CH413116A - Apparatus for measuring the temperature of a junction of a semiconductor device - Google Patents

Apparatus for measuring the temperature of a junction of a semiconductor device

Info

Publication number
CH413116A
CH413116A CH682864A CH682864A CH413116A CH 413116 A CH413116 A CH 413116A CH 682864 A CH682864 A CH 682864A CH 682864 A CH682864 A CH 682864A CH 413116 A CH413116 A CH 413116A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
junction
temperature
circuit
semiconductor device
current
Prior art date
Application number
CH682864A
Other languages
French (fr)
Inventor
Leonard Potter Norman
Original Assignee
English Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by English Electric Co Ltd filed Critical English Electric Co Ltd
Publication of CH413116A publication Critical patent/CH413116A/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/16Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
    • G01K7/22Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a non-linear resistance, e.g. thermistor
    • G01K7/24Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a non-linear resistance, e.g. thermistor in a specially-adapted circuit, e.g. bridge circuit
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/01Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using semiconducting elements having PN junctions
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10PGENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P74/00Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
    • H10P74/20Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices characterised by the properties tested or measured, e.g. structural or electrical properties
    • H10P74/203Structural properties, e.g. testing or measuring thicknesses, line widths, warpage, bond strengths or physical defects

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Description

  

  
 



  Appareil pour mesurer la température d'une jonction
 d'un dispositif à semi-conducteurs
 L'invention a pour objet un appareil pour mesurer la température d'une jonction d'un dispositif à semi-conducteurs.



   Cet appareil est caractérisé par un premier dispositif pour établir un premier signal électrique indicateur de la température d'une partie externe d'un dispositif à semi-conducteurs, un second dispositif répondant au passage de courant traversant la jonction du dispositif à   semi-conducteurs    pour établir un second signal électrique indicateur de la différence entre la température de la jonction et la température de la partie externe du dispositif à semiconducteurs, et un troisième dispositif pour produire un signal de sortie indicateur de la température de la jonction en fonction de la somme du premier signal électrique et du second.



   La figure unique du dessin annexé représente, à titre d'exemple, une fonte d'exécution de l'appareil objet de l'invention représentée sous forme d'un schéma électrique.



   Une diode à semi-conducteurs 10, qui a une jonction dont on doit mesurer la température, est montée sur un dissipateur de chaleur à ailettes 11 et fait partie d'un ensemble redresseur normal. Sur le dissipateur est aussi montée une thermistance 12 en liaison thermique intime avec la diode. La thermistance 12 est isolée électriquement du dissipateur de chaleur et est reliée à un circuit électrique comprenant une résistance 13 et une source d'énergie en courant continu branchée entre des bornes 14 et 15.

   La tension appliquée entre les bornes 14 et 15 et la valeur de la résistance 13 sont choisies de telle façon qu'une tension   V1    établie à travers la résistance 13 représente la température du dissipateur dans un intervalle de températures prédéterminé, cet intervalle de températures étant choisi pour comprendre la température normale de fonctionnement du dissipateur. Comme la thermistance 12 est en liaison thermique intime avec la diode à semiconducteurs 10, la tension   V1    représente donc la température de la partie externe de la diode en contact avec le dissipateur de chaleur 11.



   Un transformateur de courant 16 contrôle le passage de courant à travers la diode par un conducteur 17, ce courant étant le courant qui passe à travers la jonction de la diode dont on doit mesurer la température. L'enroulement secondaire du transformateur de courant fournit à travers une résistance 18 un courant qui établit une tension à travers un circuit électrique indiqué de façon générale à l'intérieur du cadre 19 en trait interrompu, ce circuit étant conçu pour être un analogue électrique du circuit thennique de la diode à semi-conducteurs entre la jonction et la partie de la diode en contact avec le dissipateur de   chaleur    11.   (Voir    par    exemple l'article intitulé: :

   An electrical analogue    for heat flow problems in   semi-conductors ,    Electrical Engineer, Août 1959, page 454.) Le circuit comprend un certain nombre de résistances 20 branchées en série et un certain nombre de condensateurs 21 montés en parallèle. Le courant secondaire du transformateur de courant 16 qui traverse le circuit 19 établit une tension V2 à travers la chalne de résistances 20 et cette tension V2 représente la différence de températures entre la jonction de la diode à semi-conducteurs et la surface externe de cette dernière en contact avec le dissipateur de chaleur. Des variations brusques du passage de courant à travers la diode ne produisent pas de variations équivalentes de la tension V2 parce que ces  variations sont absorbées en dérivation par les condensateurs 21.

