CH364046A - Elektronenlinsenanordnung in einem Elektronenstrahlgerät - Google Patents

Elektronenlinsenanordnung in einem Elektronenstrahlgerät

Info

Publication number
CH364046A
CH364046A CH4963357A CH4963357A CH364046A CH 364046 A CH364046 A CH 364046A CH 4963357 A CH4963357 A CH 4963357A CH 4963357 A CH4963357 A CH 4963357A CH 364046 A CH364046 A CH 364046A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
deflection
electron
electrodes
lens arrangement
electron lens
Prior art date
Application number
CH4963357A
Other languages
English (en)
Inventor
Gordon Cooper Howard
Ernest Hines Marion
Original Assignee
Western Electric Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Western Electric Co filed Critical Western Electric Co
Publication of CH364046A publication Critical patent/CH364046A/de

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/46Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
    • H01J29/58Arrangements for focusing or reflecting ray or beam
    • H01J29/62Electrostatic lenses
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/46Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
    • H01J29/56Arrangements for controlling cross-section of ray or beam; Arrangements for correcting aberration of beam, e.g. due to lenses
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/46Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
    • H01J29/70Arrangements for deflecting ray or beam
    • H01J29/72Arrangements for deflecting ray or beam along one straight line or along two perpendicular straight lines
    • H01J29/74Deflecting by electric fields only

Landscapes

  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)

Description


      Elektronenlinsenanordnung    in einem     Elektronenstrahlgerät       Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine       Elektronenlinsenanordnung    in einem     Elektronen-          strahlgerät,    mit Korrekturmitteln, welche einer     De-          fokussierung    des Strahls bei verschiedenen     Ablenk-          winkeln    entgegenwirken,

   wobei die     Elektronenlinsen-          anordnung    zwischen der Elektronenquelle und der       Ablenkvorrichtung    angebracht ist und ein gleich  mässig kleiner     Kathodenstrahlfleck    auf dem Auf  fangschirm bei beliebiger     Strahlablenkung    erzeugt  wird und wobei die     Elektronenlinsenanordnung    ein  Paar Elektroden für die Erzeugung einer sphärischen  Linse enthält.  



  Beim Betrieb von Kathodenstrahlröhren wird ein  Elektronenstrahl von gewünschtem Querschnitt auf  einen Auffangschirm gerichtet, auf welchem die auf  treffenden Elektronen,<B>je</B> nach der gewünschten Ver  wendungsart, einen visuellen oder elektrischen Ein  druck hinterlassen. Hierbei wird der Elektronenstrahl  meistens durch geeignete elektrostatische oder elek  tromagnetische Mittel abgelenkt, und trifft auf dem       Auffangsschirm    ein bestimmtes aus einer Vielzahl  möglicher Flächenelemente, deren jedes ein be  stimmtes Ausgangssignal liefert. Bei einer derartigen  Ablenkung treten schwierige Probleme auf, wenn der  kleinstmögliche Querschnitt und genau gleiche Ge  stalt des Querschnitts des Elektronenstrahls an jedem  einzelnen     Auftreffpunkt    verlangt wird.  



       gehende        Auch        Elektronenstrahl        wenn        der        von        der        richtig        Elektronenkanone        auf        den        Mittelpunkt        aus-          messers        des        Auffangschirmes        fokussiert        ist,

          als        tritt        Kreisscheibe        bei        der        Ablenkung        kleinen        Durch-        des     Strahls aus dem Mittelpunkt des Schirmes eine     un-          runde    Vergrösserung infolge     Defokussierung    des  Strahls auf. Dieser Effekt zeigt sich bei elektro  statischer Ablenkung stärker als bei magnetischer    Ablenkung.

   Ein gewisses Ausmass solcher     Ablenk-          fehler    ist in vielen Anwendungen zulässig und kann  hierfür mittels bekannter Korrekturverfahren auf den  höchstzulässigen Betrag beschränkt werden. Diese  Korrekturverfahren verwenden meist verschieden  artige     ElektronenÜnsen    und Kombinationen von  solchen Elektronenlinsen mit einer dynamischen  Korrektur, bei welchen das mittlere Potential eines       Ablenkplattenpaares    in Abhängigkeit von einer nicht  linearen Funktion der     Ablenkspannung    relativ zu  den Elektronenlinsen verändert werden kann.

   Durch  derartige     Korrektionsverfahren    wird meist     die.    Ver  zerrung in der einen Richtung vermindert, jedoch  ergibt sich gewöhnlich eine Verzerrung in einer  anderen Richtung, welche einen Teil der     Gesamt-          korrektion    wieder aufhebt. Bei Geräten, welche eine  ganz gleiche Steuerung eines Elektronenstrahls von  extrem kleinem Querschnitt verlangen, wie dies bei  spielsweise bei Speicherröhren mit elektrostatischer  Ablenkung der Fall ist, reicht die mögliche     Korrek-          tion    der     Ablenkfehler    durch die bekannten Mittel  jedoch nicht aus.  



  Die vorliegende Erfindung bezweckt die Schaffung  einer verbesserten     Elektronenlinsenanordnung    in  einem     Elektronenstrahlgerät.    Insbesondere soll hier  bei der Elektronenstrahl denselben kleinen Quer  schnitt an jeder Stelle des Auffangschirmes bei jeder  gewünschten     Ablenklage    ergeben. Ferner soll, trotz  Gewährleistung ganz gleichen     Strahlquerschnitts,    eine  besonders gedrängte Speichereinrichtung ermöglicht  werden, die mit einem einfachen, aber wirksamen  elektronenoptischen System ausgerüstet ist. In die  sem     Elektronenstrahlgerät    wird vorzugsweise eine  dynamisch regelbare Elektronenlinse verwendet, die  mit der Steuerung des     Ablenksystems    gekoppelt ist.

