CH336517A - Regeleinrichtung für elektrostatisch wirkende Anordnungen zur Kompensation des axialen Astigmatismus in Korpuskularstrahlapparaten - Google Patents

Regeleinrichtung für elektrostatisch wirkende Anordnungen zur Kompensation des axialen Astigmatismus in Korpuskularstrahlapparaten

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CH336517A
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CH
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compensate
control device
beam apparatus
corpuscular beam
axial astigmatism
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English (en)
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Hahn Eberhard
Protze Kurt
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Zeiss Jena Veb Carl
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators

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