   De telles variations brusques du courant de jonction ne produiraient évidemment pas de variations équivalentes de la température de jonction par suite de l'inertie thermique de la diode à semi-conducteurs. Un redresseur 22 garantit que la tension V2 est unidirectionnelle.



   Une tension V3, somme des tensions   V1    et V2, représente donc la température de la jonction de la diode à semi-conducteurs. Si nécessaire, la tension
V3 peut être comparée à une tension de référence et être utilisée pour faire fonctionner un relais de proteotion si elle dépasse une valeur prédéterminée.



   On peut utiliser une disposition sembIable pour mesurer la   tempçrature    d'une jonction dans un dispositif à semi-conducteurs ayant plus d'une jonction, par exemple dans un transistor. Le circuit 19 serait disposé pour être l'analogue électrique du circuit thermique de la partie du dispositif à semi-conducteurs qui se trouve entre la jonction dont on doit mesurer la température et cette partie externe du dispositif à semi-conducteurs dont on mesure la température.
  



  
 



  Device for measuring the temperature of a junction
 of a semiconductor device
 The invention relates to an apparatus for measuring the temperature of a junction of a semiconductor device.



   This apparatus is characterized by a first device for establishing a first electrical signal indicative of the temperature of an external part of a semiconductor device, a second device responding to the passage of current through the junction of the semiconductor device to establishing a second electrical signal indicative of the difference between the temperature of the junction and the temperature of the external part of the semiconductor device, and a third device for producing an output signal indicative of the temperature of the junction as a function of the sum of the first electrical signal and the second.



   The single figure of the appended drawing represents, by way of example, an execution cast of the apparatus which is the subject of the invention, represented in the form of an electric diagram.



   A semiconductor diode 10, which has a junction whose temperature is to be measured, is mounted on a finned heat sink 11 and is part of a normal rectifier assembly. A thermistor 12 is also mounted on the dissipator in intimate thermal connection with the diode. Thermistor 12 is electrically isolated from the heat sink and is connected to an electrical circuit comprising a resistor 13 and a direct current power source connected between terminals 14 and 15.

   The voltage applied between terminals 14 and 15 and the value of resistor 13 are chosen such that a voltage V1 established across resistor 13 represents the temperature of the heat sink in a predetermined temperature interval, this temperature interval being chosen to understand the normal operating temperature of the heatsink. As the thermistor 12 is in intimate thermal connection with the semiconductor diode 10, the voltage V1 therefore represents the temperature of the external part of the diode in contact with the heat sink 11.



   A current transformer 16 controls the passage of current through the diode by a conductor 17, this current being the current which passes through the junction of the diode whose temperature is to be measured. The secondary winding of the current transformer supplies through a resistor 18 a current which establishes a voltage across an electrical circuit indicated generally within the box 19 in broken lines, this circuit being designed to be an electrical analogue of thermal circuit of the semiconductor diode between the junction and the part of the diode in contact with the heat sink 11. (See for example the article entitled::

   An electrical analog for heat flow problems in semiconductors, Electrical Engineer, August 1959, page 454.) The circuit comprises a number of resistors 20 connected in series and a number of capacitors 21 connected in parallel. The secondary current of the current transformer 16 which passes through the circuit 19 establishes a voltage V2 through the chain of resistors 20 and this voltage V2 represents the temperature difference between the junction of the semiconductor diode and the outer surface of the latter. in contact with the heat sink. Sudden variations in the current flow through the diode do not produce equivalent variations in the voltage V2 because these variations are absorbed in shunt by the capacitors 21.