        Ein Ausführungsbeispiel für die vorliegende  Erfindung betrifft eine     Kathodenstrahl-Speicherröhre          derSperrgitterbauart,die    mit     einerzwischenderElek-          tronenkanone,    und- dem elektrostatischen     Ablenk-          systein    längs     desStrahls        angeordnetenElektronenlinse     versehen ist.

   Das     Elektronenlinsensystem        umfasst    eine  Anzahl von Elektroden, die mit aufeinander aus  gerichteten     öffnungen    längs des     Strahlwegs    an  geordnet sind und derart gespeist werden,     dass    in den       öffnungen    elektrische Felder entstehen, die bestrebt       sind,        den        passierenden        Elektronenstrahl        konverg        gieren     zu lassen.  



  Es ist bei der Verwendung derartiger Röhren  zu     Speicherungs-    und ähnlichen Zwecken notwendig,       dass    die     Gesamtabinessungen    solcher Röhren mög  lichst klein gehalten werden. Zur Erzielung solcher  kleiner Abmessungen unter gleichzeitiger Gewähr  leistung einer einheitlichen     Strahlfokussierung    in  allen     Ablenkpositionen,    müssen verschiedene     Ein-          flussgrössen    beachtet werden:, von denen die wich  tigsten nachstehend kurz beschrieben sind.  



  Die     Ablenkfehler    sind umgekehrt proportional  zur Länge des     Ablenkfeldes,    das der Elektronenstrahl  passieren     muss.    Dementsprechend ist es vorteilhaft, das       Ablenksystem    so lang als möglich zu machen, so weit  dies die Gesamtlänge der Röhre     zulässt.    Die     Ablenk-          fehler    steigern sich mit grösser werdenden     Strahl-          ablenkwinkeln,    so     dass    der grösste erforderliche     Ab-          lenkwinkel    möglichst klein bleiben sollte.

   Unter  Berücksichtigung der Gesamtlänge der Röhre ist es  also zweckmässig, den Abstand zwischen dem     Ab-          lenksystem    und dem Auffangschirm möglichst gross  zu machen, um einen möglichst kleinen maximalen       Ablenkwinkel    zu erhalten.

   Also vereinfacht sich das  Problem der Verkleinerung von     Ablenkfehlern    durch  Vergrösserung der Länge des     Ablenksystems    und des       Strahlweges    vom     Ablenksystein    zum     Auffangschirm.     Sollen     dieseGesichtspunkteberücksichtigtwerdenund     trotzdem die Gesamtlänge der Röhre möglichst ver  ringert werden, dann     muss    jener Teil der Röhre, wel  cher die     Elektronenkanone,    die Linsen und das     Ab-          lenksystem    -enthält, möglichst kurz gehalten werden.

    Anderseits bewirkt aber die Verkürzung der Röhre  zwischen der Kathode und der Linse eine Erhöhung  des  Vergrösserungsgrades , was zu einer Vergrösse  rung des     Auftrefffleckes    auf dem Auffangschirm führt.       ZurErzielung    einer     befriedigendenWirkung        derLinse          muss    der Abstand zwischen der Kathode und der  Linse grösser sein als die halbe Gesamtlänge der       Linse.        Dies        zeig        ,t,

          dass        die        besten        Verhältnisse        ge-          schaffen    werden, wenn eine Linse mit     geringst-          möglicher    Länge verwendet wird.  



  Eine wirksame Elektronenlinse ist z. B. eine       sogenannte        Einzelinse,    die zur Bündelung eines Elek  tronenstrahls bis auf einen kreisförmigen Punkt im  Zentrum des Auffangschirmes einer Kathodenstrahl  röhre geeignet ist. Eine solche Linse besteht nor  malerweise aus zwei Elektroden mit kreisförmigen  Löchern, die ein hohes positives Potential gegen  über der Kathode besitzen, sowie aus einer da-    zwischen angeordneten Elektrode mit kreisförmiger  Öffnung, deren Potential zwischen dem der Kathode  und jenem der beiden äusseren Elektroden gelegen  ist.

   Diese Anordnung entspricht einer sphärischen  Linse der     Lichtoptik    und liefert einen fadenförmigen  Strahl, dessen Querschnitt durch die äusseren Elek  troden bestimmt ist, und der unter der Wirkung des  niedrigen Potentials der inneren Elektrode in Ver  bindung mit dem hohen Potential der beiden äusseren  Elektroden konvergiert. Eine derartige Einzellinse  aus drei Elektroden kann aber die     Ablenkfehler    eines  in einer einzigen Koordinate abgelenkten Strahls nicht  vollständig kompensieren.

   Die Korrektur längs einer  einzelnen Koordinate ist besser möglich durch eine  Linse, welche schlitzförmige     öffnungen    an Stelle  der runden     öffnungen    besitzt, und die Verwendung  zweier solcher Linsen ermöglicht die Gewähr  leistung gleicher Dimensionen eines in zwei     Koordina-          tenrichtungen    abgelenkten Strahls. Jedoch ist bei  solchen Schlitzöffnungen, entsprechend einer Zylin  derlinse, die Aberration grösser als bei einer sphä  rischen Linse der gleichen Brennweite, und eine für  zwei Koordinaten eingerichtete Linse mit sechs  Elektroden würde, um diese Linse richtig anpassen  zu können, eine wesentlich grössere Gesamtlänge der  Röhre erfordern.

