CH213460A - Vakuumpumpen-Anordnung, insbesondere für Quecksilberdampf-Ventile. - Google Patents

Vakuumpumpen-Anordnung, insbesondere für Quecksilberdampf-Ventile.

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CH213460A
CH213460A CH213460DA CH213460A CH 213460 A CH213460 A CH 213460A CH 213460D A CH213460D A CH 213460DA CH 213460 A CH213460 A CH 213460A
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Inventor
Oerlikon Maschinenfabrik
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Oerlikon Maschf
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F9/00—Diffusion pumps
    • F04F9/04—Diffusion pumps in combination with fore pumps, e.g. use of isolating valves

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Description


      Vaknumpnmpen-Anordnung,    insbesondere für     Quecksilberdampf-Yentile.       Es ist bekannt, zwecks Erzeugung der für       Quecksilberdampfventile    notwendigen Vakua  zwei in Reihe geschaltete Pumpen, eine     Vor-          und    eine Hochvakuumpumpe, zu verwenden.  Dabei ist meistens die eine Pumpe eine       Quecksilberdampfstrahlpumpe    und die andere  Pumpe eine mechanische Rotationspumpe.  Versuche, die mechanische Rotationspumpe  durch eine     statische    Pumpe (Quecksilber  dampfstrahlpumpe oder     Flüssigkeitsstrahl-          pumpe)    zu ersetzen, haben nicht zum Ziel ge  führt.

   Die     Quecksilberdampfstrahlpumpe,    die  gegen die     Atmosphäre    arbeiten soll, eignet  sich     aus    verschiedenen Gründen nicht hierzu,  insbesondere infolge der leicht auftretenden  Verschmutzung des Arbeitsmediums bei Kon  takt mit den Abgasen des     Quecksilberdampf-          ventils    und mit der     Aussenluft.        Strahlpumpen     mit     reinem    Quecksilber haben kleine Saug  leistung und benötigen eine nicht einfache  Pumpenanordnung.

       Strahlpumpen,    mit Was  ser betrieben, sind vom Druckwasser ab  hängig und erreichen besonders bei höheren  Wassertemperaturen, wie sie im Sommer auf-    treten, einen für den Zweck nicht genügen  den Druck.  



  Es     kann    durch     Kombination    einer Reihe  von Massnahmen die Vakuumerzeugung für       Quecksilberdampfventile    mittels     Strahlpum-          pen    erfolgen. Dabei werden Saugleistungen  erreicht, die sowohl das     Auspumpen    der Ge  fässe mit Atmosphärendruck auf hohes Va  kuum, als auch die einwandfreie Betriebs  führung unter jedem     auftretenden    Betriebs  zustand ermöglichen.  



  Bei der den Gegenstand der     Erfindung     bildenden     Vakuumpumpenanordnung    wird als  Vorpumpe eine     Flüssigkeitsstrahlpumpe    ver  wendet, die erfindungsgemäss durch eine Mo  torpumpe in geschlossenem Kreislauf gespeist       wird.    Als Betriebsmittel wird zweckmässiger  weise eine Flüssigkeit verwendet, die auch  bei einer     Höchstbetriebstemperatur        einen    so  niedrigen Dampfdruck aufweist, dass die       Hochvakuumerzeugung    mittels einer in Reihe  mit der Vorpumpe liegenden     Mehrstufen-          Quecksilberdampfstrahlpumpe    erfolgen kann.

    Die Fördermenge der Motorpumpe wird           zweckmässigerweise    so hoch gewählt, dass die       Strahlpumpe    eine grosse Saugleistung er  reicht. Unter     Umständen    können mehrere       Strahlpumpen    parallelgeschaltet sein.  



  Es ist vorteilhaft, die     Motorpumpe    als       Zentrifugalpumpe    auszubilden, wobei eine       stopfbüchsenlose    Tauchpumpe die einfachste  und sicherste Lösung ergibt. Die Motorpumpe  kann aber auch zum Beispiel eine     Zahnrad-          oder    Schraubenpumpe sein.  



