CH498406A - Verfahren zur Herstellung eines optischen Beugungsgitters - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines optischen Beugungsgitters

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CH498406A
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CH1895268A
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Johannes Dr Heidenhain
Horst Dr Burkhardt
Kraus Heinz
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Heidenhain Gmbh Dr Johannes
Schmahl Guenter Dr
Rudolph Dietbert
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    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/18—Diffraction gratings
    • G02B5/1847—Manufacturing methods
    • G02B5/1857—Manufacturing methods using exposure or etching means, e.g. holography, photolithography, exposure to electron or ion beams

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