      In dem weiter unten beschriebenen Ausführungs  beispiel des     erfindung        emässen        Elektronenstrahl-          gerätes    wird diese Schwierigkeit überwunden und  einerseits die Länge der Linse so weit vermindert,     dass     eine kleinere Gesamtlänge der Röhre möglich ist,  während anderseits an allen Punkten des     Auftreff-          körpers    der gleiche kleine Durchmesser des Strahls  gewährleistet ist.

      Die Erfindung besteht darin,     dass    bei einer     Elek-          tronenlinsenanordnung    der eingangs genannten Art  zwischen den Elektroden für die Erzeugung einer  sphärischen Linse ein Paar     Fokussierungselektroden     mit quer zueinander verlaufenden Langlöchern mit  längs ihrer Achse kontinuierlich sich ändernder Breite  vorgesehen ist, die auf die Öffnungen der Steuer  elektroden     ausgrichtet    sind.

   Die     Elektronenlinsen-          anordnung    kann dabei so ausgebildet werden,     dass     sich ein Linsensystem kurzer Länge bei Aufrecht  erhaltung eines gleichmässig kleinen     Kathodenstrahl-          flecks    auf dem     Auffangschirin    ergibt.  



  Die Erfindung ist nachstehend in einigen Aus  führungsbeispielen anhand der     Fig.   <B>1</B> bis<B>7</B> näher  erläutert. Hiervon zeigt:       Fig.   <B>1</B> einen schematischen Längsschnitt durch  ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemässen       Sperrgitter-Speicherröhre,          Fig.    2 eine perspektivische, vergrösserte Wieder  gabe des     Ablenksystems    und des Linsensystems für  ein Ausführungsbeispiel nach     Fig.   <B>1,</B>       Fig.   <B>3</B> und 4<B>je</B> eine perspektivische Darstellung  eines     unabgelenkten        bzw.    eines abgelenkten Elek  tronenstrahls,

             Fle-.   <B>5</B> bis<B>7</B> je eine schematische Wiedergabe eines       Quadranten    des     Auftreffkörpers    mit Darstellungen  der     Auftrefffläche    eines Elektronenstrahls ohne  Korrekturmittel für die     Ablenkfehler        bzw.    mit einer  Einzellinse und einem Linsensystem nach     Fig.   <B>1</B> und 2  für die Korrektur der     Ablenkfehler.     



  Das Ausführungsbeispiel nach     Fig.   <B>1</B> zeigt eine       Sperrgitter-Speicherröhre   <B>10.</B> Wie bekannt, enthält  eine solche Röhre<B>10</B> innerhalb eines evakuierten  Kolbens, etwa aus Glas, eine Elektronenkanone, be  stehend aus der Kathode<B>11</B> und dem Heizfaden 12,  ein Steuergitter<B>13,</B> die Beschleunigungsanode 14, die  als Elektronenlinse ausgebildeten     Fokussierungselek-          troden   <B>15,</B> die     Ablenkplatten   <B>16</B> und<B>17,</B> eine Blende  <B>18,</B> eine Abschirmung<B>19</B> und einen Auffangschirm  20.

   Der dreiteilige, scheibenförmige     Auffangschinn     20 besteht hier aus einer Grundplatte 22, einem       dielektrischen    Film<B>23</B> und einem unmittelbar vor  dem     dielektrischen    Film<B>23</B> angeordneten Sperr  gitter 24.  



  Der     dielektrische    Film<B>23</B> speichert eine auf  seiner Oberfläche durch den Elektronenstrahl er  zeugte elektrostatische Ladung während längerer  Zeit, welcher Effekt für die Speicherfunktion der  Röhre ausgewertet wird. Die vom Sperrgitter 24  isolierte Rückplatte 22 kann in ihrem Potential  variiert werden und steuert das Ladungsmuster, wel  ches seitens des Elektronenstrahls auf dem Film  erzeugt wurde. Die auf einer bestimmten Stelle des       dielektrischen    Films<B>23</B> aufgebrachte Ladung wird  anschliessend durch einen über diese Stelle ge  führten Elektronenstrahl abgetastet.  



  Grösse und Dichte der einzelnen Speicherelemente  auf einer gegebenen Speicheroberfläche sind zum Teil  abhängig von der Grösse, der Intensität und der       Gleichmässigkeit    des auftreffenden     ElektronenstraWs.     Notwendigerweise wird der Strahl zur Erreichung  jedes einzelnen der Speicherelemente abgelenkt, wo  bei aber mit der elektrostatischen Ablenkung     ein     gewisses Ausmass an Strahl     defokussierung    auftritt,  wodurch die     AnzahYder    möglichen einzelnen Spei  cherelemente beschränkt ist.  



  Wie aus     Fig.   <B>3</B> ersichtlich ist, konvergiert ein  Elektronenstrahl auf einem Punkt<B>37</B> auf dem Auf  fangschirm<B>36.</B> Vor dem Durchlaufen der     Ablenk-          platten   <B>35</B> ist der Querschnitt des Strahls praktisch  kreisförmig, wie durch die schraffierte Fläche an  gedeutet ist. Besitzen die beiden vertikalen     Ablenk-          platten   <B>35</B> das gleiche Potential, dann wird der Strahl  durch dieselben nicht     beeinflusst    und alle Elektronen  treffen im Brennpunkt<B>37</B> auf den Schirm.

