CH623157A5 - - Google Patents

Description

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PATENTANSPRÜCHE

1. Elektrochrome Anzeigevorrichtung, deren Lichtabsorptionseigenschaften sich bei Zuführen eines Stroms reversibel ändern lassen, mit einem elektrochromen Material, das zwi- 5

sehen zwei elektrodenbeschichteten Trägerplatten einge- Gegenstand der Erfindung ist eine elektrochrome Anzeigebracht ist, von denen wenigstens eine lichtdurchlässig ist und Vorrichtung gemäss dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. als Träger für eine Anzeigeelektrode dient, gekennzeichnet Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf den Aufbau der durch eine erste auf der lichtdurchlässigen Trägerplatte (34; 48; Anzeigeelektrode einer solchen elektrochromen Anzeige mit 64) ausgebildete leitfähige Schicht (36; 50; 66); eine über der 10 einem anorganischen festen Film, der die elektrochromen ersten leitfähigen Schicht aufgebrachte isolierende Schutz- Eigenschaften besitzt und der eine lichtdurchlässige leitende schicht (38; 54; 68); eine über der Schutzschicht aufgebrachte Schicht überdeckt.

zweite leitfähige Schicht (40; 58; 70) und einen auf der zweiten Bei dieser Art von elektrochromen Anzeigen bestimmt der leitfähigen Schicht aufgebrachten elektrochromen anorgani- anorganische feste Film beispielsweise aus WO3 mit einer sehen festen Film (42; 60; 72). 15 Schichtstärke von etwa 1 um das Anzeigemuster. Die Kanten

2. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn- des elektrochromen, anorganischen Films sollen stets in Berüh-zeichnet, dass die beiden leitfähigen Schichten (66,70,36,40; 50, rungskontakt mit dem Elektrolyten stehen, um eine gleichmäs-58) transparent sind und die dazwischen liegende Schutz- sige Färbung (Kolorierung) oder Bleichung (Löschung der schicht (38; 54; 68) mikrofeine Löcher (56) zur Durchkontaktie- Anzeige) zu gewährleisten. Notwendigerweise müssen auch die rung der beiden leitfähigen Schichten aufweist. 20 Anzeigeelektrode oder der elektrochrome, anorganische Film

3. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch mit Zuleitungselektroden versehen sein. Gelangen diese Zulei-gekennzeichnet, dass die zweite transparente leitende Schicht tungseiektroden in Kontakt mit dem Elektrolyten, so besteht und der elektrochrome Film zur Wiedergabe bestimmter leicht die Möglichkeit ihrer Beschädigung oder sie tragen Anzeigemuster in einer bestimmten Konfiguration geformt selbst zur Kolorierung während des Betriebs der elektrochro-sind. 25 men Anzeigezelle bei. Die Zuleitungselektroden sollten also

4. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekenn- zur elektrischen als auch chemischen Isolation mit einem schüt-zeichnet, dass die erste transparente leitfähige Schicht als zenden Film bedeckt sein.

Anschlusselektrode(n) für die Anzeigeelektrode(n) ausgeführt Der Erfindung liegt damit die Aufgabe zugrunde, eine elek-

ist. trochrome Anzeigevorrichtung zu schaffen, mit der sich eine

5. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekenn- 30 einwandfreie, scharf begrenzte Kolorierung und ein sicheres zeichnet, dass ein Endabschnitt der ersten transparenten leitfä- Bleichen bei stabilen Betriebsbedingungen erreichen lassen, higen Schicht (36) nicht durch die isolierende Schutzschicht Ausserdem ist es das Ziel, die zu schaffende Anzeigevorrich-(38) bedeckt ist, und dass die zweite transparente leitfähige tung in konstruktiver Hinsicht so auszulegen, dass sie sich gut Schicht (40) direkt mit diesem unbedeckten Endabschnitt der zur Herstellung in einer Massenproduktion eignet.

ersten transparenten leitfähigen Schicht verbunden ist. 35 Zur erfindungsgemässen Lösung der gestellten Aufgabe

6. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekenn- wird auf den Patentanspruch 1 verwiesen. Vorteilhafte Weiterzeichnet, dass die isolierende Schutzschicht (54; 68) die bildungen des Erfindungsgedankens sind unter anderem in der gesamte Oberfläche der lichtdurchlässigen Trägerplatte (48; nachfolgenden Beschreibung sowie in den Ansprüchen 2 bis 14 64) überdeckt und mikrofeine Öffnungen in einem Bereich auf- angegeben.

