CA1081864A - Fabrication d'elements sensibles possedant une polarisation electrique - Google Patents

Fabrication d'elements sensibles possedant une polarisation electrique

Info

Publication number
CA1081864A
CA1081864A CA281,918A CA281918A CA1081864A CA 1081864 A CA1081864 A CA 1081864A CA 281918 A CA281918 A CA 281918A CA 1081864 A CA1081864 A CA 1081864A
Authority
CA
Canada
Prior art keywords
substrate
liquid
enclosure
container
lubricating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
CA281,918A
Other languages
English (en)
Inventor
Jean-Claude Dubois
Alain Delaunay
Original Assignee
IFP Energies Nouvelles IFPEN
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IFP Energies Nouvelles IFPEN filed Critical IFP Energies Nouvelles IFPEN
Application granted granted Critical
Publication of CA1081864A publication Critical patent/CA1081864A/fr
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G7/00Capacitors in which the capacitance is varied by non-mechanical means; Processes of their manufacture
    • H01G7/02Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49226Electret making

Landscapes

  • Power Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Winding Of Webs (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)
  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)
  • Control Of Vending Devices And Auxiliary Devices For Vending Devices (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Thermistors And Varistors (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

PRECIS DE LA DIVULGATION: Méthode et dispositif de fabrication d'un élément sensible sous la forme d'un substrat en matière plastique qui est disposé dans une enceinte contenant une atmosphère raréfiée et on lui communique une polarisation électrique permanente par bombardement électronique. En particulier, ledit substrat est mis en contact à l'intérieur de ladite enceinte avec un liquide de très faible tension de vapeur saturante dont la rigidité diélectrique est supérieure à celle de l'air raréfié.

