BE898011A - Turbopompe moleculaire montee magnetiquement avec amortissement des vibrations. - Google Patents

Turbopompe moleculaire montee magnetiquement avec amortissement des vibrations. Download PDF

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Abstract

Turbopompe moléculaire dont le rotor (1) est monté dans des paliers magnétiques radiaux passifs (4,5 ; 4', 5') et dans des paliers axiaux électromagnétiques ou mécaniques (7 ; 7') ; pour amortir les vibrations du rotor il est prévu une combinaison de dispositifs d'amortissement direct (6 ; 6) et indirect (9), ce qui permet d'obtenir un amortissement efficace pour toutes les fréquences de vibration qui apparaissent.

Description


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  Turbopompe moléculaire montée   magnétiquement   avec amortissement des vibrations L'invention concerne une turbopompe moléculaire comportant des paliers magnétiques radiaux passifs, ainsi que des paliers axiaux mécaniques ou électromagnétiques. 



  Pour le montage sans lubrifiant des rotors de turbopompes moléculaires, on utilise différentes versions de paliers magnétiques. La demande de brevet DE publiée sous le NI 23 49 033 et le brevet FR NO 1 475 765 décrivent des turbopompes moléculaires comportant des paliers magnétiques actifs régulés électroniquement. La demande de brevet DE publiée sous le NI 28 25 551 décrit une turbopompe moléculaire avec un support hybride. Dans ce cadre, le rotor est maintenu radialement au moyen de paliers magnétiques passifs, tandis que, suivant la direction axiale, on utilise des paliers mécaniques. 



  Dans les deux types de montage, les rotors se comportent comme des gyrostats retenus élastiquement. Par conséquent, il apparaît différentes possibilités de vibrations. Les vibrations peuvent être provoquées de l'extérieur par des secousses ou provenir, comme par exemple dans le cas de l'agencement de la demande de brevet DE publiée sous le NO 28 25 551, de forces de frottement dans le palier axial mécanique. 



  Les types suivants de vibrations du rotor sont possibles dans différentes gammes de fréquences : 

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01-Vibrations de précession avec une fréquence d'environ 0,1 à 10 Hz. La fréquence dépend de la vitesse de rotation, des moments d'inertie et des constantes de rappel des paliers du rotor. 



  2-Vibrations parallèles du rotor perpendiculairement à l'axe de rotation. Les fréquences de ces vibrations sont déterminées par les constantes de rappel des paliers magnétiques et par la masse du rotor et sont comprises entre 30 et 100 Hz. 



  3-Vibrations de nutation qui dépendent de la vitesse de rotation et du rapport des moments d'inertie longitudinalement et transversalement par rapport à l'axe de rotation. 



  Elles apparaissent dans les gammes allant de 300 à 1 500 Hz. 



  Pour éviter les vibrations possibles, des paliers magnétiques régulés de façon active peuvent être amortis électroniquement. Des montages magnétiques passifs, par exemple suivant le préambule de la première revendication et dans la demande de brevet DE publiée sous le   NO 28   25 551, ont tendance, dans le cas de fortes secousses, à vibrer suivant un ou plusieurs des types mentionnés ci-dessus. Des forces de frottement peuvent notamment provoquer des vibrations de nutation en présence de paliers mécaniques. Si les amplitudes des vibrations ou oscillations dans les paliers magnétiques dépassent le jeu existant, le rotor doit être ramené dans sa position initiale par les paliers de réception existants, ce qui se traduit par un fort freinage et une usure des paliers de réception.

   Ceci est valable pour tous les rotors comportant des paliers magnétiques radiaux passifs en dépit du type du montage axial. 



  Le problème à la base de l'invention est d'assurer, sur des turbopompes moléculaires comportant des paliers magnétiques radiaux passifs, un amortissement des vibrations grâce auquel les vibrations ou oscillations provoquées de l'extérieur et par la pompe elle-même sont amorties 

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 de façon efficace, et de garantir un fonctionnement sans vibrations ou oscillations, sûr et stable de la pompe pour toutes les fréquences jusqu'à la vitesse de rotation nominale. 



  Ce problème est résolu suivant l'invention grâce à une combinaison de deux dispositifs d'amortissement différents,   c'est-à-dire   grâce au fait que pour l'amortissement des vibrations suivant la direction des plans des paliers magnétiques, il est prévu un dispositif d'amortissement direct et indirect.

