CH334121A - Einstellvorrichtung für im Strahlengang von Korpuskularstrahlapparaten, insbesondere Elektronenmikroskopen, befindliche Blenden - Google Patents

Einstellvorrichtung für im Strahlengang von Korpuskularstrahlapparaten, insbesondere Elektronenmikroskopen, befindliche Blenden

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CH334121A
CH334121A CH334121DA CH334121A CH 334121 A CH334121 A CH 334121A CH 334121D A CH334121D A CH 334121DA CH 334121 A CH334121 A CH 334121A
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CH
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adjustment device
electron microscopes
particular electron
corpuscular
beam path
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English (en)
Inventor
Hahn Eberhard
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Zeiss Jena Veb Carl
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/09—Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
CH334121D 1956-01-20 1955-10-31 Einstellvorrichtung für im Strahlengang von Korpuskularstrahlapparaten, insbesondere Elektronenmikroskopen, befindliche Blenden CH334121A (de)

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GB207456A GB816682A (en) 1956-01-20 Improvements in adjusting devices for diaphragms situated in the ray path of corpuscular radiation apparatus especially electron microscopes

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Publication Number Publication Date
CH334121A true CH334121A (de) 1958-11-15

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ID=9733130

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CH334121D CH334121A (de) 1956-01-20 1955-10-31 Einstellvorrichtung für im Strahlengang von Korpuskularstrahlapparaten, insbesondere Elektronenmikroskopen, befindliche Blenden

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NL110086C (de) 1964-12-15
FR1192909A (fr) 1959-10-29

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