JPS606536B2 - 永続的な電気分極をもった感光素子を製造する方法および装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は永続的な電気分極を有する感光素子を製造する
方法および装置に関する。

感光素子は、たとえばポリプロピレン、ポリテトラフル
オルエチレン、ポリエチレンテレフタレート等のような
誘電プラスチック物体からなる８〜２５ミクロン厚さの
細片を分極することにより得られる「ェレクトレット」
型の材質からつくられる。

この分極はたとえば誘電体細片を充分なエネルギー値を
もつ電子ビームと衝突させることにより得ることができ
る。通常細片および電子銃は高真空にな−る容器内に配
置される。分極操作後正常の圧力が順次容器内で回復す
ると、絶縁耐力は最初パッシェンの法則に従って減少し
２〜３トールの圧力で最小値になり、続いて通常圧力が
大気圧に達するまで増加する。

ェレクトレット細片に集積した電荷は漏電場を発生させ
、この高電場は特に圧力が絶縁耐力の最小値に対応する
値に達したとき空気をイオン化する。細片周囲の希薄化
した大気がイオン化すると細片は消極してしまう傾向が
ある。超真空から正常の圧力にする従釆の方法ではイオ
ン化現象の起る期間、したがって処理細片に集積した電
荷の変衰を制限するように圧力変化を非常に早くしてい
る。

しかしこの従来の方法では得られた結果が多くの場合不
均質であるという欠点がある。また永続的な電気分極が
与えられる感光素子を連続的に製造する従来の方法は分
極した細片をドラム上に巻く工程を有する。

細片が乾燥して巻かれるときは「ェレクトレットの接着
力が大きいので「巻かれた細片は互いに横方向に移動す
ることができず、その結果細片の巻き方は悪くなり、さ
らには何回も折り重なることによって乱れてしまつｏ本
発明の方法の目的は上述した欠点を除去することである
。

本発明の方法ではト最初分極すべき素子が希薄化した大
気を含んだ容器に配遣され「電子衝突によりこの素子に
永続的な電気分極が付与される。

続いて素子は容器内で絶縁耐力が希薄大気の絶縁耐力よ
りも大きい超低飽和蒸気圧の液体と接触する。正常の圧
力が容器内で回復した時、分極素子は鱒気的に硬直した
液体を接触しており、この液体により素子はイオンイリ
現象ならびに電荷の変衰から保護される。

このようにかなりの割合で分極したェレクトレットは目
立つような損傷もなく超真空から正常な圧力に導かれる
。本発明の他の特徴は液体が潤滑特性を示すことである
。

感光素子上に潤滑液が存在することにより折り重なるこ
となく巻いたり、また巻取りリール上に何回もうまく巻
くことができるようになる。このように巻取りリールの
容量はさらに完肇に利用される。本発明の方法の他の利
点ならびに本発明の装置の特徴は添付図面を参照して行
われる非限定的実施例の以下の説明により明らかになる
。

第１図に図示した装置は図示していないが従来の型の真
空ポンプに開口２を介して蓮適する気密な容器１から構
成される。

容器は電子銃４が配置される円筒部３を有する。焦点装
置５により電子ビームは感光化すべき素子が配置される
面に収れんする。偏向コイル６の装置は所定の偏向法則
に従ってビームの偏向を制御する。感光化すべき細片は
供給リールＴ‘こ巻かれる。

細片は「 それが電子ビームに垂直にかつその焦点面に
配置されるように配列された二つのローフー１０を通過
したあと、摩擦ローラー９によって回転駆動される巻取
りリール８に送られる。細片はその送り速度を決める駆
動キャプスタン１１を通り、続いて糟１３に沈められた
ローラー１２を通過する。

槽１３内にはたとえば超真空操作用の特殊オイルからな
る被膜液が入っており、そのオイルの飽和蒸気圧は非常
に４・さく、またその絶縁耐力は希薄化された空気の絶
縁耐力よりも小さい。好ましくは蒸気圧が１０‐７トー
ルのシリコンオイルが用いられる。さらに一般的には蒸
気圧がせいぜい５×１０‐７トールに等しい液を用いる
のが便利である。たとえば電気抵抗器１４からなる加熱
装置が槽１３に浸される。

細片はオイルに浸された後巻取りリール８に巻き上げれ
る。押圧金属ローラー２０が巻取りリール８の細片加圧
点近くに配置される。経験によればこの押圧ローラーは
細片を互いに重ねて巻くのを改良するのに非常に有用で
あることがわかった。細片を感光する前に予備工程が行
われる。

その予備工程中に被膜液が糟に供給されて、容器１は高
真空にされる。液はガスを除くために約６０℃の温度で
加熱され、これはたとえば容器内の残留圧力が１０‐６
トール以下になるまで続けられる。続いて液は冷却され
細片駆動装置が作動される。容器内の圧力が１０‐６ト
ール以上に上昇するときは新しいガス除去サイクルが行
われるまで細片の送りを中止する。ガス除去が充分であ
るとき、すなわち細片送りの開始後圧力上昇が観察され
ないときは、分極すべき細片は電子衝突を受ける。

