CA2084281C - Torche a plasma pour deposition avec injection centrale - Google Patents
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- 238000002347 injection Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 239000007924 injection Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 238000000151 deposition Methods 0.000 title abstract description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 71
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 56
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 21
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 2
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 241000282320 Panthera leo Species 0.000 description 1
- 101150107341 RERE gene Proteins 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K10/00—Welding or cutting by means of a plasma
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- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/32—Plasma torches using an arc
- H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
- H05H1/3431—Coaxial cylindrical electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/32—Plasma torches using an arc
- H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
- H05H1/3436—Hollow cathodes with internal coolant flow
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/32—Plasma torches using an arc
- H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
- H05H1/40—Details, e.g. electrodes, nozzles using applied magnetic fields, e.g. for focusing or rotating the arc
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/32—Plasma torches using an arc
- H05H1/42—Plasma torches using an arc with provisions for introducing materials into the plasma, e.g. powder or liquid
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- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/32—Plasma torches using an arc
- H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
- H05H1/3478—Geometrical details
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Abstract
L'invention concerne une torche à plasma pour le traitement de gaz ou de particules ou le dépôt de particules sur un substrat, comprenant deux électrodes concentriques coaxialement fixées à même un support, et des moyens pour injecter les gaz ou particules à traiter ou déposer dans la flamme s'échappant de la torche, ces moyens comprenant un canal d'injection coaxial à l'éctrode centrale, qui débouche en plein centre de la buse de sortie pour ainsi injecter les particules à traiter ou déposer centralement et coaxialement en plein coeur de la flamme, sans indûment affecter les caractéristiques du plasma. En opération, l'électrode centrale est disposée en aval de l'électrode périphérique par rapport à la direction du gaz plasmagène ce qui évite tout blocage du canal d'injection par l'arc électrique. De plus, la torche comprend des moyens montés à même la pièce de support pour appliquer un champ magnétique extérieur aux électrodes et s'étendant dans une direction parallèle au passage annulaire de façon entraîner l'arc électrique en rotation dans le passage entre les électrodes et ainsi réduire l'érosion des électrodes tout en assurant un meilleur mixage des gaz.
Description
~0 ~ 4 2 ~ ~ ~
La présente invention a pour objet un nouveau type de torche à
plasma conçu spécialement pour le traitement de gaz ou de particules ou pour le dépôt de particules sur un substrat.
L'utilisation d'une torche à plasma pour le traitement de gaz ou de particules ou pour le dépôt de particules sur un substrat est bien connue depuis de très nombreuses années. Cette utilisation est notamment applicable au dépôt sur un substrat de couches plus ou moins épaisses de particules telles que des particules de céramique au travail de couches de céramique déjà déposées ou encore à la production ou la purification de gaz ou particules, notamment de cérar"i~ue, par réactions solide/gaz ou gaz/gaz. Durant une telle utilisation, les particules injectées dans le plasma ou mises en contact avec celui-ci réagissentchimiquement, changent de phase ou les deux au cours de leur voyage, avant de se déposer ou d'être recueillies dans un creuset. Les gaz injectés, quant à eux,réagissent avant d'être récupérés.
Dans la plupart des torches à plasma utilisées commercialement pour de telles applications, les gaz ou particules à traiter ou déposer sont injectésradialement sur un côté de la flamme. Dans le cas du traitement ou dépôt de particules, cette injection s'effectue habituellement au moyen d'une quantité
considérable d'un gaz porteur dont la température est généralement ambiante, et donc très différente de la température de la flamme. Ceci, en pratique, cause une baisse de la température du plasma et diminue en conséquence l'échange de chaleur désirée entre le plasma et les particules en plus d'ar~cler la tension d'arc.
Une telle injection latérale conduit également à une ségrégation des particules en fonction de leurs tailles, les plus grosses ayant des temps de résidence et de chauffage dirr~rer,l~ des plus petites. Il en résulte un traitement non uniforme des particules, qui conduit à des dépôts ayant souvent de pauvres caractéristiques. A
ce sujet, on peut se référer au préambule de l'article de Daniel R. MARANTS intitulé
"Electromagnetically coallesced multi-arc plasma torch with true axial powder feed"
(Thermo Spray Research and Application, Proceedings on the third National ThermoSpray col,rerence, Long Beach, CA, 20 to 25 May 1990).
Pour contourner ce problbme, il a déjà été suggéré d'injecter les gaz ou ,s~
208~28f particules à traiter ou déposer dile~,~n~ent au centre de la flamme. Une telle solution est proposée dans l'article de Daniel R. MARANTS ci-dessus mentionné, qui décrit un appareil comprenant une pluralité de torches à plasma de type conventionnel, disposées en cercle de facon à ce que leurs flammes convergent en5 un même endroit au centre duquel sont injectées les g~ ou particules à traiter ou à déposer.
Le principal problème avec ce type de montage est que les gaz ou particules ne sont pas injectés au milieu d'un anneau de plasma mais au centre d'une pluralité de r~icce~lly de plasma dont la température, le débit et la viscosité
10 peuvent varier, ce qui peut conduire à une distribution très inégale des gaz ou particules injectés dans la flamme avec, comme résultat, des produits ou dépôts de clu~lités très inégales.
A ce sujet, il convient de mentionner que, de par son débit, sa vitesse et sa température, la flamme d'une torche à plasma présente une certaine viscosilé
15 qui peut rendre fort difflcile le mélange desdits gaz ou particules dans le plasma et, plus important encore, une distribution irrégulière de ceux-ci dans la flamme.
Pour tenter de résoudre ce problème, il a déjà été suggéré par un autre auteur, Yoshiaki ARATA, dans un article intitulé "New technology for processing and evaluating thermo-spray coatings", un type particulier de torche à plasma dans 20 lequel les électrodes sont concer,l,iquement disposées pour définir entre elles un passage annulaire débouchant dans une buse de sortie. Ce montage particulier a l'avantage d'assurer une relativement bonne distribution des gaz ou particules àtraiter dans la flamme, puisque ces gaz ou particules se trouvent injectés en plein centre d'un tunnel de plasma créé lorsqu'un gaz plasmagène est injecté dans le 25 p~cs~ge annulaire. Ce montage est également avantageux dans la mesure où les gaz ou particules injectés en plein centre du tunnel de plasma sont "aspirés" par celui-ci et se trouvent donc pa,r~ilement bien distribués. Ce montage s'avère toutefois être relativement délicat compte tenu de la disposition très particulière proposée pour les électrodes concentriques où l'électrode centrale se trouve tout à
30 fait en retrait de l'électrode périphérique qui est relativement allongée. En effet, il a été noté que dans un tel cas, les gaz ou particules se trouvent injectés dans l'arc et, de l~, viennent affecter les caract~ liq~es du plasma formé. Il a également été noté
que l'arc selon sa position, peut carrément venir bloquer le tube d'alimentation à
cause de la fusion des particules injectées ou même de la pointe de l'électrode. Ce même montage a également l'inconvénient de conduire à une très forte érosion des électrodes.
5La présente invention a pour objet un nouveau type de torche à
plasma pour le traitement de gaz ou de particules ou pour le dépôt de particules sur un substrat, laquelle solutionne la plupart des problèmes ci-dessus mentionnés.