   Such sudden changes in junction current would obviously not produce equivalent changes in junction temperature due to thermal inertia of the semiconductor diode. A rectifier 22 guarantees that the voltage V2 is unidirectional.



   A voltage V3, sum of the voltages V1 and V2, therefore represents the temperature of the junction of the semiconductor diode. If necessary, the voltage
V3 can be compared to a reference voltage and be used to operate a protection relay if it exceeds a predetermined value.



   A similar arrangement can be used to measure the temperature of a junction in a semiconductor device having more than one junction, for example in a transistor. The circuit 19 would be arranged to be the electrical analogue of the thermal circuit of the part of the semiconductor device which is located between the junction whose temperature is to be measured and this external part of the semiconductor device whose temperature is measured .
  

 

Claims (1)

REVENDICATION Appareil pour mesurer la température d'une jonction d'un dispositif à semi-conducteurs, caractérisé par un premier dispositif pour établir un pre- mier signal électrique indicateur de la température d'une partie externe du dispositif à semi-conducteurs, un second dispositif répondant au passage de courant traversant la jonction du dispositif à semiconducteurs pour établir un second signal électrique indicateur de la différence entre la température de la jonction et la température de la partie externe du dispositif à semi-conducteurs, et un troisième dispositif pour produire un signal de sortie indicateur de la température de la jonction en fonction de la somme du premier signal électrique et du second. CLAIM Apparatus for measuring the temperature of a junction of a semiconductor device, characterized by a first device for establishing a first electrical signal indicative of the temperature of an external part of the semiconductor device, a second device responsive to the passage of current through the junction of the semiconductor device to establish a second electrical signal indicative of the difference between the temperature of the junction and the temperature of the external part of the semiconductor device, and a third device for producing a signal output indicating the temperature of the junction as a function of the sum of the first electrical signal and the second. SOUS-REVENDICATIONS 1. Appareil selon la revendication, caractérisé en ce que le premier dispositif comprend une thermistance montée en liaison thermique intime avec ladite partie externe du dispositif à semi-conducteurs et branchée en série avec une résistance de façon à y faire varier une circulation de courant en fonction de la température de ladite partie externe, une tension établie à travers la résistance étant ledit premier signal électrique. SUB-CLAIMS 1. Apparatus according to claim, characterized in that the first device comprises a thermistor mounted in intimate thermal connection with said external part of the semiconductor device and connected in series with a resistance so as to vary a current flow therein. depending on the temperature of said external part, a voltage established across the resistance being said first electrical signal. 2. Appareil selon la revendication, caractérisé en ce que le second dispositif comprend un circuit électrique d'analogie, qui est disposé pour représenter par analogie le circuit d'écoulement de chaleur de la partie du dispositif à semi-conducteurs entre la jonction et ladite partie externe, et un élément pour faire passer à travers le circuit électrique d'analogie un courant qui est proportionnel au courant traversant la jonction, une tension établie à travers une partie appropriée du circuit étant ledit second signal électrique. 2. Apparatus according to claim, characterized in that the second device comprises an analog electrical circuit, which is arranged to represent by analogy the heat flow circuit of the part of the semiconductor device between the junction and said. external part, and an element for passing through the analogical electric circuit a current which is proportional to the current flowing through the junction, a voltage established through an appropriate part of the circuit being said second electric signal. 3. Appareil selon la sous-revendication 2, caractérisé en ce que le circuit électrique d'analogie comprend un chemin résistant en série et au moins un chemin capacitif en dérivation. 3. Apparatus according to sub-claim 2, characterized in that the analogical electrical circuit comprises a resistance path in series and at least one capacitive path in bypass. 4. Appareil selon la sous-revendication 2, caractérisé en ce que ledit élément pour faire passer un courant à travers le circuit électrique d'analogie comprend un organe de transfomìation du courant avec un circuit primaire branché pour être alimenté en série avec le dispositif à semi-conducteurs, un circuit secondaire pour alimenter le circuit électrique d'analogie et un organe redresser pour redresser le courant qui circule dans ledit circuit électrique d'analogie. 4. Apparatus according to sub-claim 2, characterized in that said element for passing a current through the analogical electric circuit comprises a current transformer with a primary circuit connected to be supplied in series with the device to be connected. semiconductors, a secondary circuit for supplying the analog electrical circuit and a rectifying device for rectifying the current flowing in said analog analog circuit.
CH682864A 1963-05-30 1964-05-26 Apparatus for measuring the temperature of a junction of a semiconductor device CH413116A (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB21747/63A GB1008473A (en) 1963-05-30 1963-05-30 Improvements in or relating to temperature measurement

