CH381771A - Halbleiterbauelement mit einer gasdichten Kammer sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen Halbleiterelementes und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Halbleiterbauelement mit einer gasdichten Kammer sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen Halbleiterelementes und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

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CH381771A
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gas
tight chamber
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CH7858759A
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