Description

1~1864 La prés~nte invention a pour objet une méth(~de de fabrication d'éléments sensibles possédant une polarisation électrique per~anente et un dispositif pour la mise en oeuvre de la méthode. ;` L'élément sensible est réalisé en un matériau du type "électret" obtenu, par exemple en polarisant un ruban d'épaisseur comprise entre huit et vingt-cinq microns et réalisé en matière plastique diélectrique du type polypropylène, PTFE,* polyéthylène térephtalate, etc... Cette polarisation est obtenue par exemple en bombardant le ruban diélectrique par un faisceau d'électrons . . d'énergie suffisante. Comme le canon à électrons, le ruban est généralement disposé dans une enceinte dans laquelle un vide très poussé a été effectué. Lorsqu'une pression normale est ramenée progressivement dans l'enceinte après les opération~ de polarisation, la rigi- dité diélectrique commence par décroltre suivant la loi de Paschen, passe par une valeur minimale pour une pression de quelques Torr, puis crolt ensuite régulièrement jusqu'à ce que la pression ait atteint la valeur de la pression atmosphérique. 1' `~ ~ . , ~ 20 Les charges emmagasinées dans le ruban électret produisent un ~ .,: . ~ champ électrique intense qui ionise l'air particulièrement au ; passage à la pression correspondant à la valeur minimale de la rigidité diélectrique. L'ionisation de l'atmosphère raréfié entourant le ruban tend à le dépolariser. , ~ Une méthode connue pour passer de l'ultra-vlde à la - pression normale consiste à provoquer une transition très rapide de la pression de manière à limiter la durée des phénomènes ~ d'ionisation et par suite la dégradation de la charge électrique ;;~ acquise par les rubans traités. Cette méthode connue présente ~ . -~. . des inconvénients du fait que les résultats obtenus sont souvent hétérogènes. * polytétrafluoroéthylène Les méthodes connues pour réaliser de ~a~on continue des éléments sensibles auxquels on communique une polarisation électrique permanente comportent également l'enroulage des rubans polarisés sur un tambour. Lorsque le ruban est enroulé à sec, les spires ne peuvent jouer latéralement les unes par rapport aux autres du fait du fort pouvoir adhésif des élec- trets. Il s'ensuit un mauvais rangement du ruban aggravé par de nombreux plis. La méthode selon l'invention permet d'éviter les incon- vénients ci-des9us mentionnés. , . ; :: .~ '` ' . :: . , . ,~: .., .; . : . . ~, . La méthode, telle que revendiquée ici, consiste géneralement a disposer un substrat en matière plastique dans une enceinte soumise à un vide poussé; à lui communiquer une polarisation électrique permanente par bombardement électronique et à mettre le substrat en contact à l'intérieur de l'enceinte avec un liquide de très faible tension de vapeur saturante dont ~- la rigidité diélectrique est supérieure à celle de l'air raréfié tout en maintenant un vide poussé dans ladite enceinte. Au moment où une pression normale est ramenée dans l'enceinte, l'élément polarisé se trouve en contact avec un liquide electriquement rigide qui le protège contre les phénomè- nes d'ionisation et de dégradation de la charge électrique. Ainsi, le passage de l'ultra-vide à la pression normale d'élec- trets fortement chargés peut être effectué sans détérioration notable. Une autre caractéristique de l'invention consiste en ce que le liquide utilisé possède des propriétés lubrifiantes. La présence du liquide lubrifiant sur l'élément sensibilisé permet un enroulage exempt de plis et un bon rangement des spires sur les bobines réceptrices. La capacité de celles-ci ~ , : peut être utilisée au mieux. - ~ . : On revendique également un dispositif pour la mise en oeuvre de la méthode précitée qui comporte une enceinte étanche dans laquelle on dispose un substrat en matière plastique, cette enceinte étant en communication par intermittence avec un système de pompage; des moyens pour communiquer au substrat une polarisation électrique permanente, et des moyens de sup- port dudit substrat. Selon l'invention, ce dispositif se carac- térise en ce qu'il comporte un récipient disposé dans l'enceinte et contenant un liquide de très faible tension de vapeur satu- rante dont la rigidité diélectrique est supériçure à celle de l'air raréfié, et des moyens pour d~poser sur le substrat, après - 2 - ,< ~ r polarisationl une pellicule dudit liquide contenu dans ledit recipient. D'autres avantages de la m~thode ainsi que les carac- téristiques du dispositif de mise en oeuvre apparaîtront à la lecture de la description qui suit de modes de realisation non limitatifs et en se reférant aux dessins annexes sur lesquels: - la figure 1 represente un premier mode de réalisa- tion du dispositif; - la figure 2 représente un second mode de réalisation du dispositif; - la figure 3 représente une première variante du premier mode de réalisation; . - la figure 4 représente une seconde variante du pre- mier mode de réalisation; - la figure 5 représente une troisieme variante du premier mode de réalisation. . Le dispositif illustré a la figure 1 comporte une enceinte étanche 1 communiquant par une ouverture 2 avec une pompe a vide d'un type connu et non représentée. L'enceinte comporte une partie tubulaire 3 a l'intérieur de laquelle est disposé un canon a électrons 4. Un systeme de focalisation 5 permet de focaliser le faisceau d'électrons dans un plan o~ est : dispose l'~lement a sensibiliser. Un systeme de bobines déflectrices 6 permet de commander le dépla- '`.' -'~ ", ~ ~: ' 1(3 81864 cement du faisceau suivant une loi de déflexion prédéterminée. , Le ruban à sensibiliser est enroulé sur une bobine débi- , trice 7. Il est transEéré sur une bobine réceptrice 8, entraî- ; née en rotation par un galet frotteur 9 en passant tout d'abord sur deux galets 10 disposés de telle manière qu'il défile per- pendiculairement au faisceau d'électrons et dans le plan de : focalisation de celui-ci. Le ruban passe sur un cabestan d'entraînement 11 qui ~ ~ détermine la vitesse de défilement puis sur un galet 12 maintenu ., ~. immergé dans un récipient ou bac 13 contenant un fluide d'enro~ bage constitué par exemple par de l'huile spéciale pour ultra- . ~ vide dont la pression de vapeur saturante est très faible et dont la rigidité diélectrique est inférieure à celle de l'air raréfié. On utilise de préférence une huile aux silicones dont ia tension , ; . de vapeur est de 10-7 Torr. D'une manière plus gé,nérale, il est `; préférable d'utiliser un liquide dont la tension de vapeur est au plus égale à 5.10-7 Torr. ; Un système de réchauffement comportant par,exemple des ,~ résistances électriques 14 est immergé dans.le.bac 13. Le 20:~ ruban s'enroule sur la bobine réceptrice 8 après immer.sion dans ., l'huile. Un rouleau presseur métallique 20, est disposé au ; . ~ . : : voisinage du point d'.application du ruban sur la bobine récep- . `~ trice 8... A l'expérience; ce rouleau s'est avéré très uti-le ~ ; pour améIio~rer encore la qualité du rangement des spires les unes sur les autres. Les opérations de sensibilisation du ruban sont précédées d'une phase préparatoire au cours de laquelle le fluide d'enro- bage est versé.dans le bac et un vide très poussé est établi - ; dans l'enceinte 1. On chauffe le fluide pour.provoquer son ~ 30 dégazage à une température de l'ordre de 60C par exemple jusqu'à .. ce que la pression résiduelle dans l:'-enceinte descende au-dessous ~,, ~: , , . `~ 3 ~ i ., . ` 1~81~364 de 10-6 Torr. On laisse ensuite refroidir le fluide et on actionne le système de défilement du ruban. Si on constate une remontee de la pression au-dessus de 10-6 Torr à l'intérieur de l'enceinte on interrompt le déEilement du ruban pour recom- mencer un nouveau cycle de dégazage. Lorsque le dégazage est suffisant, c'est-à-dire lorsqu'on n'observe plus aucune remontée de pression lors de la mise en route du système de défilement, on procède au bombardement électronique du ruban à polariser. Lorsqu'une quantité de ruban suffisante a été sensibili- sée, l'intérieur de l'enceinte est progressivement mise en com- munication avec le milieu extérieur à la pression atmosphérique et la bobine réceptrice est découplée et amenée hors de l'en- ceinte. La vitesse de la transition entre l'atmosphère raréfiée - et la pression extérieure n'est pas critique et n'entraîne pas de dépolarisation sensible du ruban sensibilisé. Suivant le mode de réalisation de la figure 2, la bobine réceptrice 8 est immergée au moins partiellement dans un bac contenant le fluide d'enrobage lubrifiant. Les variantes du premier mode de réalisation illustrées aux fi~ures 3-5 concernent trois systèmes différents pour en- duire le ruban sensibilisé 15 avant son enroulage sur la bobine réceptrice. Suivant la première variante, le bac 13 contenant `; le fluide lubrifiant est disposé au-dessus du ruban 15. Le fluide est acheminé par un tuyau 16 depuis le bac 13 jusqu'à un tampon 17, en feutre par exemple, frottant contre le ruban 15. `~ Suivant une seconde variante, le bac 13 est disposé au- dessous du ruban 15 et le tampon frotteur 17 est alimenté par ;.~ capillarité au moyen d'une mèche 18. Suivant la troisième variante, l'élément sensibilise 15 est enduit de fluide lubrifiant par contact avec un rouleau 19d. L'huile est transférée sur celui-ci par un rouleau l9a trempant -4- . 1081864 - ~ . dans le bac ae fluide, par l'intermédiaire de deux rouleaux l9b -. et l9c avec lesq~els ils i~ont en contact. . : : .. . , . - , ~ ~. .`'~ ,, : . - .' ' ~' . ,,:',, '~i , ,, . ;,, , . ;; ~ , '. ,~, ,;: 5