充分な量の細片が感光化されたとき、容器内部は大気圧
の外部媒体を徐々に蓮通し、巻取りリールがはずされて
容器から除される。

希薄な大気から外部圧力になるまでの時間は厳密なもの
でなく、それによって感光細片が大き〈消極してしまう
ような結果にはならない。第２図の実施例では、巻取り
リール８は潤滑被膜液を含んだ槽に少なくとも一部分が
浸される。

第３図〜第５図に図示した第１の実施例の変形例は巻取
りリールに細片が巻き上げられる前に感光細片１５を被
膜するための三つの異なる実施例を示す。第１の実施例
によれば潤滑液を含んだ糟１３は細片１５上に配置され
る。液は糟１３からパイプ１６を経てたとえばフェルト
からできたパッド１７に送られ細片１５と摩擦接触する
。第２の実施例によれば、槽１３は細片１５の下部に置
かれ、摩擦パッド１７は毛細管により灯心１８を経て供
Ｖ給される。第３の実施例では、感光素子１５はローラ
ー１９ｄと接触して潤滑液が被膜される。

オイルは糟の液内につかったローラー１９ａから二つの
ローラ−１９ａ，１９ｄにそれぞれ接触した中間ローラ
ー１９ｂ，１９ｃを介してローラー１９ｄに送られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による装置の第１の実施例を示す説明図
、第２図は本発明の第２の実施例を示す説明図、第３図
ないし第５図はそれぞれ本発明の他の実施例を示す説明
図である。 １・・・・・・容器、４…・・・電子銃、５・・・・・
・焦点装置、６……偏向コイル、７……供強簿ローラー
、８……巻取りリール、１１・・・・・・駆動キャブス
タン、１５・・・・・・細片。 ＦＩＧ．ｌ ＦＩＧ．２ ＦＩＧ．３ Ｆ１６．４ ＦＩＧ．５

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 感光素子を希薄大気が広がつている容器内に配置し
   、この素子に電子衝突により永続的な電気分極を付与す
   ることからなる感光素子を製造する方法において、前記
   感光素子は前記容器内で飽和蒸気圧が非常に小さい液体
   と接触し、その液体の絶縁耐力は希薄大気の絶縁耐力よ
   りも大きいことを特徴とする感光素子製造方法。 ２ 特許請求の範囲第１項に記載の方法において、前記
   液体は潤滑特性を示すことを特徴とする感光素子製造方
   法。 ３ 特許請求の範囲第１項あるいは第２項に記載の方法
   において前記液体は分極後感光素子を被膜するのに用い
   られることを特徴とする感光素子製造方法。 ４ 断続的にポンプ装置と連通する気密な容器と、感光
   素子に永続的な電気分極を付与する装置と、前記感光素
   子を支持する装置とを備えた感光素子製造装置において
   、前記容器内に配置された槽に収容された前記液体の膜
   を分極後に前記感光素子に付着させる装置を有すること
   を特徴とする感光素子製造装置。 ５ 特許請求の範囲第４項に記載の装置において、前記
   槽に収容された液体は潤滑液であることを特徴とする感
   光素子製造装置。 ６ 特許請求の範囲第５項に記載の装置において、前記
   槽はそこに収容された液体を加熱する装置を有すること
   を特徴とする感光素子製造装置。 ７ 特許請求の範囲第６項に記載の装置において、前記
   支持装置は供給リールと巻取りリール間で前記分極装置
   の前に細片を送る駆動装置を有することを特徴とする感
   光素子製造装置。 ８ 特許請求の範囲第７項に記載の装置において、薄膜
   液を付着させる前記装置は供給リールと巻取りリール間
   に配置されたことを特徴とする感光素子製造装置。 ９ 特許請求の範囲第８項に記載の装置において、感光
   素子を巻取りリールに押圧するローラーをさらに備え、
   そのローラーは感光素子が巻取りリールと接触する点の
   近傍に配置されたことを特徴とする感光素子製造装置。 １０ 特許請求の範囲第８項に記載の装置において、薄
   膜液を感光素子上に付着する前記装置はパツドとそのパ
   ツドに潤滑液を供給する装置を有することを特徴とする
   感光素子製造装置。１１ 特許請求の範囲第１０項に記
   載の装置において、パツドに供給する前記装置は潤滑液
   槽と連通するダクト装置を有することを特徴とする感光
   素子製造装置。 １２ 特許請求の範囲第１０項に記載の装置において、
   パツドに供給する前記装置は灯心を有することを特徴と
   する感光素子製造装置。 １３ 特許請求の範囲第８項に記載の装置において、薄
   膜液を感光素子上に付着させる前記装置は相互に接触す
   るローラー体を有し、そのローラーの一つは槽の潤滑液
   に浸され、他のローラーは分極素子と接触することを特
   徴とする感光素子製造装置。 １４ 特許請求の範囲第８項に記載の装置において、巻
   取りリールは少なくとも部分的に潤滑液を含んだ槽に浸
   されることを特徴とする感光素子製造装置。 １５ 特許請求の範囲第８項から第１４項までのうちい
   ずれか一つに記載の装置において、前記潤滑液はシリコ
   ンオイルからなることを特徴とする感光素子製造装置。