BE837009A - Procede et appareil pour produire du silicum polycristallin pour semi-conducteurs - Google Patents

Procede et appareil pour produire du silicum polycristallin pour semi-conducteurs

Info

Publication number
BE837009A
BE837009A BE163054A BE163054A BE837009A BE 837009 A BE837009 A BE 837009A BE 163054 A BE163054 A BE 163054A BE 163054 A BE163054 A BE 163054A BE 837009 A BE837009 A BE 837009A
Authority
BE
Belgium
Prior art keywords
silicum
semiconductors
producing polycrystalline
polycrystalline
producing
Prior art date
Application number
BE163054A
Other languages
English (en)
Inventor
B D Stone
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of BE837009A publication Critical patent/BE837009A/fr

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/02—Silicon

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)
BE163054A 1974-12-26 1975-12-23 Procede et appareil pour produire du silicum polycristallin pour semi-conducteurs BE837009A (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US53669274A 1974-12-26 1974-12-26

Publications (1)

Publication Number Publication Date
BE837009A true BE837009A (fr) 1976-06-23

Family

ID=24139526

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BE163054A BE837009A (fr) 1974-12-26 1975-12-23 Procede et appareil pour produire du silicum polycristallin pour semi-conducteurs

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JPS5189817A (fr)
BE (1) BE837009A (fr)
DE (1) DE2558387A1 (fr)
GB (1) GB1532649A (fr)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3166609D1 (en) * 1980-07-28 1984-11-15 Monsanto Co Improved method for producing semiconductor grade silicon
GB2179930A (en) * 1985-09-06 1987-03-18 Philips Electronic Associated A method of depositing an epitaxial silicon layer
DE10107255C1 (de) 2001-02-16 2002-06-20 Babcock Bsh Gmbh Furniermessermaschine
DE102006037020A1 (de) * 2006-08-08 2008-02-14 Wacker Chemie Ag Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von hochreinem polykristallinem Silicium mit reduziertem Dotierstoffgehalt
CN101624724B (zh) * 2008-08-22 2012-07-25 江西赛维Ldk光伏硅科技有限公司 多根多晶硅棒的取棒方法及其取棒装置和取棒装置组合件
DE102009003368B3 (de) 2009-01-22 2010-03-25 G+R Polysilicon Gmbh Reaktor zur Herstellung von polykristallinem Silizium nach dem Monosilan-Prozess
DE102009043950B4 (de) 2009-09-04 2012-02-02 G+R Technology Group Ag Reaktor zur Herstellung von polykristallinem Silizium
EP2423352A1 (fr) * 2010-08-24 2012-02-29 Centesil S.L. Bouclier thermique pour les réacteurs de production de silicium
DE102013200660A1 (de) 2013-01-17 2014-07-17 Wacker Chemie Ag Verfahren zur Abscheidung von polykristallinem Silicium
DE112021006172T5 (de) * 2020-11-27 2023-10-05 Tokuyama Corporation Polykristall-Siliziumstab, Herstellungsverfahren für einen Polykristall-Siliziumstab und Wärmebearbeitungsverfahren für Polykristall-Silizium

Also Published As

Publication number Publication date
GB1532649A (en) 1978-11-15
JPS5189817A (fr) 1976-08-06
DE2558387A1 (de) 1976-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2274945A1 (fr) Procede et appareil de production de microcopies archivables
BE825872A (fr) Procede de production du silane
RO70907A (fr) Procede pour obtenir n-phosphonomethyleglycine
FR2275309A1 (fr) Procede et appareil pour la fabrication d'emballages compartimentes
JPS56129373A (en) Method of producing semiconductor device
BE780178A (fr) Procede et appareil pour produire des microspheres uniformes
FR2287673A1 (fr) Procede et appareil pour provoquer des detonations
FR2285402A1 (fr) Procede et appareillage pour la production de polybutene
FR2292783A1 (fr) Procede de filage et appareil pour sa mise en oeuvre
FR2310309A1 (fr) Procede et appareil de formation de melanges gazeux reducteurs
BE826881A (fr) Procede et appareil pour produire des phophates de calcium
FR2274368A1 (fr) Procede et appareil pour produire des feuilles metalliques de meilleure planeite
BE824462A (fr) Procede et appareil pour l'elimination du laitier
IT1035943B (it) Metodo ed apparato per produrre idrogeno
FR2273787A1 (fr) Procede et appareil pour fabriquer du methanol
FR2290164A1 (fr) Procede et appareil pour eplucher les oignons
FR2296691A1 (fr) Procede et dispositif pour produire du cailloutis en laitier
FR2327993A1 (fr) Procede pour isoler des halogenures d'organoetain
FR2293515A2 (fr) Procede et appareil pour decouper du drap
FR2283762A1 (fr) Procede et appareil pour la fabrication de tuiles
BE826590A (fr) Procede et dispositif pour onduler du fil
BE823289A (fr) Procede et appareil pour fabriquer des flocons
RO65811A (fr) Procede pour obtenir du n-phosphonombethyl-glycine
RO67310A (fr) Procede pour obtenir des n-phosphono-derives du phenylhydrazide
FR2282276A1 (fr) S-inosylcysteine et procede pour sa preparation

Legal Events

Date Code Title Description
RE Patent lapsed

Owner name: MONSANTO CY

Effective date: 19851231