Claims (15)

  1. Les réalisations de l'invention, au sujet desquelles un droit exclusif de propriété ou de privilège est revendiqué, sont définies comme il suit: 1. Méthode de fabrication d'un électret consistant à disposer un substrat en matière plastique dans une enceinte soumise à un vide poussé, à lui communiquer une polarisation électrique permanente par bombardement électronique et à mettre le substrat en contact à l'intérieur de ladite enceinte avec un liquide de très faible tension de vapeur saturante dont la rigidité diélectrique est supérieure à celle de l'air raréfié, tout en maintenant un vide poussé dans ladite enceinte.
  2. 2. Méthode de fabrication selon la revendication 1, caractérisée en ce que ledit liquide possède des propriétés lubrifiantes.
  3. 3. Méthode de fabrication selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que ledit liquide est déposé sous forme d'enduit sur le substrat après polarisation.
  4. 4. Dispositif pour la fabrication d'un électret, com- portant une enceinte étanche dans laquelle on dispose un subs- trat en matière plastique, cette enceinte étant en communication par intermittence avec un système de pompage, des moyens pour communiquer au substrat une polarisation électrique permanente et des moyens de support dudit substrat, caractérisé en ce que ce dispositif comporte un récipient disposé dans l'enceinte et contenant un liquide de très faible tension de vapeur saturante dont la rigidité diélectrique est supérieure à celle de l'air raréfié, et des moyens pour déposer sur le substrat, après polarisation, une pellicule dudit liquide contenu dans ledit récipient.
  5. 5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que le liquide contenu dans le récipient est un liquide lubrifiant.
  6. 6. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que le récipient comporte des moyens pour chauffer le liquide qu'il contient.
  7. 7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que les moyens de support comportent un système d'en- traînement pour faire défiler le substrat devant lesdits moyens de polarisation entre une bobine débitrice et une bobine récep- trice.
  8. 8. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que les moyens pour déposer une pellicule de liquide sont disposés entre la bobine débitrice et la bobine réceptrice.
  9. 9. Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un rouleau pour presser le subs- trat contre la bobine réceptrice, ledit rouleau étant disposé au voisinage du point où le substrat entre en contact avec ladite bobine réceptrice.
  10. 10. Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que lesdits moyens pour déposer une pellicule de liquide sur le substrat comportent un tampon et des moyens pour alimen- ter ledit tempon avec le liquide lubrifiant.
  11. 11. Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que les moyens pour alimenter le tampon comportent une canalisation communiquant avec un réservoir de fluide lubrifiant.
  12. 12. Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que les moyens pour alimenter le tampon comportent une mèche.
  13. 13. Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que lesdits moyens pour déposer une pellicule de liquide sur le substrat comportent un ensemble de rouleaux en contact les uns des autres, l'un d'entre eux beignant dans le récipient du liquide lubrifiant, un autre étant disposé en contact dudit substrat polarisé.
  14. 14. Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que la bobine réceptrice est immergée au moins en partie dans le récipient contenant le fluide lubrifiant.
  15. 15. Dispositif selon l'une des revendications 8, 9 et 10, caractérisé en ce que le liquide lubrifiant est cons- titué par une huile aux silicones.
CA281,918A 1976-07-05 1977-07-04 Fabrication d'elements sensibles possedant une polarisation electrique Expired CA1081864A (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR76/20698 1976-07-05
FR7620698A FR2357998A1 (fr) 1976-07-05 1976-07-05 Methode de fabrication d'elements sensibles possedant une polarisation electrique permanente de mise en oeuvre