   Le dispositif d'amortissement direct est un dispositif d'amortissement à courant de Foucault, constitué par des bagues en cuivre ou en un autre matériau bon conducteur du point de vue électrique qui sont enfilées sur les stators des paliers magnétiques, et le dispositif d'amortissement indirect étant constitué par une plate-forme qui porte les stators des paliers magnétiques et qui est accrochée à des ressorts qui n'autorisent que des mouvements perpendiculaires par rapport à la direction axiale de la pompe, la plate-forme étant couplée au carter fixe par l'intermédiaire d'un amortisseur de vibrations connu en soi, et par conséquent, amortie. 



  Un dispositif d'amortissement direct pour les fréquences plus élevées agit comme un amortissement à courant de Foucault. Il est constitué par des bagues, en cuivre ou un autre matériau bon conducteur du point de vue électrique, qui sont enfilées sur les stators des paliers magnétiques radiaux. Dans le cas d'oscillations ou vibrations, il apparaît dans ces bagues des variations de champs magnétique qui produisent des courants de Foucault avec des forces d'amortissement. 



  Ces forces d'amortissement sont proportionnelles à la fréquence des vibrations ou oscillations qui apparaissent et, par conséquent, conviennent notamment à l'amortissement des vibrations présentant des fréquences plus élevées. 

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  Pour des vibrations présentant des fréquences plus faibles, il est prévu un dispositif d'amortissement qui est constitué par une plate-forme qui porte un stator de paliers magnétiques et qui est accrochée à des ressorts qui n'autorisent que des mouvements perpendiculaires à la direction axiale de la pompe. La plate-forme est couplée au carter fixe par l'intermédiaire d'amortisseurs de vibrations. Ce faisant, le rotor est couplé à la plate-forme par l'intermédiaire du palier magnétique radial. Ce palier magnétique transmet également les forces d'amortissement au rotor.   L'agence-   ment est conçu de manière à obtenir un amortissement suffisant pour des fréquences faibles.

   Dans la gamme de la fréquence propre de la plate-forme, qui est donnée par la masse de la plate-forme y compris le stator du palier magnétique et les constantes de rappel des ressorts, l'amortissement est maximum. Pour des fréquences plus élevées, il diminue. 



  Les forces d'amortissement sont représentées en fonction des fréquences d'oscillation sur le diagramme (figure 2). La courbe A représente l'allure des forces d'amortissement de l'amortissement direct, et la courbe B l'allure des forces d'amortissement de l'amortissement indirect. La courbe C représente les forces d'amortissement du dispositif d'amortissement combiné, constitué par l'amortissement direct et l'amortissement indirect, en fonction de la fréquence d'oscillation. Grâce à cette combinaison, on obtient un amortissement efficace sur toute la gamme des oscillations qui apparaissent. 



  On ne peut obtenir un amortissement direct efficace que pour des fréquences élevées, en raison de l'espace limité dans l'entrefer à air des paliers magnétiques. 



  L'amortissement indirect est supérieur de quelques puissances de dix à l'amortissement direct dans le cas de faibles fréquences. 



  Pour obtenir des conditions optimales, la constante de rappel des ressorts, auxquels est accrochée la plate-forme, 

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 est adaptée à la constante de rappel du palier magnétique associé. Il est également possible de ne prévoir l'amortissement indirect que sur un des deux paliers magnétiques, de préférence du côté du vide préliminaire de la pompe. 



  L'invention sera maintenant illustrée à l'aide de la description suivante d'un exemple de réalisation préféré, mais 
 EMI5.1 
 non limitatif, représenté aux dessins annexés sur lesquels - figure 1, représente un exemple de réalisation du dispositif suivant l'invention, et - la figure 2, représente les forces d'amortissement en fonction de la fréquence de vibration ou d'oscillation. 



  Le dispositif suivant l'invention est illustré par l'exemple de réalisation de la figure 1. La référence 1 désigne le rotor et la référence 2 désigne les disques rotoriques d'une turbopompe moléculaire. Les disques statoriques 3 sont placés alternativement entre les disques rotoriques 2. 



  Les paliers magnétiques radiaux sont constitués par les rotors 4 et   4'de   paliers magnétiques et les stators 5 et 5'de paliers magnétiques. Dans le présent exemple de réalisation, le support axial est représenté par des paliers axiaux mécaniques 7 et 7'. Comme support axial, on peut également utiliser un dispositif électromagnétique. 