   Besteht  zwischen den     Ablenkplatten   <B>35</B> eine Potentialdiffe  renz, so erfährt, wie in     Fig.    4 angedeutet, der gleiche  Elektronenstrahl eine vertikale Ablenkung. Nunmehr  konvergiert der Strahl nicht mehr in -einem Punkt  der     Auftreffebene   <B>36,</B> sondern zeigt infolge des       Ablenkfeldes    einen Schnittpunkt der einzelnen Elek  tronenbahnen in einer vor der Zielebene<B>36</B> gelegenen  senkrechten Ebene, so     dass    sich keine kreisförmige,  sondern eine längliche     Auftrefffläche   <B>38</B> ergibt, die    gegenüber der     Auftrefffläche    der     Fig.   <B>3</B> wesentlich  vergrössert ist.

   Somit wirken die     Ablenkplatten     wie eine zylindrische<B>-</B> Sammellinse, so     dass    die ein  zelnen Speicherelemente, gegen den Rand des     Auf-          fangschirines    zu, einen genügend grossen gegen  seitigen Abstand aufweisen müssen, um trotz des  vergrösserten     Strahlquerschnitts    eine     überlappung    zu  vermeiden, was zu einer Verringerung der in einer  solchen Speicheröhre zu verarbeitenden, Speicher  menge führt. Beim Auftreten -einer     überlappung     werden die Informationen in einander benachbarten       Speicherelementzn    der     dielektrischen    Oberfläche ge  stört.

   Ein Weg zur Umgehung dieser Schwierigkeit  besteht darin,     dass    der Auffangschirm. genügend weit  von den     Ablenkplatten    entfernt angeordnet wird, so       dass    der     Ablenkwinkel    der zur Erreichung des Randes  des Auffangschirmes erforderlich ist, verringert wird.  Zur Verringerung der     Ablenkfehler    ist es ferner  möglich, die     Ablenkplatten    in Richtung der     Strahl-          achse    zu verlängern. Jedoch führen die beiden ge  nannten Massnahmen zu einer merklichen Verlänge  rung der Röhre, was für manche Anwendungen un  erwünscht ist.  



  Durch die nachstehend beschriebene     Elektronen-          linsenanordnung    werden sowohl die Erfordernisse  einer sehr     klein-en        Auftrefffläche    bei allen notwen  digen     Ablenkwinkeln    als auch, einer Verringerung  der Gesamtlänge der Röhre erfüllt, ohne     dass    der       Ablenkwinkel    im Vergleich mit anderen Röhren  dieser Art zu stark vergrössert wird.  



  Die     Fig.    2 zeigt in vergrössertem Massstab die  wesentlichen Teile des     Ausführungsbeispiels    nach       Fig.   <B>1,</B> die zur Erzielung der gewünschten Korrektur  der     Ablenkfehler    in einem     Zweikoordinaten-Ablenk-          systern    erforderlich sind. Die wiedergegebene Elek  tronenlinse besteht aus einer ersten Aussenelektrode  <B>25</B> mit     kreisföriniger,öffnung,    die ein hohes positives  Potential gegenüber der Kathode führt.

   Die<B>Elek-</B>  troden<B>26</B> und<B>27</B> besitzen     elliptischeÖffnungen    und  erhalten<B>je</B> eine variable Spannung von<B>je</B> einer       Ablenkspannungsquelle    für die betreffende Koordi  nate über eine nichtlineare Schaltung, welche     Span-          nun-gen    vorzugsweise zwischen jener der Kathode und  jener der Elektrode<B>25</B> gelegen sind. Die Elektrode  <B>26,</B> die mit der kleinen Achse ihrer     elleptischen     Öffnung senkrecht angeordnet ist, weist eine Ver  bindung über die nichtlineare Schaltung<B>31</B> mit dem  Eingangsstromkreis<B>32</B> für das vertikale     Ablenk-          system    auf.

   In gleicher Weise ist die Elektrode<B>27,</B>  bei der die kleine<B>Achse</B> der elliptischen Öffnung  horizontal verläuft, über die nichtlineare Schaltung  <B>33</B> mit dem Eingangsstromkreis 34 für das horizon  tale     Ablenksystern    verbunden. Die letzte Elektrode<B>28</B>  entspricht der ersten Elektrode<B>25,</B> schliesst die Elek  tronenlinse ab und weist das. gleiche Potential wie die  Elektrode<B>25</B> auf.  



  Bei Abwesenheit eines     Ablenkfeldes    bewirken die  Elektroden<B>25, 26, 27</B> und<B>28</B> die Fokussierung des  Elektronenstrahls aus den seitens der Glühkathode  der Röhre ausgesendeten Elektronen, in einem Punkt  <B>g</B>      geringster Ausdehnung im Zentrum des Auffang  schirmes. In diesem Falle ist die     Fokussierungswir-          kung    dieser Elektroden vergleichbar mit jener einer  oder mehrerer sphärisch geformter optischer Linsen       bzw.    mit der bekannten elektrostatischen Einzellinse.  Zur Erzielung dieser     Fokussierungswirkung    wird eine  Potentialdifferenz zwischen benachbarten Elektroden  aufrechterhalten.

   Ferner ist in gewissem Ausmasse  der gegenseitige Abstand der Elektroden voneinander  von     Einfluss.    Die Elektronenlinse ist aber ohne Än  derung ihres körperlichen Aufbaus, durch     Verände-          rungr    der absoluten und relativen Spannungswerte       beeinflussbar.     