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CA1081864A true CA1081864A (fr) 1980-07-15

Family

ID=9175338

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CA281,918A Expired CA1081864A (fr) 1976-07-05 1977-07-04 Fabrication d'elements sensibles possedant une polarisation electrique

Country Status (15)

Country Link
US (2) US4173659A (fr)
JP (1) JPS606536B2 (fr)
AU (1) AU507205B2 (fr)
BE (1) BE856352A (fr)
CA (1) CA1081864A (fr)
DE (1) DE2729904A1 (fr)
DK (1) DK154249C (fr)
ES (1) ES460440A1 (fr)
FR (1) FR2357998A1 (fr)
GB (1) GB1557915A (fr)
IT (1) IT1076079B (fr)
NL (1) NL182260C (fr)
NO (1) NO144984C (fr)
SE (1) SE417467B (fr)
SU (1) SU1303046A3 (fr)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4370182A (en) * 1981-03-16 1983-01-25 Gte Products Corporation Method of making tape transducer
JPH05214A (ja) * 1990-11-30 1993-01-08 Mitsui Petrochem Ind Ltd エレクトレツトフイルター
WO2000009797A1 (fr) * 1998-08-12 2000-02-24 Ebara Corporation Materiau de base pour polymerisation avec greffage par rayonnement et matiere premiere de filtre
US6899931B2 (en) 2001-09-07 2005-05-31 S. C. Johnson Home Storage, Inc. Film material
US6846449B2 (en) 2001-09-07 2005-01-25 S. C. Johnson Home Storage, Inc. Method of producing an electrically charged film
FR2892392B1 (fr) * 2005-10-25 2007-12-28 Sleever Internat Company Sa Enveloppe destinee a l'emballage d'au moins un objet, du type constitue par un manchon en matiere plastique thermoretractable
CN112542683B (zh) * 2020-12-09 2022-02-25 北京航空航天大学 一种用于星载的低频信号发射天线

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2904481A (en) * 1955-06-29 1959-09-15 Gen Electric Solid state polymerization
US2989633A (en) * 1956-02-08 1961-06-20 Standard Oil Co Apparatus and process for radiation
US2955953A (en) * 1956-06-05 1960-10-11 Du Pont Process of adhering an organic coating to a polymeric substrate
BE561742A (fr) * 1956-10-18
US3081485A (en) * 1958-11-20 1963-03-19 Steigerwald Karl Heinz Process and apparatus for treating synthetic plastic materials
US3565780A (en) * 1966-09-12 1971-02-23 Du Pont Process for the preparation of graft copolymers using repetitive irradiation and contacting steps
US3501390A (en) * 1966-10-03 1970-03-17 Ford Motor Co Process for electrocoating and polymerizing by radiation
GB1302590A (fr) * 1969-09-10 1973-01-10
US3967027A (en) * 1969-12-19 1976-06-29 Kureha Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha Stable electret retaining a high surface potential and method of making the same
US3711941A (en) * 1970-11-02 1973-01-23 Bell Telephone Labor Inc Fabrication of electret transducer elements using low energy electron beam
US3664605A (en) * 1970-11-23 1972-05-23 Eastman Kodak Co Reversible web transporting apparatus
US3846521A (en) * 1971-02-03 1974-11-05 Union Carbide Corp Low energy electron beam treatment of polymeric films, and apparatus therefore
FR2144933A5 (fr) * 1971-07-02 1973-02-16 Anvar
CH571038A5 (fr) * 1972-07-24 1975-12-31 Bbc Brown Boveri & Cie