Plus précisément, I'invention a pour objet un nouveau type de torche à plasma pour le traitement de g~ ou de particules ou pour le dépôt de particules 10sur un substrat, qui, dû à sa structure améliorée, présente les divers avantages suivants par rapport aux torches à plasma actuellement utilisées pour le même usage:
a) augmentation de l'échan~e de chaleur entre le plasma et les gaz ou particules à traiter;
15b) augmentation du ~ansl~,l de masse entre le plasma et les gaz ou particules à traiter;
c) diminution de la quantité de gaz porteur nécessaire à l'injection de particules dans la flamme, ceci conduisant à une meilleure efficacité thermique;d) élimination des problèmes de ségr~g~lion des particules 20rencontrées avec des torches à plasma de type traditionnel où des particules sont injectées tangentiellement à la flamme, ceci conduisant à un chauffage plus uniforme des particules et à des dépôts de meilleure qualité;
e) augmentation du temps de résidence des particules à traiter dans le plasma, ceci conduisant à une meilleure efficacité de chauffage eVou de réaction;
25~ possibilité de l~dil~menl de n'importe quel type de gaz ou de particules grâce à une non-inlel l~rence de ceux-ci sur les caractéristiques du plasma et de l'arc électrique;
g) efficacité générale du procédé très supérieure à celle des torches à plasma convnetionnelles utilisées aussi bien pour le traitement de particules ou de 30gaz pour le dépôt de particules sur un substrat;
h) flexibilité des conditions d'opération (tension, courant, débit de gaz, type de gaz plasmagène), cette flexibilité permettant d'opérer sans fluctuation des 4 20842~
caractéristiques du plasma (à savoir sans fluctuation de courant ou de tension).i) pas de blocage de la conduite d'alimentation du gas ou des particules à traiter à cause de l'arc.
La torche à plasma selon l'invention est d'un type similaire à celui 5 décrit par Yoshiaki ARATA dans son article ci-dessus mentionné.
Plus précisément, la torche à plasma selon l'invention est du type comprenant:
- un support pourvue d'un axe longitudinal;
- une électrode centrale et une électrode périphérique, coaxialement 10 fixées à même le support, ces électrodes étant concentriquement disposées et d~ri.,issanl entre elles un passage annulaire débouchant dans une buse de sortiecoaxiale au support;
- des moyens pour injecter un gaz plasmagène dans le p~-ssage annulaire de façon à ce qu'il se dirige dans une direction donnée vers la buse de 1 5 sortie;
- des moyens pour relier électriquement les deux électrodes à une source de tension à courant continu, pour générer entre celles-ci un arc électrique et ainsi ioniser le gaz plasmagène de façon à générer un plasma ayant des caractéristiques données, ce plasma s'échappant du p~s~ge par la buse de sortie 20 sous la forme d'une flamme d'une certaine température et certaine vélocité;
- des moyens pour injecter les gaz ou particules à traiter ou déposer éventuellement à l'aide d'un g~ porteur, dans la flamme s'échappant de la buse de sortie, ces moyens comprenant un canal d'injection coaxial à l'électrode centrale, ce canal s'étendant concenl~ iquement dans l'électrode centrale et débouchant en plein 25 centre de la buse de sortie pour ainsi injecter les gaz ou particules à traiter ou à
déposer centralement et coaxialement dans ladite buse de sortie en plein coeur de la flamme sans indûment affecter les caractéristiques du plasma;
- un circuit de r~f~ o.Jisse" ,ent optionnel, opérant de préférence à l'eau, disposé à l'intérieur du support pour re~,o.Jil celle-ci, ainsi que les électrodes et le 30 tube d'injection; et - au moins une pièce optionnelle de recouvrement isolée électriquement et isolante thermiquement, disposée en aval des électrodes.
208~281 Selon l'invention, cette structure de type connu est substantiellement améliorée en ce qu'en en opération, I'éleclrocle centrale est disposée en aval de l'électrode périphérique par rapport à la direction du gaz plasmagène. Cette disposition particulière de l'électrode centrale dont la pointe s'avance dans la buse de sortie tout en se trouvant très en aval de l'électrode périphérique, est exactement l'inverse de ce qui a été proposé par ARATA dans son article ci-dessus mentionné.
Il a été découvert de facon fort surprenante par les inventeurs que ce montage très particulier où l'élect,oc!e périphérique est en retrait (ou aval) par rapport à l'électrode centrale par rapport à la direction d'injection du gaz plasmagène, permet de solutionner de façon extrêmement simple et efficace deux des problèmes ci-dessus mentionnés, à savoir le fait que les gaz ou particules injectés puissent affecter les caracléri:jliques du plasma et le fait que l'arc puisse bloquer le canal d'injection. En effet, selon l'invention, I'arc électrique se trouve toujours en amont de l'endroit où les gaz ou particules sont injectés, et ne peut donc être affecté par cette injection. Ainsi donc, seul le profil de température et de vélocité de la flamme (pas celui de l'arc) se trouve affecté, et ce à un degré moindre qu'auparavant, puisque, grâce à l'injection axiale des particules dans la flamme dans le cas d'un traitement ou dépôt de particules, il est nécessaire d'utiliser beaucoup moins de gaz porteur qu'avec les torches exislanles.
Selon une autre cara~vl~v~isli.~ue essentielle de l'invention, la torche comprend également des moyens montés à même le support pour appliquer un champ magnétique extérieur aux ~v ~v~lodes s'étendant dans une direction parallèle à l'axe longitudinal de la torche de façon à entrâîner l'arc électrique en rotation dans ledit passage entre les électrodes. Ceci, en pratique, réduit les points chauds et de là l'érosion des électrodes. Ceci conduit aussi à un meilleur mixage du gaz plasmagène avec les g~ ou particules injectés.
Cette seconde caractéristique est donc extrêmement importante dans la mesure où elle permet de réduire de facon substantielle l'érosion des électrodes tout en assurant un meilleur mixage du g~ plasmagène avec les gaz ou particules à traiter ou dv~poser. De façon plus importante encore, cette autre caractéristique a comme effet de générer un anneau de plasma uniforme en tout point tout autour de l'endroit où les gaz ou particules sont injectées axialement dans la flamme. Il en
La présente invention a pour objet un nouveau type de torche à
plasma conçu spécialement pour le traitement de gaz ou de particules ou pour le dépôt de particules sur un substrat.
L'utilisation d'une torche à plasma pour le traitement de gaz ou de particules ou pour le dépôt de particules sur un substrat est bien connue depuis de très nombreuses années. Cette utilisation est notamment applicable au dépôt sur un substrat de couches plus ou moins épaisses de particules telles que des particules de céramique au travail de couches de céramique déjà déposées ou encore à la production ou la purification de gaz ou particules, notamment de cérar"i~ue, par réactions solide/gaz ou gaz/gaz. Durant une telle utilisation, les particules injectées dans le plasma ou mises en contact avec celui-ci réagissentchimiquement, changent de phase ou les deux au cours de leur voyage, avant de se déposer ou d'être recueillies dans un creuset. Les gaz injectés, quant à eux,réagissent avant d'être récupérés.
Dans la plupart des torches à plasma utilisées commercialement pour de telles applications, les gaz ou particules à traiter ou déposer sont injectésradialement sur un côté de la flamme. Dans le cas du traitement ou dépôt de particules, cette injection s'effectue habituellement au moyen d'une quantité
considérable d'un gaz porteur dont la température est généralement ambiante, et donc très différente de la température de la flamme. Ceci, en pratique, cause une baisse de la température du plasma et diminue en conséquence l'échange de chaleur désirée entre le plasma et les particules en plus d'ar~cler la tension d'arc.