  Mit Vorteil wird ein leichtflüssiges 01       verwendet,    und zwar ein 01, das bei<B>50'</B> C  etwa 1 bis<B>1,5'</B>     Engler    aufweist und dabei  Dampfdrücke von unter 0,1 mm Quecksilber  säule besitzt. Es wird dadurch mit Leichtig  keit ein     Vorvakuum    von unter 1 bis 0,5 mm  Quecksilbersäule erzeugt, das in Verbindung  mit einer     mehrstufigen        Queeksilberdampf-          pumpe    die Erzielung des gewünschten Hoch  vakuums von mehr als     2/,00o    mm Quecksilber  säule ermöglicht.  



       Dis    Anordnung bietet auch dann, wenn  eine     Zentrifugalpumpe    vorhanden ist, grosse  Vorteile gegenüber einer solchen mit rotie  render     Schieberpumpe    üblicher Bauart. Die  in 01 laufende     Zentrifugalpumpe    hat prak  tisch keine Abnützung, um so mehr als die  selbe als     stopfbüchsenlose    Tauchpumpe aus  gebildet werden kann. Das Wegfallen der       Ventile    und aufeinander schleifender und  zum Teil hin und her     gehender    Teile bietet  Vorteile. Infolge der geringen Energieauf  nahme und des Fehlens jeglicher Abnützung  kann die     Olstrahlpumpe    dauernd in Betrieb  bleiben.

   Alle Steuerapparate wie Zeitschalter,       Kontaktvakuummeter    usw. fallen weg. Die  Pumpe ist praktisch geräuschlos. Der vor  handene     Oldruck    kann ohne weiteres, falls       notwendig.    zur Steuerung eines Vakuum  abschlusses dienen.  



  Eine weitere Vereinfachung kann da  durch erreicht werden, dass der     raschlaufende     Antriebsmotor mit einem zur Kühlung der       Hochvakuumdampfstrahlpumpe    durch Luft  dienenden Ventilator versehen wird.  



  Wird die Hochvakuumpumpe mittels der       Pumpenflüssigkeit    der Vorpumpe     gekühlt,     dann ist eine Anordnung zu     treffen,    die eine    Kühlung der     Vorpumpenflüssigkeit    durch  Luft bewirkt. Eine einfache Lösung bietet  der     unmittelbare    Einbau der Hochvakuum  pumpe mit den zu kühlenden Teilen in den       Flüssigkeitsbehälter    der Vorpumpe, wobei  dieser Behälter Kühleinrichtungen besitzen  kann, die vom     Ventilator    Kühlluft erhalten.  



  Zwecks Kühlung der Pumpenflüssigkeit  kann     letztere    allenfalls durch einen separaten  Kühler gedrückt werden, der bei gezwunge  nem Umlauf der Flüssigkeit klein gehalten  werden kann. Die Flüssigkeit wird vorzugs  weise parallel zur     Strahlpumpe    abgezweigt.  



  Sollen höhere     Vorvakua    als     die    oben ge  nannten erreicht werden, kann man zwei     Flüs-          sigkeitsstrahlpumpen    hintereinander schal  ten. Es muss dann jede dieser Pumpen     einen          separaten    Flüssigkeitskreislauf und ein Pum  penrad besitzen, wobei die     Betriebsflüssigkeit     der zweiten Stufe dauernd unter Vakuum  steht und so     entltiftet    und getrocknet wird.  



  Werden     Spezialöle        verwendet,    so können  in dieser Weise Drücke von weniger als       1/00o    mm Quecksilbersäule erreicht werden.  Da es jedoch einfacher ist, mit mehreren Stu  fen in der     Dampfstrahlpumpe    zu     arbeiten,    ist  diese Lösung nur für Sonderzwecke inter  essant, wo man auf eine     Quecksilberdampf-          strahlpumpe    verzichten     muss.     



