CH334815A - Verfahren zur Behandlung der Oberfläche eines Halbleitkörpers - Google Patents

Verfahren zur Behandlung der Oberfläche eines Halbleitkörpers

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CH334815A
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    • C30B31/04Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor by contacting with diffusion materials in the liquid state
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