Une telle injection latérale conduit également à une ségrégation des particules en fonction de leurs tailles, les plus grosses ayant des temps de résidence et de chauffage dirr~rer,l~ des plus petites. Il en résulte un traitement non uniforme des particules, qui conduit à des dépôts ayant souvent de pauvres caractéristiques. A
ce sujet, on peut se référer au préambule de l'article de Daniel R. MARANTS intitulé
"Electromagnetically coallesced multi-arc plasma torch with true axial powder feed"
(Thermo Spray Research and Application, Proceedings on the third National ThermoSpray col,rerence, Long Beach, CA, 20 to 25 May 1990).
Pour contourner ce problbme, il a déjà été suggéré d'injecter les gaz ou ,s~
208~28f particules à traiter ou déposer dile~,~n~ent au centre de la flamme. Une telle solution est proposée dans l'article de Daniel R. MARANTS ci-dessus mentionné, qui décrit un appareil comprenant une pluralité de torches à plasma de type conventionnel, disposées en cercle de facon à ce que leurs flammes convergent en5 un même endroit au centre duquel sont injectées les g~ ou particules à traiter ou à déposer.
Le principal problème avec ce type de montage est que les gaz ou particules ne sont pas injectés au milieu d'un anneau de plasma mais au centre d'une pluralité de r~icce~lly de plasma dont la température, le débit et la viscosité
10 peuvent varier, ce qui peut conduire à une distribution très inégale des gaz ou particules injectés dans la flamme avec, comme résultat, des produits ou dépôts de clu~lités très inégales.
A ce sujet, il convient de mentionner que, de par son débit, sa vitesse et sa température, la flamme d'une torche à plasma présente une certaine viscosilé
15 qui peut rendre fort difflcile le mélange desdits gaz ou particules dans le plasma et, plus important encore, une distribution irrégulière de ceux-ci dans la flamme.
Pour tenter de résoudre ce problème, il a déjà été suggéré par un autre auteur, Yoshiaki ARATA, dans un article intitulé "New technology for processing and evaluating thermo-spray coatings", un type particulier de torche à plasma dans 20 lequel les électrodes sont concer,l,iquement disposées pour définir entre elles un passage annulaire débouchant dans une buse de sortie. Ce montage particulier a l'avantage d'assurer une relativement bonne distribution des gaz ou particules àtraiter dans la flamme, puisque ces gaz ou particules se trouvent injectés en plein centre d'un tunnel de plasma créé lorsqu'un gaz plasmagène est injecté dans le 25 p~cs~ge annulaire. Ce montage est également avantageux dans la mesure où les gaz ou particules injectés en plein centre du tunnel de plasma sont "aspirés" par celui-ci et se trouvent donc pa,r~ilement bien distribués. Ce montage s'avère toutefois être relativement délicat compte tenu de la disposition très particulière proposée pour les électrodes concentriques où l'électrode centrale se trouve tout à
30 fait en retrait de l'électrode périphérique qui est relativement allongée. En effet, il a été noté que dans un tel cas, les gaz ou particules se trouvent injectés dans l'arc et, de l~, viennent affecter les caract~ liq~es du plasma formé. Il a également été noté
que l'arc selon sa position, peut carrément venir bloquer le tube d'alimentation à
cause de la fusion des particules injectées ou même de la pointe de l'électrode. Ce même montage a également l'inconvénient de conduire à une très forte érosion des électrodes.
5La présente invention a pour objet un nouveau type de torche à
plasma pour le traitement de gaz ou de particules ou pour le dépôt de particules sur un substrat, laquelle solutionne la plupart des problèmes ci-dessus mentionnés.
Plus précisément, I'invention a pour objet un nouveau type de torche à plasma pour le traitement de g~ ou de particules ou pour le dépôt de particules 10sur un substrat, qui, dû à sa structure améliorée, présente les divers avantages suivants par rapport aux torches à plasma actuellement utilisées pour le même usage:
a) augmentation de l'échan~e de chaleur entre le plasma et les gaz ou particules à traiter;
15b) augmentation du ~ansl~,l de masse entre le plasma et les gaz ou particules à traiter;
c) diminution de la quantité de gaz porteur nécessaire à l'injection de particules dans la flamme, ceci conduisant à une meilleure efficacité thermique;d) élimination des problèmes de ségr~g~lion des particules 20rencontrées avec des torches à plasma de type traditionnel où des particules sont injectées tangentiellement à la flamme, ceci conduisant à un chauffage plus uniforme des particules et à des dépôts de meilleure qualité;
e) augmentation du temps de résidence des particules à traiter dans le plasma, ceci conduisant à une meilleure efficacité de chauffage eVou de réaction;
25~ possibilité de l~dil~menl de n'importe quel type de gaz ou de particules grâce à une non-inlel l~rence de ceux-ci sur les caractéristiques du plasma et de l'arc électrique;
g) efficacité générale du procédé très supérieure à celle des torches à plasma convnetionnelles utilisées aussi bien pour le traitement de particules ou de 30gaz pour le dépôt de particules sur un substrat;
h) flexibilité des conditions d'opération (tension, courant, débit de gaz, type de gaz plasmagène), cette flexibilité permettant d'opérer sans fluctuation des 4 20842~
caractéristiques du plasma (à savoir sans fluctuation de courant ou de tension).i) pas de blocage de la conduite d'alimentation du gas ou des particules à traiter à cause de l'arc.
La torche à plasma selon l'invention est d'un type similaire à celui 5 décrit par Yoshiaki ARATA dans son article ci-dessus mentionné.
Plus précisément, la torche à plasma selon l'invention est du type comprenant:
- un support pourvue d'un axe longitudinal;
- une électrode centrale et une électrode périphérique, coaxialement 10 fixées à même le support, ces électrodes étant concentriquement disposées et d~ri.,issanl entre elles un passage annulaire débouchant dans une buse de sortiecoaxiale au support;
- des moyens pour injecter un gaz plasmagène dans le p~-ssage annulaire de façon à ce qu'il se dirige dans une direction donnée vers la buse de 1 5 sortie;
- des moyens pour relier électriquement les deux électrodes à une source de tension à courant continu, pour générer entre celles-ci un arc électrique et ainsi ioniser le gaz plasmagène de façon à générer un plasma ayant des caractéristiques données, ce plasma s'échappant du p~s~ge par la buse de sortie 20 sous la forme d'une flamme d'une certaine température et certaine vélocité;
- des moyens pour injecter les gaz ou particules à traiter ou déposer éventuellement à l'aide d'un g~ porteur, dans la flamme s'échappant de la buse de sortie, ces moyens comprenant un canal d'injection coaxial à l'électrode centrale, ce canal s'étendant concenl~ iquement dans l'électrode centrale et débouchant en plein 25 centre de la buse de sortie pour ainsi injecter les gaz ou particules à traiter ou à
déposer centralement et coaxialement dans ladite buse de sortie en plein coeur de la flamme sans indûment affecter les caractéristiques du plasma;
- un circuit de r~f~ o.Jisse" ,ent optionnel, opérant de préférence à l'eau, disposé à l'intérieur du support pour re~,o.Jil celle-ci, ainsi que les électrodes et le 30 tube d'injection; et - au moins une pièce optionnelle de recouvrement isolée électriquement et isolante thermiquement, disposée en aval des électrodes.
