CA2468139C - Blindages anti-diaphonie electrique pour micromiroirs mem - Google Patents

Abstract

Miroir microélectromécanique (MEM) pouvant être utilisé dans un commutateur optique. Un dispositif MEM de type « piano » comprend une plate-forme allongée fixée de façon pivotante en son milieu par une charnière de torsion. La partie mitoyenne de la plate-forme et la charnière de torsion ont une largeur combinée inférieure à la largeur du reste de la plate-forme, où plusieurs de ces dispositifs MEM « piano » peuvent être placés les uns à côté des autres et de façon à pivoter autour du même axe, en n'ayant qu'une lame d'air relativement petite entre eux. Selon le meilleur mode de réalisation de la présente invention, spécialement conçue pour les applications de commutation en longueur d'onde, il est possible d'augmenter la portée du mouvement arqué d'un miroir en permettant à la plate-forme de pivoter autour de deux axes perpendiculaires. Le miroir MEM, selon le meilleur mode de réalisation de la présente invention, permet au miroir de s'incliner par rapport à deux axes perpendiculaires. Cela se fait par l'utilisation d'un ensemble d'anneaux de cardan « interne », veillant ainsi à ce que plusieurs miroirs adjacents aient un taux de remplissage élevé, sans avoir à recourir à des processus de fabrication compliqués et coûteux. Pour limiter la quantité d'écho magnétique électrique entre les miroirs adjacents, des écrans peuvent être prévus entre les électrodes. Les écrans peuvent s'allonger vers le haut à partir du substrat ou vers le bas à partir de la sous-surface des miroirs. Lorsque les deux types d'écrans sont prévus, un ensemble est décalé par rapport à l'autre pour empêcher tout calage et pour permettre un effet de chevauchement, ce qui améliore la protection.