weist, der der Anzeigeelektrode entspricht. 40 Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist

7. Anzeigèvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekenn- die Anzeigeelektrode der elektrochromen Anzeigezelle im zeichnet, dass die isolierende Schutzschicht (54; 68) die wesentlichen aus vier Schichten aufgebaut, um die Kanten des gesamte Oberfläche der lichtdurchlässigen Trägerplatte (48; Anzeigemusters exakt zu umgrenzen und um gleichzeitig die 64) überdeckt und mit mikrofeinen Löchern versehen ist, über Zuleitungselektroden gegen die Einflüsse des Elektrolyten zu die eine elektrische Verbindung zwischen der ersten und zwei- 45 schützen.

ten transparenten leitfähigen Schicht hergestellt ist. Bei der Herstellung wird im einzelnen so vorgegangen, dass

8. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn- zunächst ein erster lichtdurchlässiger leitender Film auf einem zeichnet, dass die isolierende Schutzschicht (38 ; 54 ; 68) aus Glassubstrat aufgebraucht wird, der seinerseits durch einen iso-einem elektrisch und gegen chemische Einflüsse isolierenden lierenden Schutzfilm überdeckt wird, um den leitenden Film Film besteht. 50 elektrisch und chemisch gegen den in der Zelle enthaltenen

9. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekenn- Elektrolyten zu schützen. Über diesem schützenden Film wird zeichnet, dass die isolierende Schutzschicht aus einem SÌO2- sodann eine zweite lichtdurchlässige leitende Schicht aufge-oder einem AhOa-Film besteht. bracht, die die tatsächliche Anzeigeelektrode bestimmt und

10. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn- ihrerseits durch einen elektrochromen, anorganischen festen zeichnet, dass die beiden transparenten leitfähigen Schichten 55 Film beispielsweise aus WO3 in einer Schichtdicke von 1 [im aus aufgedampftem Im03 bestehen. überdeckt wird. Der zweite lichtdurchlässige leitende Film ist

11. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn- vorteilhafterweise elektrisch mit der ersten leitenden lichtzeichnet, dass der elektrochrome, anorganische feste Film (42 ; durchlässigen Filmschicht direkt verbunden, und zwar durch 60; 72) aus WO3 oder M0O3 besteht. feine Löcher in der isolierenden Schutzschicht.

12. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn- 60 Beispielsweise Ausführungsformen der Erfindung werden zeichnet, dass die isolierende Schutzschicht (38 ; 54 ; 68) licht- nachfolgend unter Bezug auf die Zeichnung erläutert. Es zei-durchlässig ist. gen:

13. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn- Fig. 1 die Prinzipschnittansicht des grundsätzlichen Aufzeichnet, dass die isolierende Schutzschicht eine Dicke von baus einer elektrochromen Anzeigezelle;

etwa 0,35 um aufweist. 65 Fig. 2 die Schnittansicht des Bereichs einer Anzeigeelek-

14. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 13, dadurch trode, wie sie bei einer herkömmlichen elektrochromen Anzeigekennzeichnet, dass die isolierende Schutzschicht aus SiO, gezelle verwendet wird;

SÌO2, AI2O3, MgF2, CaFî, TiOz, SÌ3N4 oder Y2O3 besteht. Fig. 3 bis 5 Schnittdarstellungen zur Verdeutlichung der ein-

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zelnen Stufen im Herstellungsverfahren einer Anzeigeelektrode, mit der sich die oben aufgeführten Nachteile der bekannten Anzeigeelektrode nach Fig. 2 vermindern lassen sollen;

Fig. 6(A( bis 6{E) Schnittdarstellungen zur Verdeutlichung der einzelnen Stufen im Herstellungsverfahren der Anzeige- 5 elektrode einer elektrochromen Anzeige mit erfindungsgemäs-sen Merkmalen;

Fig. 7(A) bis 7(E) Schnittdarstellungen der einzelnen Stufen des Herstellungsprozesses der Anzeigeelektrode bei einer anderen Ausführungsform einer erfindungsgemässen elek- 10 trochromen Anzeige und

Fig. 8(A) bis 8(D) die einzelnen Stufen im Herstellungpro-zess für die Anzeigeelektrode bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung.