208~281 Selon l'invention, cette structure de type connu est substantiellement améliorée en ce qu'en en opération, I'éleclrocle centrale est disposée en aval de l'électrode périphérique par rapport à la direction du gaz plasmagène. Cette disposition particulière de l'électrode centrale dont la pointe s'avance dans la buse de sortie tout en se trouvant très en aval de l'électrode périphérique, est exactement l'inverse de ce qui a été proposé par ARATA dans son article ci-dessus mentionné.
Il a été découvert de facon fort surprenante par les inventeurs que ce montage très particulier où l'élect,oc!e périphérique est en retrait (ou aval) par rapport à l'électrode centrale par rapport à la direction d'injection du gaz plasmagène, permet de solutionner de façon extrêmement simple et efficace deux des problèmes ci-dessus mentionnés, à savoir le fait que les gaz ou particules injectés puissent affecter les caracléri:jliques du plasma et le fait que l'arc puisse bloquer le canal d'injection. En effet, selon l'invention, I'arc électrique se trouve toujours en amont de l'endroit où les gaz ou particules sont injectés, et ne peut donc être affecté par cette injection. Ainsi donc, seul le profil de température et de vélocité de la flamme (pas celui de l'arc) se trouve affecté, et ce à un degré moindre qu'auparavant, puisque, grâce à l'injection axiale des particules dans la flamme dans le cas d'un traitement ou dépôt de particules, il est nécessaire d'utiliser beaucoup moins de gaz porteur qu'avec les torches exislanles.
Selon une autre cara~vl~v~isli.~ue essentielle de l'invention, la torche comprend également des moyens montés à même le support pour appliquer un champ magnétique extérieur aux ~v ~v~lodes s'étendant dans une direction parallèle à l'axe longitudinal de la torche de façon à entrâîner l'arc électrique en rotation dans ledit passage entre les électrodes. Ceci, en pratique, réduit les points chauds et de là l'érosion des électrodes. Ceci conduit aussi à un meilleur mixage du gaz plasmagène avec les g~ ou particules injectés.
Cette seconde caractéristique est donc extrêmement importante dans la mesure où elle permet de réduire de facon substantielle l'érosion des électrodes tout en assurant un meilleur mixage du g~ plasmagène avec les gaz ou particules à traiter ou dv~poser. De façon plus importante encore, cette autre caractéristique a comme effet de générer un anneau de plasma uniforme en tout point tout autour de l'endroit où les gaz ou particules sont injectées axialement dans la flamme. Il en
2~8~Z8~ ' résulte que les g~ ou particules injectés sont parfaitement bien distribuées dans la flamme, et ce malgré la viscosité du plasma qui peut être relativement élevée. Ceci conduit bien sar à une parfaite distribution des gaz ou particules à traiter dans la flamme obtenue.
Les moyens utilisables pour appliquer un champ magnétique extérieur aux électrodes de façon à entraîner l'arc électrique en rotation peuvent être constitués par des aimants permanents ou non, ou des bobines opérées électriquement de façon à générer le champ magnétique extérieur requis. La façondont de tels aimants ou bobines peuvent être utilisés pour entrâîner en rotation un arc électrique dans une torche à plasma est connu et un exemple de bobines à
champ magnétique variable appliquées à une torche à plasma est décrit en détail dans le brevet américain no 4.683.367 délivré le 28 juillet 1989 au nom de la société
demanderesse. Une description plus approfondie de ces moyens ne s'avère dont pas nécessaire.
1~ Selon un mode de réalisation préféré de l'invention, la buse de sortie est de pr~rére"ce formée dans la pièce de recouvrement isolée et isolante qui peut être fait en nitrure de bore, en alumine ou en tout autre matériau analogue, qui n'est pas conducteur électrique et a une forte rés;slance thermique. En d'autres mots, la pièce de recouvrement peut constituer la buse de sortie, ou simplement servir de20 support à celle-ci si cette buse est constituée par une autre pièce.
De prérérellce, I'élec:t, ode centrale a la forme d'un tronc de cône et le passage annulaire défini entre les élect,ocles de la forme d'un tronc de cône débouchant dans la buse de sortie.
Selon un premier mode de réalisation, les électrodes centrales et 25 périphériques peuvent être respectivement branchées de façon à constituer des anode et cathode.
Selon un second mode de réalisation, les électrodes centrales et périphériques peuvent être branchées de façon à définir respectivement des cathode et anode. Dans un tel cas, il est toutefois utile de protéger la pointe de l'électrode 30 centrale par une tête de recouvrement isolante ayant la forme d'un anneau au centre duquel débouche le passage d'injection des particules.
Les électrodes peuvent etre faites de n'importe quel métal 208gZ81 habituellement utilisé pour ce faire. Toutefois, selon un mode de réalisation tout particulièrement avantageux de l'invention qui résulte du fait que l'érosion estextrêmement réduite, les deux ~le~,odes peuvent avantageusement être faites en cuivre ou en alliage de cuivre. Ceci rend la torche utilisable avec clirrare~ lls types de gaz plasmagène, ce qui n'est pas le cas des électrodes de tungstène qui ne sont habituellement utilisables qu'avec l'hydrogène, I'argon et, dans certains cas, I'azote.
Un autre avantage de la ,~résenle invention est le fait que la tension utilisée peut être beaucoup plus élevée que celle qui est habituellement utilisée des les torches à plasma. Bien s~r, le voltage choisi dépend du type de gaz plasmagène utilisé, de la di~lance entre les électrodes et du courant d'arc.
Toutefois, dû à la flexibilité d'opération de la torche à plasma selon la présente invention, on peut utiliser une source de tension comprise entre 30 et 400 volts et, de prérérence entre 30 à 170 volts sans aucune difficulté, ce qui, pour une puissance désirée égale, permet de réduire de façon inversement proportionnelle l'il ,le,lsilé du courant et, de là, I'impol Lance de l'érosion des éle~tl odes puisque cette érosion est directement liée à l'intensité du courant.
Tel que précédemment indiqué, la torche à plasma selon l'invention peut être utilisée aussi bien pour le dépôt de particules sur un substrat que pour le traitement de particules. Elle peut aussi être utilisée pour le traitement d'un gaz ou d'un mélange de gaz injecté(s) axialement par le même canal que les particules.
Deux modes particuliers de réalisation de l'invention vont maintenant être décrits en se rér~ranl aux dessins annexés dans lesquels:
- la fig. 1 est une vue en coupe schématique d'une torche à plasma selon un premier mode possible de réalisation de l'invention; et - la fig. 2 est une vue en coupe schématique d'une torche à plasma selon un second mode possible de réalisation de l'invention.
Dans l'une et l'autre de ces figures, les mêmes numéros de référence ont ét~ utilisés pour identifier les mêmes éléments.
La torche à plasma illustrée sur la fig. 1 des dessins comprend un support 1 de n'importe quelle structure ayant un axe longitudinal "A", sur lequel sont coaxialement fixées une électrode centrale 3 et une électrode périphérique 5. Tel qu'illustré, les électrodes 3 et 5 sont concentriquement disposées et définissent entre 208~281 elles un passage annulaire 7 débouchant dans une buse de sortie 9 coaxiale à l'axe "A" du support 1.