  Des bagues 6 et   6'en   cuivre ou en un autre matériau bon conducteur du point de vue électrique sont enfilées sur les stators 5 et   5'des   paliers magnétiques. Lors de l'apparition de perturbations, des variations du champ magnétique produisent dans ces bagues des courants de Foucault qui produisent des forces d'amortissement proportionnelles à la fréquence. 



  Dans le cas de l'amortissement indirect pour des basses fréquences, des mouvements de la plate-forme 8 disposée sur des ressorts 9 placés verticalement, qui sont provoqués par des vibrations ou oscillations du rotor, sont 

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 empêchés efficacement par les amortisseurs hydrauliques 10 connus en soi qui y sont couplés. Les ressorts 9 guident la plate-forme suivant la direction axiale, mais permetent des mouvements perpendiculaires. 



  La figure 2 représente l'allure des forces d'amortissement, sous forme logarithmique, en fonction de la fréquence de vibration ou d'oscillation. La courbe A représente l'allure des forces d'amortissement directes qui sont proportionnelles à la fréquence et, par conséquent, ne deviennent efficaces que pour des fréquences plus élevées. La courbe B représente les forces d'amortissement indirectes dont l'effet le plus important apparaît pour des fréquences faibles dans la gamme de la fréquence propre de la plate-forme. La courbe C représente l'effet résultant des deux courbes A et B. On obtient, de ce fait, un amortissement efficace pour toutes les fréquences de vibration ou d'oscillation qui apparaissent.

Claims (3)

