BE772731A - Procede et appareil pour le depot sous vide d'un revetement d'epaisseurvariable sur un support - Google Patents

Procede et appareil pour le depot sous vide d'un revetement d'epaisseurvariable sur un support

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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • C23C14/044—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks using masks to redistribute rather than totally prevent coating, e.g. producing thickness gradient

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EP0118576B1 (fr) * 1983-03-11 1987-12-02 Hitachi, Ltd. Procédé pour l'obtention de films minces
US4791261A (en) * 1987-09-23 1988-12-13 International Business Machines Corporation Crucible for evaporation of metallic film

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