L'électrode centrale 3 a la forme d'un tronc de cône dont la base 11 s'étend sensiblement au même niveau que l'électrode périphérique 5. La pointe de5 I'électrode cenlra:~ 3 s'étend très aval de l'électrode périphérique par rapport à la direction du gaz plasmagène injecté dans le passage annulaire 7, tel qu'il sera expliqué ci-après. La distance séparant cette pointe de l'arête la plus en aval de l'électrode périphérique est identifiée par la lettre "h" sur la fig. 1. La surface intérieure de l'électrode périphérique 5 est choisie de façon à ce que le passage 10 annulaire 7 défini entre les ~le~ odes 3 et 5 ait la forme d'un tronc de cône débouchant dans la buse de sortie 9.
Des moyens incluant une source de g~ plasmagène 15 ainsi que des cavités ou conduits creusés ou prévus dans le support 1 servent à injecter un gaz plasmagène dans le passage annulaire 7 de façon ~ ce que ce g~ se dirige dans 15 une direction donnée vers la buse de sortie 9. Des moyens constitués par des raccorcls électriques très schématiquement illustrés par la ligne 19 sont également prévus pour relier électriquement les deux électrodes 3 et 5 à une source de tension en courant continu 21 de façon à générer entre celles-ci un arc électrique et ainsi ioniser le g~ plasmagène injecté de façon à former un plasma. Comme on peut 20 I'apprécier, le g~ ainsi injecté et chauffé forme un plasma s'échappe du passage par la buse de sortie 9 sous la forme d'une flamme 23 de certaines vélocité et température.
Des moyens sont prévus pour injecter les g~ ou particules à traiter ou déposer éventuellement à l'aide d'un g~ porteur dans la flamme 23 s'échappant de25 la buse de sortie 9. Ces moyens pour injecter les particules comprennent un tube pour amener les g~ à traiter ou les particules entrâînées par un gaz porteur jusqu'à
un canal d'injection passant dans l'éle~ode centrale 3. Plus précisément, le canal 25 s'étend concentriquement à travers l'électrode ce~ le 3 de façon à déboucher en plein centre de la buse de sortie 9 pour injecter les particules à traiter ou à
30 déposer centralement et coaxialement dans cette buse 9 en plein coeur de la flamme 23, sans indûment i"r~cler les cara~;lérisliques de l'arc électrique qui se trouve très en amont.
9 ~ ~ ~ 42 ~ ~
Tel que précédemment indiqué, ce montage particulier a l'avantage d'assurer une bonne distribution des gaz ou particules dans la flamme puisque ces dernières se trouvent injectés en plein centre d'un tunnel de plasma créé lorsque le g~ plasmagène est injecté dans le passage annulaire 7. Ce montage est également 5 avantageux dans la mesure où les gaz ou particules injectées en plein centre du tunnel de plasma sont "entrâînés" par celui-ci et se trouvent donc parfaitement bien distribués. En outre, ce montage est très avantageux dans la mesure où du fait du positionnement très particulier de l'électrode centrale dont la pointe s'étend très en aval de l'électrode périphérique 5, il n'y a plus aucun risque pour l'arc électrique de 10 venir bloquer le tube d'alimentation ou d'avoir ses caract~ristiques aflectées par les g~ ou particules injectés.
Selon un autre aspect important de l'invention, la torche comprend en outre des moyens 26qui peuvent être constitués par des aimants permanents ou non ou des bobines opérées électriquement, de façon à appliquer un champ 15 magnétique extérieur aux électrodes 3 et 5 qui s'étend dans une direction parallèle au passage annulaire 7 pour entrâîner l'arc électrique en rotation dans le passage 7 entre les électrodes et ainsi réduire l'érosion de ces électrodes tout en assurant un meilleur mixage des g~.
L'entrâînement en rotation de l'arc électrique a plusieurs avantages.
20 Tout d'abord, cet entraînement permet de réduire de façon substantielle les points chauds sur les électrodes et, de là, I'érosion de celles-ci. Cet entrâînement enrotation a également pour effet de générer un anneau de plasma uniforme en tout point autour de l'endroit où les g~ ou particules sont injectés axialement dans la flamme 23, ce qui assure une bonne aspiration des gaz ou particules dans la flamme 25 et ce malgré la viscosité de celle-ci, qui peut être relativement élevée.
La torche à plasma illustrée sur la fig. 1 comprend enfin un circuit de refroidissement à l'eau 27 disposé dans le support 1 pour refroidir celui-ci ainsi que les électrodes 3 et 5 et éventuellement la buse de sortie 9. A ce sujet, on notera que la buse de sortie peut être maintenue chaude ou froide selon le type de matériau30 dont elle est faite. La torche a plasma comprend également au moins une pièce de recouvrement 29 électriquement isolante et thermiquement résistante, qui peut être fait en nitrure de bore, en alumine ou en un autre matériau analogue, cette pièce ,~
,, ~
208~2~i étant disposée en aval des électrodes et de la buse de sortie pour protéger celle-ci.
Tel qu'illustré sur la fig. 1, la buse de sortie 9 est elle-même formée directement dans la pièce de recouvrement isolant 29. Tel qu'illustré sur la fig. 2, la buse de sortie 9 est constituée d'une pièce séparée insérée dans un trou prévu à cet 5 effet dans ce recouvrement isolant 29.
Dans le mode de réalisalion illustré sur la fig. 1, la source de tension 21 est reliée aux électrodes de façon à ce que l'électrode centrale 3 soit la cathode et l'électrode périphérique 5 soit l'anode. Dans ce cas particulier, des essais effectués par la Demanderesse ont montré qu'il était utile de protéger la pointe 13 10 de la cathode 3 à l'aide d'une tête isolante creuse 31 au centre de laquelle débouche le canal d'injection 25.
Dans le mode de réalisation illustré sur la fig. 2, la connexion électrique est faite de façon à ce que l'électrode centrale 3 soit l'anode et l'électrode périphérique 5 soit la cathode. Dans ce dernier cas, il s'est avéré aux essais ne pas 15 être nécessaire de protéger la pointe 13 de l'électrode centrale jouant le rôle d'anode.
Tel que précédemment mentionné, le montage particulier de la torche selon l'invention quel que soit le mode de réalisation illustré, permet avantageusement d'utiliser si désiré des ~le ~lodes en cuivre ou en alliage de cuivre, 20 ce qui rend la torche utilisable avec n'importe quel type de gaz plasmagène. En outre, la tension utilisée peut être beaucoup plus élevée que celle habituellement utilisée pour les torches à plasma. Ainsi, la source de lensiol, 11 peut aller jusqu'à
400 volts dû à la flexibilité d'opération de la torche ce qui, pour une puissance désirée égale, permet de réduire de fa,con inversement proportionnelle l'inlensilé du 25 courant et, de là, I'importance des ,c ll~nomènes d'érosion sur les électrodes.
Bien entendu, diverses modifications pourraient être apportées aux deux modes de réalisation préférés ci-dessus illustrés sans pour autant sortir du cadre de l'invention telle que définie dans les revendications qui suivent. Ainsi, par exemple, il a été décrit ci-dessus que l'électrode centrale est montée sur le support 30 1 de facon à être très en aval de l'électrode périphérique. Ceci est un arrangement 11 208~28~
possible. On pourrait toutefois prévoir une torche où les électrodes seraient déplaçables à l'aide de moyens pneumatiques ou électriques, le positionnement des électrodes n'étant effectuée qu'après "allumage" de l'arc.
