BE657458A - - Google Patents

Description

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  SOURCE D'EVAPORATION 
La présente invention est relative à un dis- positif permettant de déposer sur un support par évapora- tion sous vide une couche d'en revêtement mince et unifor- me d'un corps ou produit quelconque. 



   Les réalisations de tels dispositifs ou sources d'évaporation actuellement connues font généralement appel à un creuset réfractaire de forme cylindrique ou conique chauffé par effet Joule au moyen d'une résistance électri- que enroulée en hélice autour du creuset. De semblables ré- alisations présentent en fait certains inconvénients, dûs notam ent à la présence de points chauds dans la surface du creuset en contact avec la résistance électrique qui in- troduisent des contraintes nuisibles par suite des diffé- rence de dilatation qui en résultent. 

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   La   présente   invention ± pour but de pallier ces inconvénients, grâce à la réalisation d'une source d'éva- poration à creuset réfractaire où la   température   est sen-   siblement   uniforme on tous points. 



   A cet effet, cet'Le source so caractérise en ce qu'elle comporte un creuset présentant une forme conique et un ruban métallique conforma de manière à épouser   étroi-   tement le profil du creuset pour être en contact avec toute la surface externe de celui-ci. 



   On réalise ainsi un élément do support pour le creuset assurant simultanément le chauffage de celui-ci avec un couplage remarquable,. On évite de la sorte la pré-   sence   de points chauds   à   la surface du creuset puisque ce- lui-ci, de par sa forme conique, est toujours en contact étroit avec la surface portante du ruban, qualle que soit la. dilatation du creuset et surtout du   ruban.   



   En outre, on élimine complètement l'utilisation de cosses de raccordement électriques sur le creuset lui- même, ce qui permet un démontage facile de ce dernier et un refroidissement rapide à la fin de chaque manipulation. 



  Enfin, le volume et l'encombrement réduits de la source permettent un dégazage   aisé   cvcnt chaque emploi. 



   L'invention sera, de toute façon, mieux compri- se à l'aide du complément de description qui suit relatif à un exemple de réalisation donna à titre indicatif et non limitatif. 



   Sur le dessin annexe, la Fig. 1 est une vue en coupe verticale d'un creuset d'évaporation établi confor-   mément à   l'invention, 

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 - la Fig. 2 est une vue de dessus du creuset représenté à la Fig. 1. 



   Comme on le voit sur ces figures, la source d'évaproation proposée comporte un creuset conique 1 réa- lisé au moyen d'un matériau céramique, par exemple de béry- line, supporte par un ruban   mJtallique   2 de préférence en tantale épousent étroitement la forme du creuset. Comme on le voit mieux sur la Pig. 2, le ruban se compose en fait do deux parties accolées 2a et 2b eu contact l'une avec l'autre à leurs extrémités qui sont réunies à des cosses   d'alimentation   électrique 3 et 4. Ces cosses sont solidai- res d'un pot cylindrique 5, en cuivre par exemple, au moyen de vis de fixation telles que 6 et 7 et sont isolées l'une de l'autre par des plaquettes isolantes 8.

   Le pot 5 est fixé par une vis 9 sur un support 10 en cuivre électroly- tique refroidi par une circulation   11   d'eau ou de tout autre réfrigérant convenable. 



   On réaliise ainsi une source d'évaporation par effet Joule présentant les avantages énoncés plus haut et permettant le dépôt d'une couche d'épaisseur convenable d'un matériau   approprie   sur un support quelconque. A titre   d'exem-   ple, on peut citer l'utilisation de cette source pour le dé- p8t d'un   revêtement   de permalloy sur dos lames en verre mince, pour la constitution notamment d'éléments de mé- moires   magnétiques.   



   Bien entendu l'invention n'est pas limitée au mode de réalisation décrit et représente ; elle en embras- se au contraire toutes les variantes.

Claims (1)

1. EMI4.1

   REVEIIDICÂTIOMS 10) Source --"4va--joration caractérisée on co qu'elle comporte un creuset présentant une forme conique et un EMI4.2 ruban métallique conforma L épouser étroitement le profil du creuset pour être en contact avec toute la surface ex- terne de celui-ci ; EMI4.3 2 ) Source '6va,or-tion selon la revendication 1 caractéris0e en ce que la ruban m6tallique est constitué do deux éléments accoles dont les extrémités communes sont EMI4.4 reliées a. des cosses 3alime:tation électrique ; 3 ) Source Ci,va.)orrtion selon la revendication caractérisée en ce que les cosses électriques sont suppor- tées par un pot en cuivra solidaire d'un support refroidi par circulation d'un réfrigérant approprie.