Also Published As

Publication number Publication date
NO144984C (no) 1981-12-16
SE7707738L (sv) 1978-01-06
DE2729904C2 (fr) 1987-08-06
US4261287A (en) 1981-04-14
ES460440A1 (es) 1979-05-01
GB1557915A (en) 1979-12-19
NO772330L (no) 1978-01-06
DK154249C (da) 1989-03-28
DK154249B (da) 1988-10-24
US4173659A (en) 1979-11-06
NO144984B (no) 1981-09-07
FR2357998A1 (fr) 1978-02-03
SU1303046A3 (ru) 1987-04-07
DK297377A (da) 1978-01-06
JPS606536B2 (ja) 1985-02-19
NL7707457A (nl) 1978-01-09
SE417467B (sv) 1981-03-16
BE856352A (fr) 1978-01-02
AU507205B2 (en) 1980-02-07
IT1076079B (it) 1985-04-22
JPS5335199A (en) 1978-04-01
AU2656077A (en) 1979-01-04
NL182260C (nl) 1988-02-01
DE2729904A1 (de) 1978-01-12
FR2357998B1 (fr) 1978-12-29
NL182260B (nl) 1987-09-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA1081864A (fr) Fabrication d&#39;elements sensibles possedant une polarisation electrique
EP3049224B1 (fr) Installation et procédé d&#39;imprégnation par transfert d&#39;une poudre dans un support poreux
CA2819374C (fr) Dispositif de sterilisation par plasma froid d&#39;un objet, tel qu&#39;un dispositif medical, notamment un implant, et procede mettant en oeuvre ce dispositif
EP1875969A1 (fr) Générateur pour exciter un transducteur piézoélectrique
EP3230031B1 (fr) Installation d&#39;imprégnation d&#39;un support poreux comprenant des électrodes revêtues optimisées
FR2556221A1 (fr) Procede et appareil de distribution de vapeurs, notamment parfumees, dans une piece
FR2485791A1 (fr) Composition de fluide dielectrique ayant une rigidite dielectrique elevee
CH501482A (fr) Procédé de fixation électrostatique d&#39;une pellicule à un élément, appareil pour la mise en oeuvre du procédé et application de ce procédé
FR2555749A1 (fr) Procede et appareil de preevaluation pour un essai de resistance a l&#39;action des intemperies
CA2010347C (fr) Distributeur de substance visqueuse
WO2002010474A1 (fr) Procede de revetement par plasma
FR2535114A1 (fr) Procede pour eliminer des charges instables d&#39;une feuille polarisee
FR2467474A1 (fr) Procede de fabrication d&#39;electrets
FR2625485A3 (fr) Enrouleur avec dispositif automatique de coupe et de fixation
EP0412896A1 (fr) Accélérateur électrostatique d&#39;électrons
FR2508238A1 (fr) Piles electrochimiques et procede de remplissage de ces piles
FR2634309A1 (fr) Dispositif permettant de rendre independants, dans le temps, un dispositif d&#39;enregistrement sur bande et un dispositif de lecture de ladite bande
EP1072859A1 (fr) Procédé de mise en place de fibres dans un étui
FR2607797A1 (fr) Procede et dispositif pour ameliorer le bobinage d&#39;un film de materiau
FR2690451A1 (fr) Film polyester ultrafin sec et applications de celui-ci.
FR2702854A1 (fr) Procédé et appareil de charge d&#39;un organe photosensible.
JPH05264763A (ja) レーザプラズマ用ターゲット
FR2662708A1 (fr) Dispositif de traitement superficiel d&#39;une bande d&#39;un materiau metallique en defilement par plasma basse temperature.
FR2664731A1 (fr) Dispositif de maintien en position d&#39;elements rotatifs de cassette contenant un ruban.
JPH08287459A (ja) 磁気記録媒体の製造方法および薄膜の製造装置

Legal Events

Date Code Title Description
MKEX Expiry