Les moyens utilisables pour appliquer un champ magnétique extérieur aux électrodes de façon à entraîner l'arc électrique en rotation peuvent être constitués par des aimants permanents ou non, ou des bobines opérées électriquement de façon à générer le champ magnétique extérieur requis. La façondont de tels aimants ou bobines peuvent être utilisés pour entrâîner en rotation un arc électrique dans une torche à plasma est connu et un exemple de bobines à
champ magnétique variable appliquées à une torche à plasma est décrit en détail dans le brevet américain no 4.683.367 délivré le 28 juillet 1989 au nom de la société
demanderesse. Une description plus approfondie de ces moyens ne s'avère dont pas nécessaire.
1~ Selon un mode de réalisation préféré de l'invention, la buse de sortie est de pr~rére"ce formée dans la pièce de recouvrement isolée et isolante qui peut être fait en nitrure de bore, en alumine ou en tout autre matériau analogue, qui n'est pas conducteur électrique et a une forte rés;slance thermique. En d'autres mots, la pièce de recouvrement peut constituer la buse de sortie, ou simplement servir de20 support à celle-ci si cette buse est constituée par une autre pièce.
De prérérellce, I'élec:t, ode centrale a la forme d'un tronc de cône et le passage annulaire défini entre les élect,ocles de la forme d'un tronc de cône débouchant dans la buse de sortie.
Selon un premier mode de réalisation, les électrodes centrales et 25 périphériques peuvent être respectivement branchées de façon à constituer des anode et cathode.
Selon un second mode de réalisation, les électrodes centrales et périphériques peuvent être branchées de façon à définir respectivement des cathode et anode. Dans un tel cas, il est toutefois utile de protéger la pointe de l'électrode 30 centrale par une tête de recouvrement isolante ayant la forme d'un anneau au centre duquel débouche le passage d'injection des particules.
Les électrodes peuvent etre faites de n'importe quel métal 208gZ81 habituellement utilisé pour ce faire. Toutefois, selon un mode de réalisation tout particulièrement avantageux de l'invention qui résulte du fait que l'érosion estextrêmement réduite, les deux ~le~,odes peuvent avantageusement être faites en cuivre ou en alliage de cuivre. Ceci rend la torche utilisable avec clirrare~ lls types de gaz plasmagène, ce qui n'est pas le cas des électrodes de tungstène qui ne sont habituellement utilisables qu'avec l'hydrogène, I'argon et, dans certains cas, I'azote.
Un autre avantage de la ,~résenle invention est le fait que la tension utilisée peut être beaucoup plus élevée que celle qui est habituellement utilisée des les torches à plasma. Bien s~r, le voltage choisi dépend du type de gaz plasmagène utilisé, de la di~lance entre les électrodes et du courant d'arc.
Toutefois, dû à la flexibilité d'opération de la torche à plasma selon la présente invention, on peut utiliser une source de tension comprise entre 30 et 400 volts et, de prérérence entre 30 à 170 volts sans aucune difficulté, ce qui, pour une puissance désirée égale, permet de réduire de façon inversement proportionnelle l'il ,le,lsilé du courant et, de là, I'impol Lance de l'érosion des éle~tl odes puisque cette érosion est directement liée à l'intensité du courant.
Tel que précédemment indiqué, la torche à plasma selon l'invention peut être utilisée aussi bien pour le dépôt de particules sur un substrat que pour le traitement de particules. Elle peut aussi être utilisée pour le traitement d'un gaz ou d'un mélange de gaz injecté(s) axialement par le même canal que les particules.
Deux modes particuliers de réalisation de l'invention vont maintenant être décrits en se rér~ranl aux dessins annexés dans lesquels:
- la fig. 1 est une vue en coupe schématique d'une torche à plasma selon un premier mode possible de réalisation de l'invention; et - la fig. 2 est une vue en coupe schématique d'une torche à plasma selon un second mode possible de réalisation de l'invention.
Dans l'une et l'autre de ces figures, les mêmes numéros de référence ont ét~ utilisés pour identifier les mêmes éléments.
La torche à plasma illustrée sur la fig. 1 des dessins comprend un support 1 de n'importe quelle structure ayant un axe longitudinal "A", sur lequel sont coaxialement fixées une électrode centrale 3 et une électrode périphérique 5. Tel qu'illustré, les électrodes 3 et 5 sont concentriquement disposées et définissent entre 208~281 elles un passage annulaire 7 débouchant dans une buse de sortie 9 coaxiale à l'axe "A" du support 1.
L'électrode centrale 3 a la forme d'un tronc de cône dont la base 11 s'étend sensiblement au même niveau que l'électrode périphérique 5. La pointe de5 I'électrode cenlra:~ 3 s'étend très aval de l'électrode périphérique par rapport à la direction du gaz plasmagène injecté dans le passage annulaire 7, tel qu'il sera expliqué ci-après. La distance séparant cette pointe de l'arête la plus en aval de l'électrode périphérique est identifiée par la lettre "h" sur la fig. 1. La surface intérieure de l'électrode périphérique 5 est choisie de façon à ce que le passage 10 annulaire 7 défini entre les ~le~ odes 3 et 5 ait la forme d'un tronc de cône débouchant dans la buse de sortie 9.
Des moyens incluant une source de g~ plasmagène 15 ainsi que des cavités ou conduits creusés ou prévus dans le support 1 servent à injecter un gaz plasmagène dans le passage annulaire 7 de façon ~ ce que ce g~ se dirige dans 15 une direction donnée vers la buse de sortie 9. Des moyens constitués par des raccorcls électriques très schématiquement illustrés par la ligne 19 sont également prévus pour relier électriquement les deux électrodes 3 et 5 à une source de tension en courant continu 21 de façon à générer entre celles-ci un arc électrique et ainsi ioniser le g~ plasmagène injecté de façon à former un plasma. Comme on peut 20 I'apprécier, le g~ ainsi injecté et chauffé forme un plasma s'échappe du passage par la buse de sortie 9 sous la forme d'une flamme 23 de certaines vélocité et température.
Des moyens sont prévus pour injecter les g~ ou particules à traiter ou déposer éventuellement à l'aide d'un g~ porteur dans la flamme 23 s'échappant de25 la buse de sortie 9. Ces moyens pour injecter les particules comprennent un tube pour amener les g~ à traiter ou les particules entrâînées par un gaz porteur jusqu'à
un canal d'injection passant dans l'éle~ode centrale 3. Plus précisément, le canal 25 s'étend concentriquement à travers l'électrode ce~ le 3 de façon à déboucher en plein centre de la buse de sortie 9 pour injecter les particules à traiter ou à
30 déposer centralement et coaxialement dans cette buse 9 en plein coeur de la flamme 23, sans indûment i"r~cler les cara~;lérisliques de l'arc électrique qui se trouve très en amont.