  Die beiden mit elliptischen Öffnungen versehenen  Elektroden<B>26</B> und<B>27</B> zeigen eine ähnliche Wirkungs  weise wie optische Zylinderlinsen, und weisen wie  diese parallele     Konvergenzebenen    auf, wobei die  Hauptachse der Ellipsen jeweils senkrecht zu diesen  parallelen Ebenen gerichtet ist. Eine     idealssierte     elektronische Zylinderlinse bündelt nur in einer Rich  tung und besteht aus zwei in der gleichen Ebene  gelegenen unendlich ausgedehnten     PTatten,    deren  Kanten     mmmmen    einen unendlich ausgedehnten  Schlitz bilden, in welchem das fokussierende elektro  statische Feld herrscht.

   In Wirklichkeit ist natürlich  die grösstmögliche Länge des Schlitzes durch die  grösstmöglichen Abmessungen der vorgesehenen  Röhre begrenzt, und an Stelle des unendlich aus  gedehnten Schlitzes wird eine rechteckige Öffnung  verwendet. Durch einen solchen     Kompromiss    ergibt  sich jedoch eine     Sumination    zweier fokussierender  Wirkungen, nämlich einerseits in der gewünschten  und anderseits in der hierzu senkrechten Ebene.  Dieses unerwünschte Zusammenwirken zweier fokus  sierender Richtungen kann dadurch vermieden wer  den-,     dass    die Öffnung an Stelle eines Rechtecks die  Gestalt einer Ellipse erhält, also sämtliche scharfen  Ecken vermieden. werden, welche für das Entstehen  der unerwünschten Fokussierung verantwortlich sind.

    Auch eine unerwünschte Rückwirkung der beiden  zylindrisch fokussierenden Elektroden<B>26</B> und<B>27</B> in  folge ihres relativ geringen Abstandes kann vermieden  werden, indem das Verhältnis von Hauptachse zu  kleiner Achse der elliptischen Öffnungen sowie die       Ellipsenfläche    und der     Elektrodenabstand    geeignet  gewählt werden.  



  Wird den     Ablenkplattenpaaren   <B>16</B>     bzw.   <B>17</B> ein  Signal zugeleitet, so wird der Elektronenstrahl ab  gelenkt und trifft auf die     dielektrische    Schicht des  Auffangschirmes an     eineni    anderen Punkt als dem Zen  trum auf.

   Wie in     den-        Fig.    4 und<B>5</B>     dargestent,    bewirkt  der     zylindnsche        Fokussierungseffekt    der     Ablenk-          platten   <B>16</B>     bzw.   <B>17,</B>     dass    eine Verzerrung des Strahls  insofern erfolgt, als an Stelle eines kreisförmigen  Flecks auf dem     Auftreffkörper    im Zentrum desselben,  eine um so grössere elliptische     Auftrefffläche    entsteht,  <B>je</B> weiter der Strahl aus dem Zentrum abgelenkt wird.

    Die vom     Ablenksystein    allein herrührende     Strahl-          verzerrung    nimmt, wie in     Fig.   <B>5</B> angedeutet ist, mit  wachsendem     Ablenkwinkel    zu, und zwar propor-         tional    mit dem Quadrat des mittleren     Ablenkwin-          kels.     



  Wird eine Einzellinse aus Elektroden mit kreis  förmigen Öffnungen vor den     Ablenkplatten    der Röhre  angeordnet, so ergeben sich die     Ablenkfehler    gemäss       Fig.   <B>6.</B> Das in einer solchen Linsenanordnung herr  schende elektrostatische Feld wirkt wie eine sphä  rische Sammellinse und ergibt eine     Vorfokussierung     des Strahls, wodurch der zylindrische Effekt der     Ab-          lenkplatten    teilweise kompensiert wird.

   Dementspre  chend kann bei     richtiorer    Einstellung der Feldstärke  der Linse der nachteilige     Einfluss    des     Ablenkfeldes     auf die Grösse der     Auftrefffläche    in     ggewissem    Aus  masse korrigiert werden.  



  Das System der Einzellinse weist jedoch zwei  Hauptnachteile auf. Durch eine solche sphärische  Sammellinse wird ein     fadenförmiger    Strahl zum     Ab-          lenksystem    geleitet, wodurch aber die     Ablenkfehler     eines solchen nur in einer     Koordinatenrichtung    ab  lenkenden Feldes nicht an allen Punkten des Auf  fangschirmes korrigiert werden können.

   Die Korrek  tur ist an jenen Stellen am schlechtesten, die eine  maximale Ablenkung des Strahls in der einen     Koordi-          natenrichtuna    und     aar    keine     Ablenkuna    desselben in  der anderen     Koordinatenrichtunor    bedingen, also an  den Stellen<B>60</B> und<B>61</B> in     Fig.   <B>6.</B>  



  Durch Verwendung einer Einzellinse, bestehend  aus drei mit     Rechtecköffnungen    versehenen Elektro  den für jede     Ablenkrichtung,    die mit einer geeigneten  dynamischen Korrekturschaltung verbunden sind,  kann die erstgenannte Schwierigkeit beseitigt werden,  jedoch bedingt die     Unterbrin        gung    der sechs einzelnen  Elektroden im erforderlichen gegenseitigen Abstand  eine solche Länge der Röhre,     dass    dieselbe für eine  grosse Zahl von Anwendungen solcher Speicherröhren  ungeeignet ist.

   Ein Ausgleich des grösseren Platz  bedarfes für diese Linse durch Verkürzung der     Ab-          lenkplatten    und ihres Abstandes vom Auffang  schirm würde, wie oben bereits erläutert, eine wei  tere Steigerung der Schwierigkeiten bezüglich der     Ab-          lenkfehler    mit sich bringen. Ausserdem ist die  Aberration in solchen Elektroden mit     Rechteck-          öffnungen    für Zylinderlinsen grösser als bei Ver  wendung von Elektroden mit     kreisföriniger    Öffnung  für sphärische Linsen.  