Um den Erfindungsgegenstand verständlicher zu machen, 15 sei zur ächst der grundsätzliche Aufbau einer elektrochromen Anzeigezelle unter Bezug auf die Fig. 1 erläutert. Diese Anzeigezelle enthält einen elektrochromen Film, in dem Farbänderungen beim Anlegen eines geeigneten steuerbaren elektrischen Stroms hervorgerufen werden. 20

Diese bekannte elektrochrome Anzeigezelle umfasst als wesentliche Bauelemente ein transparentes Glassubstrat 10,

eine transparente Elektrode 12, einen elektrochromen, anorganischen festen Film 14, an dem das elektrochrome Phänomen auftritt und der die Elektrode 12 überdeckt. Die Elektrode 12 25 besteht aus Indiumoxid. Die Anzeigezelle umfasst weiterhin ein Glassubstrat 16 als Träger für eine transparente Elektrode 18 aus Indiumoxid, ein Abstandsstück 20 und enthält einen Elektrolyten 22, der zwischen die beiden Glassubstrate 10 und 16 eingebracht ist. 30

Der Film 14 besteht meistens aus WO3 und weist eine Schichtstärke von etwa 1 [im auf. Der Elektrolyt 22 ist ein Gemisch aus Schwefelsäure, einem organischen Alkohol, etwa Glyzerin, sowie einem feinen, weissen Pulver, etwa TÌO2. Der Alkoholzusatz dient zur Verdünnung der Säure, und das Pig- 35 ment bildet einen weissen, reflektierenden Hintergrund zur besseren Sichtbarmachung des Färbungsphänomens. Die Schichtdicke der Flüssigkeit liegt üblicherweise bei etwa 1 mm.

Der amorphe WCb-Film verfärbt sich blau, wenn die Elektrode 12 in bezug auf die Gegenelektrode 18 mit einem negati- 40 ven Potential beaufschlagt wird. Die anzulegende Spannung beträgt mehrere Volt. Die blaue Färbung verschwindet, wenn die Spannungspolarität umgekehrt wird. Dieser Vorgang wird üblicherweise als «Bleichen» bezeichnet.

Soweit bekannt, tritt die Kolorierung des Films durch Injek-45 tion von Elektronen oder positiven Ionen in den WCh-Film auf. Das Bleichen entsteht durch die Rückkehr der Elektronen bzw. der positiven Ionen in den Elektrolyten, wenn die Polarität umgekehrt wird.

Nach dem Abklemmen der Färbungsspannung bleibt der 50 kolorierte Zustand während mehrerer Tage aufrechterhalten, solange keine Bleichspannung zugeführt wird (Speichereffekt).

Obgleich die wichtigsten Betriebsabläufe bei ECDs (Elec-trochromic Displays) oben kurz erläutert wurden, sei noch ergänzend auf die folgenden charakteristischen Eigenschaften 55 hingewiesen:

1. Der Schicht- oder Abstrahlwinkel ist extrem weit;

2. bei einem einzigen Färbungs-Bleichzyklus liegt die aufzuwendende Verlustleistung bei einigen bis zu einigen 10 mW/cm2, während die gesamte Verlustleistung proportional 60 zur Anzahl der sich wiederholenden Zyklen ist;

3. es lassen sich Speichereffekte erreichen, durch die der kolorierte Zustand für mehrere Stunden bis zu mehreren Tagen nach dem Abtrennen der Färbungsspannung aufrechterhalten bleibt, solange die ECDs in elektrisch offenem Zustand gehal- 65 ten werden. Zur Aufrechterhaltung der Speichereffekte wird keine von aussen zuzuführende Leistung benötigt.