9 ~ ~ ~ 42 ~ ~
Tel que précédemment indiqué, ce montage particulier a l'avantage d'assurer une bonne distribution des gaz ou particules dans la flamme puisque ces dernières se trouvent injectés en plein centre d'un tunnel de plasma créé lorsque le g~ plasmagène est injecté dans le passage annulaire 7. Ce montage est également 5 avantageux dans la mesure où les gaz ou particules injectées en plein centre du tunnel de plasma sont "entrâînés" par celui-ci et se trouvent donc parfaitement bien distribués. En outre, ce montage est très avantageux dans la mesure où du fait du positionnement très particulier de l'électrode centrale dont la pointe s'étend très en aval de l'électrode périphérique 5, il n'y a plus aucun risque pour l'arc électrique de 10 venir bloquer le tube d'alimentation ou d'avoir ses caract~ristiques aflectées par les g~ ou particules injectés.
Selon un autre aspect important de l'invention, la torche comprend en outre des moyens 26qui peuvent être constitués par des aimants permanents ou non ou des bobines opérées électriquement, de façon à appliquer un champ 15 magnétique extérieur aux électrodes 3 et 5 qui s'étend dans une direction parallèle au passage annulaire 7 pour entrâîner l'arc électrique en rotation dans le passage 7 entre les électrodes et ainsi réduire l'érosion de ces électrodes tout en assurant un meilleur mixage des g~.
L'entrâînement en rotation de l'arc électrique a plusieurs avantages.
20 Tout d'abord, cet entraînement permet de réduire de façon substantielle les points chauds sur les électrodes et, de là, I'érosion de celles-ci. Cet entrâînement enrotation a également pour effet de générer un anneau de plasma uniforme en tout point autour de l'endroit où les g~ ou particules sont injectés axialement dans la flamme 23, ce qui assure une bonne aspiration des gaz ou particules dans la flamme 25 et ce malgré la viscosité de celle-ci, qui peut être relativement élevée.
La torche à plasma illustrée sur la fig. 1 comprend enfin un circuit de refroidissement à l'eau 27 disposé dans le support 1 pour refroidir celui-ci ainsi que les électrodes 3 et 5 et éventuellement la buse de sortie 9. A ce sujet, on notera que la buse de sortie peut être maintenue chaude ou froide selon le type de matériau30 dont elle est faite. La torche a plasma comprend également au moins une pièce de recouvrement 29 électriquement isolante et thermiquement résistante, qui peut être fait en nitrure de bore, en alumine ou en un autre matériau analogue, cette pièce ,~
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208~2~i étant disposée en aval des électrodes et de la buse de sortie pour protéger celle-ci.
Tel qu'illustré sur la fig. 1, la buse de sortie 9 est elle-même formée directement dans la pièce de recouvrement isolant 29. Tel qu'illustré sur la fig. 2, la buse de sortie 9 est constituée d'une pièce séparée insérée dans un trou prévu à cet 5 effet dans ce recouvrement isolant 29.
Dans le mode de réalisalion illustré sur la fig. 1, la source de tension 21 est reliée aux électrodes de façon à ce que l'électrode centrale 3 soit la cathode et l'électrode périphérique 5 soit l'anode. Dans ce cas particulier, des essais effectués par la Demanderesse ont montré qu'il était utile de protéger la pointe 13 10 de la cathode 3 à l'aide d'une tête isolante creuse 31 au centre de laquelle débouche le canal d'injection 25.
Dans le mode de réalisation illustré sur la fig. 2, la connexion électrique est faite de façon à ce que l'électrode centrale 3 soit l'anode et l'électrode périphérique 5 soit la cathode. Dans ce dernier cas, il s'est avéré aux essais ne pas 15 être nécessaire de protéger la pointe 13 de l'électrode centrale jouant le rôle d'anode.
Tel que précédemment mentionné, le montage particulier de la torche selon l'invention quel que soit le mode de réalisation illustré, permet avantageusement d'utiliser si désiré des ~le ~lodes en cuivre ou en alliage de cuivre, 20 ce qui rend la torche utilisable avec n'importe quel type de gaz plasmagène. En outre, la tension utilisée peut être beaucoup plus élevée que celle habituellement utilisée pour les torches à plasma. Ainsi, la source de lensiol, 11 peut aller jusqu'à
400 volts dû à la flexibilité d'opération de la torche ce qui, pour une puissance désirée égale, permet de réduire de fa,con inversement proportionnelle l'inlensilé du 25 courant et, de là, I'importance des ,c ll~nomènes d'érosion sur les électrodes.
Bien entendu, diverses modifications pourraient être apportées aux deux modes de réalisation préférés ci-dessus illustrés sans pour autant sortir du cadre de l'invention telle que définie dans les revendications qui suivent. Ainsi, par exemple, il a été décrit ci-dessus que l'électrode centrale est montée sur le support 30 1 de facon à être très en aval de l'électrode périphérique. Ceci est un arrangement 11 208~28~
possible. On pourrait toutefois prévoir une torche où les électrodes seraient déplaçables à l'aide de moyens pneumatiques ou électriques, le positionnement des électrodes n'étant effectuée qu'après "allumage" de l'arc.
Claims (7)
1. Torche à plasma pour le traitement de gaz ou de particules ou le dépôt de particules sur un substrat, du type comprenant:
- un support ayant un axe longitudinal;
- une électrode centrale et une électrode périphérique coaxialement fixées à même le support, lesdites électrodes étant concentriquement disposées et définissant entre elles un passage annulaire débouchant dans une buse de sortie coaxiale au support;
- des moyens pour injecter un gaz plasmagène dans le passage annulaire de façon à ce qu'il se dirige dans une direction donnée vers la buse de sortie;
- des moyens pour relier électriquement les deux électrodes à une source de tension en courant continu pour générer entre celles-ci un arc électrique et ainsi ioniser le gaz plasmagène de façon à former un plasma de caractéristiques données, qui s'échappe du passage par la buse de sortie sous la forme d'une flamme d'une certaine vélocité et température; et - des moyens pour injecter les gaz ou particules à traiter ou déposer dans la flamme s'échappant de la buse de sortie, ces moyens pour injecter les particules comprenant un canal d'injection coaxial à l'électrode centrale, ce canal s'étendant concentriquement à ladite électrode centrale et débouchant en plein centre de la buse de sortie pour ainsi injecter les particules à traiter ou déposer centralement et coaxialement dans ladite buse de sortie en plein coeur de la flamme, sans indûment affecter les caractéristiques du plasma.
caractérisé en ce que:
- en opération, l'électrode centrale est disposée en aval de ladite électrode périphérique par rapport à la direction du gaz plasmagène ce qui évite tout blocage du canal d'injection par l'arc électrique; et - ladite torche comprend en outre des moyens montés à même le support pour appliquer un champ magnétique extérieur aux électrodes et s'étendant dans une direction parallèle au passage annulaire de façon à entraîner l'arc électrique en rotation dans ledit passage entre les électrodes et ainsi réduire l'érosion desdites électrodes tout en assurant un meilleur mixage des gaz.