  Die mit einer Anordnung gemäss dem Ausfüh  rungsbeispiel nach     Fig.    2 erzielbaren Resultate zeigt  die     Fig.   <B>7.</B> Im Zentrum des Auffangschirmes wird  hierbei ein     Fokussierunasfleck    für den Strahl von  solch geringen Abmessungen erreicht,     dass    die stren  gen, Anforderungen an     Sperrgitterspeicherröhren    für  die Speicherung grosser Zahlen durchaus erfüllt wer  den, ausserdem werden an allen Stellen des     Auffang-          schirines    und in jeder Lage des abgelenkten Strahls  die gleichen kleinen     Auftreffflächen,    erzielt.

   Die ge  zeigte Anordnung mit gekreuzten elliptischen Linsen  verwendet<B>je</B> eine einzige elliptische Linsenelektrode  für jede     Koordinatenrichtung,    die eine Bündelung des  Strahls nur in dieser Richtung bewirkt und beim nicht-      abgelenkten Strahl dessen Bündelung auf das Zen  trum des Auffangschirmes begünstigt.  



  Die zwischen dem Linsensystem und dem     Ab-          lenksystem,    vorgesehene elektrische Schaltung be  wirkt eine Schwächung des elektrostatischen Feldes  jeder einzelnen der elliptischen Elektroden, wenn das  jeweils zugeordnete     Ablenkplattenpaar        beaufschlagt     wird. In erster Annäherung ist die dynamische Span  nung, welche den einzelnen Linsen zugeführt wird,  proportional dem Quadrat der Spannungsdifferenz  zwischen den in der gleichen Ebene wirksamen     Ab-          lenkplatten.    Ein Beispiel zur Durchführung dieser  dynamischen Feldveränderung zeigt die     Fig.    2 im  Falle einer symmetrischen Gegentaktablenkung.

   Ein  Bruchteil der vertikalen     Ablenkspannung    aus der  Spannungsquelle,<B>32</B> wird den Gittern der beiden       Verstärkerröhren    40 und 41 der nichtlinearen Schal  tung<B>31</B> zugeführt. Da die Gitter symmetrisch     be-          dufschlagt    werden, ändert sich die Summe ihrer  Anodenströme in erster Annäherung mit dem Qua  drat der     Ablenkspannung.    Die addierten Anoden  ströme der Röhren 40 und 41 erzeugen an dem  geeignet bemessenen     Spannungsteilerwiderstand    42  einen Spannungsabfall, der in der erwünschten Weise  variiert und auf die Elektrode<B>26</B> wirkt.

   Eine entspre  chende Schaltung ist für die Beeinflussung der Elek  trode<B>27</B> in Abhängigkeit von der horizontalen     Ab-          lenkspannung    vorgesehen. Wie aus     Fig.    2 ersichtlich  ist, weisen die     Fokussierungselektroden   <B>26</B> und<B>27</B>  eine positive Spannung auf, zwecks Erzielung der  Grundfokussierung.

   Werden hierfür keine     positiv-en     sondern negative Spannungen verwendet, so     muss    eine       Phasenumkehrstufe    vorgesehen werden, um die elek  trostatischen Felder an den Elektroden<B>26</B> und<B>27</B> in  Abhängigkeit von den zugeführten     Ablenkspannun-          gen    zu schwächen.  



  Die gekreuzten elliptischen Linsen mit in der  beschriebenen Weise dynamisch kompensierten elek  trostatischen Feldern ermöglichen die Bündelung des  Strahls auf eine für sämtliche     Ablenkstell-ungen     gleich grosse     Auftrefffläche.    Da nur vier Elektroden  hierfür erforderlich sind, ermöglicht dieses Linsen  system einen geringen Röhrendurchmesser und eine  geringe Gesamtlänge der Röhre.  



  Bei einem Ausführungsbeispiel des Linsensystems  nach     Fig.    2 hatten die einzelnen Bauteile die nach  stehenden Abmessungen und gegenseitigen Abstände.  
EMI0005.0026     
  
    öffnungsdurchinesser <SEP> Elektrode <SEP> <B>25</B> <SEP> 1,22 <SEP> mm
<tb>  <B>  <SEP>   <SEP> 28 <SEP> 1,91mm</B>
<tb>  Hauptachse <SEP> Elektrode <SEP> <B>26, <SEP> 27 <SEP> 7,29</B> <SEP> mm
<tb>  Nebenachse <SEP> Elektrode <SEP> <B>26, <SEP> 27 <SEP> <I>5,51mm</I></B>
<tb>  Dicke <SEP> der <SEP> Elektroden <SEP> <B>0,30</B> <SEP> mm
<tb>  Abstand <SEP> zwischen <SEP> benachbarten
<tb>  Elektroden <SEP> <B>5,33</B> <SEP> <U>mm</U>       An den Elektroden<B>25</B> und<B>28</B> lag eine positive  Spannung von<B>1000</B> Volt gegenüber der Kathode.

    Die Elektroden<B>26</B> und<B>27</B> führten eine positive Span  nung von 420     bzw.    470 Volt gegenüber der Kathode,  geeignet zur Fokussierung des nichtabgelenkten    Strahls in horizontaler und vertikaler Richtung. Mit  dieser Anordnung kann ein Elektronenstrahl ge  schaffen werden, der zu     9010/a    ein quadratisches Loch  mit<B>0,18</B> mm Seitenlänge passieren kann. Also kann  der     Strahldurchmesser    auf dem Auffangschirm. zu  etwa<B>0,18</B> mm angenommen werden, welche     Auf-          trefffläche    bei jeder beliebigen     Ablenklage    des Strahls  auf dem Auffangschirm konstant und gleich gross  bleibt.  



  Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt,     dass    die  Abmessungen der verschiedenen Teile des     elektronen-          optischenSystems        relativzueinander    abgestimmt sind.       Insbsondere    wurde festgestellt,     dass        vorteilhafterweise     die Elektroden,<B>25, 26, 27</B> und<B>28</B> voneinander den  gleichen Abstand besitzen und     dass    der Durchmesser  der Nebenachsen der elliptischen Öffnungen der  Elektroden<B>26</B> und<B>27</B> angenähert gleich diesem<B>Ab-</B>  stand zwischen benachbarten Elektroden der Linse  gemacht wird.

   Ferner hat sich als günstigstes Ver  hältnis der Hauptachse zur Nebenachse bei den  elliptischen Öffnungen der Elektroden<B>26</B> und<B>27</B> ein  Wert von etwa<B>1,3</B> erwiesen.

Claims (1)

  1. <B>PATENTANSPRUCH</B> Elektronenlinsenanordnung mit Korrekturmitteln, welche einer Defäkussierung des Strahls bei ver schiedenen Ablenkwinkeln entgegenwirken in einem Elektrenenstrahlgerät mit Elektronenquelle und Ab- lenkvorrichtung für den Elektronenstrahl, wobei die Elektronenlinsenanordnung zwischen der Elektronen quelle und der Ablenkvorrichtuno,
    angebracht ist und ein gleichmässig kleiner Kathodenstrahlfleck auf dem Auffangschirm bei beliebiger Strahlenablenkung er zeugt wird und wobei die Elektrönenlinsenanordnung ein Paar Elektroden für die Erzeugung einer sphä rischen Linse enthält, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den Elektroden für die Erzeugung einer spärischen Linse, ein Paar Fokussierungselektroden mit quer zueinander verlaufenden Langlöchem mit längs ihrer Achse kontinuierlich sich ändernder Breite vor gesehen ist, die auf die Öffnungen der Steuerelektro den ausgerichtet sind.
    UNTERANSPRÜCHE <B>1.</B> Elektronenlinsenanordnung nach Patentan spruch, bei, welcher die Ablenkvorrichtung ein Paar zueinander senkrechter Ablenkfelder erzeugt, dadurch gekennzeichnet, dass eine der Fokussierungselek- troden des Paars mit ihrem Langloch senkrecht zu dem einen Ablenkfeld und die andere Fokussierungs- elektrode mit ihrem Langloch senkrecht zu dem an deren Ablenkfeld liegt.
    2. Elektronenlinsenanordnung nach Unteran spruch<B>1,</B> dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnungen der ersten und der zweiten Fokussierungselektrode elliptisch geformt sind und die Hauptachsen senkrecht zueinander -verlaufen. <B>3.</B> Elektronenlinsenanordnung nach Unteran spruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass jede der Fokussierungselektroden über einen nichtlinearen Kreis an die Ablenkspannungsquelle angekoppelt ist.
    4. Elektronenlinsenanordnung nach Unteran spruch<B>3,</B> dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis der Hauptachsen zu den Nebenachsen der eIliptischen öffnungen der Fokussierungselektroden ungefähr <B>1,3</B> ist. <B>5.</B> Elektronenlinsenanordnung nach Unteran- sprach 4, dadurch gekennzeichnet, dass alle Elek- troden des Linsensystems gleichen Abstand von einander haben.
    <B>6.</B> Elektronenlinsenanordnung nach Unteran spruch<B>5,</B> dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis der Nebenachsen der elliptischen öffnungen zum Abstand der Elektroden annähernd<B>1</B> ist.
CH4963357A 1956-09-07 1957-08-21 Elektronenlinsenanordnung in einem Elektronenstrahlgerät CH364046A (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US608532A US2884559A (en) 1956-09-07 1956-09-07 Electron lens systems

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH364046A true CH364046A (de) 1962-08-31

Family

ID=24436923

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH4963357A CH364046A (de) 1956-09-07 1957-08-21 Elektronenlinsenanordnung in einem Elektronenstrahlgerät

Country Status (7)

Country Link
US (1) US2884559A (de)
BE (1) BE559731A (de)
CH (1) CH364046A (de)
DE (1) DE1162957B (de)
FR (1) FR1173802A (de)
GB (1) GB821295A (de)
NL (2) NL219031A (de)

