BE837009A - Procede et appareil pour produire du silicum polycristallin pour semi-conducteurs - Google Patents

Procede et appareil pour produire du silicum polycristallin pour semi-conducteurs

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DE3166609D1 (en) * 1980-07-28 1984-11-15 Monsanto Co Improved method for producing semiconductor grade silicon
GB2179930A (en) * 1985-09-06 1987-03-18 Philips Electronic Associated A method of depositing an epitaxial silicon layer
DE10107255C1 (de) 2001-02-16 2002-06-20 Babcock Bsh Gmbh Furniermessermaschine
DE102006037020A1 (de) * 2006-08-08 2008-02-14 Wacker Chemie Ag Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von hochreinem polykristallinem Silicium mit reduziertem Dotierstoffgehalt
CN101624724B (zh) * 2008-08-22 2012-07-25 江西赛维Ldk光伏硅科技有限公司 多根多晶硅棒的取棒方法及其取棒装置和取棒装置组合件
DE102009003368B3 (de) * 2009-01-22 2010-03-25 G+R Polysilicon Gmbh Reaktor zur Herstellung von polykristallinem Silizium nach dem Monosilan-Prozess
DE102009043950B4 (de) 2009-09-04 2012-02-02 G+R Technology Group Ag Reaktor zur Herstellung von polykristallinem Silizium
EP2423352A1 (fr) * 2010-08-24 2012-02-29 Centesil S.L. Bouclier thermique pour les réacteurs de production de silicium
DE102013200660A1 (de) 2013-01-17 2014-07-17 Wacker Chemie Ag Verfahren zur Abscheidung von polykristallinem Silicium
JP7022874B1 (ja) * 2020-11-27 2022-02-18 株式会社トクヤマ 多結晶シリコンロッド、多結晶シリコンロッドの製造方法および多結晶シリコンの熱処理方法

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