CA2501012C - Reseau entrelace de micro-miroirs mems de type piano - Google Patents

Reseau entrelace de micro-miroirs mems de type piano Download PDF

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Abstract

Dispositif de micro-miroirs microélectromécaniques (MEM) conçu pour être utilisé dans un commutateur optique. Des dispositifs de MEM de type « piano » comprennent une plate-forme allongée fixée de façon pivotante près du milieu par une charnière en torsion. La partie mitoyenne de la plate-forme et la charnière de torsion présentent une largeur combinée inférieure à la largeur du reste de la plate-forme. Ce faisant, plusieurs de ces dispositifs de MEM de type « piano » peuvent être adjacents les uns aux autres et être fixés de façon pivotante autour du même axe, séparés seulement d'une couche d'air relativement petite. Selon le mode de réalisation préféré de la présente invention, l'espace entre les électrodes est accru sans effet sur le facteur de remplissage des miroirs, par l'entrelacement de deux ensembles de plates-formes de basculement. Ce faisant, les parties réfléchissantes des deux ensembles de plates-formes de basculement sont adjacentes l'une à l'autre alors que les parties non réfléchissantes des plates-formes adjacentes sont éloignées l'une de l'autre.
CA2501012A 2004-04-02 2005-03-16 Reseau entrelace de micro-miroirs mems de type piano Expired - Lifetime CA2501012C (fr)

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US6480320B2 (en) * 2001-02-07 2002-11-12 Transparent Optical, Inc. Microelectromechanical mirror and mirror array

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