- un support ayant un axe longitudinal;
- une électrode centrale et une électrode périphérique coaxialement fixées à même le support, lesdites électrodes étant concentriquement disposées et définissant entre elles un passage annulaire débouchant dans une buse de sortie coaxiale au support;
- des moyens pour injecter un gaz plasmagène dans le passage annulaire de façon à ce qu'il se dirige dans une direction donnée vers la buse de sortie;
- des moyens pour relier électriquement les deux électrodes à une source de tension en courant continu pour générer entre celles-ci un arc électrique et ainsi ioniser le gaz plasmagène de façon à former un plasma de caractéristiques données, qui s'échappe du passage par la buse de sortie sous la forme d'une flamme d'une certaine vélocité et température; et - des moyens pour injecter les gaz ou particules à traiter ou déposer dans la flamme s'échappant de la buse de sortie, ces moyens pour injecter les particules comprenant un canal d'injection coaxial à l'électrode centrale, ce canal s'étendant concentriquement à ladite électrode centrale et débouchant en plein centre de la buse de sortie pour ainsi injecter les particules à traiter ou déposer centralement et coaxialement dans ladite buse de sortie en plein coeur de la flamme, sans indûment affecter les caractéristiques du plasma.
caractérisé en ce que:
- en opération, l'électrode centrale est disposée en aval de ladite électrode périphérique par rapport à la direction du gaz plasmagène ce qui évite tout blocage du canal d'injection par l'arc électrique; et - ladite torche comprend en outre des moyens montés à même le support pour appliquer un champ magnétique extérieur aux électrodes et s'étendant dans une direction parallèle au passage annulaire de façon à entraîner l'arc électrique en rotation dans ledit passage entre les électrodes et ainsi réduire l'érosion desdites électrodes tout en assurant un meilleur mixage des gaz.
2. Torche à plasma selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle comprend également:
- un circuit de refroidissement à l'eau disposé dans le support pour refroidir ce support ainsi que les électrodes; et - au moins une pièce de recouvrement électriquement isolante et thermiquement résistante, disposée en aval desdites électrodes et de la buse de sortie pour protéger celles-ci.
- un circuit de refroidissement à l'eau disposé dans le support pour refroidir ce support ainsi que les électrodes; et - au moins une pièce de recouvrement électriquement isolante et thermiquement résistante, disposée en aval desdites électrodes et de la buse de sortie pour protéger celles-ci.
3. Torche à plasma selon la revendication 2, caractérisée en ce que la buse de sortie est formée dans le recouvrement isolant.
4. Torche à plasma selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que l'électrode centrale a la forme d'un tronc de cône, et en ce que le passage annulaire défini entre les électrodes a la forme d'un tronc cône débouchant dans la buse de sortie.
5. Torche à plasma selon la revendication 4, caractérisée en ce que les électrodes centrale et périphérique sont respectivement des anode et cathode.
6. Torche à plasma selon la revendication 4, caractérisée en ce que les électrodes centrale et périphérique sont respectivement des cathode et anode, et en ce que l'électrode centrale comprend une tête isolante creuse au centre delaquelle débouche le canal d'injection.
7. Torche à plasma selon l'une des revendications 1 à 3, 5 et 6, caractérisée en ce que les deux électrodes sont en cuivre ou alliage de cuivre.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CA002084281A CA2084281C (fr) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | Torche a plasma pour deposition avec injection centrale |
| US07/983,739 US5298714A (en) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | Plasma torch for the treatment of gases and/or particles and for the deposition of particles onto a substrate |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CA002084281A CA2084281C (fr) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | Torche a plasma pour deposition avec injection centrale |
| US07/983,739 US5298714A (en) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | Plasma torch for the treatment of gases and/or particles and for the deposition of particles onto a substrate |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CA2084281A1 CA2084281A1 (fr) | 1994-06-02 |
| CA2084281C true CA2084281C (fr) | 1999-07-06 |
Family
ID=25675705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CA002084281A Expired - Lifetime CA2084281C (fr) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | Torche a plasma pour deposition avec injection centrale |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5298714A (fr) |
| CA (1) | CA2084281C (fr) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5420391B1 (en) * | 1994-06-20 | 1998-06-09 | Metcon Services Ltd | Plasma torch with axial injection of feedstock |
| EP0747161A1 (fr) * | 1995-06-07 | 1996-12-11 | Daido Tokushuko Kabushiki Kaisha | Méthode et appareil de découpe plasma pour structures en béton |
| CH690408A5 (de) * | 1996-02-23 | 2000-08-31 | Mgc Plasma Ag | Plasmabrenner für übertragenen Lichtbogen. |
| US6053123A (en) * | 1998-04-29 | 2000-04-25 | Ball Semiconductor, Inc. | Plasma-assisted metallic film deposition |
| DE19930925B4 (de) * | 1998-07-06 | 2011-05-05 | Laure, Stefan, Dr. | Plasmagenerator |
| US7591957B2 (en) | 2001-01-30 | 2009-09-22 | Rapt Industries, Inc. | Method for atmospheric pressure reactive atom plasma processing for surface modification |
| US7510664B2 (en) * | 2001-01-30 | 2009-03-31 | Rapt Industries, Inc. | Apparatus and method for atmospheric pressure reactive atom plasma processing for shaping of damage free surfaces |
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| US6478234B1 (en) | 2001-06-18 | 2002-11-12 | Northrop Grumman Corporation | Adjustable injector assembly for melted powder coating deposition |
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| NO326571B1 (no) * | 2005-06-16 | 2009-01-12 | Sinvent As | Fremgangsmate og reaktor for fremstilling av karbon nanoror |
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| BR112012003369A2 (pt) * | 2009-08-14 | 2016-02-16 | Univ Michigan | síntese de pulverização térmica direta de componentes de baterias de íons de lítio. |
| DE202010016599U1 (de) * | 2010-12-15 | 2012-03-16 | Leoni Bordnetz-Systeme Gmbh | Vorrichtung zum Aufspritzen einer Struktur aus leitfähigem Material auf ein Substrat |
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| BR102012023179A2 (pt) * | 2012-09-14 | 2014-11-11 | Roberto Nunes Szente | Processo termo mecânico para perfuração |
| US9433073B2 (en) | 2014-01-28 | 2016-08-30 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Induction devices and methods of using them |
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| JP6920676B2 (ja) * | 2017-04-19 | 2021-08-18 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 微粒子製造装置および微粒子製造方法 |
| WO2023201115A1 (fr) * | 2022-04-15 | 2023-10-19 | Solid Power Operating, Inc. | Système plasma pour produire un matériau d'électrolyte à l'état solide |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CA1105569A (fr) * | 1977-10-18 | 1981-07-21 | Ivan A. Kuznetsov | Traduction non-disponible |
| CA1248185A (fr) * | 1985-06-07 | 1989-01-03 | Michel G. Drouet | Methode et systeme de controle de l'erosion des electrodes d'une torche a plasma |
| FR2609358B1 (fr) * | 1987-01-07 | 1991-11-29 | Electricite De France | Torche a plasma a pied d'arc amont mobile longitudinalement et procede pour maitriser son deplacement |
| US4964568A (en) * | 1989-01-17 | 1990-10-23 | The Perkin-Elmer Corporation | Shrouded thermal spray gun and method |
| US5148986A (en) * | 1991-07-19 | 1992-09-22 | The Perkin-Elmer Corporation | High pressure thermal spray gun |
-
1992
- 1992-12-01 CA CA002084281A patent/CA2084281C/fr not_active Expired - Lifetime
- 1992-12-01 US US07/983,739 patent/US5298714A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5298714A (en) | 1994-03-29 |
| CA2084281A1 (fr) | 1994-06-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EEER | Examination request | ||
| MKEX | Expiry |
Effective date: 20121203 |