Die Fig. 2 zeigt den Aufbau einer Anzeigeelektrode bei

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einer herkömmlichen elektrochromen Anzeigezelle, wie sie beispielsweise in RCA Review 36,177 (1975), durch B. W. Faughnan et al. beschrieben wurde:

Bei dieser Anzeigezelle ist auf einem lichtdurchlässigen Substrat 26 eine transparente Elektrode 24 ausgebildet, die durch einen elektrochromen Film 28 überdeckt ist, um ein Anzeigemuster einzugrenzen. Die Herstellungsstufen für diese bekannte Anzeigeelektrode sind wie folgt: Die Elektrode 24 wird als Indiumoxidfilm mit einer geringen Sn02-Verunreini-gung auf einem Glas- oder Kunststoffsubstrat mittels Vakuumverdampfungstechnik aufgebracht. Alternativ dazu kann die Elektrode 24 auch aus Sn02 mit Sb203-Verunreinigungen bestehen, also ein sogenannter NESA-Film sein, der auf ein Glassubstrat durch Aufsprühen aufgebracht ist. Das gewünschte Elektrodenmuster wird durch Ätzen in Kombination mit bekannten Photoresisttechniken oder Siebdruckverfahren erzeugt.

Über der Elektrode 24 ist ein Film 28 beispielsweise aus WO3 mittels Verdampfungstechnik oder durch ein Zerstäubungsverfahren aufgebracht; die gewünschte Konfiguration wird durch ein Ätz verfahren ebenfalls in Verbindung mit bekannten Photoresist- oder Siebdruckverfahren erzeugt.

Wird der Film 28 vor dem Ätzen der Transparentelektrode aufgebracht, so können beide unter Verwendung der gleichen Maske (eine Photoresist- oder Epoxyharzschicht) geätzt werden, wenn die Abschnitte der Elektrodenzuleitung zuvor durch Entfernen von Teilbereichen des Films 28 hergestellt werden, beispielsweise mittels eines Maskenverdampfungs- oder Ätzverfahrens. Es ergeben sich saubere Kanten an der Anzeigeelektrode.

. Die bekannte Anzeigeelektrode nach Fig. 2 lässt sich vergleichsweise einfach herstellen. Schwierigkeiten entstehen jedoch dadurch, dass die Elektrode 24 im Bereich des Elektrodenzuleitungsabschnitts in Kontakt mit dem Elektrolyten gelangt, wodurch die Elektrode 24 während des Betriebs leicht zerstört werden kann. Ausserdem tritt häufig der Fall ein, dass der Elektrodenzuleitungsabschnitt selbst während des Betriebs der Zelle verfärbt wird.

Um die genannten Schwierigkeiten einzugrenzen, sind bereits drei Vorschläge gemacht worden, die nachfolgend kurz unter Bezug auf die Fig. 3 bis 5 erläutert werden. Die der Ausführungsform nach Fig. 2 entsprechenden Teile sind mit den gleichen Bezugshinweisen gekennzeichnet:

Bei der Fig. 3 ist die Elektrode 24 im Bereich der Elektrodenzuleitungsabschnitte durch eine isolierende Schutzscl icht 30 überdeckt. Diese Schutzschicht 30 isoliert die Elektrode 24 in diesem Bereich elektrisch und chemisch gegen den Elektrolyten. Jedoch ist die genaue Ausrichtung des Films 28 und der isolierenden Schutzschicht 30 herstellungstechnisch äusserst schwierig, weshalb sich diese Lösung nicht für eine Massenproduktion eignet.

Bei der Fig. 4 ist die Elektrode 24 ebenfalls durch eine isolierende Schutzschicht 30 so abgedeckt, dass auch ein Bereich 280 des Films 28 durch die Schutzschicht 30 überdeckt ist. Die isolierende Schutzschicht 30 kann beispielsweise aus einem durch ein Maskenverdampfungsverfahren aufgebrachten SiOx-Film (X = 1 bis 2) oder einem Epoxyharz- oder Siliconharzfilm bestehen, die durch ein Siebdruckverfahren aufgebracht werden. Die Herstellung der Anzeigeelektrode nach Fig. 4 ist vergleichsweise einfach. In der Praxis zeigen sich jedoch folgende Nachteile: Der Abschnitt 280 des Films 28 verfärbt sich zunächst nicht, da positive Ionen in diesen Bereich nicht injiziert werden. Der Abschnitt 280 verfärbt sich jedoch allmählich aufgrund der Diffusionseigenschaft dieser Ionen im Film 28. Dies wäre unter Umständen bei geeigneter Gestaltung der Elektrode noch hinnehmbar. Leider lässt sich jedoch die nachträglich entstandene Färbung des Abschnitts 280 beim Löschen oder Bleichen der Anzeige nicht entfernen. Die typische Ausbreitungsgeschwindigkeit dieser später einsetzenden Verfär-

