, la lumière est renvoyée à 90  par réflexion sur un miroir plan argent.   R.   



   La mesure s'effectuera, par exemple, par simple déplacement micrométrique de la mireréticule sur son support palpeur.



   La fig. 12 représente une forme   d'exécu-    tion particulièrement simple, permettant les vérifications de planéité et d'alignement.



   Le palpeur comprend une seule mire (en réalité, par suite de la double traversée de la lumière, elle joue le rôle de deux mires confondues). Les réflecteurs d'extrémités sont deux   miroirs sphériques B1 et Ro2 de même    focale ayant même axe et leurs foyers confondus.



   Dans ces conditions, le système optique constitué par les'réflecteurs d'extrémités est un système afocal de grandissement I et donne de la mire M, après que la lumière a parcouru le circuit de longueur constante, une image   située. dans. le plan de la,    mire M, comme dans le cas de la fig. 11.



   Pour la vérification, on observera la mire et son image commodément en renvoyant la lumière à   90',    au moyen d'un miroir B semiargenté, solidaire du palpeur. L'observation pourra se faire dans. les mêmes conditions que dans le cas de la fig. 11, à l'aide d'un oculaire Oc également solidaire du palpeur.



   On remarquera que dans toutes, les variantes le palpeur n'est plus, comme dans. les appareils existants, un organe portant une simple mire repère, mais une pièce mécanique   portant au moins deux pièce, s optiques,    ou une seule pièce optique, mais touchée dans ce cas deux fois par la lumière et ayant ainsi une double action. Il, est à noter de plus que, dans. tous les. cas, le repérage ou observation peut s'effectuer soit par des procédés visuels, soit par des procédés photographiques.



   Il est évident qu'on peut utiliser pour les pièces optiques du palpeur des pièces opti  ques, dioptriques    ou catadioptriques quelconquis (miroirs plans, prismes à réflexion totale, miroirs sphériques, cylindriques, len   tiilles sphériques, spherocylindriques, reti-    cules, etc.). La seule condition est que ces pièces doivent être associées de façon que les    petits déplacements tra. ns-versa. ux du palpeur    dans le sens des écarts à mesurer et consécutifs à ses changements de position sur la pièce à vérifier se traduisent par un déplacement de l'image de la mire, et que, au contraire, les défauts d'orientation soient sans effet sur les mesures.

   On peut même utiliser, comme on   1'a    vu, le dièdre à   90     ; ce dernier dispositif est, il est vrai, sensible aux rotations autour d'axes non parallèles à son arête, mais il peut être encore utilisé pour les vérifiateurs de planéité. Il suffira de l'orienter de façon à ce que s. on arête soit parallèle au plan à vérifier.



   On peut, d'une manière plus générale, par compensation, utiliser des pièces sensibles à la rotation, à condition qu'elles soient en nombre pair et que les effets, de rotation de ces pièces se neutralisent. C'est ainsi que   l'on    pourra utiliser deux miroirs sphériques ou cylindriques.



   Dans les exemples. cités, la lumière ne parcourt qu'une fois le circuit caractéristique de longueur constante. Il y a lieu d'ajouter que l'invention comprend tout vérificateur optique dans lequel la lumière parcourt une fois ou plusieurs le trajet optique   caractéris-    tique'de longueur constante. Le   palpeur sup-    porte alors plus de deux pièces, optiques et est traversé quatre, six fois ou plus par la lumière.



   Les réflecteurs peuvent, de même que les pièces optiques du palpeur, être constitués de manières diverses (miroirs plans, prismes à réflexion totale, miroirs sphériques, cylindriques, lentilles sphériques,   sphérocylindri-      ques, etc.).   



   Ces réflecteurs doivent renvoyer la   lu-      mière    dans la direction du palpeur et en outre comporter un nombre de réflexions qui, au total, permette l'addition et non l'annulation par compensation des petits déplace ments d'images de la mire donnés par chacune des pièces optiques du palpeur.



   Il y a enfin lieu de signaler un avantage des vérificateurs optiques décrits, qui sont en général plus précis que les vérificateurs existants, ce qui tient en particulier à ce que les petits déplacements transversaux de l'image de la mire consécutifs à ceux du palpeur sont   décelés    par au moins deux passages de la lumière à travers la ou les pièces opti  qu, es    qu'il porte, d'où résulte une amplification des écarts, d'autant plus grande que le parcours de la lumière est plus. multiplié.



   Ainsi que cela ressort de la   description-    qui précède, l'objet de l'invention permet également la vérification d'alignements, par exemple des différentes positions successives de l'extrémité d'un outil de tour, lorsque le porte-outil coulisse sur la glissière du tour, certaines des formes d'exécution décrites permettant d'effectuer cette vérification en une seule opération, d'autres, par deux opérations de vérification de planéité.


