CH336135A - Einrichtung zur Strahlzentrierung bei elektrostatischen Elektronenmikroskopen - Google Patents

Einrichtung zur Strahlzentrierung bei elektrostatischen Elektronenmikroskopen

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CH336135A
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CH
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beam centering
electrostatic electron
electrostatic
centering
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Hahn Eberhard
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Zeiss Jena Veb Carl
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
    • H01J37/1471—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path for centering, aligning or positioning of ray or beam

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
CH336135D 1955-06-21 1955-12-28 Einrichtung zur Strahlzentrierung bei elektrostatischen Elektronenmikroskopen CH336135A (de)

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DEV9077A DE1035814B (de) 1955-06-21 1955-06-21 Verfahren zur Justierung des Strahlenbuendels in einem elektrostatischen Elektronenmikroskop

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CH336135A true CH336135A (de) 1959-02-15

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE892351C (de) * 1941-03-28 1953-10-05 Aeg UEbermikroskop mit elektrostatischen Hochspannungslinsen
DE907331C (de) * 1951-03-06 1954-03-25 Sueddeutsche Lab G M B H Einrichtung zum Erzeugen einer zusaetzlichen Regelspannung zu einer hohen Gleichspannung zum Veraendern der Brennweite elektrostatischer Linsen in elektronenoptischen Geraeten

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DE1035814B (de) 1958-08-07

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