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1188277A (fr) * 1957-12-12 1959-09-21 Csf Perfectionnements aux tubes à déflexion électrostatique d'un faisceau électronique
US2988660A (en) * 1958-07-02 1961-06-13 Gen Dynamics Corp Electro optical system in a cathode ray tube
NL248482A (de) * 1960-02-26
US3040205A (en) * 1960-05-31 1962-06-19 Harold R Walker Electrostatic vidicon
US3371206A (en) * 1964-02-04 1968-02-27 Jeol Ltd Electron beam apparatus having compensating means for triangular beam distortion
GB1165002A (en) * 1965-09-25 1969-09-24 Emi Ltd Improvements relating to Cathode Ray Tubes and Focusing and Deflecting Arrangements Therefor.
US3437870A (en) * 1965-11-03 1969-04-08 Minnesota Mining & Mfg Scan line masking system
US3544836A (en) * 1966-04-27 1970-12-01 Forgflo Corp Slot stigmator
NL6717636A (de) * 1967-12-22 1969-06-24
US3579010A (en) * 1968-10-31 1971-05-18 Philco Ford Corp Elongated aperture electron gun structure for flat cathode-ray tube
NL157452B (nl) * 1968-11-09 1978-07-17 Philips Nv Inrichting met een kathodestraalbuis.
JPS4818674B1 (de) * 1969-04-24 1973-06-07
FR2109513A5 (de) * 1970-10-30 1972-05-26 Thomson Csf
NL7208728A (de) * 1971-07-28 1973-12-28
NL7203931A (de) * 1972-03-24 1973-09-26
US3952224A (en) * 1974-10-04 1976-04-20 Rca Corporation In-line electron guns having consecutive grids with aligned vertical, substantially elliptical apertures
JPS5838679Y2 (ja) * 1976-11-30 1983-09-01 ソニー株式会社 テレビジヨン受像機
JPS5490963A (en) * 1977-12-28 1979-07-19 Toshiba Corp Index color receiving tube
EP0014922A1 (de) * 1979-02-22 1980-09-03 International Standard Electric Corporation Elektronenstrahlerzeugungssystem
JPS55136442A (en) * 1979-04-10 1980-10-24 Toshiba Corp Electron gun
US4338548A (en) * 1980-01-30 1982-07-06 Control Data Corporation Unipotential lens assembly for charged particle beam tubes and method for applying correction potentials thereto
US4319163A (en) * 1980-06-30 1982-03-09 Rca Corporation Electron gun with deflection-synchronized astigmatic screen grid means
JPS5750749A (en) * 1980-09-11 1982-03-25 Matsushita Electronics Corp Electromagnetic deflection type cathode ray tube
US4583024A (en) * 1984-02-21 1986-04-15 Rca Corporation Color picture tube having an inline electron gun with built-in stigmator
US4887009A (en) * 1986-02-12 1989-12-12 Rca Licensing Corporation Color display system
US4731563A (en) * 1986-09-29 1988-03-15 Rca Corporation Color display system
JPH0748354B2 (ja) * 1987-01-14 1995-05-24 アールシーエー トムソン ライセンシング コーポレイシヨン カラー陰極線管
CN116130330A (zh) * 2022-12-19 2023-05-16 昆山禾信质谱技术有限公司 离子导向装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2103645A (en) * 1932-12-20 1937-12-28 Schlesinger Kurt Braun tube
US2111231A (en) * 1934-06-27 1938-03-15 Radio Patents Corp Recording device
US2449524A (en) * 1944-11-27 1948-09-14 Us Sec War Oscilloscope device
US2572861A (en) * 1947-06-03 1951-10-30 Sylvania Electric Prod Deflection system for cathode-ray tubes
US2572858A (en) * 1947-06-03 1951-10-30 Sylvania Electric Prod Electron optical system
US2698400A (en) * 1947-06-03 1954-12-28 Sylvania Electric Prod Generator for dynamic focusing of cathode ray tubes
DE902888C (de) * 1951-05-23 1954-01-28 Sueddeutsche Lab G M B H Elektronenstrahl-Oszillograph oder Fernsehroehre
FR1021747A (fr) * 1952-01-11 1953-02-23 Radiotechnique Perfectionnements aux tubes à rayons cathodiques

Also Published As

Publication number Publication date
GB821295A (en) 1959-10-07
BE559731A (de)
DE1162957B (de) 1964-02-13
NL108855C (de)
NL219031A (de)
FR1173802A (fr) 1959-03-03
US2884559A (en) 1959-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CH364046A (de) Elektronenlinsenanordnung in einem Elektronenstrahlgerät
DE3614700C2 (de)
DE2608463C3 (de) Inline-Farbbildröhre
DE68928732T2 (de) Elektronenkanonenvorrichtung für Kathodenstrahlröhre
WO2021018327A1 (de) Teilchenstrahlsystem und seine verwendung zum flexiblen einstellen der stromstärke von einzel-teilchenstrahlen
DE2829080C2 (de)
DE2647254C2 (de) Anordnung zum Bestrahlen eines Targets mit einem Strahl geladener Teilchen und Verwendung
DE3839389A1 (de) Elektronenkanone fuer eine farbbildroehre
DE3882408T2 (de) Elektronenkanone für eine Farbbildröhre.
DE3919829C2 (de) Elektronenkanonen-System mit Feldemission
DE4037029C2 (de) Elektronenkanone für eine Farbkathodenstrahlröhre
DE2811355C2 (de) Elektrostatisches Elektronen-Linsensystem
DE69605053T2 (de) Kanonenlinse zur Partikelstrahlerzeugung
DE3142777C2 (de) Elektronenkanone
DE2114310C3 (de) Kathodenstrahl-Bildröhre
DE2010520A1 (de) Kathodenstrahlrohre
DE69219926T2 (de) Kathodenstrahlröhre mit Elektronenstrahlerzeugersystem mit planparalleler Optik
DE2808119C2 (de)
DE1953411A1 (de) Vorrichtung mit einer Kathodenstrahlroehre und Kathodenstrahlroehre zur Anwendung in einer solchen Vorrichtung
DE69118719T2 (de) Farbkathodenstrahlröhre
DE3346208C2 (de) Elektrostatisches Linsensystem für Kathodenstrahlröhren
DE19619698A1 (de) Elektronenkanone für eine Farbkathodenstrahlröhre
DE1816130A1 (de) Vorrichtung zum Korrigieren der Bahn eines Elektronenstrahls
DE69202727T4 (de) Elektronenstrahlerzeuger für Farbbildröhre.
DE2726663C2 (de) Elektronenstrahlerzeugungssystem