Claims (1)

  1. REVENDICATION : Vérificateur optique de planéité, ca. ractérisé par un palpeur mobile qui permet d'éva- luer l'écart de planéité d'une pièce pa. r rap- port à une référence immatérielle constituée par un axe optique, en le déplaçant le long de la pièce à vérifier.
    et qui porte au moins une pièce optique traversée par un faisceau lumineux allant d'une mire e à un instrument d'observation, ce palpeur étant placé entre deux systèmes réflecteurs fixes, de telle manière que la lumière parcourt un circuit de longueur constante partant du palpeur pour y revenir après réflexion sur ces deux systèmes réflecteurs, ce circuit étant compris dans le trajet parcouru par la lumière pour la formation de l'image finale de la mire, les écarta de planéité étant déduits des. dé- placements apparents de l'image finale de la mire.
    SOUS-REVENDICATIONS : 1. Vérificateur suivant la revendication, caractérisé pa. r le fait que le palpeur porte une pièce optique unique touchée deux fois par la lumière.
    2. Vérificateur suivant la revendication, caractérisé par une mire-réticule solidaire du palpeur.
    3. Vérificateur suivant la revendication, caractérisé par une mire-réticule fixe et indé- pendante du palpeur.
    4. Vérificateur suivant la revendication, caractérisé pa. r le fait que l'instrument d'ob serva. tion est, fixe.
    5. Vérificateur suivant la. revendication, caractérisé par le fait que l'instrument d'ob serva. tion est lie au palpeur.
    6. Vérificateur suirvant la revendication, caractérisé par le fait que la constance de la mise au point, de l'image finale de la mire est obtenue sans qu'aucune pièce optique soit déplacée autres que cedles fixées sur le palpeur et entraînées avec lui dans son mouvement.
    7. Vérificateur suivant la revendicabion, caractérisé par le fait que les pièces optiques portées par le palpeur sont telles que leurs écarts dans le sens des écarts à mesurer donnent des déplacements de l'image observée et que leurs défauts d'orientation individuels ou globaux n'ont aucune influence sur les mesures.
    8. Vérifica. teu. r suivant la revendication. caractérisé par le fait que les réflecteurs fixes d'extrémités sont tels que les déplacements de l'image causés par les deux passages de la lumière à travers les pièces du palpeur s'ajoutent.
    9. Vérificateur suivant la revendication, caractérisé en outre par le fait que les pièces optiques des réflecteurs sont choisies de telle façon que l'image de la mire-réticule, formée après parcours du Gi, rcu ; it caractéristique par la lumière soit siituée à une distance constante de l'instrument de repérage et qu'ainsi l'image finale reste constamment au point lorsqu'on déplace le palpeur le long de la pièce à vérifier. cette constante de la mise au u point étant obtenue sans qu'aucune pièce optique ne soit déplacée autre que celles fixées, sur le palpeur et entraînées par lui dans son mouvement.
    10. Vérificateur suivant la revendication, caract(ÚrisÚ par le fait que la mesure proprement dite de chacun des écarts est effectuée en la déduisant dm déplacement micrométri- que'des pièces optiques portées par le pal peur par rapport à celui-ci et qui ; est nÚces saire pour mettre en coïncidence le réticule et son image.
    11. Vérificateur suivant la revendication, caractérisé par le fait que le palpeur porte deux dièdres. à 90 , d'arêbes parwllèles au plan n à vérifier, les réflecteurs d'extrémités étant respectivement constitués d'un dièdre à 90 , d'arêtes parallèles au plan à vérifier et'd'un miroir plan, une mire-réticule et la lunette d'observation étant fixes et placées, respec- tivement, au voisinage des deux réflecteurs d'extrémités.
    12. Vérificateur suivant la revendication, caractérisé par le fait que les'pièces optiques portées par le palpeur sont deux triédres tri- rectangles, l'es réflecteurs d'extrémités étant un dièdre à 90 et un réflecteur à troisfaces rÚflÚchissantes dont les intersections sont pa- rallèles entre elles et perpendiculaires à, la droite le long de laquelle on fait la. vérifica- tion.
    13. Vérificateur suivant la revendication, caractérisé pa-r le fait que les pièces optiques du palpeur sont un objectif et une mire-réti- cule placée sur celui-ci, l'écarbement des ré- flecteurs d'extrémités éta. nt tel que l'image de la mifre-réticul'edonnéeparl'objectifestà l'infini.
    14. Vérifioatemr suivant la revendication, caractérisé par le fait que le palpeur porte une mire-réticule et un objectif, l'écarbement des systèmes meflecteurs etant eal que l'image de l'a, mire-réticule est rejetée à l'infini.
    15. Vérificateur suivant la. revendication, eara. cbéris, é par le fait que le palpeur ne porte qu'une seule pièce optique, constituée par un objectif, l'Úcartement des rÚflecteures d'extrÚmités étant tel que le chemin parcouru par la lumière pour aller de l'objectif et y re- venir est égal au double de la distance focale de cet objectif, la mire étant constituée par un réticule fixe et placé a. u foyer d'un collimabeur.
    16. Vérificateur suivant la, revendication. caractérisé par le faait que Les réflecteuiis d'extrémités sont constitués chacun par un dièdre à 90¯ d'arÛtes perpendiculaires Ó la droite le long de laquelle est effectuée la vérification, l'a mire comportant un réticule e étant au voisinage d'un des réflecteurs d'ex- trémités, l'éoartement des réflecteurs étant tel que le chemin parcouru par la lumière pour aller d'un objectif unique porté par le palpeur'et y revenir est Úgal au double de la distance focale de cet objectif.
    17. Vérificateursuivantlarevendication. caractériséparlefait que le palpeur porte deux réticules situés au voisinage l'un de l'autre, les réflecteurs d'extrémités compor- tant des dièdres à 90 et des objectifs de même distance focale ayant leurs foyers con fondus, l'observation étant fa. ite au moyen d'un instrument lié a, u palpeur.
    18. Vérificateur suivant la. revendication, caractérisé par le fait que le palpeur porte une seule mire'dont le réticule joue le rôle de deux réticules confondus, les réflecteurs d'extrémités étant constitués pa. r des miroirs sphériques aya. n leurs foyers confondus. l'instrument d'observation étant lié au palpeur.
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