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH413116A true CH413116A (en) 1966-05-15

Family

ID=10168113

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH682864A CH413116A (en) 1963-05-30 1964-05-26 Apparatus for measuring the temperature of a junction of a semiconductor device

Country Status (2)

Country Link
CH (1) CH413116A (en)
GB (1) GB1008473A (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3622849A (en) * 1970-06-23 1971-11-23 Gen Electric Thyristor junction temperature monitor
DE3776836D1 (en) * 1986-08-18 1992-04-02 Siliconix Ltd TEMPERATURE SENSOR.
CN112964389B (en) * 2021-05-10 2021-10-19 国网江西省电力有限公司电力科学研究院 A fault warning method and system for elbow cable head based on distributed temperature measurement

Also Published As

Publication number Publication date
GB1008473A (en) 1965-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0344065A1 (en) Electronic regulator powered during the non-active periods of network commutation
CH413116A (en) Apparatus for measuring the temperature of a junction of a semiconductor device
FR2666474A1 (en) DEVICE FOR HEATING FLUIDS BY JOUL EFFECT.
FR2442474A1 (en) TEMPERATURE REGULATOR FOR ELECTRIC HEATERS, PARTICULARLY FOR ELECTRIC COOKING PLATES
FR2422199A1 (en) REFERENCE VOLTAGE CIRCUIT
FR2767017A1 (en) CALL CURRENT LIMITING CIRCUIT
EP0646779B1 (en) Device for providing the image of the heating produced by an electrical heating element
FR2528652A1 (en) Power regulator giving continuous control of resistance heater - uses power field effect transistors in series with load to control AC power flow resistance element
FR2453447A1 (en) IMPROVED VOLTAGE REGULATOR APPARATUS
EP0159201B1 (en) Method and device for measuring the current in a three-phase network
BE1001956A6 (en) System for powering, at an approximately constant voltage level, a minimumcoil installed on a switch
GB1187270A (en) Improvements relating to Temperature Control in Electrical Power-Supply Units
FR2482329A3 (en) Temp. regulator for convection heater - uses thermistor close to heat sink of power control thyristor to compensate local heating effects on measuring thyristors
BE671859A (en) Safety discriminator device
CH497080A (en) Control device of an electric motor
FR3089635B1 (en) Device for protecting a service circuit, and device for measuring a current in an electrical circuit implementing such a protection device
JPS594293Y2 (en) Circuit that monitors the temperature of semiconductor junctions
BE844847R (en) PHASE WEIGHTING DEVICE FOR ALL-ELECTRIC RESIDENCE
BE716900A (en)
BE701433A (en) Device for adjusting the grid current of an oscillator tube
BE625244A (en) TEMPERATURE CONTROL CIRCUIT PROVIDED BY A HEATING ELEMENT
FR2483013A1 (en) Electric fuel heater for compression ignition engine - has body defining fuel flow passage and to which is attached controllable heat generator not in contact with fuel
CH503313A (en) Device for evaluating the pressure existing in a reduced pressure timepiece case
CH619543A5 (en)
BE862445A (en) ASSEMBLY FOR ADJUSTING THE NO-LOAD VOLTAGE OF AN X-RAY GENERATOR