  1. REVENDICATIONS 1. Turbopompe moléculaire comportant des paliers magnétiques radiaux passifs (4,5 et 4', 5'), ainsi que des paliers axiaux mécaniques ou électromagnétiques, caractérisée en ce que pour l'amortissement des vibrations suivant la direction des plans des paliers magnétiques, il est prévu un dispositif d'amortissement direct et indirect ;
    le dispositif d'amortissement direct est un dispositif d'amortissement à courant de Foucault, constitué par des bagues (6, 6') en cuivre ou en un autre matériau bon conducteur du point de vue électrique qui sont enfilées sur les stators (5, 5') des paliers magnétiques, et le dispositif d'amortissement indirect étant constitué par une plate-forme (8) qui porte les stators des paliers magnétiques et qui est accrochée à des ressorts (9), qui n'autorisent que des mouvements perpendiculaires par rapport à la direction axiale de la pompe, la plate-forme (8) étant couplée au carter fixe (11) par l'intermédiaire d'un amortisseur de vibrations (10), connu en soi, et par conséquent amortie.
  2. 2. Turbopompe moléculaire suivant la revendication 1, caractérisée en ce que le dispositif d'amortissement indirect se trouve sur les deux stators (5,5') des paliers magnétiques et que la constante de rappel des ressorts (9) auxquels est suspendue la plate-forme (8) est respectivement égale à la constante de rappel radiale du palier magnétique associé.
  3. 3. Turbopompe moléculaire suivant la revendication 1, caractérisée en ce qu'un seul dispositif d'amortissement direct se trouve sur un palier, et que, sur l'autre palier est prévu aussi bien un dispositif d'amortissement direct qu'un dispositif d'amortissement indirect, la constante de rappel des ressorts (9) auxquels est suspendue la plate-forme (8) étant égale à la constante de rappel radiale du palier magnétique associé.
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Families Citing this family (55)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59168295A (ja) * 1983-03-16 1984-09-21 Hitachi Ltd タ−ボ分子ポンプ
JPS62177314A (ja) * 1986-01-30 1987-08-04 Shimadzu Corp 磁気浮上形回転機械
JP2651569B2 (ja) * 1986-11-04 1997-09-10 セイコー精機 株式会社 ターボ分子ポンプ
DE3721680C2 (de) * 1987-07-01 1996-12-12 Vdo Schindling Lüfter
JP2527245Y2 (ja) * 1988-03-08 1997-02-26 三菱重工業株式会社 ターボ分子ポンプ
JPH0772556B2 (ja) * 1988-03-18 1995-08-02 株式会社荏原製作所 ターボ分子ポンプ
JPH01166292U (fr) * 1988-05-11 1989-11-21
DE3818556A1 (de) * 1988-06-01 1989-12-07 Pfeiffer Vakuumtechnik Magnetlager fuer eine schnell rotierende vakuumpumpe
US4988906A (en) * 1988-09-08 1991-01-29 The Dow Chemical Company Magnetic bearing assembly
JPH02105597U (fr) * 1989-02-08 1990-08-22
JPH0645698Y2 (ja) * 1989-04-20 1994-11-24 エヌティエヌ株式会社 1軸制御型磁気軸受装置
JP2515923Y2 (ja) * 1989-06-01 1996-11-06 日本フェローフルイディクス株式会社 磁気軸受装置
US4963804A (en) * 1989-07-10 1990-10-16 Westinghouse Electric Corp. Apparatus and method for reducing vibration of rotating machinery
DE3931661A1 (de) * 1989-08-25 1991-04-04 Leybold Ag Magnetgelagerte vakuumpumpe
JPH04219493A (ja) * 1990-08-10 1992-08-10 Ebara Corp ターボ分子ポンプ
US5302874A (en) * 1992-09-25 1994-04-12 Magnetic Bearing Technologies, Inc. Magnetic bearing and method utilizing movable closed conductive loops
US5396136A (en) * 1992-10-28 1995-03-07 Sri International Magnetic field levitation
DE4237971B4 (de) * 1992-11-11 2004-05-06 Unaxis Deutschland Holding Gmbh Vakuumpumpe mit Wandler
DE4301076A1 (de) * 1993-01-16 1994-07-21 Forschungszentrum Juelich Gmbh Magnetlagerzelle mit Rotor und Stator
DE4314419A1 (de) * 1993-05-03 1994-11-10 Leybold Ag Reibungsvakuumpumpe mit Lagerabstützung
DE4314418A1 (de) * 1993-05-03 1994-11-10 Leybold Ag Reibungsvakuumpumpe mit unterschiedlich gestalteten Pumpenabschnitten
DE4342582A1 (de) * 1993-12-14 1995-06-22 Skf Textilmasch Komponenten Magnet-Gaslager eines als Läufer eines Axialfeldmotors ausgebildeten schaftlosen Spinnrotors einer Offenend-Spinnmaschine
DE4410656A1 (de) * 1994-03-26 1995-09-28 Balzers Pfeiffer Gmbh Reibungspumpe
US6019581A (en) * 1995-08-08 2000-02-01 Leybold Aktiengesellschaft Friction vacuum pump with cooling arrangement
US5736798A (en) * 1995-10-19 1998-04-07 Eastman Kodak Company Passive magnetic damper
DE19712711A1 (de) * 1997-03-26 1998-10-01 Pfeiffer Vacuum Gmbh Dämpfungssystem für magnetisch gelagerte Rotoren
US6262505B1 (en) * 1997-03-26 2001-07-17 Satcon Technology Corporation Flywheel power supply having axial magnetic bearing for frictionless rotation
US6213737B1 (en) * 1997-04-18 2001-04-10 Ebara Corporation Damper device and turbomolecular pump with damper device
DE19804768B4 (de) * 1998-02-06 2006-08-24 Pfeiffer Vacuum Gmbh Rotorlagerung für eine Gasreibungspumpe
US6078120A (en) * 1998-03-10 2000-06-20 Varian, Inc. Vacuum pump with magnetic bearing system, backup bearings and sensors
US6412173B1 (en) 1999-07-26 2002-07-02 Phoenix Analysis And Design Technologies, Inc. Miniature turbomolecular pump
JP2001241393A (ja) * 1999-12-21 2001-09-07 Seiko Seiki Co Ltd 真空ポンプ
DE10001509A1 (de) 2000-01-15 2001-07-19 Leybold Vakuum Gmbh Vakuumpumpe mit Schwingungsdämpfer
DE10022061A1 (de) 2000-05-06 2001-11-08 Leybold Vakuum Gmbh Magnetlagerung mit Dämpfung
JP4250353B2 (ja) * 2001-06-22 2009-04-08 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
JP2003049772A (ja) * 2001-08-08 2003-02-21 Boc Edwards Technologies Ltd 真空ポンプの接続構造
FR2831621B1 (fr) * 2001-10-25 2004-02-13 Cit Alcatel Utilisation des billes en zircone pour les roulements d'atterrissage des pompes turbomoleculaires sur palier magnetique
SE0200014L (sv) * 2002-01-04 2003-07-05 Olov Hagstroem Magnetiskt radiallagrad rotoranordning
US6834841B2 (en) * 2002-07-03 2004-12-28 Honeywell International Inc. Method and system for decoupling structural modes to provide consistent control system performance
DE102004050743A1 (de) * 2004-10-19 2006-04-20 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vibrationsarme Vakuumpumpe
DE102007027711A1 (de) 2007-06-15 2008-12-18 Pfeiffer Vacuum Gmbh Verfahren zum Betreiben einer Anordnung mit Vakuumpumpe und Anordnung mit einer Vakuumpumpe
DE102008032921A1 (de) 2008-07-12 2010-01-14 Schaeffler Kg Lagersystem
DE102008048210A1 (de) * 2008-09-20 2010-05-12 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Dämpfungsvorrichtung
DE102009035812A1 (de) * 2009-08-01 2011-02-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh Turbomolekularpumpenrotor
DE102009041530A1 (de) * 2009-09-15 2011-04-07 Weh, Herbert, Prof. Dr.-Ing. Dr. h.c. Axialfeld-Ringgenerator mit Magnetfeld-Lagestabilisierung
US8717579B2 (en) * 2011-04-20 2014-05-06 Thomas E. Portegys Distance measuring device using a method of spanning separately targeted endpoints
US10222701B2 (en) 2013-10-16 2019-03-05 Asml Netherlands B.V. Radiation source, lithographic apparatus device manufacturing method, sensor system and sensing method
DE102013113986A1 (de) * 2013-12-13 2015-06-18 Pfeiffer Vacuum Gmbh Rotierendes System
EP3051141B1 (fr) * 2015-01-30 2020-01-01 Pfeiffer Vacuum Gmbh Roulement de rotor
EP3154166B1 (fr) * 2015-10-08 2022-11-30 Skf Magnetic Mechatronics Machine rotative à paliers magnétiques et mécaniques
JP7371852B2 (ja) * 2019-07-17 2023-10-31 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
CN111677810B (zh) * 2020-05-27 2021-09-21 哈尔滨工业大学 光学有效载荷被动隔振系统
CN111735571B (zh) * 2020-07-20 2021-07-09 天津飞旋科技股份有限公司 一种分子泵动平衡调整装置及调整方法
CN115247650B (zh) * 2022-07-28 2023-03-21 瑞希特(浙江)科技股份有限公司 一种全永磁悬浮轴承磁力泵
GB2621342B (en) * 2022-08-09 2025-04-02 Leybold Gmbh Vacuum pump

