CH540495A - Verfahren und Einrichtung zur Bestimmung der Lebensdauer von Ladungsträgern in Halbleitern mit hoher räumlicher Auflösung sowie Anwendung des Verfahrens zur Optimierung von Betriebsparametern von Halbleiter-Leistungsbauelementen - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zur Bestimmung der Lebensdauer von Ladungsträgern in Halbleitern mit hoher räumlicher Auflösung sowie Anwendung des Verfahrens zur Optimierung von Betriebsparametern von Halbleiter-Leistungsbauelementen

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CH540495A
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US4733175A (en) * 1984-06-04 1988-03-22 General Electric Company Varistor defect detection by incipient hot spot observation
DD273695A1 (de) * 1988-07-04 1989-11-22 Univ Schiller Jena Verfahren zur erfassung schnell ablaufender prozesse in integrierten schaltkreisen unter verwendung eines laser-raster-mikroskopes mit obic-stufe

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