CH516225A - Verfahren zum Betrieb einer eine Elektronen emittierende Kathode und eine Hilfselektrode zur Strahlformung aufweisenden Einrichtung zur Verdampfung und/oder Bearbeitung von Materialien unter Ultrahochvakuum mittels eines Elektronenstrahls u nd Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zum Betrieb einer eine Elektronen emittierende Kathode und eine Hilfselektrode zur Strahlformung aufweisenden Einrichtung zur Verdampfung und/oder Bearbeitung von Materialien unter Ultrahochvakuum mittels eines Elektronenstrahls u nd Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens

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CH516225A
CH516225A CH1208870A CH1208870A CH516225A CH 516225 A CH516225 A CH 516225A CH 1208870 A CH1208870 A CH 1208870A CH 1208870 A CH1208870 A CH 1208870A CH 516225 A CH516225 A CH 516225A
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CH1208870A 1970-08-12 1970-08-12 Verfahren zum Betrieb einer eine Elektronen emittierende Kathode und eine Hilfselektrode zur Strahlformung aufweisenden Einrichtung zur Verdampfung und/oder Bearbeitung von Materialien unter Ultrahochvakuum mittels eines Elektronenstrahls u nd Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens CH516225A (de)

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