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2252476A (en) * 1940-11-29 1941-08-12 Gen Electric Base for electric lamps
GB877315A (en) * 1959-04-13 1961-09-13 Eaton Mfg Co Improvements in eddy current machines
FR1471843A (fr) * 1965-03-29 1967-03-03 Chemelex Procédé d'enduisage de compositions conductrices de l'électricité
FR1475765A (fr) * 1966-01-31 1967-04-07 Snecma Perfectionnements aux appareils à arbre vertical tournant à grande vitesse
US3399827A (en) * 1967-05-19 1968-09-03 Everett H. Schwartzman Vacuum pump system
DE2052120A1 (de) * 1970-10-23 1972-04-27 Pfeiffer Vakuumtechnik Lageranordnung für Molekularpumpen und Turbomolekularpumpen
US3929390A (en) * 1971-12-22 1975-12-30 Cambridge Thermionic Corp Damper system for suspension systems
FR2212889A5 (fr) * 1972-08-23 1974-07-26 Europ Propulsion
JPS5226578B2 (fr) * 1974-02-08 1977-07-14
CH583856A5 (fr) * 1974-09-27 1977-01-14 Balzers Patent Beteilig Ag
DD124315A1 (fr) * 1976-03-16 1977-02-16
NL167102C (nl) * 1976-04-06 1982-04-16 Ultra Centrifuge Nederland Nv Dempinrichting voor een in een huis geplaatste draaibare rotor.
DE2658925C3 (de) * 1976-12-24 1980-05-08 Maschinenfabrik Augsburg-Nuernberg Ag, 8000 Muenchen Notlauflager für schnellaufende Drehkörper
DE2825551C3 (de) * 1978-06-10 1982-06-09 Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar Magnetische Lagerung
JPS578396A (en) * 1980-06-18 1982-01-16 Hitachi Ltd Movable vane mixed flow pump

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