       Damit    die Viskosität des 01s gleichmässig  bleibt, empfiehlt es sich, den     Olbehälter    wäh  rend derjenigen Zeit zu heizen, in welcher die  Pumpe ausser Betrieb ist. Wird die Hoch  vakuumpumpe mit dem gleichen Medium ge  kühlt, so     ergibt    sich     selbsttätig    die er  wünschte Heizung der     Strahlpumpenflüssig-          keit.     



  In der beiliegenden, schematischen Zeich  nung, die im Schnitt ein Ausführungsbeispiel  des     Erfindungsgegenstandes    zeigt, ist 1 der  Antriebsmotor, 2 der Ölbehälter, 8 das Zen  trifugalpumpenrad, 4 das Pumpengehäuse, 5  die Strahldüse, 6 die     Saugdüse    und 7 die  Saugleitung. 8 sind     Ölrückschlagventile.    9 ist  die     Vorvakuumleitung,    10 ein     Barometerver-          schluss,    11 ein     Ventilator,    der auf der Welle  des Motors 1 sitzt. 12 ist die Quecksilber-           dampfstrahlpumpe,    13 ein zugehöriger Heiz  körper und 14 die     Hochvakuumansaugleitimg.     



  Es ist notwendig, dafür zu sorgen, dass  die von der     Strahlpumpe    geförderte Gas  menge aus dem 01 ausgeschieden wird, bevor  sie     wieder    in die     Zentrifugalpumpe        eintritt.     



  Es ist zweckmässig, die Motorpumpe am  Boden des Behälters ansaugen zu lassen und  eine Schikane 15     vorzusehen,    die das aus der       Strahlpumpe    austretende luftgefüllte 01 an  die Oberfläche fördert.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH: Vakuumpumpenanordnung, insbesondere für Quecksilberdampfventile, bestehend aus einer Quecksilberdampfstrahlpumpe in Reihe mit einer Flüssigkeitsstrahlpumpe, dadurch gekennzeichnet, dass letztere mittels einer Motorpumpe in geschlossenem Kreislauf ge speist wird. UNTERANSPRÜCHE: 1. Vakuumpumpenanordnung nach Pa tentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Motorpumpe eine Zentrifugalpumpe ist.
    2. Vakuumpumpenanordnung nach Pa tentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Motorpumpe eine stopfbüchsenlose Tauch pumpe ist. 3. Vakuumpumpenanordnung nach Pa tentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Betriebsflüssigkeit bei hohen Betriebs temperaturen einen so niedrigen Dampfdruck aufweist, dass eine mehrstufige Quecksilber dampfstrahlpumpe als Hochvakuumpumpe verwendet werden kann. 4.
    Vakuumpumpenanordnung nach Pa tentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Betriebsflüssigkeit ein 01 mit einer Vis kosität von höchstens 1,5 Engler bei<B>50'</B> C und einem Dampfdruck unter 1/I" mm Queck silbersäule ist. 5. Vakuumpumpenanordnung nach Pa tentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Vakuumabschluss mittels der Druckflüs sigkeit der Motorpumpe bewirkt wird. 6. Vakuumpumpenanordnung nach Pa tentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Antriebsmotor der Motorpumpe einen Ventilator antreibt, der die Quecksilber dampfpumpe kühlt.
    7. Vakuumpumpenanordnung nach Pa- tentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Quecksilberdampfpumpe mittels der Pum penflüssigkeit gekühlt wird. B. Vakuumpumpenanordnung nach Pa tentanspruch und Unteranspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Quecksilberdampf pumpe im Flüssigkeitsbehälter eingebaut ist. 9. Vakuumpumpsnanordnung nach Pa tentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass eine Einrichtung vorhanden ist zur Aus scheidung der Luftblasen aus der Betriebs flüssigkeit vor dem Wiedereintritt in die Pumpe.
CH213460D 1940-04-13 1940-04-13 Vakuumpumpen-Anordnung, insbesondere für Quecksilberdampf-Ventile. CH213460A (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2722371A (en) * 1951-09-17 1955-11-01 Edwards High Vacuum Ltd Vacuum pumping apparatus

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US2722371A (en) * 1951-09-17 1955-11-01 Edwards High Vacuum Ltd Vacuum pumping apparatus

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