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bung liegt bei etwa 1 mm/h, wenn die Kolorierung unter den folgenden Bedingungen erfolgt:

transparente Elektrode: ImCh, aufgebracht durch Verdampfung im Vakuum; 5 anorganischer fester Film: WO3 mit einer Stärke von 0,5 (im; isolierende Schicht: Epoxyharz;

Elektrolyt: Mischung von 1,0 Mol/1 Lithiumperchlorid und (2-ÄthoxyäthyI)-acetat;

Kolorierungsstromdichte: 10mA/cm2 (erzielter Kontrast 1:10). 10

Bei der Fig. 5 bedeckt der Film 28 die Elektrode 24 in einem Bereich 300. In diesem Fall wird zunächst die Transparentelektrode 24 in gewünschter Konfiguration auf dem Glassubstrat 26 erzeugt. Sodann wird der isolierende Film 30 aus SiOx (X = 15 1 bis 2) oder AI2O3 auf der Elektrode mittels Maskenverdampfungsverfahren im Vakuum hergestellt. Schliesslich wird der Film 28 auf der Elektrode 24 und der isolierenden Schutzschicht 30 mittels eines Verdampfungsverfahrens und anschliessendem Ätzen erzeugt. 20

Die Herstellung der Anzeigeelektrode gemäss Fig. 5 ist sehr kompliziert, da die Form des Films 28 äusserst genau auf den Kantenbereich der Elektrode 24 ausgerichtet sein muss. Ausserdem lässt sich auch in diesem Fall der durch den Film 28 überdeckte Bereich 300 des isolierenden Schutzfilms 30 nach 25 einmal vorhandener Färbung sehr schlecht wieder bleichen.

Die Fig. 6(A) bis 6(E) dienen zur Erläuterung der Herstellungsstufen einer Anzeigeelektrode bei einer elektrochromen Anzeige gemäss der Erfindung: Zunächst wird in einem Verdampfungsverfahren ein transparenter leitender Film 32 aus 30 Indiumoxid auf einem transparenten Glassubstrat 34 erzeugt (Fig. 6A).

Durch Abdecken des leitenden Films 32 mit einem Photore-sist-Lack oder dergleichen und anschliessendem Ätzen mit Salzsäure erhält man ein gewünschtes Anzeigemuster. Der so 35 in die gewünschte Anzeigeform gebrachte leitende Film 36 dient vor allem als Zuleitungselektrode (vgl. Fig. 6B).

Auf der Zuleitungselektrode 36 wird sodann in einem Verdampfungsverfahren mit Maskenabdeckung eine isolierende Schutzschicht 38 aus SiOx (X = 1 bis 2) oder AI2O3 aufge- 40 bracht; die Enden der Zuleitungselektroden 36 bleiben etwa wie dargestellt frei (vgl. Fig. 6C).

Auf dem freigelegten Bereich des Glassubstrats 34 werden sodann ein lichtdurchlässiger leitender Film 40 aus Indiumoxid und ein elektrochromer, anorganischer fester Film 42 aus WO3 45 übereinander aufgebracht. Der leitende Film 40 steht in Verbindung mit den freien Enden des leitenden Films 36.

Ein gewünschtes Elektrodenmuster wird durch Abdeckung mit einem Photoresist-Lack oder dergleichen und Ätzen des Wo3-Films 42 und des Indiumoxidfilms 40 mit einer Lauge bzw. 50 Salzsäure erhalten; es ergeben sich die Anzeigeelektroden 44 (vgl. Fig. 6E).

Die isolierende Schutzschicht 38 kann aus MgF2, CaF2, TÌO2, SÌ3N4 oder Y2O3 bestehen.

Unter Bezug auf die Fig. 7(A) bis 7(E) werden nachfolgend 55 die einzelnen Stufen zur Herstellung einer Anzeigeelektrode für elektrochrome Anzeigen gemäss einer anderen Ausführungsform der Erfindung erläutert: Auf einem transparenten Glassubstrat 48 wird zunächst mittels Verdampfungstechnik ein lichtdurchlässiger leitender Film 46 aus Indiumoxid aufge- 60 bracht (vgl. Fig. 7A).

Mittels Photoresist-Lackabdeckung und Ätzen mit Salzsäure ergibt sich ein gewünschtes Muster des leitenden Indiumoxidfilms 46. Die Fig. 7(B) lässt den so geformten leitenden Film 50 erkennen, der einerseits die Zuleitungselektroden und andererseits die Unterlage der Anzeigeelektroden bildet.

Auf dem leitenden Film 50 wird sodann ein Glasfaserpulver 52 an jenen Stellen über eine geeignete Maske aufgebracht, die der oder den späteren Anzeigeelektroden entsprechen. Die Glasfasern 52 in Pulverform weisen eine Länge von 20 bis 50 p.m und einen Durchmesser von etwa 6 p.m auf. Dieses Glasfaserpulver wird in einer Dichte von etwa 10 Teilchen pro 500 (j,m2 aufgebracht. Sodann wird über der gesamten Oberfläche des Glassubstrats eine isolierende Schutzschicht 54 aus SiOx (X = 1 bis 2) oder AI2O3 mittels Verdampfungstechnik in einer Schichtdicke von etwa 0,35 |im aufgebracht (vgl. Fig. 7C).

Das Glasfaserpulver 52 wird anschliessend wiederum dadurch entfernt, dass Glassubstrat 48 einer Vibration ausgesetzt wird, wodurch in der isolierenden Schutzschicht 54 mikrofeine Öffnungen 56 im Bereich der Anzeigeabschnitte der Anzeigeelektrode entstehen (vgl. Fig. 7D).

Durch Verdampfungstechnik unter Verwendung einer Maske wird sodann im Bereich der Anzeigeabschnitte der Anzeigeelektrode ein transparenter leitender Indiumoxidfilm 58 sowie darüber ein elektrochromer, anorganischer fester Film 60 aus WO3 oder M0O3 aufgebracht (vgl. Fig. 7E). Der Indiumoxidfilm 58 gelangt dabei über die mikrofeinen Öffnungen 56 in der isolierenden Schicht 54 in elektrischen Kontakt mit dem leitenden Film 50.

Zur Erzeugung der mikrofeinen Öffnungen 56 kann anstelle von Glasfaserpulver auch pulverisiertes AI2O3, MgO, Fe203, BaO, TÌO2 und/oder BaS04 verwendet werden.

Anhand der Fig. 8(A) bis 8(D) werden nachfolgend die einzelnen Schritte des Herstellungsverfahrens der Anzeigeelektrode für eine andere erfindungsgemässe elektrochrome Anzeigezelle erläutert: Mittels Verdampfungstechnik wird auf der gesamten Oberfläche eines transparenten Glassubstrats 64 ein leitender Indiumoxidfilm 62 erzeugt (vgl. Fig. 8A).

Auf dem Indiumoxidfilm 62 wird sodann das gewünschte Negativmuster eines Photoresist-Lacks aufgebracht; anschliessend wird mittels Salzsäure geätzt, um eine gewünschte Konfiguration zu erhalten. Der so erzeugte leitende Film 66 ist in Zuleitungselektroden- und Anzeigeelektrodenabschnitte unterteilt (vgl. Fig. 8B).

Über der gesamten Oberfläche des Glassubstrats 64 wird sodann eine isolierende Schutzschicht 68 aus SiO x (X = 1 bis 2); AI2O3, MgF2, CaF2, Ti02, SÌ3N4 oder Y2O3 in einer Schichtstärke von 0,35 Jim durch Anwendung eines Vakuumverdampfungsverfahrens aufgebracht (vgl. Fig. 8C).

Anschliessend werden im Bereich der Anzeigeelektrodenabschnitte durch Verdampfungstechnik unter Verwendung der gleichen Maske aufeinanderfolgend ein lichtdurchlässiger leitender Indiumoxidfilm 70 sowie ein elektrochromer, anorganischer fester Film 72 aus WO3 oder M0O3 aufgebracht (vgl. Fig. 8D).

Da die isolierende Schutzschicht 68 dünn und nicht sehr dicht ist, sind in diser Schutzschicht 68 mikrofeine Löcher vorhanden. Ausserdem entstehen stellenweise weitere sehr feine Poren durch die sogenannte Schattenbildung, hervorgerufen durch die Strahlwinkel beim Verdampfen. Der leitende Film 70 steht also über die mikrofeinen Löcher oder Poren in der isolierenden Schutzschicht 68 in elektrischem Kontakt mit dem leitenden Film 66.

3 Blatt Zeichnungen